氦质谱检漏仪的检漏方法

书山有路勤为径，学海无涯苦作舟
常用的几种氦质谱检漏方法(1)
氦质谱检漏方法比较多,根据被检件的测量目的可以分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中要根据检验的目的选用最合理的方法, 要以被检器件的具体情况而定,灵活运用各种检漏方法。

1、测定漏点型氦质谱检漏方法确定漏点型既是确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置,在大部件或大型部件中较为常见,如卫星、导弹弹体、弹头、输气管道、气罐、油罐、锅炉等。

1.1、喷氦法氦质谱检漏方法这是最常用的一种方法,通常用于检测体积相对较小的部件,将被检器件和仪器连通,在抽好真空后,在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头,焊缝等) 用喷枪喷氦,如图4 所示,假如被检器件某处有漏孔,当氦喷到漏孔上时,氦气立即会被吸入到真空系统,从而扩散到质谱室中,氦质谱检漏仪的输出就会立即有响应,使用这种方法应注意:氦气是较轻的惰性气体,在喷出后会自动上升,为了准确的在漏孔位置喷氦,喷氦时应自上而下,由近至远(相对检漏仪位置) ,这是因为在喷下方时氦气有可能被上方漏孔吸入,就很难确定漏孔的位置; 再者漏孔离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同,因此喷氦应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远来进行。

图4 喷氦法检漏示意图
在检测较大部件时要借助机械泵进行真空预抽,就可以提高检漏效率和时间,如图5 所示,喷氦法在检查那些结构比较复杂的,密封口和焊缝又比较多而且挤在一起的小容器时,由于氦喷出后会很快扩散开来,往往不容易准确地确定漏隙所在的部位,要采取从不同角度喷氦,仔细观察反应时间上的差别和将已发现的漏孔用真空封泥暂时封起来等办法,就可以把漏孔逐个检出。

氦检漏步骤
1、抽真空至5Pa以下就可以开始检测。

2、插上检漏仪电源，关闭上部手动挡板阀，开启检漏仪总电源，此时，“放气”
灯亮起，等待系统运行
3、当“系统正常”及旁边的两个灯都显示为绿色时，观察预置参数，应为10-15，
一般取15，观察数值，应为10的-8至-9次方时，可以开始检漏（等待
几分钟）
4、按“检漏”键，缓慢开启顶部手动挡板阀，注意：检漏口的压强不得超过
10MPa,否则机器易损坏，
5、数值稳定后，先记录下来，这就是“本底”
6、逐个将氦气充入焊缝，并封堵插入口，将数值变动记录下来。

全部完成充氦
后再观察20分钟，看数值有无大的变动。

7、关机时，应先关闭上部手动挡板阀，然后开启放气键，最后关电源。

氦质谱仪背压检漏方法概述及解释说明1. 引言1.1 概述氦质谱仪背压检漏方法是一种常用的无损检测方法，用于检测工业设备及管道系统中可能存在的泄露点。

该方法通过利用氦气的特殊物理性质和气体流动原理，实现对泄漏点进行准确、快速的定位和评估。

背压检漏方法具有非侵入性、高灵敏度和自动化程度高等优势，在工业领域得到了广泛应用。

1.2 文章结构本文将围绕氦质谱仪背压检漏方法展开详细论述，文章结构包括引言、背压检漏方法的原理、背压检漏方法的步骤与实施、背压检漏结果分析与评估以及结论与展望等部分。

首先介绍了本文的概述和目的，然后详细解释了背压检漏方法相关的原理，并探讨其在不同领域中的应用优势。

接下来，阐述了使用该方法进行检测时所需进行的准备工作和步骤，并提供了数据分析与处理方法。

最后，对测试结果进行评估和解读，并分析存在的误差，并提出改进措施。

文章最后总结了本次研究的主要成果，并提出了未来进一步研究的方向。

1.3 目的本文旨在全面概述氦质谱仪背压检漏方法，介绍其原理、优势和应用领域，详细阐述该方法的步骤与实施过程，并提供相关数据分析与处理方法。

同时，通过对实验结果的评估与解读，发现存在的误差并提出改进措施。

通过对氦质谱仪背压检漏方法进行深入研究和分析，期望为工程技术领域中泄漏点检测及预防提供参考和指导，并为后续研究提供基础依据。

2. 背压检漏方法的原理:2.1 氦质谱仪背压检漏原理:氦质谱仪背压检漏是一种常用的方法，该方法基于气体分子的运动特性和质谱检测技术，通过检测目标物体表面的潜在泄漏点来实现泄漏检测。

