非球面零件超精密加工技术
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球面与非球面的区别光学透镜的镜面通常是制成球面状的,从透镜中心到周边有一定的曲率,这种透镜称为球面透镜。
非球面透镜的镜面则是从透镜中心到周边曲率作连续变化的,非球面透镜又有单面非球面和双面非球面两种。
现代相机镜头要求较高的光学性能、需要校正多种像差。
前面已讲到,由球面透镜组成的镜头,是采用多片透镜的组合来克服像差的。
这种由球面透镜组成的镜头,会不同程度地存在一定的“球差”。
采用非球面透镜组成的镜头则能有效地克服“球差”。
非球面透镜组成的镜头,其优点包括如下四个方面:一是能理想地克服球差,可以制成大口径高像质镜头;二是能全向提高镜头的成像质量;三是能减少镜头的透镜片数;四是可以减少镜头的长度,有利于镜头小型化,参见图1—2。
所谓球面和非球面,主要是针对镜头(各种相继、显微镜等镜头)、眼镜(包括隐形眼镜)的镜片几何形状而言,即球面镜片与非球面镜片。
二者在几何形状上的差别决定了它们在平行的入射光的折射方向上产生差异,从而影响其成像效果的好坏。
球面镜片,其镜片呈球面的弧度,其横切面亦呈弧状。
当不同波长的光线,以平行光轴入射后镜片上不同的位置时,在菲林平面(与镜片中心和镜片焦点联机相垂直的、通过焦点的平面)上不能聚焦成一点,而形成像差的问题,影响影像的质素,例如出现清晰度下降和变形等现象。
一般普通镜头是采用球面镜片组成的。
为解决这一成像问题,可以透过在镜身内增加镜片以作为对像差的矫正,但此举可能会引起反效果,进一步削弱影像质素,因为额外的镜片,除增加光线在镜身内反射的机会,引起耀光现象外,亦会增加镜头的体积和重量。
非球面镜片,其镜片并非呈球面的弧度,而是镜片边绿部份被「削」去少许,其横切面呈平面状。
当光线入射到非球面镜面时,光线能够聚焦于一点,亦即菲林平面上,以消除各种象差。
例如耀光现象在球面镜使用大光圈会比细光圈下拍摄来得严重,但若然加入非球面镜便可将耀光情况大大降低;又例如影像呈现变形(枕状或桶状),乃因镜头内的光线没有适当折射而产生,以变焦镜为例,短焦距时通常是桶状变形而变焦至长焦距时则为枕状变形,若采用非球面镜,则可以改善这方面的像差。
DIFF SYS®光学超精密金刚石车削软件简介:DIFFSYS为Western Isle公司产品,该公司位于英国北威尔士,DIFFSYS软件的开发已有10多年的历史,现今仍在持续的研发升级。
DIFFSYS软件是目前世界上唯一商业化的单点金刚石非球面车削软件,除非球面以外还可以完成衍射元件及自由曲面的编辑,并且可以与其他的计量仪器一起对加工数据进行误差校正(如:Taylor Hobson轮廓仪)及CAD数据导入。
主要特性:⏹软件采用模块化设计,可根据客户不同的需求选取不同的搭配方案;⏹DIFFSYS输出文件格式为ASCII,适应目前所有主流机型;⏹操作简易,并且给出明确的图像分析;⏹可导入多种不同格式的数据;⏹刀具的校正功能,确保加工精度(强大的实用性,几乎可以输入任何一个与加工有关的参数,之后对参数进行校正,确保加工精度);⏹有着优秀的研发人员,可确保良好的技术支持及售后服务。
软件操作界面应用类别主要设计类型:非球面,衍射光学元件,离轴非球面,环面,自由曲面。
软件采用模块化设计可针对不同的几何形体,使用不同的软件模块。
分区选项:衍射元件,菲涅尔元件,混合元件。
3D选项:离轴非球面,环面,柱面,多项式自由曲面,泽尼克表面,微透镜阵列。
非球面的设计关于非球面的设计采用标准的非球面公式:z=Cx2/ [1+sqrt(1-(1+k)·C2x2)]+a[2]x2+a[3]x2+...其中:a[2]、a[3]...为常数,C是半径的倒数,K是圆锥系数,x为x轴坐标值,镜片的高度为Z。
微透镜阵列①②③图①~③分别为自由曲面、离轴非球面及柱面的设计方案MC2/MC3选项:可导入2D/3D表面或测量数据。
