中仿科技公司
CnTech Co.,Ltd
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- 1 - 晶圆制程的多尺度和多物理场仿真
中仿科技公司（简称CnTech）是多物理场耦合分析软件COMSOL Multiphysics中国地区的独家代理商。本文基于东京电子股份有限公司（TEL）研发中心模拟晶圆制造工艺的成功故事，向大家介绍COMSOL
Multiphysics强大的多物理场耦合计算功能。
半导体晶圆的制造牵涉到大量的工艺，涵盖从米到纳米量级的多尺度和多物理场，经过对能够综合各种模拟环境的工具的寻找，最终定位于COMSOL Multiphysics。
- by Jozef Brcka of the TEL Technology Center (Albany, NY)
简介
对半导体制造过程的最优化设计，是一项艰巨的任务，因为需考虑很多因数对整体的影响。首先，在复杂的等离子环境下处理并加工材料和薄膜；其次，在制造工艺过程中，必须处理好流场和反应气体混合物，这对于静态或高频电磁场，以及中间态介质的耦合而言，都必须得到全面的考虑。以晶圆加工为例，放置晶圆的反应器的特征尺度通常是大于一米，同时还必须考虑到发生于纳米级的分子运动。更进一步地，工艺工程师和设计者感兴趣的时间尺度可从千分之一秒至数个小时。
在过去，由于对基础物理与化学现象未得到彻底的了解，晶圆的制造和工艺设备的设计大部分需依赖经验公式。纵使在各种研究机构中开发出专门的方程来执行模拟，但通常需要使用者精通这些工具，才能顺利地操作，况且这些方程通常也是通过简化几何或经验公式推导出来的。在建模不当的情况，要处理复杂的化学环境、热或电磁场问题，并预测出对工艺过程实际出现的情况，只能不断从错误中尝试，这样不仅耗费了大量的金钱，即使得到原理性的结果也需要相当长的时间。如果能够在数值模拟软件中建立正确的模型，则仅仅需要几天时间即可测试几十个案例，以最快的速度让新工艺上线。
CAE技术工程师岗位职责
CAE技术工程师是一种专业技术人员，主要负责计算机辅助工程（Computer Aided Engineering, CAE）技术的应用和开发工作。CAE技术工程师岗位职责大致分为以下几个方面：
1. CAE技术分析与评估：利用 CAE 软件和工程计算分析工具，进行各种工程问题的数值模拟分析和评估，如材料性能和应力分析、流体传输和温度分析、变形和振动分析等。
2. 产品开发与设计：依据客户需求或公司研发方向，优化产品设计，提高产品品质。利用 CAE 软件完成部件工程分析、装配工程分析、材料测试等。
3. CAE技术应用与研究：为公司研究与开发提供技术支持和服务，针对CAE技术领域的前沿技术和问题进行研究，并制定相应的实验方案和流程。
4. 项目管理与协调：负责 CAE 技术项目的管理和协调，制定项目计划和时间表，确保项目进度和质量。
5. 技术培训与知识共享：为公司CAE技术人员提供技术培训和组织知识共享活动，提高技术人员的业务能力。
6. 客户服务与沟通：与其他部门及专业客户交流和沟通，提供技术咨询和支持，确保项目顺利开展。
总之，作为一名CAE技术工程师，需要具备较强的技术分析能力、项目管理能力和团队合作能力，同时需要不断学习和掌握最新的CAE技术，在实践中不断提升自己的技术水平和综合素质，为企业和客户创造价值和贡献。
序号 机构名称 负责人 通讯地址 邮 编
国家纺织工业局
1中国纺织工程学会 刘 珩 北京朝阳区延100025
2深圳纺织服装研究所 盛 涛 广东深圳深南518031
3中国纺织科学技术信息研究所 毕国典 北京东城区东100027