其原理可以简要概括为以下几个步骤。

首先，将高纯度的氦气作为探测介质注入已密封的被测试系统或设备内部。

由于氦气分子具有很小的尺寸和较高的扩散性能，在目标物体出现泄露时，氦气会从泄漏点逸出到周围环境中。

接下来，使用一个质谱仪进行监测和分析。

质谱仪内部设置了一个称为“零背景样品”的容器，其中充满了监测过程中未受外部干扰影响而得到平衡状态的环境空气样品。

华尔升氦质谱检漏仪常见的三种检漏法华尔升氦质谱检漏仪应用广泛，在检漏作业中，根据不同产品对密封的要求多采用负压法，正压法和压氦法三种检漏方法。

1、负压法检漏负压法检漏是将被检件接到检漏仪的检测口，用喷枪连续向可疑的漏孔喷射示踪气体，示踪气体通过漏孔进入检漏仪并被检测。

一般电子器件的外壳、高压开关管、氧化锌、避雷器等都应采用这种方法检漏。

根据产品的不同，需要选择不同尺寸的夹具或辅助工具。

举个例子，比如管壳的检漏。

检漏仪正常工作后，用标准漏孔进行漏率校准，就可以对管壳作喷吹检漏，先将夹具固定在检漏口，待测管壳放在夹具上面的橡皮板上，辅助抽气系统将其抽至预定真空后自动接至仪器的测量系统。

然后用喷枪连续向管壳喷氦气，时间一般1～3秒，当管壳存在漏孔时，氦气将通过漏孔进入仪器的质谱分析部分，漏量大小在漏率表上直接显示出来，这种方法既能判断漏孔的位置也可测量漏孔的大小。

整个检测周期只需一分钟。

2、正压法检漏正压法检漏与负压法检漏相反，吸枪接在检漏仪的检测口，而被检件充入规定压力的示踪气体，漏孔泄漏出来氦气被吸枪吸入检漏仪被检测。

大型容器或内部放气管量很大的容器做负压检漏很不经济，而且检漏速度慢，一般采取正压检漏。

这种正压检漏法应注意事项：首先必须校准仪器的吸枪灵敏度，再向容器内充入比一个大气压高的氦气；其次有些容器是薄板结构，建议在容器外面做夹具防止高压时变形损坏器件；最后吸枪沿焊缝移动时速度不要太快，离开表面1mm左右，以保证吸入灵敏度，将探头做成喇叭口形效果更好。

3、压氦法检漏压氦法检漏是将压有一定压力的示踪气体的被检件放入检漏夹具中，然后连至检漏仪将其抽空，示踪气体通过漏孔泄漏出来，经检漏仪检测总泄漏量。

一般小型电子器件宜采用这种检漏方法。

首先将仪器调整好，再将器件放入加压罐内压入氦气，氦气进入有漏孔的器件内部，无漏孔的器件只是表面吸咐氦气。

器件加压压力和时间根据GB2423，2328文件而定，器件从加压罐中取出后将表面吸咐的氦气吹掉再放入检漏夹具中抽空，待真空抽至设定值后自动将夹具连至仪器的测量系统。

正压法氦质谱检漏
正压法氦质谱检漏是一种常用的气体检漏方法，它利用氦气的小分子直径和低扩散系数特性，通过正压法将氦气注入被检测物体的内部，然后使用氦质谱仪检测被检测物体表面或密封边界是否存在漏气点。