2D数据导入(Taylor Hobson)3D数据的导入及面型图像以上可以根据用户的不同需求来调整搭配方案,方便客户的使用。
第1章超精密机床结构设计1.1超精密加工技术与超精密加工机床概述1.1.1超精密加工技术的概念超精密加工技术是上世纪50年代未、60年代初发展起来的一项新技术,由于电子技术、计算机技术、宇航和激光等技术发展的需要,美国就组织有关公司和研究机构进行微米级加工技术的研究,在美国诞生的金刚石刀具镜面车削技术催生了超精密加工技术。
1962年美国首先研制出超精密车床(Union Carbide公司,超精密半球面车床),在该机床上使用单刃金刚石车刀加工直径101.6mm的铝合金半球面,成功地实现了镜面车削,尺寸精度达±0.6m,表面粗糙度为Ra0.025m,迈出了微米级超精密加工的第一步。
目前,超精密加工还没有确切的统一定义。
就其加工而言,超精密加工有两种含义,一是指向传统加工方法不易突破的精度界限挑战的加工;二是指向实现微细尺度界限挑战的加工,即以微电子电路生产为代表的微细加工。
一般认为,加工精度高于0.1微米,粗糙度优于百分之几微米的为超精密加工,更严格的说,尺寸精度为IT-1(在100左右时为0.25m,粗糙度为Ra0.025m)或更高的为超精加工。
所谓微细加工是指在加工微小尺寸零件或微小尺寸结构时,能达到极微细的位移精度和极高的重复精度的加工。
超精密加工技术是尖端技术产品发展中不可缺少的关键加工手段,不管是军事工业还是民用工业都需要这种先进的加工技术。
例如,关系到现代飞机、潜艇、导弹性能和命中率的惯导仪表用精密陀螺、激光核聚变用的反射镜、大型天体望远镜的反射镜和多面棱镜、大规模集成电路的硅片、各种光学仪器的反射镜、陀螺仪框架、伺服阀、激光打印机用的多棱镜、复印机的感光鼓;计算机的硒鼓、磁盘;陀螺仪用的空气轴承、导弹零件、精密泵零件、动压马达;高速摄影机和自动检测装备的扫描镜、激光加工机的多曲面反射镜和聚光镜;录象机的磁头和煤气灶的转阀等都需要超精密加工。
从某种意义上说,超精密加工担负着支持最新科学技术进步的重要使命,也是衡量一个国家科学技术水平的重要标志之一[1]。
1.1非球面光学零件的作用非球面光学零件是一种非常重要的光学零件,常用的有抛物面镜、双曲面镜、椭球面镜等。非球面光学零件可以获得球面光学零件无可比拟的良好的成像质量,在光学系统中能够很好的矫正多种像差,改善成像质量,提高系统鉴别能力,它能以一个或几个非球面零件代替多个球面零件,从而简化仪器结构,降低成本并有效的减轻仪器重量。
非球面光学零件在军用和民用光电产品上的应用也很广泛,如在摄影镜头和取景器、电视摄像管、变焦镜头、电影放影镜头、卫星红外望远镜、录像机镜头、录像和录音光盘读出头、条形码读出头、光纤通信的光纤接头、医疗仪器等中。
1.2国外非球面零件的超精密加工技术的现状80年代以来,出现了许多种新的非球面超精密加工技术,主要有:计算机数控单点金刚石车削技术、计算机数控磨削技术、计算机数控离子束成形技术、计算机数控超精密抛光技术和非球面复印技术等,这些加工方法,基本上解决了各种非球面镜加工中所存在的问题。前四种方法运用了数控技术,均具有加工精度较高,效率高等特点,适于批量生产。
进行非球面零件加工时,要考虑所加工零件的材料、形状、精度和口径等因素,对于铜、铝等软质材料,可以用单点金刚石切削(SPDT)的方法进行超精加工,对于玻璃或塑料等,当前主要采用先超精密加工其模具,而后再用成形法生产非球面零件,对于其它一些高硬度的脆性材料,目前主要是通过超精密磨削和超精密研磨、抛光等方法进行加工的,另外.还有非球面零件的特种加工技术如离子束抛光等。
国外许多公司己将超精密车削、磨削、研磨以及抛光加工集成为一体,并且研制出超精密复合加工系统,如RankPneumo公司生产的Nanoform300、Nanoform250、CUPE研制的Nanocentre、日本的AHN60―3D、ULP一100A(H)都具有复合加工功能,这样可以便非球面零件的加工更加灵活。
