投影参数的说明概要
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投影设备项目可行性研究报告编制单位:北京中投信德国际信息咨询有限公司编制时间:高级工程师:高建关于编制投影设备项目可行性研究报告编制说明(模版型)【立项 批地 融资 招商】核心提示:1、本报告为投影设备形式,客户下载后,可根据报告内容说明,自行修改,补充上自己项目的数据内容,即可完成属于自己,高水准的一份可研报告,从此写报告不在求人。
2、客户可联系我公司,协助编写完成可研报告,可行性研究报告大纲(具体可跟据客户要求进行调整)编制单位:北京中投信德国际信息咨询有限公司专业撰写节能评估报告资金申请报告项目建议书商业计划书可行性研究报告目录第一章总论 (1)1.1项目概要 (1)1.1.1项目名称 (1)1.1.2项目建设单位 (1)1.1.3项目建设性质 (1)1.1.4项目建设地点 (1)1.1.5项目主管部门 (1)1.1.6项目投资规模 (2)1.1.7项目建设规模 (2)1.1.8项目资金来源 (3)1.1.9项目建设期限 (3)1.2项目建设单位介绍 (3)1.3编制依据 (3)1.4编制原则 (4)1.5研究范围 (5)1.6主要经济技术指标 (5)1.7综合评价 (6)第二章项目背景及必要性可行性分析 (7)2.1项目提出背景 (7)2.2本次建设项目发起缘由 (7)2.3项目建设必要性分析 (7)2.3.1促进我国投影设备产业快速发展的需要 (8)2.3.2加快当地高新技术产业发展的重要举措 (8)2.3.3满足我国的工业发展需求的需要 (8)2.3.4符合现行产业政策及清洁生产要求 (8)2.3.5提升企业竞争力水平,有助于企业长远战略发展的需要 (9)2.3.6增加就业带动相关产业链发展的需要 (9)2.3.7促进项目建设地经济发展进程的的需要 (10)2.4项目可行性分析 (10)2.4.1政策可行性 (10)2.4.2市场可行性 (10)2.4.3技术可行性 (11)2.4.4管理可行性 (11)2.4.5财务可行性 (11)2.5投影设备项目发展概况 (12)2.5.1已进行的调查研究项目及其成果 (12)2.5.2试验试制工作情况 (12)2.5.3厂址初勘和初步测量工作情况 (13)2.5.4投影设备项目建议书的编制、提出及审批过程 (13)2.6分析结论 (13)第三章行业市场分析 (15)3.1市场调查 (15)3.1.1拟建项目产出物用途调查 (15)3.1.2产品现有生产能力调查 (15)3.1.3产品产量及销售量调查 (16)3.1.4替代产品调查 (16)3.1.5产品价格调查 (16)3.1.6国外市场调查 (17)3.2市场预测 (17)3.2.1国内市场需求预测 (17)3.2.2产品出口或进口替代分析 (18)3.2.3价格预测 (18)3.3市场推销战略 (18)3.3.1推销方式 (19)3.3.2推销措施 (19)3.3.3促销价格制度 (19)3.3.4产品销售费用预测 (20)3.4产品方案和建设规模 (20)3.4.1产品方案 (20)3.4.2建设规模 (20)3.5产品销售收入预测 (21)3.6市场分析结论 (21)第四章项目建设条件 (22)4.1地理位置选择 (22)4.2区域投资环境 (23)4.2.1区域地理位置 (23)4.2.2区域概况 (23)4.2.3区域地理气候条件 (24)4.2.4区域交通运输条件 (24)4.2.5区域资源概况 (24)4.2.6区域经济建设 (25)4.3项目所在工业园区概况 (25)4.3.1基础设施建设 (25)4.3.2产业发展概况 (26)4.3.3园区发展方向 (27)4.4区域投资环境小结 (28)第五章总体建设方案 (29)5.1总图布置原则 (29)5.2土建方案 (29)5.2.1总体规划方案 (29)5.2.2土建工程方案 (30)5.3主要建设内容 (31)5.4工程管线布置方案 (32)5.4.1给排水 (32)5.4.2供电 (33)5.5道路设计 (35)5.6总图运输方案 (36)5.7土地利用情况 (36)5.7.1项目用地规划选址 (36)5.7.2用地规模及用地类型 (36)第六章产品方案 (38)6.1产品方案 (38)6.2产品性能优势 (38)6.3产品执行标准 (38)6.4产品生产规模确定 (38)6.5产品工艺流程 (39)6.5.1产品工艺方案选择 (39)6.5.2产品工艺流程 (39)6.6主要生产车间布置方案 (39)6.7总平面布置和运输 (40)6.7.1总平面布置原则 (40)6.7.2厂内外运输方案 (40)6.8仓储方案 (40)第七章原料供应及设备选型 (41)7.1主要原材料供应 (41)7.2主要设备选型 (41)7.2.1设备选型原则 (42)7.2.2主要设备明细 (43)第八章节约能源方案 (44)8.1本项目遵循的合理用能标准及节能设计规范 (44)8.2建设项目能源消耗种类和数量分析 (44)8.2.1能源消耗种类 (44)8.2.2能源消耗数量分析 (44)8.3项目所在地能源供应状况分析 (45)8.4主要能耗指标及分析 (45)8.4.1项目能耗分析 (45)8.4.2国家能耗指标 (46)8.5节能措施和节能效果分析 (46)8.5.1工业节能 (46)8.5.2电能计量及节能措施 (47)8.5.3节水措施 (47)8.5.4建筑节能 (48)8.5.5企业节能管理 (49)8.6结论 (49)第九章环境保护与消防措施 (50)9.1设计依据及原则 (50)9.1.1环境保护设计依据 (50)9.1.2设计原则 (50)9.2建设地环境条件 (51)9.3 项目建设和生产对环境的影响 (51)9.3.1 项目建设对环境的影响 (51)9.3.2 项目生产过程产生的污染物 (52)9.4 环境保护措施方案 (53)9.4.1 项目建设期环保措施 (53)9.4.2 项目运营期环保措施 (54)9.4.3环境管理与监测机构 (56)9.5绿化方案 (56)9.6消防措施 (56)9.6.1设计依据 (56)9.6.2防范措施 (57)9.6.3消防管理 (58)9.6.4消防设施及措施 (59)9.6.5消防措施的预期效果 (59)第十章劳动安全卫生 (60)10.1 编制依据 (60)10.2概况 (60)10.3 劳动安全 (60)10.3.1工程消防 (60)10.3.2防火防爆设计 (61)10.3.3电气安全与接地 (61)10.3.4设备防雷及接零保护 (61)10.3.5抗震设防措施 (62)10.4劳动卫生 (62)10.4.1工业卫生设施 (62)10.4.2防暑降温及冬季采暖 (63)10.4.3个人卫生 (63)10.4.4照明 (63)10.4.5噪声 (63)10.4.6防烫伤 (63)10.4.7个人防护 (64)10.4.8安全教育 (64)第十一章企业组织机构与劳动定员 (65)11.1组织机构 (65)11.2激励和约束机制 (65)11.3人力资源管理 (66)11.4劳动定员 (66)11.5福利待遇 (67)第十二章项目实施规划 (68)12.1建设工期的规划 (68)12.2 建设工期 (68)12.3实施进度安排 (68)第十三章投资估算与资金筹措 (69)13.1投资估算依据 (69)13.2建设投资估算 (69)13.3流动资金估算 (70)13.4资金筹措 (70)13.5项目投资总额 (70)13.6资金使用和管理 (73)第十四章财务及经济评价 (74)14.1总成本费用估算 (74)14.1.1基本数据的确立 (74)14.1.2产品成本 (75)14.1.3平均产品利润与销售税金 (76)14.2财务评价 (76)14.2.1项目投资回收期 (76)14.2.2项目投资利润率 (77)14.2.3不确定性分析 (77)14.3综合效益评价结论 (80)第十五章风险分析及规避 (82)15.1项目风险因素 (82)15.1.1不可抗力因素风险 (82)15.1.2技术风险 (82)15.1.3市场风险 (82)15.1.4资金管理风险 (83)15.2风险规避对策 (83)15.2.1不可抗力因素风险规避对策 (83)15.2.2技术风险规避对策 (83)15.2.3市场风险规避对策 (83)15.2.4资金管理风险规避对策 (84)第十六章招标方案 (85)16.1招标管理 (85)16.2招标依据 (85)16.3招标范围 (85)16.4招标方式 (86)16.5招标程序 (86)16.6评标程序 (87)16.7发放中标通知书 (87)16.8招投标书面情况报告备案 (87)16.9合同备案 (87)第十七章结论与建议 (89)17.1结论 (89)17.2建议 (89)附表 (90)附表1 销售收入预测表 (90)附表2 总成本表 (91)附表3 外购原材料表 (92)附表4 外购燃料及动力费表 (93)附表5 工资及福利表 (95)附表6 利润与利润分配表 (96)附表7 固定资产折旧费用表 (97)附表8 无形资产及递延资产摊销表 (98)附表9 流动资金估算表 (99)附表10 资产负债表 (101)附表11 资本金现金流量表 (102)附表12 财务计划现金流量表 (104)附表13 项目投资现金量表 (106)附表14 借款偿还计划表 (108) (112)第一章总论总论作为可行性研究报告的首章,要综合叙述研究报告中各章节的主要问题和研究结论,并对项目的可行与否提出最终建议,为可行性研究的审批提供方便。
高斯投影正、反算及换带程序执行条件※数组投影选择T、换算点个数“Z=0 F≠0”、=0正算0、≠0反算※坐标系选择“54 ≠54”、=54换算为1954年北京坐标系输入54、≠54换算为1988年西安坐标系M、中央子午线经度(°′″)输入※大地坐标I、序列号B、L:大地纬度和经度(地理坐标)(°′″)※高斯平面坐标轴子午线I、序列号X、Y:高斯平面坐标(m) Z、轴子午线(°)输出※大地坐标子午收敛角N、序列号B、L:大地纬度和经度(地理坐标)(°′″) R、子午收敛角(°′″)※高斯平面坐标子午收敛角N、序列号X、Y:高斯平面坐标(m) R、子午收敛角(°′″)注:1、程序执行前必须进行数组定位。
如:Defm 10 T×2=5×2=102、Y坐标值要去掉带号及避免出现负值的500公里;4、本程序运算时,各已知数据、观测变量不会随之变化,可非常方便地进行各数据的核对;5、本程序在进行换带计算时采用的是间接换带计算法。
Prog GSXYDefm 10:TA“Z=0 F≠0”G“54 ≠54”Z:Fixm:I=0:「b」0:I=I+1◢J=2I-1:M=Z[J:L=Z[J+1:A=0=>Prog“3”:B=M:M=L+Z:Prog“3”:L=M:{BL}:M=B:Prog“2”: B=M:M=L:Prog“2”:L=M-Z:≠>X=M:Y=L:{XY}:B=X:L=Y⊿Z[J]=B:Z[J+1]=L:I<T=>Goto 0⊿G=54=>C=6399698.90178271:E=.006738525414684:≠>C=6399596.65198801:E=.006 739501819473⊿I=0:「b」0:I“N”=I+1◢J=2I-1:B=Z[J:L=Z[J+1:A≠0=>X=B:Y=L:Goto 2⊿S=sin B:G=54=>F=111134.8611B-(32 005.7799S+133.9238S∧3+.6973S∧5+.0039S∧7)cos B:≠>F=111133.0047B-(32009.857 S+133.9602S∧3+.6976S∧5+.0039S∧7)cos B⊿U=√Ecos B:V=√(1+U2:N=C÷V:W=tan B: M=cos B(Lπ÷180:X=F+NW(.5M2+1┛24(5-W2+9U2+4U∧4)M∧4+1┛720(61-58W2+W∧4)M∧6◢Y=N(M+1┛6(1-W 2+U 2)M ∧3+1┛120(5-18W 2+W ∧4+14U 2-58U 2W 2)M ∧5◢M=W ┛π(180M+60(1+3U 2+2U ∧4)M ∧3+12(2-W 2)M ∧5:Goto 3:「b 」2:W=E ﹣6X-3:G=54=>F=27.11115372595+9.024********W-.00579740442W 2-4.3532572E ﹣4W ∧3+4.857285E ﹣5W ∧4+2.15727E ﹣6W ∧5-1.9399E ﹣7W ∧6:≠>F=27.11162289465+9.024********W-.00579850656W2-4.3540029E ﹣4W ∧3+4.858357E ﹣5W ∧4+2.15769E ﹣6W ∧5-1.9404E ﹣7W ∧6⊿U=√Ecos F:V=√(1+U 2:Q=YV ÷C:W=tan F:M=F-(1+U 2)W ┛π(90Q 2-7.5(5+3W 2+U 2-9U 2W 2)Q ∧4+.25(61+90W 2+45W ∧4)Q ∧6:Prog “3”:B=M ◢M=Z+1┛(πcos F)(180Q-30(1+2W 2+U 2)Q ∧3+1.5(5+28W 2+24W ∧4)Q ∧5:Prog “3”:L=M ◢M=W ┛π(180Q-60(1+W 2-U 2)Q ∧3+12(2+5W 2+3W ∧4)Q ∧5:「b 」3:Prog “3”:R=M ◢ I<T=>Goto 1⊿“END ”概要说明:我国的经度范围西边自73°起,东边至135°,可分成6°带共11带或3°共22带。
【教学内容与过程设计】教学内容过程设计一、点在一个投影面上的投影图1 图2过空间点A向投影面H 引垂线,得到的垂足a即为空间点A在H面上的正投影,见图1。
在投影线任取一点B,,其在H面上的投影与A的投影重合。
结论:在一定的投影条件下,空间一点有其唯一确定的投影,投影a 有无数个空间与其对应。
二、点在两投影面体系中的投影引入:点在一个投影面上的投影能不能确定点的空间位置?(图2)如何解决?——增加投影面。
1、两投影面体系(图3)在图1的基础上再增加一个投影面,处于正面直立位置且与H面相互垂直,这样就建立两投影面体系。
水平投影面——H面;正面投影面——V面;OX投影轴。
图3 图4 ★黑板上画出空间示意图(由图1逐步演变为图3)。
点对一个投影面的投影(图1)点在两投影面体系中的投影(图3)点在三投影面体系中的投影(图5)2、空间点A在两个投影面上的投影(图3)过空间点A分别向H、V面引垂线,得到的垂足a、a'分别为空间点A在H-V两面投影体系中的投影。
A —空间点;a—点A的水平投影;a'—点A的正面投影;3、投影面的展开(图3)为了方便表达,需要将两个相互垂直的投影面展开到同一平面内。
规定:V面保持不动,H面向下旋转90°,使得H面和V面处于同一平面内,从而得到点的两面投影图。
注意:a、a'、a x三点共线,并且垂直OX轴。
4、点的两面投影规律①a'a⊥OX轴,点的水平投影与正面投影的连线垂直于OX轴;②aa x =A a',a'a x=A a,点的水平投影到X轴距离反映该点到V面距离,点的正面投影到X轴距离反映该点到H面距离。
注意:给了点的水平投影和正面投影就可确定该点的空间位置,同样给了一个空间点就有唯一一组水平投影和正面投影与其对应。
A (a,a')三、点在三投影面体系中的投影引入:点的两面投影已经能确定该点的空间位置,但为更清楚地表达某些几何体的形状和结构,需采用三面投影图。
投影机的成像原理基础概要:投影机目前已广泛应用于演示和家庭影院中。
在投影机内部生成投影图像的元件有三类,根据元件的使用种类和数目,产品的特点也各不同。
此外,投影机特有的问题包括:画面会因投影角度的不同而出现失真以及在屏幕前面要留出一定的空间等。
解决办法是采取失真补偿和实现短焦等措施。
投影机是一种用来放大显示图像的投影装置。
目前已经应用于会议室演示以及在家庭中通过连接DVD影碟机等设备在大屏幕上观看电影。
在电影院,也同样已开始取代老电影胶片的数码影院放映机,被用作面向硬盘数字数据的银幕。
说到投影机显示图像的原理,基本上所有类型的投影机都一样。
投影机先将光线照射到图像显示元件上来产生影像,然后通过镜头进行投影。
投影机的图像显示元件包括利用透光产生图像的透过型和利用反射光产生图像的反射型。
无论哪一种类型,都是将投影灯的光线分成红、绿、蓝三色,再产生各种颜色的图像。
因为元件本身只能进行单色显示,因此就要利用3枚元件分别生成3色成分。
然后再通过棱镜将这3色图像合成为一个图像,最后通过镜头投影到屏幕上。
使用图像显示元件,分别产生红、绿、蓝三色图像,然后通过合成进行投影。
图像显示元件包括3类。
其中采用液晶的有2类,分别是采用光透过型液晶的透过型液晶元件和采用可反射光的反射型液晶的元件。
后一种元件是DMD(数字微镜元件),每个像素使用一个微镜,通过改变反射光的方向来生成图像。
