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薄膜太阳能电池和硅晶太阳能电池随着能源危机的日益严重以及对环境保护的需求，太阳能作为一种可再生能源被越来越广泛应用。
而太阳能电池作为太阳能利用的核心技术之一，也得到了持续的研发和改进。
薄膜太阳能电池和硅晶太阳能电池作为两种主要类型的太阳能电池，在市场上占据了主导地位。
本文将分别介绍这两种太阳能电池的原理、特点以及应用领域。
薄膜太阳能电池是一种使用薄膜材料制造的太阳能电池。
薄膜材料可以是非晶硅、铜铟镓硒等。
与硅晶太阳能电池相比，薄膜太阳能电池具有以下几个特点。
薄膜太阳能电池具有较高的柔性。
由于薄膜材料的特性，薄膜太阳能电池可以制成柔性的电池片，能够适应各种形状和曲面。
这为太阳能电池的应用提供了更大的灵活性，可以广泛应用于建筑物外墙、屋顶、车顶等不同的场景中。
薄膜太阳能电池具有较高的光电转换效率。
虽然薄膜太阳能电池的光电转换效率相对较低，但是由于其较高的透明度，可以在低光照条件下仍然具有较高的发电效率。
这使得薄膜太阳能电池在阴天或者室内光照较弱的环境下也能够有效发电。
薄膜太阳能电池具有较低的制造成本。
相对于硅晶太阳能电池来说，薄膜太阳能电池的制造过程更加简单，材料成本也相对较低。
这使得薄膜太阳能电池在大规模生产时具有一定的竞争优势，能够更好地满足市场需求。
薄膜太阳能电池主要应用于一些对电池柔性性能要求较高的场合，如建筑一体化太阳能系统、便携式电子设备以及一些特殊形状的电池应用等领域。
它的柔性和透明性使得它可以与建筑物的外观融为一体，同时也可以为便携设备提供绿色能源。
硅晶太阳能电池是一种使用硅晶片制造的太阳能电池。
与薄膜太阳能电池相比，硅晶太阳能电池具有以下几个特点。
硅晶太阳能电池具有较高的光电转换效率。
由于硅晶材料的特性，硅晶太阳能电池的光电转换效率相对较高，可以达到20%以上。
这使得硅晶太阳能电池在光照充足的环境下具有较高的发电效率，能够提供更多的电能。
硅晶太阳能电池具有较长的使用寿命。
硅晶太阳能电池的材料稳定性较高，能够在较长的时间内保持较高的发电效率。
非晶硅太阳电池非晶硅太阳电池，也被称为非晶硅薄膜太阳电池，是一种利用非晶硅材料制成的光伏电池。
非晶硅太阳电池具有柔性、轻薄和低造价等优点，适用于一些特殊场合和应用领域。
本文将从非晶硅材料的特性、非晶硅太阳电池的结构和工作原理、非晶硅太阳电池的优缺点以及应用领域等方面进行详细介绍。
非晶硅是一种非晶态的硅材料，其原子结构杂乱无序，与晶体硅相比，非晶硅具有更高的能量转换效率和更低的制造成本。
非晶硅太阳电池通常由玻璃或塑料基底、透明导电薄膜、非晶硅光伏层、背电极和接线等部分组成。
非晶硅太阳电池使用非晶硅材料作为光伏层，其中掺杂了少量的杂质元素，使得材料具有较高的光电转换效率。
非晶硅太阳电池的工作原理主要基于光伏效应，即光子入射到非晶硅光伏层上后被吸收，释放出电子和空穴，并在电场的作用下分别流向背电极和透明导电薄膜，从而形成电流。
非晶硅太阳电池的光伏转换效率与光伏层的材料性能、光伏层的厚度、非晶硅材料的电学性质等因素密切相关。
非晶硅太阳电池具有以下优点：首先，非晶硅太阳电池可以制备成柔性和轻薄的结构，适应各种复杂的曲面和形状，具有更广阔的应用空间；其次，非晶硅太阳电池的制造成本较低，生产工艺简单，可以实现大规模生产和应用；此外，非晶硅太阳电池在低光强和低温环境下具有较高的光电转换效率，适用于一些特殊应用领域。
