扫描电镜操作方法
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1、接通电源，打开电镜主机上的开关（开关有三个档，第一档为关闭，第
二档开启，第三档为启动）启动的时候把钥匙放在第三档大约两秒钟松手，电镜
启动，钥匙自动回到第二档（回到第二档的原因是防止突然断电，又突然来电）。
2、打开电脑。
3、打开电脑桌面上的电镜操作软件（打开软件电镜真空泵会自动工作，开
始抽电子枪与样品室内的空气。此时软件上的“HT”为灰色，真空抽完之后，“HT”
会变成蓝色）
4、点操作界面的Sample，选择“Vent”（此时电镜主机上的“放气”指示灯开
始闪烁，停止闪烁为工作完成），调正“Staqe”中的“Z”轴为40mm以上（“Z”轴
最大位置为80mm），打开样品室，取出样品台（注意：在取样品台时手不得接
触二次电子探头和背散射探头），固定样品（样品要确保良好的导电性），完成
后再抽真空，点击Sample中的“Evac”，真空泵开始工作，当“HT”变为蓝色，抽
真空完成。 5、确定工作电压与工作距离（工作电压“Acc.volt”一般为30KV，工
作距离“WD”一般为10mm，束斑Spotsize一般为30，工作模式Signal：二次电
子SEI和背散射BEW，真空模式Vac.mode：HV和LV）在确定工作电压和工作
距离时，不用看原来的数值是多少都要重新指定。 6、点击“HT”打开高压，“HT”
变为绿色。
7、打开“Staqe”通过调正“X、Y、T、R”四个轴向找到样品的位置，再调正“Z”
轴确定样品台的位置（注意：在确定工作位置的时候要确定样品的高度。如：样
品为2mm，那么Z轴的数值应调正为15mm），放大样品到模糊看不清的倍数，
通过对“Z”轴的上、下位置调正样品为最清淅的位置，再放大样品到模糊看不清
的倍数，再用同样的方法调正到最清淅的位置。 8、点击“Vlew”使放大倍数回到
30X，
9、先放大到一个合适选择最佳拍照位置的倍数，选择一个最佳的拍照位置
（样品表面尽量平整）
10、 旋转操作台上的放大旋钮到样品合适的放大倍数（此数值的确定跟据
样品的不同而不同），氧化锌的适合放大倍数为15000X，软件上操作窗口的Soan2
为被选择状态。
11、 左右旋转操作台上的聚焦旋钮，使图像到最清楚的聚焦状态。
12、 点击软件上操作窗口的Soan1，此时在观查窗口中会出现一个新窗口，
此窗口中的图像同样是放大15000倍的图数（消像散调正的原侧是高倍调正，低
倍拍照）在新的窗口中把图像放大到30000X（消像散放大的倍数最少是拍照倍
数的2倍）。
13、 按操作台上的消像散与对比度和亮度的切换按钮，切换到消像散的位
置。
14、 通过旋转旋钮调正X、Y轴上的像散（先调一个向方再调另一个方向），
使图像调正为X、Y都是最清楚的位置。如像散无法调正到最清楚的位置，
是因为像散已经调乱了，此时可以点软件上操作窗口的“Rest”按钮恢复到开始的
位置重新校正。校正完毕后把新窗口中的图像回到拍照放大倍数。再进行聚焦调
正（此时是微调）。
15、按操作台上的消像散与对比度和亮度的切换按钮，切换到对比度与亮
度调正位置。
16、点击软件上操作窗口的Soan3，大约10秒钟观查窗口出现扫描图像，
此图像中调正对比度与亮度。如果需要观察某一个亮度下的图像，可以就击操作
窗口上的：Sanp1、或Sanp2 。（对比度与亮度的最佳状态为突起的位置不刺眼，
凹的位置不能太暗看不清）。
17、点击软件上操作窗口的Soan4 。80秒后图像处理完毕。
18、点击图像上向的“Save”保存图像。（在保存图像的时候可以选择图像显
示信息和不显示）。
