压力容器氦质谱检漏法介绍
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被检件
漏孔
检漏方法介绍
压力容器氦质谱检漏法介绍
一、 概述
检漏的目的是确定被检件漏孔的位置和漏率,这些目的是通过采用一些
标准的检漏方法实现的。采用什么方法要视被检件的结构、检漏的经济效益
及检漏系统的性质来决定。根据不同的检漏目的,基本上有吸入法、喷吹法、
背压法、真空箱法等几种常用检漏方法:
1、
吸入法——确定漏孔位置
又称吸枪检漏,如图1-5,将专用吸
枪联接在仪器检漏口上,被检件则充入规
定压力的氦气(纯氦气或一定比例含氦的
混合气)。检漏时,让吸枪沿可疑漏孔处
慢慢移动,若被检件有漏孔,氦气自漏孔
漏出,被吸枪吸入送至仪器的质谱管而被
检测。
吸入法检漏灵敏度相对喷吹法要低,
但是其检漏口真空主要是由吸枪流量决
定的,所以不受被检件容积的限制,适合
检测大的容器。
2、
喷吹法——确定漏孔位置
该方法是将被检件接在检漏仪的检
漏口,用仪器的真空系统对其抽真空并
达到真空衔接与质谱管沟通,然后用喷
枪向可疑漏孔喷吹氦气。当有漏孔存在
时,氦气就通过漏孔进入质谱管被检测。
下图是喷吹法原理示意图。
喷吹法检漏的灵敏度高,质谱管不
吸枪
检漏仪
装有氦气的
压力容器
装有氦气的压力容器
喷枪
被检件
漏孔
检
漏
仪
易受污染,但是检大容器时可能有真空抽不下来的情况,可能要加辅助真空
设备。
3、
背压法——测总漏率
电子元器件进行气密性检测时常
用背压法。检漏前用专用加压容器向被
检件压入氦气(由压力和时间控制压入
的量),然后取出被检件,吹去表面吸
附氦后放入专用检漏罐中,再将检漏罐
联接到检漏仪的检漏口上,对检漏罐抽
真空,实施检漏。若器件有漏,则通过
该漏孔压人的氦气又释放出来进入检
漏罐,最终到达质谱管。用这种方法测
得的漏率也是总漏率。图1-7为背压
法检漏示意图。
4、
真空箱法
真空箱法是一
种比较复杂的方法。检漏时先将工件如上图放入真空箱中,关闭V1、V2,打
开V3使用真空箱预抽系统对真空箱抽真空,如果可以在规定时间内抽到规
定的真空度,说明被检工件没有大漏,反之有大漏则需要将工件拿下来检大
漏。如果真空可以抽下来则关闭V3,然后打开V2使用工件预抽系统对工件
被检件
真空箱
工件预抽
系统 真空箱预
抽系统
检漏仪
氦气
检漏仪
压入氦的被
检件
密闭的容
器
漏孔
抽真空,当工件真空抽到一定值后,关闭V2打开V1对工件内部充氦。充氦
完成后关闭V1,打开V3和检漏仪对工件检漏。如果工件有漏,则工件内部
的氦气通过漏孔进入真空箱,被检漏仪检测出来。如果超标还需要将工件取
出用其他方法再检。
二、 压力容器检漏方法
由于待检漏的压力容器工作状态为正压,因此可采用吸入法检漏。为节
约氦气成本,可向容器内充入一定浓度和压力的氦氮混合气,然后用检漏仪
的吸枪对容器的可疑漏点进行吸入法检漏。
1、 充氦
由于要充入的气体为氦氮混合气,如果没有已混合好的氦氮混合气,可
先向压力容器内充入一定量的氦气,然后再充氮气到规定压力即可(如需充
入1.5MPa30%氦氮混合气,则可先充入0.45MPa氦气,再充入氮气至1.5MPa)。
2、 检漏
混合气体充注完成后,用检漏仪的吸枪沿可疑漏孔处慢慢移动,检漏仪
显示氦信号,若漏率超过设定值,检漏仪报警。
被检件
真空箱
工件预抽
系统 真空箱预
抽系统
检漏仪
氦气