正压法氦质谱检漏主要包括以下几个步骤：
1. 准备工作：将氦气充入质谱仪并建立质谱仪与被检测物体之间的连接。

2. 真空处理：在被检测物体内部建立一定的真空，以确保检测结果的准确性。

3. 注氦：将一定压力的氦气注入被检测物体的内部。

通常可以使用氦气罐或氦气压缩机进行注氦。

4. 检测：打开质谱仪，并进行氦气泄漏检测。

质谱仪将通过检测氦气的质谱信号，确定是否存在氦气泄漏点。

如果存在泄漏点，质谱仪将显示泄漏量的大小。

正压法氦质谱检漏的优点是灵敏度高、精确度高，能够检测到微小的气体泄漏点。

同时，由于氦气是稀有气体，对环境的影响较小。

然而，正压法氦质谱检漏也存在一些局限性，如设备价格较高，操作复杂，需要专业的操作人员等。

因此，该检漏方法主要适用于对泄漏点精确度要求高的场合。

氦质谱背压检漏
氦质谱背压检漏是一种常用的检漏方法，主要用于检测气体系统中的微小泄漏。

其基本原理是利用氦气在质谱仪中的高灵敏度检测能力，通过测量系统中的氦气浓度差异来确定泄漏点。

具体操作步骤如下：
1. 确保系统处于关闭状态，并将质谱仪连接到气体系统的出口。

2. 在质谱仪的控制面板上设置合适的检测参数，如扫描速度、灵敏度等。

3. 打开质谱仪的抽气泵，将氦气抽入系统中。

4. 在气体系统中设置适当背压，通常在10-1000 Pa之间。

5. 开始检测，观察质谱仪的显示屏上的氦气峰值图谱。

6. 如果氦气峰值图谱中存在异常的峰值或与背景不一致的波动，表示存在泄漏点。

7. 根据泄漏点的大小和位置，采取相应的修复措施进行处理。

需要注意的是，在进行氦质谱背压检漏时，要确保气体系统的密封性良好，确保检漏结果的准确性。

此外，背压的设置应适当，过高的背压可能影响检测的灵敏度，而过低的背压可能导致系统内氦气稀释不足，也会影响检测的准确性。

氦质谱检漏试验是一种常用的无损检测方法，主要用于检测设备或容器的密封性能。

其基本原理是通过氦气的渗透或压力差，检测设备或容器的漏气情况，从而判断其密封性能的好坏。

氦质谱检漏试验方法一般包括以下几个步骤：
1.准备测试设备：将待检设备或容器进行清洗和干燥处理，确保表面干净无油污和杂质。

2.安装氦质谱检漏仪：将氦质谱检漏仪安装到测试设备上，并连接好气源和检漏探头。

3.进行氦质谱检漏测试：在测试设备的接口处注入氦气，并通过检漏探头监测氦气泄漏的情况。

氦气泄漏的情况可以通过氦质谱检漏仪的显示屏或声音提示来判断。

4.分析测试结果：根据测试结果，判断设备或容器的密封性能是否符合要求，并确定是否存在漏气问题。

需要注意的是，氦质谱检漏试验需要在无风的环境下进行，以避免氦气的外泄。

同时，氦质谱检漏试验也不能完全替代其他检漏方法，应根据实际情况选择合适的检测方法。

氦质谱捡漏方法
氦质谱捡漏方法是一种通过使用氦质谱仪来检测气体泄漏的方法。

以下是氦质谱捡漏方法的基本步骤：
1. 准备工作：确保氦质谱仪和检测系统处于正常工作状态。

检查所有连接和密封处的泄漏，确保仪器不会在检测过程中泄漏氦气。

2. 准备氦气：使用标准的氦气瓶或氦气发生器准备氦气。

确保氦气纯度高，不含其他杂质。

3. 连接样品：将需要检测泄漏的样品与氦质谱仪连接。

确保连接处密封良好，以防氦气泄漏。

4. 启动质谱仪：打开氦质谱仪的电源并启动。

等待仪器预热稳定。

5. 设置仪器参数：根据需要设置质谱仪的参数，例如扫描范围、扫描速度等。

6. 设定氦气流量：根据样品的大小和需求，调整氦气注入样品的流量。

过高或过低的气流可能影响检测效果。

7. 开始检测：将氦气注入样品并观察质谱仪的读数。

如果样品存在泄漏，泄漏的氦气将进入质谱仪，产生特定的质谱图谱。

8. 分析结果：根据质谱图谱分析泄漏的位置和大小。

根据需要，
可以采取修复措施或对泄漏源进行进一步的检查和处理。

请注意，氦质谱捡漏方法需要专业的操作和分析技能。

操作人员应遵循仪器的操作手册，并在安全的实验室环境中进行操作。

氦质谱检漏仪检测泄漏的6种⽅法原⽂出⾃：/index.aspx?lanmuid=101&sublanmuid=711&id=1866氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）是真空检漏领域⾥不可缺少的⼀种技术，设备具有检漏效率⾼、简便易操作、仪器反应灵敏、精度⾼、不易受其他⽓体的⼲扰等特点，该仪器在电阻炉检漏中得到了⼴泛应⽤。