然而，非晶硅太阳电池也存在一些缺点：首先，非晶硅太阳电池的光电转换效率相比于其他材料的太阳电池要低一些；其次，非晶硅太阳电池对光强和温度的变化较为敏感，在高温和强光环境下效果较差；另外，非晶硅太阳电池的使用寿命较短，一般在10年左右。
非晶硅太阳电池在一些特殊领域有广泛应用。
例如，在电子设备领域，非晶硅太阳电池可以用于制备柔性和可折叠的光伏电池组件，为电子设备提供可持续的电力；在建筑领域，非晶硅太阳电池可以嵌入到建筑材料中，如玻璃幕墙、屋顶瓦片等，实现建筑一体化太阳能利用；此外，非晶硅太阳电池还可以应用于一些便携式充电设备、户外太阳能供电系统等领域。
非晶硅叠层薄膜太阳能电池优点
以非晶硅叠层薄膜太阳能电池优点为题，我们来探究一下这种太阳能电池的特点和优势。
非晶硅叠层薄膜太阳能电池是一种利用非晶硅薄膜叠层技术制造的太阳能电池。
相比于传统的硅晶太阳能电池，它具有以下优点：
1.成本低廉
非晶硅叠层薄膜太阳能电池的制造工艺简单，生产成本较低。
同时，由于其薄膜结构，可以在较小的面积上实现较高的发电功率，从而进一步降低了生产成本。
2.高效率
由于其叠层结构，非晶硅叠层薄膜太阳能电池可以吸收更多的太阳光，从而提高了发电效率。
同时，由于非晶硅材料的光吸收特性，这种太阳能电池在弱光条件下也可以正常发电。
3.轻量化
非晶硅叠层薄膜太阳能电池的薄膜结构使得它比传统的硅晶太阳能电池更轻便。
这种轻量化特性使得它在一些特殊的应用场合，比如航空航天领域，具有更大的优势。
4.灵活性
非晶硅叠层薄膜太阳能电池可以制造成各种形状和尺寸，具有很高的灵活性。
这种特性使得它可以应用于更广泛的场合，比如建筑外墙、屋顶等，从而扩大了太阳能电池的应用范围。
非晶硅叠层薄膜太阳能电池具有成本低廉、高效率、轻量化、灵活性等优点，是未来太阳能电池发展的重要方向之一。
虽然它目前的发展仍然面临一些挑战，比如稳定性和寿命等问题，但随着技术的不断进步和改进，相信它将会在未来的应用中发挥越来越重要的作用。
一文读懂非晶硅太阳能电池及其应用目前光伏市场上，制作太阳能电池使用的最多的材料就是硅，其中主要分为单晶硅太阳能电池，多晶硅太阳能电池以及非晶硅太阳能电池，前两种，由于所用材料是间接带隙半导体——吸收太阳能时需要一定的厚度，PN结比较厚(一般大于200微米)，所以其硅原料消耗较多，成本相应较高，电池板的价格居高不下，其所造成的硅浪费也比较大，而硅是十分多用途的重要半导体。
非晶硅为直接带隙半导体，光辐射吸收范围广，所需厚度薄，故此非晶硅薄膜太阳能电池可以做得很薄，光吸收薄膜总厚度大约1微米，非晶硅以其原料消耗少，低成本以及较好的性能而得到市场的青睐。
非晶硅太阳能电池的特点低成本1、硅材料用料少，可充分吸收光，单晶要200μ厚，非晶1μ厚(非晶硅光吸收系数大)。
2、主要原材料是生产高纯多晶硅过程中使用的硅烷，这种气体，化学工业可大量供应，且十分便宜，制造一瓦非晶硅太阳能电池的原材料本约RMB3.5-4(效率高于6%)。
3、晶体硅太阳电池的基本厚度为240-270um，相差200多倍，大规模生产需极大量的半导体级，仅硅片的成本就占整个太阳电池成本的65-70%，在中国1瓦晶体硅太阳电池的硅材料成本已上升到RMB22以上。
从原材料供应角度分析，人类大规模使用阳光发电，最终的选择只能是非晶硅太阳电池及其它薄膜太阳电池，别无它法!易于形成大规模因为核心工艺适合制作特大面积无结构缺陷的a-Si合金薄膜;只需改变气相成分或者气体流量便可实现pn结以及相应的叠层结构;生产可全程自动化。
品种多，用途广薄膜的a-Si太阳能电池易于实现集成化，器件功率、输出电压、输出电流都可自由设计制造，可以较方便地制作出适合不同需求的多品种产品。
由于光吸收系数高，暗电导很低，适合制作室内用的微低功耗电源，如手表电池、计算器电池等。