3种元件各有利弊。
投影机使用的反射型液晶元件大体上采取如下3种措施:(1)采用无机材料的定向膜,易于控制液晶;(2)通过减小液晶层厚度,提高响应速度;(3)通过取消液晶中的障碍物即隔离片(Spacer),提高光的利用效率。
透过型元件与反射型液晶元件结构与液晶面板相同的透过型元件透过型液晶元件生成图像的原理与已经广泛用作普通电脑显示屏的液晶显示器相同。
在日本国内,精工爱普生和索尼两公司已经开始提供这种元件。
投影机用的液晶元件是用高温多晶硅液晶制造的。
概述彩色投影机是一种将彩色电视画面投射到银幕上的显示设备,它具有屏幕大、亮度高、色彩鲜艳、画面清晰等特点。
近年来,随着电视教学、国防科研、商业博览及录像厅和卡拉OK歌舞厅的发展,彩色投影机得到了广泛应用。
目前在国内流行的彩色投影机一般有两种类型:一种是日本索尼、松下、日电、意大利视丽、美国东丽等阴极射线管式的投影机;另一种是日本夏普、松下、日立、JVC、三菱、索尼等液晶光阀投影机(简称液晶投影机)。
阴极射线管式彩色投影机近似于电视机,所不同的是,它不采用单一的显像管,而是使用高亮度的阴极射管。
这种彩色投影机一般都是3管式,使用3个大口径透镜与红、绿、蓝3个投射管相配合,以便在固定的投影距离下进行三色配准成像。
液晶彩色投影机与幻灯机工作原理很相似。
液晶彩色投影机是将幻灯机中的幻灯片用液晶板代替,液晶在信号的作用下,在上面就会出现类似幻灯片的图案,即外加信号电平的变化可以改变液晶的透光性,从而使液晶板上出现与驱动信号相应的图案。
在液晶彩色投影机中,液晶板受视频信号的控制,因此就会出现电视图像。
液晶彩色投影机实现彩色图像的投影方法有两种,即单板直接投射式和三板合成投射式。
单板投射式是在一快液晶板上使红、绿、蓝滤三色片呈三角形排列,利用红、绿、蓝各光通量可从电气上予以变化的事实,显示全部色彩。
三板合成投射式是将投射的光源分解成红、绿、蓝三色光,同时也采用了3快液晶板,有视频信号处理之后解出的三基色信号分别控制。
三色光通过3快液晶板后就成了3个单色的图像,将3个单色图像叠在一起就可合成一彩色图象。
第一章液晶彩色投影机的光学机构光学系统液晶彩色投影机的光学系统一般有两种:一种是三镜头方式,一种是单镜头方式。
由于三镜头方式对镜头的安装调整要求较高,体积又大,如稍有错位就会出现色不重合,即“重影”现象,严重影响图像的清晰度。
因此实际上液晶彩色投影机基本采用单镜头方式。
单镜头三板式液晶彩色投影机,这种光学系统主要是在投射镜头处设置了一个棱镜式分光(色)镜,就可使光学系统的体积大大缩小。
目录一般安全性概要…………………………………………………………(1)产品简介………………………………………………………………(2)RUN290F ………………………………………………… (2)RUN500 …………………………………………………… (3)RUN380A…………………………………………………… (3)RUN381A…………………………………………………… (4)RUN880AV………………………………………………… (4)系统主机与电脑的连接 (5)红外发射棒的连接 (6)红外学习………………………………………………………… (6)可编程COM口连接(RS232接口) (6)电动幕接线图…………………………………………………………(6)中控与M12系列面板连接 (7)中控与WIFI系统连接 (7)WIFI操控系统连接图 (8)WIFI系统的网络设定 (9)WIFI系统页面文件浏览、下传 (9)系统开发流程…………………………………………………………(10)编程软件………………………………………………………… (10)880A V音频流程图 (11)★一般安全性概要了解下列安全性预防措施,以避免受伤,并防止损坏本产品或与本产品连接的产品。
为避免可能的危险,请务必按照本规定使用本产品。
●只有合格人员才能执行维修程序。
●避免起火和人身伤害●使用正确的电源线。
只能使用所在国家认可的或厂家原配的专用电源线。
●将产品接地。
本产品通过电源线的接地导体接地。
为避危险,接地导体必须与地相连,使用前,请务必将本产品接地。
●查看所有终端额定值。
