扫描电镜的试样制备方法
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Polaron SC7620 “Mini” Sputter Coater
Options: CA0762F carbon fibre evaporation attachment
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Polaron SC7620 “Mini” Sputter Coater Options: CA7615 power supply - to run CA0762F carbon fibre carbon evaporation attachment
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Polaron SC7640 Auto / Manual High Resolution Sputter Coater Options: FT7607 FTM stage Quartz crystal
Note: centrally located crystal ensures representative reading
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Polaron SC7640 Auto / Manual High Resolution Sputter Coater Options: Water cooled stage
Not generally needed as the SC7640 head produces little or no heat.
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Polaron SC7640 Auto / Manual High Resolution Sputter Coater Standard universal stage - height adjustment
Standard stage and FT7607 FTM stage are height adjustable .
三、扫描电镜试样制备
1.扫描电镜对试样的要求
试样(表面)导电的固体,试样可以是块状或粉未状。 不导电的试 样,要先进行镀膜处理,在材料表面形成一层导电膜。 试样在高真空中能保持稳定, 不含有水分或其它易挥发物,含有水分或其他易挥发物的试样应先 烘干除去。 对磁性试样要预先去磁,以免观察时电子束受到磁场的影响。 表面受到污染的试样,要在不破坏试样表面结构的前提下进行适当 清洗,然后烘干。新断开的断口或断面,一般不需要进行处理,以免 破坏断口或断面的结构状态。 有些试样的表面、断口需要进行适当的侵蚀,才能暴露某些结构细 节,则在侵蚀后应将表面或断口清洗干净,然后烘干。 试样大小要适合仪器专用样品座的尺寸,不能过大,样品座尺寸各 仪器不均相同,一般小的样品座为的0~35mm,大的样品座为30~ 50mm,以分别用来放置不同大小的试样,样品的高度也有一定的限 制,一般小于10mm左右。
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镀膜的方法
镀膜的方法主要有两种: 真空镀膜, 离子溅射镀膜
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(1)真空镀膜
真空镀膜台包括两部分,上部 玻璃钟罩内为真空蒸发室 下部为真空系统,使蒸发室 内达到5×10-5 Torr的真空 度。 蒸发室内有两对电极,一对电 极与碳棒相连接用来蒸发 碳;另一对电极与装有重 金属的螺旋形钨丝相连接, 用来蒸发重金属。当其中 一对电极加上电压,碳棒尖 端或螺旋形钨丝流过大电 流,将碳或金属加热蒸发在 被蒸镀物上形成一层碳膜 或重金属膜。
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Sputtered Pt coating. TEM image
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SC7640 Pt target. 800V 10mA 2nm film
6.临界点干燥
Critical Point drying
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Critical Point Drying
2.扫描电镜的试样制备
--块状试样
对于块状导电材料,除了大小要适合仪器样品 座尺寸外,基本上不需要进行什么制备,用导 电胶把试样粘结在样品座上,即可放在扫描电 镜中观察。 对于块状的非导电或导电性较差的材料,要先 进行镀膜处理,在材料表面形成一层导电膜, 以避免在电子束照射下产生电荷积累,影响图 像质量,并可防止试样的热损伤。
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Sputter coating (annual target)
Target (gold / palladium)
Magnet
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Polaron SC7620 “Mini” Sputter Coater Option: Carbon attachment SC7620 with CA0762F carbon fibre head (Inset: CA7615 carbon power supply )
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WHY
COAT?
• To conduct charge away from sample • Improve secondary electron yield • Better signal to noise ratio • Reduce beam damage
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Polaron SC7640 Auto / Manual High Resolution Sputter Coater Options: Rota cota stage Useful for coating small spherical samples (to ensure complete coverage). Also if the optional carbon head is used the RC7606 ensures even coating of samples with complex surfaces.
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Polaron SC7640 Auto / Manual High Resolution Sputter Coater Options: Film thickness monitor (FTM) Allows operator to pre-set required film thickness. FT7690 overrides the SC7640 timer and terminates sputtering at the pre-set thickness. Very reproducible Note: to use FT7690 with SC7640 the FT7607 FTM stage is needed
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4.离子溅射镀膜与真空镀膜比较
离子溅射镀膜与真空镀膜相比,其主要优点 (1)装置结构简单,使用方便,溅射一次只需 几分钟,而真空镀膜则要半个小时以上。 (2)消耗贵金属少,每次仅约几毫克。 (3)对同一种镀膜材料,离子溅射镀膜质量 好,能形成颗粒更细、更致密、更均匀,附着 力更 强的膜。 离子溅射镀膜方法的主要缺点是热量辐射比较 大,容易使样品受到热损伤,一般样品表面温 度可达到323K左右,比真空镀膜时要高,所以 对一些表面易受热损伤的样品,要适当减小辉光 zhengmin li 13 放电电流,以减小热辐射:
Advantages of Critical Point Drying (CPD)
Eliminates drying artifacts associated with air drying Faster than freeze drying
Disadvantages of Critical Point Drying (CPD)
5. 离子溅射镀膜仪
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Polaron SC7620 “Mini” Sputter Coater
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Sputter coating (annular target)
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Polaron SC7640 Auto / Manual High Resolution Sputter Coater Options: SC7640 interchangeable stages
Left to right: FT7607 FTM stage, RC7606 rota cota stage and stand stage. .
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Polaron E6700 / E6300 Bench Top Evaporators
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离子溅射镀膜的原理是:
(2)离子溅射镀膜
在低气压系统中,气体分子在相隔一 定距离的阳极和阴极之间的强电场作 用下电离成正离子和电子,正离子飞 向阴极、电子飞向阳极。二电极间形 成辉光放电,在辉光放电过程中,具 有一定动量的正离子撞击阴极,使阴 极表面、的原子被逐出,称为溅射, 如果阴极表面为用来镀膜的材料(靶 材),需要镀膜的样品放在作为阳极 的样品台上则被正离子轰击而溅射出 来的靶材原子沉积在试样上,形成一 定厚度的 镀膜层。 离子溅射时常用的气体为情住气体 氩,要求不高时,也可以用空气,气 zhengmin li 压约为5xl0一2 Torr.
Sample shrinkage Relocation / extraction of soluble components Lipids and fats removed by solvents during dehydration stage Dry samples not “true to life”. For example water is an important part of many biological systems