国内MEMS企业,研究所以及代工Fab等介绍

MEMS的含义、构成、优势、市场规模预测、产业链相关企业简介01. 什么是MEMSMEMS，(Micro-Electro Mechanical Systems)，也称为微电子机械系统、微电机系统、微机械等，是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。

MEMS 可分为若干个独立的功能单元，包括微结构元器件、微传感器、微执行器和微系统等。

简单来说，MEMS就是将传统传感器的机械部件微型化后，通过三维堆叠技术，例如三维硅穿孔TSV等技术把器件固定在硅晶元(wafer)上，最后根据不同的应用场合采用特殊定制的封装形式，最终切割组装而成的硅基传感器。

受益于普通传感器无法企及的IC硅片加工批量化生产带来的成本优势，MEMS同时又具备普通传感器无法具备的微型化和高集成度。

02. MEMS 的基本构成03. MEMS的优势1、微型化：MEMS器件体积小，一般单个MEMS传感器的尺寸以毫米甚至微米为计量单位，重量轻、耗能低。

同时微型化以后的机械部件具有惯性小、谐振频率高、响应时间短等优点。

MEMS更高的表面体积比(表面积比体积)可以提高表面传感器的敏感程度。

2、硅基加工工艺，可兼容传统IC生产工艺：硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当，密度类似铝，热传导率接近钼和钨，同时可以很大程度上兼容硅基加工工艺。

3、批量生产：以单个5mm*5mm尺寸的MEMS传感器为例，用硅微加工工艺在一片8英寸的硅片晶元上可同时切割出大约1000个MEMS芯片，批量生产可大大降低单个MEMS的生产成本。

4、集成化：一般来说，单颗MEMS往往在封装机械传感器的同时，还会集成ASIC芯片，控制MEMS芯片以及转换模拟量为数字量输出。

同时不同的封装工艺可以把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体，或形成微传感器阵列、微执。

半导体mems企业有哪些_国内十大半导体mems企业排行榜国内十大半导体mems企业排行榜——歌尔声学股份有限公司歌尔声学股份有限公司成立于2001年，属于省级高新技术企业，与中科院声学所、北京邮电大学等国内外多家知名高校和科研机构建立了长期的战略合作伙伴关系，致力于电声领域前沿技术的基础研究和新技术、新产品的开发。

国内十大半导体mems企业排行榜——瑞声声学科技（深圳）有限公司瑞声科技于1993年成立，并于2005年在香港上市，现已成为全球领先的通信、I T消费类电子市场的一体化微型元器件整体解决方案供货商，为客户提供声学、触控反馈、无线射频及光学的创新技术解决方案。

作为行业的领导者，瑞声科技与多家世界顶尖品牌保持战略合作关系，产品广泛应用于智能手机、平板计算机、超薄笔记本电脑、可穿戴式设备等消费类电子产品。

国内十大半导体mems企业排行榜——美新半导体（无锡）有限公司美新半导体（无锡）有限公司是一家典型的从零开始创业成功的高科技半导体企业。

公司成立于1999年，其核心技术主要来源于创始人员及美国模拟器件公司（ADI）的技术投资；其资金来源于美国，加拿大，台湾等地的风险投资，如台湾的积体半导体公司TSMC（其风险投资公司INVESTAR），Celtic，Still River等。

国内十大半导体mems企业排行榜——深迪半导体（上海）有限公司深迪半导体（上海）有限公司是由美国海外留学人员创立的中国首家设计、生产商用MEMS陀螺仪系列惯性传感器的MEMS芯片公司，成立于2008年8月，总部位于上海张江高科技园区。

公司研发了拥有完全自主知识产权的先进的MEMS工艺和集成技术，专注于为消费电子及汽车电子市场设计和生产低成本、高性价比、低功耗、小尺寸的商用MEMS陀螺仪芯片，并为客户提供各种全面的应用解决方案和极其优质的服务。

国内外传感器厂商和代工厂特点介绍（TOP 100）1、精量电子(Measurement)Ydnesmc主要传感器产品：压力及动态压力传感器，位移传感器，倾角及角位移传感器，霍尔编码器，磁阻传感器，加速度传感器，振动传感器，湿度传感器，温度传感器等。

