TP金属黄光制程简
- 格式:ppt
- 大小:940.00 KB
- 文档页数:15
黄光工艺流程黄光工艺流程是指在半导体制造过程中,使用光照将光刻胶曝光到硅片或其他材料表面,然后通过化学处理和蚀刻来形成图形的一种工艺流程。
下面将详细介绍黄光工艺流程的步骤。
第一步是准备硅片。
将硅片清洗干净,并使用酸洗去除硅片表面的污染物。
然后,在硅片上涂覆一层光刻胶,通常是聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)。
第二步是光刻胶的曝光。
将硅片放入光刻机中,然后使用遮罩或掩膜来控制光照的位置和形状。
光刻机会使用紫外线或其他光源照射光刻胶,使其在受到光的作用下发生化学反应。
在曝光后,光刻胶的部分区域会发生化学变化,变得溶解性或不溶解性。
第三步是光刻胶的显影。
将曝光后的硅片放入显影剂中,显影剂会溶解或去除未曝光的光刻胶,而曝光后的光刻胶会保留下来。
根据需要,可以使用不同的显影剂,如碱性显影剂或酸性显影剂。
第四步是光刻胶的固化。
为了保护曝光后的光刻胶不受到污染或损害,可以使用紫外线照射或热处理来固化光刻胶。
固化后的光刻胶会变得更加耐久和稳定。
第五步是蚀刻。
将固化后的光刻胶保护住的部分区域暴露在蚀刻剂中,蚀刻剂会溶解或去除这些区域下的材料。
根据需要,可以使用不同的蚀刻剂,如湿法蚀刻剂或干法蚀刻剂。
蚀刻剂的选择取决于要制作的图形和所使用的材料。
第六步是去除光刻胶。
在完成蚀刻后,需要将剩余的光刻胶从硅片上去除。
这可以通过使用溶剂或清洗剂来实现,将硅片浸泡在其中,以溶解光刻胶并清洗硅片表面。
通过以上步骤,黄光工艺流程可以在硅片或其他材料上形成期望的图形。
这些图形可以用于制造微芯片、光学元件、显微镜、传感器等。
黄光工艺流程的精度和重复性较高,成本较低,因此在电子、光电子学和半导体工业中得到广泛应用。
总之,黄光工艺流程是一种通过曝光、显影、固化和蚀刻等步骤来制造精密图形的工艺流程。
这种工艺流程在半导体制造和其他领域具有重要的应用价值,可以实现微米级甚至纳米级的结构制造。
黄光工艺触摸屏
黄光工艺触摸屏是一种可接收触头等输入讯号的感应式液晶显示装置,当接触了屏幕上的图形按钮时,屏幕上的触觉反馈系统可根据预先编程的程式驱动各种连结装置,可用以取代机械式的按钮面板,并借由液晶显示画面制造出生动的影音效果。
原理特征
利用压力感应进行控制触摸屏。
触摸屏作为一种最新的电脑输入设备,它是目前最简单、方便、自然的一种人机交互方式。
它赋予了多媒体以崭新的面貌,是极富吸引力的全新多媒体交互设备。
黄光工艺
微影技术说起,即可略知一二。
微影技术是将光罩上的主要图案先转移至感光材料上,利用光线透过光罩照射在感光材料上,再以溶剂浸泡将感光材料受光照射到的部份加以溶解或保留,如此所形成的光阻图案会和光罩完全相同或呈互补。
由于微影制程的环境是采用黄光照明而非一般摄影暗房的红光,所以这一部份的制程常被简称为“黄光”。
微影制程很好地实现了黄光工艺触摸屏视觉上的精准度。
应用
主要应用于公共信息的查询、领导办公、工业控制、军事指挥、电子游戏、点歌点菜、多媒体教学、房地产预售等。
iphone5感应线路就是采用黄光工艺的触摸电容屏,此种电容屏有助于手机在超窄边框上面布线,使手机工艺如钟表般精细,更薄,身材更漂亮,更有利于超窄边款手机的散热,更是贴合技术的绝配。
