EX-3000简易操作说明——（以Au/Ni/Cu为例）一、打开电脑，双击图标，打开EXWIN软件，如图1，提示“进行能谱校正吗？”，点击是。
一般在连续使用两小时后在“校正”菜单下点击“X线能谱校正”，也可选择定时“校正ON/OFF”，间隔一段时间机器自己会做。
图1二、选择“文件”的子菜单“检量线文件（C）”得到图2三、任选一空白处点击得到图3当选择两层的镀层时，会有合金与二层的选择，根据实际镀层情况做适当的选择。
图2手动输入检量线文件名，如Au/Ni/Cu点击 空白处，选择 镀层、底 材，如图4、图5 点击选择孔径，如0.5mm 可输入0~999一般设定60 多用默认值数位式不需要用滤波器滤波器、机器可以自动设定能量多用默认值 图4图3点选需要的元素然后点击即可。
下面就是填写完成的图片四、点击 或者 做六点校正，如图7点击6点校正得到图8，在这里系统会再次提醒“进行能谱校正吗？在这里可以点否。
根据自己标片厚度填写，如镍的是 5.17um,金是0.56um.然后把标准片对应放好，测量六点后，点击 就完成检量线的制作过程，如图10。
图6 图5 图7 图6图8五、检量线完成，又回到初始界面，这时候点击“测量”的子菜单“手动测量（M）”，出现手动测量文件选择界面，如图11点击空白处出现，图12、13，这里是“一般”选项，如下手动输入文件名，用户名、品名、批号测量者。
膜厚值超厚时的数据的处理有两种方式，一是用指定表示的最大值，或不保留数据。
图9 图10图11六、再点击“检量线”选项，得到图14。
在“检量线”对应的空白选择刚才制作的检量线，测量时间可设定1~999秒一般为10秒。
点击 ，放好样品就可以测量了。
图12图14 图13 图15。