Ydnesmc美国MEAS传感器公司掌握着世界领先的MEMS制造技术，专业生产各类传感器。

产品广泛应用于航天航空、国防军工、机械设备、工业自动控制、汽车电子、医疗、家用电器、暖通空调、石油化工、空压机、气象检测、仪器仪表等领域。

该公司在行业内第一个实现硅MEMS批量加工技术，第一个将LVDT商业化，第一个将Piezo Film技术转化为低成本的商业化传感器及生命特征传感器。

Ydnesmc官网：Ydnesmc2、霍尼韦尔(Honeywell) Ydnesmc主要传感器产品：扩散硅压力传感器、变送器，陶瓷电容式压力变送器，扩散硅和陶瓷电容式液位变送器，数字式压力表，压力校验仪等。

Ydnesmc霍尼韦尔国际公司是一家在技术和制造业方面居世界领先地位的多元化跨国公司，在全球，其业务涉及众多领域。

Mircro Switch（微型开关公司）创立于1935，后加入霍尼韦尔成为霍尼韦尔传感与控制战略部。

全球首先研制出STC3000型智能压力传感器，技术领先。

目前共有20多个系列近六万种产品，在全世界拥有三十万用户。

近半个世纪以来，霍尼韦尔公司的传感与控制分部以其优秀的产品质量和可靠性，以及不断的技术创新，在全世界赢得了很高的声誉。

Ydnesmc官网：Ydnesmc3、凯勒公司（Keller America） Ydnesmc主要传感器产品：压力传感器，压力变送器等。

Ydnesmc凯勒与压阻技术的发展有密切关系。

凯勒先生开发了第一个压阻式压力传感器后不久，于1975年创办了凯勒公司，现已成长为提供压力测量解决方案的全球领导者。

公司年产量100万只传感器，拥有10个系列的OEM压力传感器产品。

国产化元器件厂商分类标准国产化元器件厂商可以根据不同的标准进行分类。

以下是一些可能的分类方式：1. 生产类型：IDM（集成设备制造商）：既设计又制造的厂商，如中车时代、嘉兴斯达、比亚迪、士兰微等。

Fabless（无工厂芯片供应商）：只设计不生产的厂商，如华为海思、紫光展锐等。

Foundry（代工厂商）：只制造不设计的厂商，如中芯国际等。

2. 产品类型：集成电路（IC）设计厂商：设计各种集成电路的厂商，如华为海思、紫光展锐等。

分立器件厂商：生产晶体管、二极管等分立器件的厂商。

被动元件厂商：生产电阻、电容、电感等被动元件的厂商。

3. 业务领域：通信领域元器件厂商：主要供应通信领域所需的各种元器件，如华为海思、紫光展锐等。

消费电子领域元器件厂商：主要供应消费电子领域所需的各种元器件，如歌尔股份等。

汽车电子领域元器件厂商：主要供应汽车电子领域所需的各种元器件，如比亚迪半导体等。

4. 地区分布：东部地区厂商：主要分布在东部沿海地区，具有较完善的基础设施和较高的技术水平，如华为海思、中芯国际等。

中西部地区厂商：主要分布在中西部地区，具有丰富的资源和劳动力成本优势，如比亚迪半导体等。

5. 规模与市场份额：大型厂商：规模较大，市场份额较高，具有较高的知名度和影响力，如华为海思、中芯国际等。

中小型厂商：规模较小，市场份额较低，但具有较高的技术水平和创新能力，如新洁能等。

6. 产业链位置：上游厂商：处于产业链上游，主要供应原材料或半成品，如中石化等。

中游制造厂商：处于产业链中游，进行元器件的制造和封装测试，如中芯国际等。

