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原文内容如下：
MEMS公司企业和研究机构列表
研究机构 :
东南大学 MEMS教育部重点实验室
2,北京大学微电子学研究院和微米/ 纳米加工技术国家级重点实验室
3,北京国浩微磁电子智能传感器技术研究所, 北京海淀区
,电子科技集团第 13 所-国家 '863'MEMS 专项基地 ,, 河北石家庄新华区合作路 , 加速度传感器 , 陀螺仪 , 碰撞传感
器 , 倾角传感器 , 振动传感器 , 流量传感器 , 光开关 , 光衰减器 , 光反射镜 ,RF 开关 , 微波移相器 , 微波带通滤波器
5, 中国电子科技集团公司第 49 所, 哈尔滨南岗区一曼街 , 力 / 温/ 湿 / 气/ 磁 / 光 6 个方面 ,100 多种传感器 .20 余年MEMS研究 , 服务国防及重点工程
公司企业
1.华润半导体 (香港 )有限公司 , 香港 ,RF MEMS SWITCH,(为美国 TERAVICTA代工 ), 硅 microphone)
2.Memsic- 美新半导体 (无锡 ) 有限公司 , 无锡 , 麦克风
3.楼氏声学公司 (Knowles Acoustics), 苏州 , 各类传感器
4, 山东歌尔电子有限公司- 歌尔声学股份有限公司, 潍坊总部 ,MEMS 部在北京 , 硅 microphone
5, 北京青鸟元芯微系统科技有限公司, 压力传感器 , 加速度传感器 , 湿度传感器
6, 博世传感器公司 (Bosch Sensortec), 医疗 (加速度计 -- 药物释放 / 生物分析 , 步数计 ), 消费 (笔记本坠落感测 , 振动感测 ,3D 游戏杆 ), 安全工程
7, ST- 意法半导体
8, ADI2
9, 摩托罗拉
10, HP- 惠普 , 喷墨打印机头
`11.英飞凌,TPMS用MEMS传感器,已经与IC完美集成!很厉害!
12. 苏州敏芯微电子技术有限公司, 硅基 MEMS麦克风 (07 年 11 月发布 ,08 年批量
公司名录主要产品类型技术来源
无锡纳微电子有限公硅压力传感器是 2008 年 1 月由中国无锡留学人员创业园、中国爱
司德基金会，和主要创业人员等共同出资，南京大学教
授都有为院士任公司董事长及首席科学家，海外留学
归国人员桂建明博士任公司总经理
北京广微积电科技有压力传感器、非公司主要设计研发人员均来自国外，尤其在集成电路
限公司制冷红外探测器设计及微传感器系统集成方面具有极其雄厚的科研实
力，与西安西岳电子合作非制冷红外探测器
西安中星测控有限公MEMS 惯性传成立于 2004 年 8 月，由原西安中星测控有限责任公
司感器，压力传感司（成立于 1996 年 4 月）与新加坡泛伟投资控股公
器司（ Panweld Holdings Limited）共同出资组建；设有
四个研究机构：惯性产品研究室、光电传感研究室、
汽车电子研究室和力与压力研究室
苏州敏芯微电子技术MEMS 微型硅公司的管理团队有着深厚的半导体封装和MEMS 产业有限公司麦克风，硅压力背景，并曾作为创始人实现过一家半导体封装公司及
传感器一家 MEMS 公司的上市；公司的技术核心团队有着在
国内外顶尖大学微电子实验室从事MEMS与集成电
路（ IC）技术研究的宝贵经验，拥有数项涉及MEMS
关键技术的突破性发明和世界级科研成果
歌尔声学股份有限公微型麦克风、微与中科院声学所、北京邮电大学等国内外多家知名高
司型扬声器校和科研机构有长期的战略合作伙伴关系重庆金山科技（集团）胶囊
内窥镜，硅其总经理为原宝鸡传感器研究所所长
有限公司微型泵
北京青鸟元芯微型湿度传感器以 " 北京大学微电子学研究院 " 和"微米 /纳米加工技术
MEMS 压力传国家级重点实验室 " 为技术依托
微系统科技有
感器、加速度传
限责任公司感器
宝鸡秦明传感器有限公司压力传感器以中国第一个传感器专业研究所
所为其研究
开发中心
——宝鸡传感器研究
上海芯敏微系统技术
有限公司
以中科院上海微系统所传感技术国家重点实验室
北京七星华创电子股设备前身是国家骨干电子企业
份有限公司
北京创威纳科技有限设备主要技术人员曾在中国科学院微电子中心、清华大学
公司等单位长期
从事半导体设备及工艺研究工作
江苏英特神斯科技有软件 IntelliSuite总部在美国
限公司（ Intellisense）
深迪半导体（上海）微型陀螺仪海外归国人员创业
有限公司
无锡美新半导体加速度传感器，母公司美国美新公司（MEMSIC ）
地磁传感器
还有其它的，例如上海巨哥电子科技有限公司，深圳市卡默莱电子科技有限公司，烟台睿创微纳技术有限公司Raytron ，上海三鑫科技发展有限公司（Laseno微型激光投影仪）
目前，国内 MEMS 产品门类依然相对较少，主要还是以惯性器件和压力传感器为主，而且
多是中低端产品，创新性强的新器件、新系统鲜有出现
高校和研究所：
北京大学、 1000m2 MEMS洁净室
中科院上海微系统与信息技术研究所，1600m2MEMS
洁净室
河北半导体研究所（13 所） 1000m2MEMS洁净室
厦门大学萨本栋微纳米技术研究中心600m2 洁净室
中国工程物理研究院微系统中心1000 m2 洁净室
中国科学院微电子研究所
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
北京国浩微磁电子智能传感器技术研究所