由于a-Si膜的硅网结构力学性能结实，适合在柔性的衬底上制作轻型的太阳能电池。
灵活多样的制造方法，可以制造建筑集成的电池，适合户用屋顶电站的安装。
中文摘要中文摘要非晶硅太阳能电池作为一种新型太阳能电池,其原材料来源广泛、生产成本低、便于大规模生产,因而具有广阔的市场前景。
它具有较高的光吸收系数,在0.4~0.75um的可见光波，其吸收系数比单晶硅要高出一个数量级,比单晶硅对太阳能辐射的吸收率要高40倍左右,用很薄的非晶硅膜(约1um厚)就能吸收约80%有用的太阳能,且暗电导很低,在实际使用中对低光强光有较好的适应,特别适用于制作室内用的微低功耗电源,这些都是非晶硅材料最重要的特点,也是它能够成为低价太阳能电池的重要因素。
非晶硅薄膜电池由于没有晶体硅所需要的周期性原子排列要求,可以不考虑制备晶体所必须考虑的材料与衬底间的晶格失配问题,在较低的温度(200摄氏度左右)下可直接沉积在玻璃、不锈钢、塑料膜和陶瓷等廉价衬底材料上,工艺简单,单片电池面积大,便于工业化大规模生产,同时亦能减少能量回收时间,降低生产成本。
另外,非晶硅的禁带宽度比单晶硅大,随制备条件的不同约在1.5~2.0eV的范围内变化,这样制成的非晶硅太阳能电池的开路电压高,同时,还适合在柔性的衬底上制作轻型的太阳能电池,可做成半透明的电池组件,直接用做幕墙和天窗玻璃,从而实现光伏发电和建筑房屋一体化。
总之,非晶硅薄膜电池具有生产成本低、能量回收时间短、适于大批量生产、弱光响应好以及易实现与建筑相结合、适用范围广等优点。
关键字：非晶硅薄膜;光致衰退效应;界面态;太阳能电池I目录目录中文摘要 (I)第一章非晶硅薄膜太阳电池 (1)第一节非晶硅薄膜太阳电池基础知识简介 (1)第二节非晶硅薄膜太阳电池生产线及制造流程简介 (4)第二章非晶硅薄膜太阳电池应用分析 (7)第一节非晶硅电池特点 (7)第二节非晶硅电池光致衰退效应 (8)第三节非晶硅电池性能影响因素及发展前景 (9)第三章总结 (11)致谢 (12)参考文献 (13)II第一章 简易文本编辑器内容和功能第 1 页第一章 非晶硅薄膜太阳电池第一节 非晶硅薄膜太阳电池基础知识简介1976年美国RCA 实验室的D.E.Conlson 和C.R.Wronski 在Spear 形成和控制p-n 结工作的基础上利用光生伏特(PV)效应制成世界上第一个a-Si 太阳能电池，揭开了a-Si 在光电子器件或PV 组件中应用的幄幕。
探究非晶硅叠层薄膜太阳能电池的优势
随着环保意识的逐渐加强，太阳能电池作为可再生能源的代表，近年来备受人们青睐。
而在众多的太阳能电池中，非晶硅叠层薄膜太阳能电池已经成为目前发展最迅速的一种，其优势主要体现在以下三个方面：
一、较高的转换效率
在太阳能电池中，转换效率是一个至关重要的指标。
而非晶硅叠层薄膜太阳能电池的转换效率相对较高，可以达到12%以上。
这是由于非晶硅材料具有较高的光吸收能力，同时其叠层结构可以有效地减少反射损失，提高光利用效率。
二、稳定可靠
对于太阳能电池而言，其在长期使用中的稳定性和可靠性也是非常重要的。
而非晶硅叠层薄膜太阳能电池不仅可以在宽波长范围内实现高效率的转换，同时其长期使用时保持稳定性能也相对较好，可以维持很长的寿命。
三、制造成本低
太阳能电池的成本与生产工艺密切相关。
相比于一些传统的太阳能电池，非晶硅叠层薄膜太阳能电池具有较低的制造成本。
这是因为其生产工艺相对简单，不需要太多的原料和设备，而且由于其薄膜结
构，可以减少光电转换过程中的损失，从而减少能量浪费，进一步降低了成本。