下游应用厂商：处于产业链下游，主要进行元器件的应用和销售，如华为、小米等。

7. 是否上市：上市公司：已经在证券交易所上市的厂商。

非上市公司：尚未上市的厂商。

8. 是否国有：国有企业：国有资本控股的厂商。

民营企业：非国有资本控股的厂商。

9. 成立时间与历史沿革：根据成立时间的长短和历史沿革进行分类。

10. 其他分类方式：还可以根据其他标准进行分类，如企业文化、管理模式、研发实力等。

忽悠人的，没啥东西，建议不用下载了。

原文内容如下：MEMS公司企业和研究机构列表研究机构:东南大学MEMS教育部重点实验室2, 北京大学微电子学研究院和微米/纳米加工技术国家级重点实验室3, 北京国浩微磁电子智能传感器技术研究所, 北京海淀区, 电子科技集团第13所-国家'863'MEMS专项基地,,河北石家庄新华区合作路, 加速度传感器,陀螺仪,碰撞传感器,倾角传感器,振动传感器,流量传感器,光开关,光衰减器,光反射镜,RF开关,微波移相器,微波带通滤波器5, 中国电子科技集团公司第49所,哈尔滨南岗区一曼街,力/温/湿/气/磁/光6个方面,100多种传感器.20余年MEMS研究,服务国防及重点工程公司企业1. 华润半导体(香港)有限公司,香港,RF MEMS SWITCH,(为美国TERAVICTA代工),硅microphone)2. Memsic-美新半导体(无锡)有限公司,无锡,麦克风3. 楼氏声学公司(Knowles Acoustics),苏州,各类传感器4, 山东歌尔电子有限公司- 歌尔声学股份有限公司,潍坊总部,MEMS部在北京,硅microphone5, 北京青鸟元芯微系统科技有限公司,压力传感器,加速度传感器,湿度传感器6, 博世传感器公司(Bosch Sensortec),医疗(加速度计--药物释放/生物分析,步数计),消费(笔记本坠落感测,振动感测,3D游戏杆),安全工程7, ST-意法半导体8, ADI29, 摩托罗拉10, HP-惠普,喷墨打印机头`11. 英飞凌,TPMS用MEMS传感器,已经与IC完美集成!很厉害!12. 苏州敏芯微电子技术有限公司,硅基MEMS麦克风(07年11月发布,08年批量还有其它的，例如上海巨哥电子科技有限公司，深圳市卡默莱电子科技有限公司，烟台睿创微纳技术有限公司Raytron，上海三鑫科技发展有限公司（Laseno微型激光投影仪）目前，国内MEMS产品门类依然相对较少，主要还是以惯性器件和压力传感器为主，而且多是中低端产品，创新性强的新器件、新系统鲜有出现高校和研究所：北京大学、1000m2 MEMS 洁净室中科院上海微系统与信息技术研究所，1600m2MEMS 洁净室河北半导体研究所（13所）1000m2MEMS 洁净室厦门大学萨本栋微纳米技术研究中心600m2洁净室中国工程物理研究院微系统中心1000 m2洁净室中国科学院微电子研究所中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所北京国浩微磁电子智能传感器技术研究所其它的诸如：山东淄博国家高新区MEMS研究院、陕西省微型机械电子系统研究中心、西安212/213所、618所，航天717/704所等等，大连理工王立鼎院士的分析是：研发的分布地区和单位：中国内地MEMS的研发单位主要集中在华北、华东和东北三个地区，还有西南地区的重庆和西北地区的西安等。

