半导体分立器件封装测试车间洁净级别1万级的分析

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可行性分析
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关于车间局部万级改造的分析
关于生产车间划片区域局部岗位约需要80m2的洁净级别为万级的区域,进
行方案规划及技术经济分析。
一、改造前提:
 洁净级别:10000级,ISO CLASS 7
 区域面积:80m
2

 区域位置:原划片工段内
 产品/工艺:硅片切割划片
 区域人数:6人/班
 动力需求:与划片区相同
 FM要求:
 不燃烧体岩棉夹芯彩钢板
 CLASS 0级阿乐斯
 耐火阻燃电缆
 测试条件:满足静态测试洁净级别
 其他要求:
 人流/物流充分、可靠清洁
 本改造不含工艺设备与HOOK-UP
二、可选择的方案如下 :
A、方案(一)、在K-1区域西侧分隔出一个单独的系统AHU K-9。
1、系统基本配置:
 需要用彩钢板分隔出
 空调机房一个面积约25m
2

 二次更衣间一个面积约12m
2
 气闸间/风淋室一个面积约10m
2
 双侧下回风道占地面积增加约10 m
2
 万级区域面积约80m
2
 吊顶板彩钢板面积约130 m
2
 空调机房吸音板约90 m
2
 增加组合式空调机组AHU-K-9(15000M3/H)一台、风淋室一套
 空调换气次数:不低于35次
 增加风管、风阀、侧下回风口若干
 出屋面风道,屋面结构可靠修复
 增加高效过滤器10IA型约12个,05IA型约2个(可利用旧有)
 增加空调水系统管道、排水管道若干
 增加蒸汽加热、加湿系统管线若干
 增加空调自动控制系统一套
 增加设备动力配电电缆若干、动力柜一个
 相关原有位置灯具、围护结构壁板顶板、夹层上风、水、气体动
力管线拆除/移位;消防系统变更;地面改造。
 改造洁净措施,隔离围护约150M2
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2、费用估算:
 建筑、围护结构6.5万元
 空调机组 10万元
 风淋室约12万
 高效过滤器2万元
 风路系统7万元
 水、气管线系统2万元
 电照系统5万元
 自动控制系统10万元
 拆除及洁净措施费用4.5万元
 设计费用1~2万元
 测试/综合调试费用5万
 其他不可预见费用5万元
合计:约70万元
3、施工改造难度:很大

B、方案(二)、把K-1区域AHU系统全面升级为万级系统。
1、基本配置:
 需要用彩钢板分隔出
 二次更衣间一个面积约15m
2

 气闸间/风淋室一个面积约10m
2
 双侧下回风道占地面积增加约10 m
2
 组合式空调机组AHU-K-1机组变更改造风机段/重新购置机组一台、
风淋室一套
 增加风管、风阀、侧下回风口若干
 增加高效过滤器10IA型约8个
 局部更换空调水系统管道
 更换动力电缆若干
 相关原有设施全部利旧
 改造洁净措施,隔离围护约50M2
2、费用估算:
 建筑、围护结构4万元
 空调机组 18万元
 风淋室约12万
 高效过滤器2.4万元
 风路系统5万元
 水、气管线系统2万元
 电照系统2万元
 自动控制系统重新接线1万元
 拆除及洁净措施费用2.5万元
 设计费用1~2万元
 测试/综合调试费用5万
 其他不可预见费用5万元
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合计:约61万元
3、施工改造难度:较大

C、方案(三)、把K-1区域需要万级的系统设置局部层流罩。
1、基本配置:
 需要用彩钢板分隔出双侧下回风道占地面积增加约10 m
2

 100级层流组件面积40m2只净化不空调,
 只保证关键设备区域的单向流气流组织和换气次数的提高
 吊顶加固,夹层部分原有设施拆除/移位
 增加风管、风阀、风口若干
 增加动力电缆若干
 相关原有设施全部利旧
 改造洁净措施,隔离围护约150M2
2、费用估算:
 建筑、围护结构 2.5万元
 层流组件面积(40m2) 24万元
 层流组件结构固定件及制安 4万
 风路系统3万元
 电照系统3万元
 层流组件控制接线1万元
 拆除及洁净措施费用2.5万元
 设计费用1万元
 测试/综合调试费用5万
 其他不可预见费用5万元
合计:约51万元
3、施工改造难度:一般

三、各方案的技术经济分析:
 方案(一)技术上满足工艺要求,但存在需要单独设置相对大量辅助
用房和动力设备配置,需要单独配置额外的自动控制系统;且不便于
管理、维护,运行后备件费用增加,潜在着噪音大、再改造困难等问
题。
 方案(二)在技术上满足工艺要求的前提下,把K-1区域AHU系统
全面升级为万级系统。不需要再另外配置自动控制系统,也没有额外
的管理维护,而且给K-1区域的工艺灵活布置提供先决条件。
 方案(三)、把K-1区域需要万级的系统设置局部层流罩。在技术上只
保证关键设备区域的单向流气流组织和换气次数的提高,如果生产操
作不当,则不能完全保证满足工艺要求,建造费用相对低,但由于设
备风格与一期有差异,存在维修困难、备件互换性差等问题。
 技术合理性:
 方案一,虽与一期风格一致,但建造、运行的风险都比较大。
 方案二,考虑到K-1系统现状和升级潜力,并充分利旧改造。
 方案三,可作为临时性过渡方案,技术上基本合理。
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 无论何种方案,都存在影响生产的问题。
 从改造项目的生命周期上:
 三种方案的规划设计周期基本相等,均为6周左右时间
 设备招标采购周期均至少为5周
 项目建造招标合同签定周期均至少为3周
 施工建造阶段,方案一需要时间最长,方案二次之,方案三最短。
 综合调试的时间,方案一最长,方案三次之,方案二最短。
 从初投资上可见,方案一最高,方案二次之,方案三最低。
 运行能耗:方案一最高(电、冷冻水、蒸汽均单独增加),方案二次
之(只增加电耗),方案三(电耗)最低。
 维护费用:方案一最高,方案三次之(额外的维护),方案二最低(机
组类型与原K-1一致)。

经过综合分析比较,建议选择方案二。
四、各方案草图:
见附件。
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附件:方案一草图

走廊
万级区域
AHU机组

风淋 二更
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附件:方案二草图

走廊

全部成为万级区域
风淋 二更

AHU机组
K-1改/换
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附件:方案三草图

走廊

十万级区域
层流组件,模块拼装
保证局部工位高于万级