氦质谱检漏仪检漏中最常⽤的两种⽅法是喷枪测试法及吸枪测试法，其实除了这两种⽅法之外，氦质谱检漏仪的检漏⽅法多达6种，且每种测试也各有⾃⼰的优点，今天⼩编就跟⼤家普及⼀下。

氦质谱检漏仪检测泄漏⽅法⼀：喷枪测试法喷枪测试法主要⽤在真空环境下定位泄漏点。

⾸先，检漏仪将检测部件内部的⽓体抽到⼀定的真空度。

然后，探测⽓体通过喷枪喷扫在部件的外表⾯。

通过泄露点进⼊的探测⽓体流量定位泄漏点。

喷枪测试法具有定位泄漏、⾼灵敏度、操作简便、局部或整体测试等特点。

氦质谱检漏仪检测泄漏⽅法⼆：吸枪测试法吸枪测试法是通过正压的⽅法定位泄漏点。

⾸先，向测试部件内充⼊⼀定压⼒的探测⽓体。

然后，吸枪探头对被测部件四周进⾏检测。

如果存在泄漏，检漏仪会探测出外泄的探测⽓体从⽽定位泄漏点。

吸枪测试法具有定位泄漏、⽆需在真空环境下进⾏测试、操作简便等特点。

氦质谱检漏仪检测泄漏⽅法三：真空箱测试法真空箱测试法主要应⽤于⽣产线环境。

测试部件被放置在充满探测⽓体的真空腔体内。

如果发现有泄漏，探测⽓体会从测试部件内逃到真空腔体内，从⽽检测出泄漏点。

真空箱测试法具有⾼灵敏度、⾼产量、便于集成到产线上、易于校准、⾼重复性等特点。

氦质谱检漏仪检测泄漏⽅法四：背压法背压法要求测试部件是已经密封好的，没有⽓体外泄也不能加压。

将测试部件置于真空腔体内，灌⼊探测⽓体并加压。

如果发现有泄漏，由于⽓压关系探测⽓体会进⼊到测试部件内部。

随后将被测部件脱离真空环境。

由于压差关系，原先进⼊到测试部件内的探测⽓体会脱附出来，同时被检漏仪检测出。

氦质谱检漏仪的使用是怎样的呢
氦质谱检漏仪是一种专业用于检测真空系统漏气的仪器。

它使用氦气作为测试
气体，利用氦气极小的分子大小和无色无味的特性，在真空系统中通过泄漏孔进入真空室进行检测。

通过对泄漏氦气进行检测，可以确定系统中的漏率并定位漏点。

氦质谱检漏仪广泛应用于各种机械、电子、航空航天等各个领域，因其检测精
度高、可靠性强而备受青睐。

在此介绍氦质谱检漏仪的使用方法及注意事项。

1. 准备工作
在使用氦质谱检漏仪进行检测之前，需要做好各种准备工作：
•确定检测目标
•安装适当的接口及氦气瓶
•检查真空系统密封性
2. 检测前操作
使用氦质谱检漏仪进行检测前，需要进行一些操作：
•安装检测器
•启动氦气供应
•实施排气处理
•进行预漏测试
3. 进行检测
进行氦质谱检漏仪检测的步骤如下：
1.将氦气从氦气瓶中引入到真空系统中。