中国mems行业发展历程MEMS（微电子机械系统）是一种集成了微机电技术、电子技术和信息技术的新型技术，它的发展历程可以追溯到上世纪80年代。

在中国，MEMS行业的发展也经历了多年的探索和发展。

1980年代，中国开始了MEMS技术的研究，但当时的技术水平还比较低，只能进行一些基础研究。

到了1990年代，随着国内外MEMS技术的不断发展，中国开始逐渐加强对MEMS技术的研究和应用。

1998年，中国科学院微电子研究所成功研制出了国内第一颗MEMS加速度传感器，标志着中国MEMS技术的进入实用化阶段。

2000年代，中国MEMS行业开始进入快速发展期。

国内企业开始大力投资研发和生产MEMS产品，同时也吸引了国外企业的关注和投资。

2004年，中国MEMS产业联盟成立，标志着中国MEMS行业进入了一个新的发展阶段。

随着国内市场的不断扩大和技术的不断提升，中国MEMS行业在全球范围内逐渐崭露头角。

2010年代，中国MEMS行业进入了成熟期。

国内企业的技术水平和生产能力不断提升，同时也开始向国际市场拓展。

2015年，中国MEMS产业联盟发布了《中国MEMS产业发展报告》，报告显示，中国MEMS行业已经成为全球最大的MEMS市场之一，年产值超过1000亿元人民币。

目前，中国MEMS行业正处于快速发展的阶段。

随着新一代信息技术的不断发展和应用，MEMS技术也将得到更广泛的应用。

未来，中国MEMS行业将继续加强技术研发和产业升级，推动MEMS技术在更多领域的应用，为中国经济的发展和社会的进步做出更大的贡献。

总的来说，中国MEMS行业的发展历程可以分为起步期、快速发展期和成熟期三个阶段。

在这个过程中，中国MEMS行业经历了多年的探索和发展，不断提升技术水平和生产能力，成为全球最大的MEMS市场之一。

未来，中国MEMS行业将继续发挥其优势，推动MEMS技术在更多领域的应用，为中国经济的发展和社会的进步做出更大的贡献。

国内MEMS研究实验室一揽国内微纳机电系统MEMS/NEMS科研单位一览北京：北京大学微电子学院－微机电系统研究所/doc/a214665738.html,/mems/北京大学微电子研究院微机电系统研究所成立于1995年，在王阳元院士和武国英教授领导下，从硅基加工技术的角度来开展微机电系统的研究。

从1996年开始承担了"微米/纳米加工技术国家重点实验室"建设项目，以硅基MEMS加工和设计技术为主，同时承担多项ME MS研究课题。

于1998年4月完成实验室建设项目验收，有工艺实验室900平米和具有国际先进水平的完善的MEMS加工设备，是国家微机电系统研究的重要加工基地和研究基地。

清华大学微电子技术研究所－－微纳器件与系统研究室精密仪器与机械学系－－http://dns.ime.tsinghu ... gk/qijian.htm/doc/a214665738.html,/微纳器件与系统研究室主要研究各种新型微纳器件以及由它们构成的系统，研究范围是：新器件与系统、新技术与工艺、新电路与模型、新材料与结构、新概念与原理。

目前有两个主要研究方向：新型微电子器件与系统，纳电子学。

仪器科学与技术研究所围绕现代科学仪器的研究领域，主要研究方向包括微米纳米技术、光存储技术、精密仪器和测试技术、导航与控制技术、传感技术与智能仪器、智能微系统及控制技术和生命科学仪器等，是一个多学科交叉的与校外企业和研究单位有广泛联系的以一级学科建立起来的教学研究单位。

中科院微电子所纳米加工与新器件集成技术实验室/doc/a214665738.html,/中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室在国内最早开展亚微米微细加工技术研究，该研究室同时也是国家纳米科学中心协作实验室。

研究室拥有一个面积达50 0平方米，最高洁净度达100级的微纳米加工平台和电子束光刻公共平台。

研究室主要研究方向是：下一代存储技术；衍射光学与纳米传感器；有机器件和电路；先进掩模制造与电子束光刻技术。

中国MEMS传感器潜力市场暨细分领域优秀本土企业研究MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems，微电子机械系统）传感器是一类融合了微电子技术、传感器技术和微机械技术的新一代传感器技术，具有体积小、重量轻、功耗低、成本低廉、可靠性高等优势。

随着物联网、智能手机、汽车电子等领域的快速发展，MEMS传感器市场迅速崛起，并显示出巨大的潜力。

以下是中国MEMS传感器潜力市场以及细分领域方面的优秀本土企业的研究。

一、中国MEMS传感器潜力市场1.物联网领域：物联网是指通过互联网将智能设备、传感器、网络技术等连接起来，形成一个智能化的生态系统。

MEMS传感器在物联网领域具有广泛应用，例如智能家居、智能健康、智能交通等方面。

中国作为全球最大的制造业大国，物联网的发展对MEMS传感器的需求量巨大，这也为本土企业提供了广阔的市场机会。

2.智能手机领域：智能手机是MEMS传感器的主要应用领域之一、目前，智能手机内置了多种MEMS传感器，如加速度传感器、陀螺仪、压力传感器等，用于实现自动旋转屏幕、陀螺仪游戏、导航定位等功能。

