无尘室管理规定
IMB standardization office【IMB 5AB- IMBK 08- IMB 2C】
目?录
无尘车间管理的目的
无尘车间管理的原则
适用范围
术语
管理程序
5．1?无尘室施工管理制度
5．2?无尘室洁净度定期检测制度/测量标准
5．3?无尘室人员管理制度
5．4?无尘室洁净服管理制度
5．5?无尘室物流/洁净室内设备及工器具管理制度
5．6?无尘室清洁、清扫和灭菌管理
5．7?无尘室洁净室安全管理
版本更改记录
1．0?无尘车间管理的目的
半导体产品生产过程对车间有明确的洁净要求，为了满足生产工艺需要、保证产品质量、安全生产，必须对洁净室的环境、人员、物料、设备、生产过程等进行控制。
2．0?无尘车间管理的原则
进入洁净室的管理，包括对洁净室工作人员进入、物料进入、各类设备的搬入以及相关的设备、管线的维护管理，应做到不得将微粒、微生物带入洁净室。
操作管理技术，对洁净室内人员用洁净工作服的制作、穿着和清洗；操作人员的移动和动作；室内设备及装修材料的选择和清扫、灭茵等，尽可能地减少、防止洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖等。
严格各类设备、设施的维护管理，制定相应的操作规程，保证各类设备、设施按要求正常运转，包括净化空调系统、各类水气电系统、生产工艺设备和工器具(工装夹具)等。以确保产品生产工艺要求和空气洁净度等级。
清扫、灭菌管理，对洁净室内的各类设备、设施的清扫、灭茵以及方法、周期和检查作明确的规定，防止、捎除洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖。
洁净室环境控制的内容包括：空气净化、洁净建筑、与产品直接接触的水或气体或化学品和生产设备、工器具等的污染物控制以及微振动、噪声、静电的控制、防止等。
3．0适用范围
半导体公司所有洁净生产区及洁净辅助间(包括人员净化用室、物料净化用室和相关生活用室等)、车间内管理区(包括部分办公、值班、管理和体息室等)和将来新建、改建、扩建的洁净厂房及其辅助用房。
厂区卫生间清洁的标准操作规程SOP1
一、目 的：明确卫生间清洁人员的职责，保持卫生间清洁干净、无臭味。
二、适用范围：适用于卫生间的清洁。
三、责 任 者：清洁工。
四、程 序：
1 清洁部位：包括墙面、地面、门窗、把手、洗手池、废物贮器、便池等。
2 清洁频率：每日上班后及下班前各清洁 1 次，特殊情况随时清洁。
3 清洁工具：水桶、拖布、笤帚、毛刷、清洁布、水管、橡胶手套等。
4 清洁剂：洗衣粉、洁厕精。
5 消毒剂：0.1%新洁尔灭。
6 清洁方法：
6.1 清理废物贮器，置生活垃圾收集处，并清洁废物贮器。
6.2 墙面门窗：用洗衣粉擦试1遍后，再用清洗干净的湿布擦拭1遍。
6.3 洗手池：用清洁剂，涂布于洗手池表面，然后用水冲洗干净。
6.4 便池：将卫生间的专用洁厕精涂布于便池表面；停留5分钟、用毛刷刷洗后，用水冲洗干净，达到大小便池显本色。
6.5 地面：用水冲洗干净后，再用干拖布将地面擦拭干净。
7 消毒：
每次完成清洁工作后，用 0.1%新洁尔灭喷洒地面、墙角消毒。
8 清洁评价：卫生间无异味，便池洁净无垢，门、墙无灰尘，地面无积水，室内无蚊蝇。
9 清洁工具的清洗及存放：将清洁工具用清洁剂清洗干净后，置卫生间指定位置晾干，备用。
10 卫生间使用的清洁工具应有明显的区分标示，禁止与生产区的清洁工具混用。
3.6 设备清洁清洗
【实施指导】
3.6.1 范围及职责
设备清洁清洗适用范围及职责要求