为避免起火或过大电流冲击,请查看产品上所有的额定值和标记说明。
●请勿开盖操作。
外盖或面板打开时请勿运行本产品。
●使用合适的保险丝。
只能使用本产品指定的保险丝类型。
●怀疑产品出现故障时,请勿直接进行操作。
如果您怀疑产品已被损坏,可请合格的维修人员进行检查。
●本产品在使用中,请保持适当的通风。
投影机的成像原理基础概要:投影机目前已广泛应用于演示和家庭影院中。
在投影机内部生成投影图像的元件有三类,根据元件的使用种类和数目,产品的特点也各不同。
此外,投影机特有的问题包括:画面会因投影角度的不同而出现失真以及在屏幕前面要留出一定的空间等。
解决办法是采取失真补偿和实现短焦等措施。
投影机是一种用来放大显示图像的投影装置。
目前已经应用于会议室演示以及在家庭中通过连接DVD影碟机等设备在大屏幕上观看电影。
在电影院,也同样已开始取代老电影胶片的数码影院放映机,被用作面向硬盘数字数据的银幕。
说到投影机显示图像的原理,基本上所有类型的投影机都一样。
投影机先将光线照射到图像显示元件上来产生影像,然后通过镜头进行投影。
投影机的图像显示元件包括利用透光产生图像的透过型和利用反射光产生图像的反射型。
无论哪一种类型,都是将投影灯的光线分成红、绿、蓝三色,再产生各种颜色的图像。
因为元件本身只能进行单色显示,因此就要利用3枚元件分别生成3色成分。
然后再通过棱镜将这3色图像合成为一个图像,最后通过镜头投影到屏幕上。
使用图像显示元件,分别产生红、绿、蓝三色图像,然后通过合成进行投影。
图像显示元件包括3类。
其中采用液晶的有2类,分别是采用光透过型液晶的透过型液晶元件和采用可反射光的反射型液晶的元件。
后一种元件是DMD(数字微镜元件),每个像素使用一个微镜,通过改变反射光的方向来生成图像。
3种元件各有利弊。
投影机使用的反射型液晶元件大体上采取如下3种措施:(1)采用无机材料的定向膜,易于控制液晶;(2)通过减小液晶层厚度,提高响应速度;(3)通过取消液晶中的障碍物即隔离片(Spacer),提高光的利用效率。
透过型元件与反射型液晶元件结构与液晶面板相同的透过型元件透过型液晶元件生成图像的原理与已经广泛用作普通电脑显示屏的液晶显示器相同。
在日本国内,精工爱普生和索尼两公司已经开始提供这种元件。
投影机用的液晶元件是用高温多晶硅液晶制造的。
1. NSR的概要1.1 NSR的動作原理NSR是縮小投影Reticle上的図形、以Step and Repeat方式、在Wafer上曝光的装置。
基本構成如図1-1所示。
ReticleReticle縮小投影鏡頭縮小投影鏡頭Fiducial markWaferXY stage Wafer stage座標軸被超高圧水銀灯照明的Retice図形、通過縮小投影鏡頭、180°回轉後、縮小投影到Wafer stage上的Wafer之上。
(図1-2)Wafer由真空固定在Wafer stage上、辺進行XY方向移動、辺進行曝光。
Wafer stage的位置由激光干渉儀高精度地進行管理、可以将Wafer正確地移動到曝光位置。
Stage的座標原点在正対NSR右前面的位置、以離開此処的距離決定座標位置。
Stage上有被称為Fiducial mark的基準Mark。
使用此Mark和激光干渉儀、可以測定Reticle或Wafer Alignment傳感器的座標位置。
1.2 装置構成1.2.1 NSR的名称NSR的産品名按如下形式取名。
①NSR為「Nikon Step and Repeat exposure systems」的略称。
②表示最大曝光範囲。
200為正方形□20.0mm的曝光範囲。
③表示投影鏡頭的投影倍率。
5是表示将Reticle上的図形以1/5倍投影到Wafer上。
④表示曝光光波長。
i是表示使用由超高圧水銀灯発出的光中的i線。
⑤表示NSR本体的型式名。
此数字越大意味着是越新模型的NSR。
⑥表示投影鏡頭的型式。
同様的□20mm1/5倍、使用i線的鏡頭中、以A或B進行区別。
1.2.2 NSR的構成NSR由本体部、環境腔体、控制櫃構成。
本体部是将Reticle上的図形投影曝光到Wafer上的装置、処在環境腔体内。
環境腔体是調整本体部的環境(温度、清潔度)的空調機。
控制櫃内装有各控制Unit、進行本体的控制。