压力容器氦质谱检漏法介绍

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被检件
漏孔
检漏方法介绍
压力容器氦质谱检漏法介绍
一、 概述
检漏的目的是确定被检件漏孔的位置和漏率,这些目的是通过采用一些
标准的检漏方法实现的。采用什么方法要视被检件的结构、检漏的经济效益
及检漏系统的性质来决定。根据不同的检漏目的,基本上有吸入法、喷吹法、
背压法、真空箱法等几种常用检漏方法:
1、
吸入法——确定漏孔位置
又称吸枪检漏,如图1-5,将专用吸
枪联接在仪器检漏口上,被检件则充入规
定压力的氦气(纯氦气或一定比例含氦的
混合气)。检漏时,让吸枪沿可疑漏孔处
慢慢移动,若被检件有漏孔,氦气自漏孔
漏出,被吸枪吸入送至仪器的质谱管而被
检测。
吸入法检漏灵敏度相对喷吹法要低,
但是其检漏口真空主要是由吸枪流量决
定的,所以不受被检件容积的限制,适合
检测大的容器。

2、
喷吹法——确定漏孔位置
该方法是将被检件接在检漏仪的检
漏口,用仪器的真空系统对其抽真空并
达到真空衔接与质谱管沟通,然后用喷
枪向可疑漏孔喷吹氦气。当有漏孔存在
时,氦气就通过漏孔进入质谱管被检测。
下图是喷吹法原理示意图。
喷吹法检漏的灵敏度高,质谱管不

吸枪
检漏仪

装有氦气的
压力容器

装有氦气的压力容器
喷枪
被检件
漏孔




易受污染,但是检大容器时可能有真空抽不下来的情况,可能要加辅助真空
设备。
3、
背压法——测总漏率
电子元器件进行气密性检测时常
用背压法。检漏前用专用加压容器向被
检件压入氦气(由压力和时间控制压入
的量),然后取出被检件,吹去表面吸
附氦后放入专用检漏罐中,再将检漏罐
联接到检漏仪的检漏口上,对检漏罐抽
真空,实施检漏。若器件有漏,则通过
该漏孔压人的氦气又释放出来进入检
漏罐,最终到达质谱管。用这种方法测
得的漏率也是总漏率。图1-7为背压
法检漏示意图。

4、
真空箱法

真空箱法是一
种比较复杂的方法。检漏时先将工件如上图放入真空箱中,关闭V1、V2,打
开V3使用真空箱预抽系统对真空箱抽真空,如果可以在规定时间内抽到规
定的真空度,说明被检工件没有大漏,反之有大漏则需要将工件拿下来检大
漏。如果真空可以抽下来则关闭V3,然后打开V2使用工件预抽系统对工件

被检件
真空箱

工件预抽
系统 真空箱预
抽系统

检漏仪

氦气

检漏仪
压入氦的被
检件
密闭的容

漏孔
抽真空,当工件真空抽到一定值后,关闭V2打开V1对工件内部充氦。充氦
完成后关闭V1,打开V3和检漏仪对工件检漏。如果工件有漏,则工件内部
的氦气通过漏孔进入真空箱,被检漏仪检测出来。如果超标还需要将工件取
出用其他方法再检。
二、 压力容器检漏方法
由于待检漏的压力容器工作状态为正压,因此可采用吸入法检漏。为节
约氦气成本,可向容器内充入一定浓度和压力的氦氮混合气,然后用检漏仪
的吸枪对容器的可疑漏点进行吸入法检漏。
1、 充氦
由于要充入的气体为氦氮混合气,如果没有已混合好的氦氮混合气,可
先向压力容器内充入一定量的氦气,然后再充氮气到规定压力即可(如需充
入1.5MPa30%氦氮混合气,则可先充入0.45MPa氦气,再充入氮气至1.5MPa)。
2、 检漏
混合气体充注完成后,用检漏仪的吸枪沿可疑漏孔处慢慢移动,检漏仪
显示氦信号,若漏率超过设定值,检漏仪报警。

被检件
真空箱

工件预抽
系统 真空箱预
抽系统

检漏仪

氦气