总的来说，非晶硅叠层薄膜太阳能电池有着较高的转换效率、稳定可靠和制造成本低等诸多优点，有着广阔的应用前景。
非晶硅薄膜太阳能电池的优点:2009-01-13 20:29非晶硅太阳能电池之所以受到人们的关注和重视,是因为它具有如下诸多的优点:1.非晶硅具有较高的光吸收系数.特别是在0.3-0.75um 的可见光波段,它的吸收系数比单晶硅要高出一个数量级.因而它比单晶硅对太阳能辐射的吸收率要高40倍左右, 用很薄的非晶硅膜(约1um厚)就能吸收90%有用的太阳能.这是非晶硅材料最重要的特点,也是它能够成为低价格太阳能电池的最主要因素.2. 非晶硅的禁带宽度比单晶硅大,随制备条件的不同约在1.5-2.0 eV的范围内变化,这样制成的非晶硅太阳能电池的开路电压高.3.制备非晶硅的工艺和设备简单,淀积温度低,时间短,适于大批生产.制作单晶硅电池一般需要1000度以上的高温,而非晶硅电池的制作仅需200度左右.4.由于非晶硅没有晶体硅所需要的周期性原子排列,可以不考虑制备晶体所必须考虑的材料与衬底间的晶格失配问题.因而它几乎可以淀积在任何衬底上,包括廉价的玻璃衬底,并且易于实现大面积化.5.制备非晶硅太阳能电池能耗少,约100千瓦小时,能耗的回收年数比单晶硅电池短很多:中国电子报：薄膜技术日趋成熟非晶硅电池主导市场来源：中国电子报发稿时间： 2009-02-10 15:52薄膜电池技术具有提供最低的每瓦组件成本的优势，将有望成为第一个达到电网等价点的太阳能技术。
由于原材料短缺，在单晶硅和多晶硅太阳能电池的发展速度受到限制的情况下，新型薄膜太阳能电池发展尤为迅速。
有资料显示，美国薄膜电池的产量已经超过了多晶硅和单晶硅电池的产量。
薄膜技术会越来越成熟，在未来的市场份额中将大比例提升。
据行业分析公司NanoMarkets预测，薄膜太阳能电池2015年的发电量将达到26GW，销售额将超过200亿美元，太阳能电池发电量的一半以上将来自薄膜太阳能电池。
预计在未来薄膜电池市场中非晶硅(a-Si)、碲化镉(CdTe)、铜铟镓硒(CIGS)三种电池将分别占到薄膜光伏市场的60%、20%和20%。
非晶硅薄膜太阳能电池应用分析
1. 简介
非晶硅薄膜太阳能电池是一种主要由非晶硅薄膜材料制成的光伏电池。
本章将介绍非晶硅薄膜太阳能电池的基本原理和优点，以及其在太阳能行业中的前景和应用。
2. 非晶硅薄膜太阳能电池的技术原理
本章将详细介绍非晶硅薄膜太阳能电池的技术原理，包括其制备、结构、物理特性等方面的内容。
同时，还将重点探讨非晶硅薄膜太阳能电池的能量转换效率、光电性能、光损失等方面的问题。
3. 非晶硅薄膜太阳能电池的应用现状
本章将介绍非晶硅薄膜太阳能电池在各个领域的应用情况，包括建筑、汽车、移动电源、航空航天等方面。
同时，还将分析非晶硅薄膜太阳能电池在实际应用中面临的挑战和前景。
4. 非晶硅薄膜太阳能电池的未来发展方向
本章将分析非晶硅薄膜太阳能电池的未来发展趋势和方向。
主要从材料、工艺、结构和技术方面探讨非晶硅薄膜太阳能电池的改进和提高能量转换效率等方面的发展。
5. 结论
本文对非晶硅薄膜太阳能电池的技术原理、应用现状和未来展望进行了比较全面的介绍和分析。
结合当前的环境和产业背景，本文认为非晶硅薄膜太阳能电池具有广阔的市场前景，并有望在未来成为太阳能电池领域的主流产品之一。
第一章：简介
随着全球能源需求的不断增长和对可再生能源的需求越来越强烈，太阳能电池作为最具代表性的新能源技术之一，正变得越来越受到人们的关注。
非晶硅薄膜太阳能电池（Amorphous Silicon Thin Film Solar Cell，简称a-Si电池）是目前人们对太阳能电池的一种有效研
究和开发方向之一。