中国智能手机市场巨大，本土企业在MEMS传感器领域有着巨大的发展空间。

3.汽车电子领域：汽车电子是MEMS传感器的另一个重要应用领域。

MEMS传感器在汽车电子中被广泛应用于安全气囊系统、车身稳定控制系统、方向盘传感器等。

中国是全球最大的汽车市场，汽车电子领域对MEMS传感器的需求量大，并且中国政府对汽车安全的重视程度不断提升，这为本土企业提供了发展的机会。

1.中芯国际：中芯国际是中国领先的半导体制造企业，其MEMS传感器产品在汽车电子和智能手机领域具有广泛应用。

中芯国际的MEMS传感器产品以其高性能、高稳定性和低功耗等优点受到了市场的认可，在国际市场上具有竞争力。

2.汇顶科技：汇顶科技是中国领先的触摸芯片制造企业，其MEMS传感器产品主要应用于智能手机领域。

汇顶科技的MEMS传感器产品具有优秀的触摸性能和高度集成度，在智能手机市场上具有良好的口碑。

MEMS 产业链微介绍,mems 各步骤厂商
MEMS 是多学科交叉的复杂系统，整个产业链涉及设计、制造、封装测试、软件及应用方案环节。

MEMS 产业链的上游负责MEMS 器件设计、材
料和生产设备供应，中游生产制造出MEMS 器件、下游使用MEMS 器件制
造终端电子产品。

MEMS 整个产业链复杂，涉及的厂商众多；中国的设计、制造、封装测
试厂商都在积极布局MEMS，已形成完整MEMS 的产业链。

1、全球MEMS 生产厂商
全球前十名MEMS 厂商主要包括博世、意法半导体、惠普、德州仪器、
佳能、InvenSense、Avago 和Qorvo、楼氏电子、松下等等。

其中BOSCH 因为其在汽车电子和消费电子的双重布局，牢牢占据着行业的第一的位置，
其营收约占五大公司合计营收的三分之一。

大部分MEMS 行业的主要厂商是以Fabless 为主，例如楼氏、HP、佳能等。

同时，平行的也有IDM 厂商垂直参与到整条产业链的各个环节，比。

中国生产芯片的企业中国是全球最大的电子产业生产和消费国家之一，拥有大量的芯片生产企业。

下面将介绍几家代表性的中国芯片生产企业。

1.中芯国际集团（SMIC）：中芯国际是中国领先的集成电路制造企业之一，成立于2000年，总部位于上海。

其主要业务是提供集成电路的设计、制造和测试服务，产品涵盖从3um 到14nm的广泛工艺节点。

中芯国际是中国第一家在国际上采用14nm工艺的企业，其芯片产品广泛应用于计算机、通信、消费电子等领域。

2.紫光国微（Hua Hong）：紫光国微是中国最大的专业半导体晶圆制造企业，成立于1997年，总部位于上海。

紫光国微提供的主要产品包括CMOS、Flash、特殊工艺晶圆等，广泛应用于微电子、集成电路和光电子等领域。

紫光国微还拥有多项自主研发的技术和专利，是中国半导体领域的重要企业。

3.华虹半导体（HHGrace）：华虹半导体是中国知名的专业半导体制造企业，成立于1997年，总部位于无锡。

华虹半导体提供的主要产品包括DRAM、Flash、功率器件等，广泛应用于计算机、通信、工业控制等领域。

华虹半导体已实现了从6英寸到12英寸晶圆的全球化布局，拥有先进的制造工艺和自主知识产权。

4.长江存储（YMTC）：长江存储是中国领先的存储芯片制造企业，成立于2016年，总部位于武汉。

长江存储主要专注于NAND闪存芯片的研发和生产，产品广泛应用于移动设备、个人电脑、数据中心等领域。

长江存储在技术创新方面具有独特的优势，推动了中国在存储芯片领域的发展。

5.华邦集团（Winbond）：华邦集团是中国领先的专业集成电路制造企业，成立于1987年，总部位于台湾。

华邦集团主要从事存储产品的设计、制造和销售，产品涵盖DRAM、NAND Flash、SRAM等。

华邦集团的产品广泛应用于计算机、通信、消费电子等领域，是全球知名的存储芯片生产企业之一。

以上是几家中国生产芯片的代表性企业，他们在技术研发、制造工艺以及市场销售等方面都具有一定的优势，为中国电子产业的发展做出了重要贡献。