触摸屏黄光制程介绍触摸屏黄光制程介绍高精度网印制版及印刷技术是触摸屏制程中的核心技术,随着触摸屏市场的迅猛发展,对触摸屏生产成本和技术的要求也越来越高,谁的成本低、技术精,谁就能抢先占领市场,这同时也给触摸屏厂家就选择什么制程更能符合公司长远发展提出了疑问,那么触摸屏厂家到底是选择黄光制程还是印刷制程呢?11. 51Touch:利满洋行主要从事滚筒印刷制程,是这方面的专家,请您就目前黄光制程和滚筒印刷制程的区别做一个详细的介绍吧。
利满洋行:黄光制程和滚筒印刷制程就印刷制程而言,在成本和工艺上还是有很大区别的,我这里有一个比较详细的描述与大家分享一下:一、TP厂 : 黄光制程 vs 印刷制程黄光制程 vs 印刷制程二、黄光制程与滚筒网印的投资评估比较.1.) 黄光制程设备投资成本昂贵.- 黄光制程投资额由RMB 20M-70M不等,如卷对卷制式更不止此数,- 上下游工序、材料均须另作配合,- 樱井滚筒机的投资额相对是小巫见大巫了。
2.) 黄光制程设备占地面积较大, 影响生产厂使用的灵活性.任何工厂需要生产安排的灵活性,纵使黄光制程有其优点,而优点往往从接“大单“中才能反映出来,因其制程必须使用一定的蚀刻用化学剂,TP工厂接单的“单头量”直接影响每件成本,而现今电子产品讲求多花样,推陈出新是生存之道,所以TP厂的灵活性不是任何先进生产方式可以代替的。
樱井滚筒机设备摆放也不需要特定的楼层/位置, 而生产时只需要换网板就能马上生产不同尺寸的型号机种了。
3.) 制程设备投资与长远使用性风险评估.黄光制程是30多年前由MEMS 开始在半导体业界采用,20多年前TFT LCD厂家也开始使用,后来应用面扩展到PV 和TP,相对于PV 和TFT , TP结构比较有多变的空间,尤其各品牌都追求薄和轻,这趋势都直接引伸出不同的工艺模式,高昂的黄光制程投资额使投资风险一直成为决策的最大障碍。
在国内TFT 用黄光也不到10年,TP就更不用说了,但网印在国内累积了大量经验和人材,而TP厂的网印技术与人才皆是公司的重要资产,企业投资在现成和累积的资产上,使它延伸及增值,对长线企业发展最为有利。
黄光制程工艺流程黄光制程工艺是一种在半导体加工中常用的工艺流程,它主要用于芯片制造中的光刻步骤。
光刻是一种将芯片设计的图案转移到硅片表面的关键工序。
在黄光制程中,光刻胶和光罩的使用对于芯片的质量和性能起着至关重要的作用。
下面是关于详细的描述,以帮助读者更好地理解这个过程。
第一步:准备光罩首先,我们需要准备好用于光刻的光罩。
光罩是一种具有所需图案的透明薄片,其材料通常是玻璃或石英。
光罩上的图案由芯片设计师根据芯片功能需求制作。
光罩的制作通常使用电子束曝光或激光曝光等方法。
第二步:准备硅片准备好待加工的硅片。
这些硅片通常经过前期的清洗和抛光等处理。
在准备硅片时,必须确保其表面平整且干净,以便后续的光刻步骤可以获得最佳效果。
第三步:涂覆光刻胶将硅片放置在旋涂机上,然后将光刻胶均匀地涂覆在硅片表面。
光刻胶可以保护硅片表面不受氧化和污染物的侵蚀,并提供一个平坦的表面用于将图案转移到硅片上。
涂覆光刻胶后,通常使用烘烤等方法进行固化,以确保光刻胶的性能和稳定性。
第四步:对齐和曝光将准备好的光罩放置在光刻机上,并将其与涂覆了光刻胶的硅片对准。
通过微调光罩和硅片的位置,确保图案的精确对齐。