相较于传统的多晶硅太阳能电池和单晶硅太阳能电池，a-Si电池具有材料和制造成本低、可扩展性高、
透明性好等特点。
本章将介绍非晶硅薄膜太阳能电池的基本原理和优点，以及其在太阳能行业中的前景和应用。
1.1 非晶硅薄膜太阳能电池的基本原理
多晶硅太阳能电池和单晶硅太阳能电池的构造非常相似，主要由n型硅和p型硅两种材料组成。
在阳光的照射下，太阳能会被电池中的半导体材料吸收，产生电子与空穴。
由于n型硅和
p型硅之间的pn结的存在，电子和空穴会在pn结中发生结合，产生能量，从而形成电能。
与多晶硅太阳能电池和单晶硅太阳能电池不同，非晶硅薄膜太
阳能电池采用的是非晶硅材料。
非晶硅是以气相沉积或磁控溅射等技术在底板上制备出来的非晶态薄膜，比传统硅材料更具有优势。
非晶硅薄膜太阳能电池由于基本组成原理类似，其也是由n型硅和p型硅组成，不过相比于多晶硅电池和单晶硅电池，其对硅材料的需求更少。
这也使得非晶硅薄膜太阳能电池能够降低成本，增加可扩展性。
1.2 非晶硅薄膜太阳能电池的优点
与传统的多晶硅太阳能电池和单晶硅太阳能电池相比，非晶硅薄膜太阳能电池具有以下几个优点：
（1）材料和制造成本低
相比于传统的硅材料，非晶硅非常便宜。
制造非晶硅薄膜太阳能电池所需的材料和工艺成本非常低，这也进一步降低了电池的造价。
（2）可扩展性高
由于非晶硅薄膜太阳能电池的制造成本非常低，可以在大规模工业中应用。
这使得它可以快速地扩展规模、提高生产效率，满足市场需求。
（3）透明性好
非晶硅电池可以是半透明的，可以在某些情况下作为建筑物的外墙或车窗使用。
这也使其在装饰和建筑工程方面具有广泛的应用空间。
（4）适应性强
非晶硅薄膜太阳能电池通过改变材料和工艺可以适应不同的环境和应用场景，这意味着它可以用于各种不同领域的应用，例如建筑、汽车、移动电源、航空航天等领域。
1.3 非晶硅薄膜太阳能电池的应用前景
由于非晶硅薄膜太阳能电池具有上述优点和特点，其应用前景非常广阔。
目前，非晶硅薄膜太阳能电池在一些领域已经开始应用，例如智能建筑、车载充电、远洋航行、战略无人机等。
随着该技术的发展，未来的应用前景将会更加广泛。
总之，非晶硅薄膜太阳能电池具有材料成本低、可扩展性高、透明性好等诸多优点，未来有望在太阳能电池领域发挥重要的作用。
第二章：非晶硅薄膜太阳能电池的技术原理
与传统的多晶硅太阳能电池和单晶硅太阳能电池不同，非晶硅薄膜太阳能电池采用的是非晶硅材料。
通常，利用气相沉积、PECVD或磁控溅射等技术制造出非晶硅薄膜。
这里我们将从以下几个方面详细介绍非晶硅薄膜太阳能电池的技术原理。
2.1 生长制备技术
气相沉积、PECVD和磁控溅射是非晶硅薄膜太阳能电池生长
制备技术中最广泛使用的技术。
气相沉积是将硅源与精制的氢气输送至反应室，利用激活能对硅进行气相沉积，并在基板上制备出非晶硅薄膜。
PECVD是指由气相前驱体沉淀在可基底的表面上的化学气相
沉积，是非晶硅薄膜太阳能电池生长制备的主要方法之一。
磁控溅射是将高纯度的硅靶在磁场作用下通过离子轰击产生的等离子体反应，沉积在基底表面，形成非晶硅薄膜的方法。
2.2 材料制备
非晶硅材料是非晶硅薄膜太阳能电池的关键材料。
要获得高质量的非晶硅薄膜，首先要制备高质量的非晶硅材料。
利用气相沉积法或PVD（Physical Vapor Deposition）法制备
非晶硅薄膜时，需要使用高纯度硅气或硅靶。
还需要根据设定的生长条件，对硅材料进行气相化学反应。
反应条件包括温度、气体混合比、气氛压力等参数。
2.3 化学反应及能量转换
非晶硅薄膜太阳能电池是基于光伏效应的，其工作原理与多晶硅太阳能电池和单晶硅太阳能电池相似。