4中国纺织总会科学技术发展中心 李 青 北京东城区东100742
5中国纺织总会信息中心 毕国典 北京东城区东100742
6中国纺织总会纺织机电研究所 黄永芬 北京朝阳区延100025
7中国纺织科学研究院 贾路桥 北京朝阳区延100025
8中国服装研究设计中心 方玉根 北京朝阳区建100020
国家机械工业局
1北京机械标准化研究所 海锦涛 北京市海淀区100044
2北京电工综合技术经济研究所 杨启明 北京海淀区翠100036
3北京机床研究所 杨京彦 北京密云溪翁101512
4北京机电研究所 李社钊 北京市海淀区100083
5北京机械工业自动化研究所 秦德昌 北京西城区德100011
6北京起重运输机械研究所 徐善继 北京市东城区100007
7北京农业机械化科学研究所 陈 志 北京市德胜门100083
8仪器仪表综合技术经济研究所 王春亥 北京市宣武区100055
9北京印刷机械所 王国华 北京市丰台区100071
10长春气象仪器研究所 吕凤华 长春市前进大130012
11长春试验机研究所 李春茗 吉林省长春市130021
12成都电焊机研究所(含成都电焊机厂) 于庆胜 四川省成都市610051
13成都工具研究所 李晓钊 四川省成都市610056
14大连组合机床研究所 段长恩 辽宁省大连市116033
15工程机械军用改装车试验场 海锦涛 北京市海淀区100044
16广州电器科学研究所 汤宝流 广州市海珠区510301
17广州机床研究所 李文哲 广州市黄埔区510701
18规划研究院 高常荫 北京海淀紫竹100044
19桂林电器科学研究所 廖宏彬 广西桂林辰山541004
20哈尔滨电工仪表研究所 韩 源 哈尔滨市哈平150040
201先进典型
中国科学院院士"现年75岁的叶培建，从事航天工作已有52年之久，从探月 工程到逐梦火星，他的大半辈子都和中国航天紧密相连"近些年，叶培建更多站 在幕后，为年轻的航天工作者们撑腰。在发射现场，大家都说，他就是“定海神 针”。2()19年，叶培建荣获“人民科学院”荣誉称号！
叶培建:用航天梦托举中国梦
晓编
他是嫦娥一号总指挥兼总设计师，在
后来各个嫦娥方案的选择和确定、关键技
术攻关、大型试验策划与验证、嫦娥四号
首次实现月背软着陆等各项工程中发挥
了重要作用。
与航天事业“有缘分”
叶培建的父亲是一位抗日老战士，母
亲也是一位老军人，因此他说话办事有一
股“兵家之风”。
用叶培建自己的话说，孩提时代，自
己跑不快，跳不高。和小朋友在一起玩
“官兵抓强盗”的游戏时，总是排不上“大
王”和“二王”，甚至“三王”都排不上，只配
当小兵。上中学时就大不一样了，学习成
绩跑在最前面，仅用两年时间就读完了初
中的全部课程,被学校保送到浙江省湖州
中学,这是全省乃至在全国都算一流的中
学。上中学时他当过的最大官儿就是学
习委员。年轻人本来就都有一颗不安分
的心，那是风起云涌的日子，正是孕育年
轻人美好理想的年代，叶培建的理想就是
当一名外交家。
高中毕业时叶培建各门功课都很优秀，在填写大学志愿时，他接受了军人父
亲的教诲，父亲说:国家正处于建设时期，
很需要理工科人才。而他想搞飞机专业，
因此叶培建填报了北京航空学院(今北京
航空航天大学)、南京航空航天大学等大
学，然而却意外地被浙江大学录取了，但
他毕业的时候，还是分配搞航天。他说：
“这是缘分！”
打造多个“第一”
1985年，叶培建获得瑞士纳沙泰尔 大学获科学博士学位，回国后他先是在 502所工作，参加了 “红外热轴探测系统” 的开发，为铁路运输提供现代化的设备。
当时的条件很差，他和技术人员一起背着
仪器乘火车，在晋煤外运的线路上，一站
—站地采集数据，修正模型。没有信息网