2.在检测器控制面板上设置好检测参数，如检测压力、场强、灵敏度等。

3.开始检测，并对检测结果进行分析定位漏点。

4. 注意事项
在使用氦质谱检漏仪进行检测时，需要注意以下事项：
1.氦气具有燃爆性，检测过程中禁止吸烟、使用明火等行为。

2.氦气具有极小的分子大小，在真空系统中容易扩散，因此检测时需要
尽可能避免漏气。

3.在检测前需仔细检查检测设备和真空系统密封性，以免测结果不准确
或漏点不能定位。

4.在检测过程中需要根据实际情况进行调整，调整参数，增强检测灵敏
度，以更好地检测漏点。

以上是氦质谱检漏仪使用方法及注意事项，正确使用氦质谱检漏仪可以确保系统的安全性，保障产品质量。

氦质谱检漏方法
氦质谱检漏方法是一种常用的检测气体泄漏的方法，使用氦气作为探测气体。

具体步骤如下：
1. 将被检测的系统或设备充满氦气，通常使用氦气罐或氦气瓶进行充气。

2. 在系统或设备的周围布置氦气检测仪器，包括质谱仪、探测器和监测器等设备。

3. 打开质谱仪和探测器等设备，使其开始工作。

4. 然后，在被检测的系统或设备上寻找潜在的泄漏点，可以使用氦气探测仪进行寻找。

5. 当氦气从泄漏点泄漏出来时，探测器会将泄漏气体中的氦气探测到，并转变成质谱信号。

6. 质谱仪会将探测到的质谱信号转化为相应的电信号，并通过监测器进行显示和记录。

7. 根据监测器上显示的信号强度，可以判断泄漏的位置和程度。

8. 检测完毕后，关闭质谱仪和探测器等设备，并及时排放残余的氦气。

氦质谱检漏方法的优点是敏感度高，能够检测到非常微小的气体泄漏。

而且氦气为无毒、无害的气体，对环境和人体无害。

因此，氦质谱检漏方法被广泛应用于空调、制冷、真空、压缩空气、液化气体等行业中的泄漏检测。

氦质谱检漏仪的检漏方法氦质谱检漏仪的检漏方法氦质谱检漏仪是一种高精度的检漏设备，可以检测出微小的漏孔和缺陷。

下面是氦质谱检漏仪的几种常见检漏方法：1.吸枪法吸枪法是一种常用的检漏方法，它通过将吸枪放置在待检测部位，利用氦气在漏孔处产生的气流吸引，将漏气吸入质谱室进行分析。

吸枪法的优点是操作简单、灵敏度高，适用于检测表面上的小漏孔。

但是，对于一些深孔或内部缺陷，吸枪法可能无法检测到。

2.喷吹法喷吹法是通过将氦气或氮气等气体以一定的压力和流量喷向待检测部位，从而发现漏孔的方法。

喷吹法的优点是可以检测到深孔或内部缺陷，并且对于一些小漏孔也有较好的检测效果。

但是，喷吹法的灵敏度相对较低，需要较高的气体压力和流量，可能会对被检测部件造成一定损伤。

3.真空法真空法是通过将被检测部件放置在真空环境中，然后向其内部充入一定量的氦气或氮气等气体，再通过检测部件内部气体压力的变化来判断是否存在漏孔的方法。

真空法的优点是可以检测到微小的漏孔，并且不会对被检测部件造成损伤。

但是，真空法的操作比较复杂，需要较高的技术水平和设备投入。

4.压力法压力法是通过将被检测部件放置在一定压力的氦气或氮气等气体环境中，然后通过观察部件表面是否有气体泄漏来判断是否存在漏孔的方法。

压力法的优点是可以检测到较大的漏孔，并且操作简单、灵敏度高。

但是，压力法可能会对被检测部件造成一定损伤，需要小心操作。

5.粘滞液体法粘滞液体法是通过将粘滞液体（如硅油）涂抹在被检测部件表面，然后在一定压力的氦气或氮气等气体环境中观察是否有气泡产生来判断是否存在漏孔的方法。

粘滞液体法的优点是可以检测到微小的漏孔，并且不会对被检测部件造成损伤。

但是，粘滞液体法的操作比较复杂，需要小心操作避免产生假阳性结果。

被检件漏孔检漏方法介绍压力容器氦质谱检漏法介绍一、概述检漏的目的是确定被检件漏孔的位置和漏率，这些目的是通过采用一些标准的检漏方法实现的。

采用什么方法要视被检件的结构、检漏的经济效益及检漏系统的性质来决定。

根据不同的检漏目的，基本上有吸入法、喷吹法、背压法、真空箱法等几种常用检漏方法：1、吸入法——确定漏孔位置又称吸枪检漏，如图1-5，将专用吸枪联接在仪器检漏口上，被检件则充入规定压力的氦气（纯氦气或一定比例含氦的混合气）。

检漏时，让吸枪沿可疑漏孔处慢慢移动，若被检件有漏孔，氦气自漏孔漏出，被吸枪吸入送至仪器的质谱管而被检测。

吸入法检漏灵敏度相对喷吹法要低，但是其检漏口真空主要是由吸枪流量决定的，所以不受被检件容积的限制，适合检测大的容器。

2、喷吹法——确定漏孔位置该方法是将被检件接在检漏仪的检漏口，用仪器的真空系统对其抽真空并达到真空衔接与质谱管沟通，然后用喷枪向可疑漏孔喷吹氦气。

当有漏孔存在时，氦气就通过漏孔进入质谱管被检测。

下图是喷吹法原理示意图。

喷吹法检漏的灵敏度高，质谱管不吸枪检漏仪装有氦气的压力容器装有氦气的压力容器喷枪被检件漏孔检漏仪易受污染，但是检大容器时可能有真空抽不下来的情况，可能要加辅助真空设备。