当太阳光照射在非晶
硅薄膜上时，电子被激发并逃逸，产生一个电子-空穴对。
该电子-空穴对随后在n和p一侧的结区形成一个电势差。
这
个势差可以用来推动电流流入负载。
2.4 光伏效率
非晶硅薄膜太阳能电池的性能和效率取决于其光伏效率，即太阳能光子转化为电能的能力。
为了获得高光伏效率，非晶硅薄膜太阳能电池需要满足以下几个因素：
（1）光吸收区域精细设计
非晶硅薄膜太阳能电池的光吸收层采用的是非晶材料，其吸收光区域比其他太阳能电池更广。
因此，在组装非晶硅薄膜太阳能电池时，需要特别注意光吸收区域的设计和优化。
（2）半导体材料选择
非晶硅薄膜太阳能电池本质上是一个半导体器件，其半导体材料对其性能和效率具有重要的影响。
因此，在制备非晶硅薄膜太阳能电池时，需要根据实际应用环境选择合适的半导体材料。
（3）透明导电膜和背反射层
为了改善非晶硅薄膜太阳能电池的效率，需要在电池顶部添加
透明导电膜和在背面添加反射层。
透明导电膜用来收集电流，而背面的反射层可使太阳能反射回电池。
第三章：非晶硅薄膜太阳能电池的应用现状
非晶硅薄膜太阳能电池作为一种新兴的太阳能电池技术，已经在许多领域得到了广泛应用。
3.1 智能建筑
非晶硅薄膜太阳能电池可以用于人造环境中，例如安装在建筑物的壁板或庭院遮阳伞上。
其材料可以是透明的，以便光线能穿过电池，并在人造环境中产生电力。
由于非晶硅薄膜太阳能电池的薄型设计，其可为建筑物提供额外的支持和压力缓冲，这使其成为建筑师和设计师喜欢使用的太阳能电池技术之一。
3.2 车载充电
非晶硅薄膜太阳能电池技术可应用于汽车和其他电动车辆上。
在移动的汽车表面上安装非晶硅薄膜太阳能电池板，可以为车辆充电，降低能源成本，同时也可以减少车辆碳排放。
这种技术的实现可以使电动汽车在短时间内快速充电，帮助消除电动汽车的燃油依赖性。
3.3 海外航行
非晶硅薄膜太阳能电池还可用于帆船和其他船舶的能量供应。
由于航海活动需要长时间、持续的能量来源，将非晶硅薄膜太
阳能电池嵌入船体中，可以为船只提供大量的能量供应。
3.4 战略无人机
非晶硅薄膜太阳能电池还可应用于军事领域，例如卫星和无人机的能源供应。
这种技术被认为是战略无人机和其他军事装备的理想能源来源之一。
总之，非晶硅薄膜太阳能电池已经成功应用于智能建筑、车载充电、海外航行，战略无人机等众多领域。
特别是在建筑、车辆和交通等领域，非晶硅薄膜太阳能电池作为一种有效的新能源设备将扮第四章：非晶硅薄膜太阳能电池的制备技术
非晶硅薄膜太阳能电池是将非晶硅薄膜作为太阳能电池的吸光材料制成的电池。
在制备非晶硅薄膜太阳能电池过程中，主要包括以下几个步骤：非晶硅材料的制作，非晶硅薄膜的制备，电池组件的制备和测试。
4.1 非晶硅材料的制作
非晶硅薄膜太阳能电池需要非晶硅材料作为制备材料。
通常需要使用高质量的硅靶进行气相沉积和磁控溅射等制备过程。
在非晶硅材料的制作过程中，还需要注意控制反应的控制温度、气体混合比、气氛压力等参数，以确保其制品得到高品质的非晶硅材料。
4.2 非晶硅薄膜的制备
非晶硅薄膜的制备主要有以下三种方法：气相沉积法、PECVD和磁控溅射法。
气相沉积法是将硅源和精炼的氢气输送至反应室，加热使他们反应并形成非晶硅薄膜的过程。
在反应室内，硅源被加热，以获得金属硅及其气体化氢，硅和氢气混合后在反应室内气相沉积在基板上形成非晶硅薄膜。
PECVD是一种在可基底表面上由气相前驱体沉积的化学气相沉积技术，也是制备非晶硅薄膜太阳能电池的主要方法之一。
利用PECVD技术可以制备高质量的非晶硅薄膜，并且能够形成具有多个层的复合膜。
磁控溅射法利用离子轰击产生的等离。