1.3我国非球面零件超精密加工技术的现状我国从80年代初才开始超精密加工技术的研究,比国外整整落后了20年。近年来,该项工作开展较好的单位有北京机床研究所、中国航空精密机械研究所、哈尔滨工业大学、中科院长春光机所应用光学重点实验室等。
为更好的开展对此项超精密加工技术的研究,国防科工委于1995年在中国航空精密机械研究所首先建立了国内第一个从事超精密加工技术研究的重点实验室。
2.非球面零件超精密切削加工技术美国UnionCarbide公司于1972年研制成功了R―θ方式的非球面创成加工机床。这是一台具有位置反馈的双坐标数控车床,可实时改变刀座导轨的转角θ和半径R,实现非球面的镜面加工。加工直径达φ380mm,加工工件的形状精度为±O.63μm,表面粗糙度为Ra0.025μm。
摩尔公司于1980年首先开发出了用3个坐标控制的M―18AG非球面加工机床,这种机床可加工直径356mm的各种非球面的金属反射镜。
英国RankPneumo公司于1980年向市场推出了利用激光反馈控制的两轴联动加工机床(MSG―325),该机床可加工直径为350mm的非球面金属反射镜,加工工件形状精度达0.25-0.5μm,表面粗糙度Ra在0.01-O.025μm之间。随后又推出了ASG2500、ASG2500T、Nanoform300等机床,该公司又在上述机床的基础上,于1990年开发出Nanoform600,该机床能加工直径为600mm的非球面反射镜,加工工件的形状精度优于0.1μm,表面粗糙度优于0.01μm。
代表当今员高水平的超精密金刚石车床是美国劳伦斯.利弗莫尔(LLNL)实验室于1984年研制成功的LODTM,它可加工直径达2100mm,重达4500kg的工件其加工精度可达0.25μm,表面粗糙度RaO.0076μm,该机床可加工平面、球面及非球面,主要用于加工激光核聚变工程所需的零件、红外线装置用的零件和大型天体反射镜等。
英国Cranfield大学精密工程研究所(CUPE)研制的大型超精密金刚右镜面切削机床,可以加工大型X射线天体望远镜用的非球面反射镜(最大直径可达1400mm,最大长度为600mm的圆锥镜)。该研究所还研制成功了可以加工用于X射线望远镜内侧回转抛物面和外侧回转双曲面反射镜的金刚石切削机床。
日本开发的超精密加工机床主要是用于加工民用产品所需的透镜和反射镜,目前日本制造的加工机床有:东芝机械研制的ULG―l00A(H)不二越公司的ASP―L15、丰田工机的AHN10、AHN30×25、AHN60―3D非球面加工机床等。
3.非球面零件超精密磨削加工技术3.1非球面零件超精磨削装置英国RankPneumo公司1988年开发了改进型的ASG2500、ASG2500T、Nanoform300机床,这些机床不仅能够进切削加工,而且也可以用金刚石砂轮进行磨削,能加工直径为300mm的非球面金属反射镜,加工工件的形状精度为0.3-O.16μm,表面粗糙度达Ra0.01μm。最近又推出Nanoform250超精密加工系统,该系统是一个两轴超精密CNC机床,在该机床上既能进行超精密车削又能进行超扬密磨削.还能进行超精密抛光。最突出的特点是可以直接磨削出能达到光学系统要求的具有光学表面质量和面型精度的硬脆材料光学零件。该机床采用了许多先进的Nanoform600、Optoform50设计思想,机床最大加工工件直径达250mm,它通过一个升高装置使机床的最大加工工件直径达到450mm,另外通过控制垂直方向的液体静压导轨(Y轴)还能磨削非轴对称零件,机床数控系统的分辨率达O.001μm,位置反馈元件采用了分辨率为8.6nm的光栅或分辨率为1.25nm的激光干涉仪,加工工件的面型精度达0.25μm,表面粗糙度优于Ra0.01μm。