然后,使用紫外线或深紫外线等光源对光罩进行照射,以将图案转移到光刻胶上。
照射时间和强度的控制非常重要,可影响芯片的精度和分辨率。
第五步:显影曝光后,将硅片放入显影机中进行显影。
显影是使用显影液将未曝光的光刻胶部分溶解掉,从而暴露出硅片上的图案。
显影液的选择和浸泡时间需要根据光刻胶和芯片制造的要求进行优化。
第六步:清洗将经过显影的硅片进行清洗,去除残余的光刻胶和显影液。
清洗过程通常使用化学溶剂和超声波技术,以确保芯片表面的干净和平整。
第七步:检验和测量对清洗过的芯片进行检验和测量。
这可以包括检查图案的完整性和准确性,以及芯片上不同部分的厚度、尺寸和形状等参数的测量。
第八步:后续处理根据芯片的具体用途,可能需要进行一些附加的工艺步骤,如沉积金属层、刻蚀等等。
黄光工艺1. 介绍黄光工艺(Golden Photolithography)是一种常用于集成电路制造过程中的生产工艺,主要用于芯片上的图案形成和微影扩大。
它是将光通过透镜传导到光刻胶上,通过光刻胶的化学反应将图案转移到硅片上的一种技术。
黄光工艺在现代芯片制造过程中起着重要的作用,它可以制造出高分辨率、高精度的微细图案,使得芯片性能得到提升。
本文将介绍黄光工艺的原理、步骤和应用。
2. 工艺步骤黄光工艺主要包括以下步骤: 1. 制备硅片:首先,需要选择适当纯度的硅片,并进行表面处理,以确保图案能够精准地转移到硅片上。
2. 涂覆光刻胶:将光刻胶均匀地涂覆在硅片表面,形成一层厚度均匀的光刻胶薄膜。
3. 预烘烤:将涂覆有光刻胶的硅片进行预烘烤,使得光刻胶在硅片表面形成薄膜,并且排除其中的气泡。
4. 掩膜/曝光:在光刻胶表面放置一张掩膜,掩膜上有所需的图案,然后利用光刻机进行曝光,使得掩膜上的图案转移到光刻胶上。
5. 显影:将曝光后的硅片浸泡在显影液中,使得未曝光的光刻胶被溶解掉,形成所需的图案。
6. 清洗:清洗已经显影完毕的硅片,去除掉余下的光刻胶和显影液。
7. 退火:通过高温退火的过程,使得光刻胶更加牢固地附着在硅片上。
8. 重复以上步骤:根据需要,可以重复以上步骤,逐步形成复杂的图案。
3. 黄光工艺的原理黄光工艺的原理是利用光的作用,将图案转移到光刻胶上。
其基本原理如下:1. 光刻胶的感光性:光刻胶在曝光的过程中会发生化学反应,可被光的能量激发。
2. 掩膜的功能:掩膜上有所需的图案,它会在光的照射下,将图案投射到光刻胶上。
3. 光的传导:通过光刻机中的透镜和光源,使得光能被聚焦并传导到掩膜上。
4.显影液的作用:显影液能够溶解掉未经曝光的光刻胶,使得图案出现。
4. 应用领域黄光工艺广泛应用于集成电路制造、光电子器件制造、传感器制造等领域。
它可以高精度地制造出微细的芯片结构,实现更小、更快的集成电路和传感器等器件。
TP触摸屏的黄光工艺黄光工艺黄光详细工艺黄光最详细工艺1. PR 前清洗A. 清洗:指清除吸附在玻璃表面的各种有害杂质或油污。
清洗方法是利用各种化学浓剂(KOH)和有机浓剂与吸附在玻璃表面上的杂质及油污发生化学反应和浓解作用,或以磨刷喷洗等物理措施,使杂质从玻璃表面脱落,然后用大量的去离子水(DI 水)冲洗,从而获得洁净的玻璃表面。
(风切是关键)B. 干燥:因经过清洗后的玻璃,表面沾有水或有机浓剂等清洗液。
这样会对后续工序造成不良影响,特别是对后续光刻工艺会产生浮胶、钻蚀、图形不清晰等不良现象。
