离子束溅射法制备La0.5Sr0.5CoO3薄膜的拉曼光谱分析

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( 晶片, 单 面心 立方 结 构 , =052n a .15m,Cf 型 ) 晶  ̄' , 2 向为 <10>。溅 射 条 件 : 1 本底 真 空度 为 12×1 . 0
P , 射 真 空 度 为 2 0×1 ~P 30×1 一P 。离 a溅 . 0 a . 0 a
处理 温 度 和 不 同 衬 底 对 LC S O薄 膜 材 料 的 晶体 结 构、 分子 振动模 式和化 学键 的影 响 。
有关 。
关键词 : 离子束溅 射 ; . r5 o j 5 o C O薄膜 ;拉曼光谱 S.
中图 分 类 号 : 434 0 1 . 0 3 .; 643 3 文献标识码 : A 文章 编 号 :0407 (0 80.0 1 5 10-2720 )309. 0
钙 钛 矿 型 A 0 复 合 氧 化 物 I】 Sx o 3 B3 J一 rC0 a
中 , 10  ̄ 在 20C的温度下 烧结 lh作 为离 子束 溅射 靶 O, 材 。使 用 L 一1型双 枪 多 靶 离 子束 溅射 镀 膜 机 , J 在
铝酸镧 ( a l 和 氧 化 钇稳 定 的பைடு நூலகம்氧 化 锆 ( S ) 底 L AO ) Yz 衬
上溅 射 L C S O薄 膜 。衬 底采 用 IA0 ( 晶 片 , 钛 J 13单 a 钙


的 拉 曼 光 谱 分 析
王 强, 丁铁柱 , 张利文 , 姜 涛
( 内蒙 古大 学 理工 学院 物理 系 , 内蒙古 呼和 浩特 002) 10 1

要: 采用 离子束溅 射在氧化钇 稳定 的氧化锆 ( S ) Y Z 和铝 酸镧 (a L
) 上制备 了 . r5 o 3 5 o C O 的钙钛 矿薄 S.
收稿 日期 :060.2 20 - 1 9
子束 由高纯 氩气 经 电离 加 速 后 获得 , 电 电压 和 电 放 流分别 为 6V和 11 加速 电压 为 30 离 子束 电 0 .A, 2V,
作者简 国 基金项目: 家自 介 然科学基金项目 资助( 4 01; 蒙古大学 5 人 1 6 0)内 04 1 才计曰项目 3 J l
(S O) L C 是一 种高 温 电子 、 子 混合 导体 , 离 由于 L C SO 的热力 学性质 在较 宽 氧 分 压 范 围 内稳 定 , 因此 它 可
l 实验
采用 固相 反 应 法 , 原 料 0 ( 99 %) S. 将 3 9 .9 , r C 39 %) C 2 39 %) O (9 ,00 (9 按所 需 要 的摩 尔 比称 取 , 充
矿立 方结 构 , =0 32 n , 向为 <10 和 Y Z a .8 1m) 晶 0 >, S
着 C3 杂 量 的提 高 声 子 的耦 合 出现 混 乱 态。 o 掺
Pp 等人 研 究 了制 备 方 法 、 光 功率 、 度 和 oaM 激 温
晶体对称 性 等 因 素 对斜 方 六 面 体 型 L C 0 材 料拉 ao 3 曼光 谱 的影 响 。本 文 利用 拉 曼 光 谱 , 究 了不 同热 研
膜 。利用拉曼光谱 , 研究 了不 同热处理温 度和不 同衬底对 L C S O薄膜材料 的晶体结构 、 分子振动模式和化学键 的影 响。研究发现 . r5 o3 5 o CO 钙钛矿薄膜的晶体结构随着热 处理温度 的升 高发生明显 的相变 , S. 由排列无 规则态朝着 正交晶系结构转变 ,o C 一0键构成的八面体间的相对运动强度逐 渐减弱。另外 , 还发现 5r5o 3 S . O 钙钛矿薄膜在 oC 衬底 氧化锆 ( S ) 的 C 一0键振 动频率要 小于在衬 底铝酸镧 (. O ) YZ上 o I 3 上的振 动频率 ,  ̄ 这与两者 的品格 失配程度
研 磨好 的粉 料在 10  ̄ 2 0C的温 度煅 烧 1h后 , 样 品 2 把
5 r 5o 3 膜 的 晶 体 结 构 、 S 0 C0 薄 分

充 分粉 碎研磨 , 再把 粉体 样 品放在 Y N7Z一20型 A 5 0
液压 机 上 以 10吨 的 压力 压 制 成直 径 为 10 m, 6 0 m 厚 度 为 5 m的 圆饼 型样 品。最 后 把 样 品放 入 烧 结 炉 m
子振 动模式 和化 学键 的影 响 , 尚没 有 进行 系统 的研 究 。众 所周 知 , 曼光 谱能 够提供 分 子单元 结构 、 拉 结 构相 变 、 杂质 缺陷 等信息 l , 5 是研究 分 子振 动特性较 J 好 的手 段 , 曼 光 谱 已被 用 来 研 究 这 类 材 料 的结 拉 构【 J 。MonSi t e hMd等人 [研究 了温度 引起 I. i k 6 J J a C0的声子 自旋 态 的 转 变 , 现 在 转 变 温 度 以上 随 o3 发
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第 2卷 第 3 9 期 20 年 6月 08


Vo . No 3 129. .
Chn , r r s i ee Rae Eat q . h
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离 子 束 溅 射 法 制 备 L o S o5 o 3 膜 a 5 r CO 薄
以作 为固体 氧 化 物 燃 料 电池 (O C) S F 的一 种 优 越 的 阴极材 料 … 。人们 对其 晶体 结构 、 1 电子 结构 、 电输运
性能方 面进行 了广 泛 的研 究 [ , 而不 同衬底 、 “J然 不 同热处理 温度 对

分混合 后加 入无水 乙醇 在玛 瑙研 钵 中充 分研磨 。将
王 强 (9 0)男 , 18 ., 山东安丘人 . 硕士研究生 , 研究方 向: 稀土材料物理 。 : *通 讯联 系人
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第2 9卷
压和 电流为 10 V和 6 m 溅 射 时 间为 3mi。然 10 0 A, 0 n