应建立详尽的生产设备清洗文件或程序，规定设备清洗的目的、适用范围，职责权限划分。
针对不同类型设备清洁，包括在线清洗（WIP）、清洗站清洗、容器、附属设备设施等。不同情况的设备清洁，包括例行、换班、换批、还产品、特殊情况等做出不同的定义，按照设备清洁的步骤详细描述清洁过程各环节的工作方法和工作内容，包括动作要领、使用工具、使用的清洗剂、消毒剂、清洁需达到的标准等，确定每种方式的清洁标准和验收标准。
对于在清洗过程中需拆装的设备设施，还要明确拆卸和重新安装设备及其附属设施每一部件的指令、顺序、方式等,以便能够正确清洁。
需对设备清洗中使用的清洗剂、消毒剂的名称、浓度规定、配置要求、适用范围及原因等做出明确规定。
应当对清洁前后的状态标识、清洁后保存的有效期限等做出明确规定，如：移走或抹掉先前批号等标识的要求。用恰当的方式标识设备内容物和其清洁状态、规定工艺结束和清洁设备之间允许的最长时间、设备清洁后的可放置时间等。
需对设备清洁现场管理和EHS的要求等做出规定。
对清洁后的设备的储存、放置方式、环境、标识、效期等做出规定，必要时需对清洁区域的人员、物品特别是不同清洁状态的物品等的流向、定置要求的等做出规定以确保清洁效果，防止污染、交叉污染和混淆。
清洁过程应参考如下步骤进行规定：
确定需清洁的污染物性质和类型―清除所有前一批次残留的标识、印记―预冲洗－清洗剂清洗－冲洗、消毒－干燥－记录－正确存储。
3.6.2 文件及人员资格
设备清洁清洗的文件和人员资格的要求：
对设备清洁清洗人员的文化素质、工作经历、接受培训以及健康、安全卫生等方面做出要求，根据人员层次不同，做出不同的文件规定（职位描述、胜任力模型等）。同时根据GMP和实际工作要求做定期和不定期培训，并保存相关培训记录。
超净工作台维护保养、操作SOP 编号： SOP-SB004-00 页 码： 1\3
版本号：01 修订号：00 机密等级： 秘密
1. 目的
规范超净工作台清洁、维护保养操作，确保正确使用，制定本规程。
2. 范围
本规程适用于超净工作台清洁、维护保养、操作。
3. 职责
3.1. 洁净室操作人员：负责本规程操作。
3.2. 复核人：按照本标准操作程序对操作人的操作进行复核，确保操作的正确性。
4. 定义
无
5. 引用标准
无
6. 材料
6.1. 仪器设备
无
6.2. 器械、用具
无
6.3. 其他
无
7. 流程图
无
8. 内容
8.1. 操作
8.1.1. 使用前应提前30分钟打开电源。 起草人 起草日期
颁发部门 质量管理部 审核人 审核日期
批准人 批准日期
生效日期
分发清单
研发部[ ]质量管理部[ ]
综合管理部[ ]生产管理部[ ]
市场销售部[ ]财务部[ ] 资料整理
8.1.2. 检查高效过滤器外观不应有损坏之处，以免影响过滤效果。
8.1.3. 检查回风口不应被堵塞。
8.2. 清洁方法
8.2.1. 连续使用时，每天必须对超净工作台进行清洁。长期停用要根据具体情况定期进行清洁，已保持设备清洁。
8.2.2. 清洁消毒剂
洗洁精、75%酒精、0.1%新洁尔灭。
8.2.3. 用抹布蘸取洗洁精水擦拭外部后再用抹布蘸取纯化水擦拭直至无泡沫。
8.2.4. 用超细抹布蘸75%乙醇液或0.1%新洁尔灭（两种消毒剂交替使用）进行消毒。
8.2.5. 环境的洁净程度，1月将粗滤布（涤纶无纺布）拆下清洗或予以更换。
8.2.6. 每次使用前对环境进行灭菌工作，同时用纱布沾上酒精将紫外线灭菌灯的表面擦干净，保持表面清洁，否则会影响灭菌效果。
8.2.7. 清洁效果
用清洁超细布擦拭，无不洁痕迹。
8.3. 维护保养