Nanocentre250、Nanocentre600是一种三轴超精密CNC非球面范成装置,它可以满足单点和延性磨削两个方面的使用要求,通过合理化机床结构设计、利用高刚度伺服驱动系统和液体静压轴承使机床具有较高的闭环刚度,x和Z轴的分辨率为1.25nm,这个机床被认为是符合现代工艺规范的。CUPE生产的Nanocentre非球面光学零件加工机床,加工直径达600mm.面型精度优于0.1μm,表面粗糙度优于Ra0.01μm。CUPE还为美国柯达公司研究、设计和生产了当今世界上最大的超精密大型CNC光学零件磨床“0AGM2500”,该机床主要用于光学玻璃等硬脆材料的加工,可加工和测量2.5m×2.5m×O.61m的工件,它能加工出2m见方的非对称光学镜面,镜面的形状误差仅为1μm。
日本丰田工机研制的AHN60―3D是一台CNC三维截形磨削和车削机床,它能在X、Y和Z三轴控制下磨削和车削轴向对称形状的光学零件,可以在X、Y和Z轴二个半轴控制下磨削和车削非轴对称光学零件,加工工件的截形精度为0.35unl,表面粗糙度达Ra0.016μm。另外东芝机械研制的ULG―100A(H)超精密复合加工装置,它用分别控制两个轴的方法,实现了对非球面透镜模具的切削和磨削,其X轴和Z轴的行程分别为150mm和100mm,位置反馈元件是分辨率为0.01μm的光栅。
3.2非球面光学零件的ELID镜面磨削技术日本学者大森整等人从1987年对超硬磨料砂轮进行了研究,开发了使用电解InProcessDressing(ELID)的磨削法,实现了对硬脆材料高品位镜面磨削和延性方式的磨削,现在该方法己成功的应用于球面、非球面透镜、模具的超精密加工。
①ELID镜面磨削原理ELID磨削系统包括:金属结合剂超微细粒度超硬磨料砂轮、电解修整电源、电解修整电极、电解液(兼作磨削液)、接电电刷和机床设备。磨削过程中,砂轮通过接电电刷与电源的正极相接,安装在机床上的修整电极与电源的负极相接,砂轮和电极之间浇注电解液,这样,电源、砂轮、电极、砂轮和电极之间的电解液形成一个完整的电化学系统。采用ELID磨削时,对所用的砂轮、电源、电解液均有一些特殊要求。要求砂轮的结合剂有良好的导电性和电解性、结合剂元素的氢氧化物或氧化物不导电,且不溶于水,ELID磨削使用的电源,可以采用电解加工的直流电源或采用各种波形的脉冲电源或直流基量脉冲电源。在ELID磨削过程中,电解液除作为磨削液外,还起着降低磨削区温度和减少摩撩的作用,ELID磨削一般采用水溶性磨削液,全属基结合剂砂轮的机械强度高,通过设定合适的电解量,砂轮磨损小。同时能得到高的形状精度。应用这个原理,能实现从平面到非球面,各种形状的光学元件的超精密镜面磨削。
②ELID镜面磨削实验系统在RankPneumo公司的ASG―2500T机床上,装上由砂轮、电源、电极、磨削液等组成大森整ELID系统毛坯粗成形加工时使用400#、半精加工时使用1000#或2000#、作镜面磨削时使用4000#(平均粒径约为4μm)或8000#(平均粒径约为2μm)的铸铁结合剂金刚石砂轮,电解修锐电源(ELID电源),使用的是直流高频脉冲电压式专用电源,工作电压为60V,电流为lOA。所用的磨削液,使用时要求用纯水将水溶性磨削液AFH―M和CEM稀释50倍。
③ELID镜面磨削实验方法和实验结果作非球面加工时,通过安装在工件轴上的碗形砂轮(325#铸铁结合剂金刚石砂轮为φ30×W2mm)进行平砂轮的只成形体整,作10min的电解初期修锐之后,经过400#的粗磨和1000#的半精加工,最后再用4000#进行ELID镜面磨削,在超精密非球面加工机床上,借助ELID磨削技术,成功地加工出了光学玻璃BK―7非球面透镜。面型精度达到优于o.2μm,表面粗糙度达Ra20nm,而对于稍软如LASFN30和Ge等材料的非球面加工,同样能达到面型精度优于O.2-O.3μm,表面粗糙度达Ra30nm。
4.非球面零件的超精密抛光(研磨)技术超精密抛光是加工速度极慢的一种加工方法。不适合形状范成法加工,近年来,由于短波长光学元件、OA仪器和AV机器等的飞速发展,对零件的表面粗糙度提出了更高的要求,到目前为止还没有比超精密抛光更好的实用的方法,尤其当零件的表面粗糙度要求优于0.0lμm时,这种方法是不可缺少的,对形状精度要求很高的工件,如果采用强制进给的方