因此,清洗后的玻璃必须经过干燥处理。
目前常采用的方法是烘干法,而是利用高温烘烤,使玻璃表面的水分气化变为水蒸气而除去的过程,此方法省时又省力。
但是如果水的纯度不变,空气净化等不多或干燥机温度不够,玻璃表面残存的水分虽经气化为蒸气,但在玻璃表面还会留下水珠,这种水珠将直接影响后续工序的产品质量。
C. 十槽清洗机,PR 清洗机制程参数之设定:1—3 槽KOH 溶液为0.4~0.7N,温度为60±5℃,浸泡时间为2~3min/槽纯水溢流量为0.5±0.2 ㎡/n.,KOH 溶度为1.0N~1.6N,温度为40±5℃,喷洗压为0.2~1.0kgf/c ㎡,传动速度为3.0~4.5m/min,磨刷转速为85~95rpm,压力为0.2~1.0kg/c ㎡,纯水温度为40±5℃,干燥机1.2.3 段温度为110℃±10℃。
注:玻璃清洗洁净度不够之改改善对策,适当加入少许KOH 溶液,改变KOH,溶液,经常擦拭风切口,喷洗等处,亦可调态清洗机传动速度,将传速度减慢。
2. PR 涂佈光刻是一种图形复印和化学腐蚀相结合,综合性的精密表面加工技术。
光刻的目的就是按照产品设计要求,在导电玻璃上覆感光胶。
A.光刻胶的配制光刻胶的性能与光刻胶的配比有关。
配比的选择原则是即要光刻胶是有良好的抗蚀能力,又要有较高的分辨率。
TP制程详细介绍解析TP制程是一种用于生产制造业产品的生产管理方法,它是基于生产计划进行生产,以实现高效率和高质量的生产过程。
TP制程主要包括生产计划、生产控制和生产改进三个环节,下面将详细介绍TP制程的具体内容。
1.生产计划:生产计划是TP制程的核心,它主要包括产品需求计划、生产计划和物料需求计划三个方面。
首先,产品需求计划是基于市场需求、销售预测和库存情况等数据,确定产品的未来需求量和生产时间表。
通过分析市场和销售数据,制定产品的产量和交货周期,以满足市场需求。
其次,生产计划是根据产品需求计划,确定生产资源的分配和产能安排,制定生产的时间表和计划。
通过分析生产能力和资源情况,确定生产的数量和时间,实现生产的规模化和可控制性。
最后,物料需求计划是基于产品需求计划和生产计划,确定所需物料的数量和采购时间,以保证生产的顺利进行。
通过分析产品的BOM表和库存情况,制定物料的采购计划,确保所需物料的准时供应。
2.生产控制:生产控制是TP制程的执行环节,它主要包括生产调度、生产执行和生产跟踪三个方面。
首先,生产调度是根据生产计划,对生产工序和机器设备进行合理的安排和调度。
通过分析生产资源和工序的情况,确定各项生产任务的时间表和执行顺序,以提高生产效率和资源利用率。
其次,生产执行是指按照生产计划和调度安排,进行生产任务的具体操作和实施。
通过控制生产过程的参数和操作,确保产品的质量和生产的稳定性,减少资源的浪费和消耗。
最后,生产跟踪是通过对生产过程进行监控和追踪,实时了解生产任务的进展和完成情况。
通过收集和分析生产数据,识别生产问题和瓶颈,及时进行调整和改进,提高生产效率和质量。
3.生产改进:生产改进是TP制程的持续改进环节,它主要包括质量管理、成本优化和效率提升三个方面。
首先,质量管理是通过建立和实施质量控制体系,确保产品质量的稳定和可靠。
通过制定质量标准和检查流程,对产品进行检测和验证,提高产品的一致性和可靠性。