3、 背压法——测总漏率电子元器件进行气密性检测时常用背压法。

检漏前用专用加压容器向被检件压入氦气（由压力和时间控制压入的量），然后取出被检件，吹去表面吸附氦后放入专用检漏罐中，再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上，对检漏罐抽真空，实施检漏。

若器件有漏，则通过该漏孔压人的氦气又释放出来进入检漏罐，最终到达质谱管。

用这种方法测得的漏率也是总漏率。

图1－7为背压法检漏示意图。

4、 真空箱法真空箱法是一种比较复杂的方法。

检漏时先将工件如上图放入真空箱中，关闭V1、V2，打开V3使用真空箱预抽系统对真空箱抽真空，如果可以在规定时间内抽到规定的真空度，说明被检工件没有大漏，反之有大漏则需要将工件拿下来检大漏。

氦质谱检漏仪原理及使用方法及相关介绍精编版一、氦质谱检漏仪的原理1.首先，将待检测的物体使用泵抽真空，将环境中的空气抽去，使之达到一个低压下。

2.然后，将氦气注入被检测物体的周围环境中，此时被检测物体内部存在可能的泄漏点。

3.接下来，利用泵将周围的氦气抽入质谱仪进行分析。

在质谱仪中，氦气会分子破裂形成氦原子以及其他质子和电子组成的离子。

4.最后，利用质谱仪的探测器检测这些离子，并根据离子的种类和数量来确定氦气泄漏的位置和程度。

二、氦质谱检漏仪的使用方法使用氦质谱检漏仪来检测气体泄漏需要以下步骤。

1.连接仪器：首先，将氦质谱检漏仪的各个部分按照说明书连接好，确保仪器正常工作。

2.准备工作：确保被检测物体周围环境处于一定的真空状态，注入氦气之前，将其它气体从被检测物体周围排除出去。

3.注入氦气：将氦气注入被检测物体周围环境中，确保氦气在泄漏点出漏时能进入到被检测物体内部。

4.开始检测：通过操作仪器，将泵启动，将周围环境中的氦气抽入质谱仪中进行分析。

5.分析结果：根据质谱仪输出的数据和显示的曲线，来确定氦气泄漏的位置和程度。

6.维护和记录：检测完成后，对仪器进行维护和清洁，同时将检测过程和结果进行记录。

三、氦质谱检漏仪的应用1.工业领域：氦质谱检漏仪可以用于汽车、空调、制冷设备、容器、管道等工业设备的泄漏检测。

它可以检测到微小的泄漏，避免了潜在的安全隐患。

2.实验室应用：氦质谱检漏仪可以用于实验室的真空系统、气体贮存、气体分析等设备的泄漏检测。

它可以保证实验室设备和实验工作的准确性和安全性。

3.能源设备：氦质谱检漏仪可用于能源设备的泄漏检测，如太阳能光伏系统、风力发电机、核电站等。

它可以提高设备的使用寿命和能源利用效率。

综上所述，氦质谱检漏仪是一种非常有效的气体泄漏检测仪器，具有高灵敏度和准确性。

它的工作原理简单明了，使用方法也相对简单。

在工业和实验室中的广泛应用，保证了设备的安全和工作的正常进行。

常见的四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测标准氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。

当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。

在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对氦泄漏量。

根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同，可以将氦质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法，下面分别总结了这四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。

真空法氦质谱检漏采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。

按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。

其中真空喷吹法采用喷枪的方式向被检产品外表面喷吹氦气，可以实现漏孔的精确定位; 真空氦罩法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的氦气，可以实现被检产品总漏率的测量。

真空法的优点是检测灵敏度高，可以精确定位，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。

真空法的缺点是只能实现一个大气压差的漏率检测，不能准确反映带压被检产品的真实泄漏状态。

真空法的检测标准主要有QJ3123-2000《氦质谱真空检漏方法》、GB /T15823-2009《氦泄漏检验》，主要应用于真空密封性能要求，但不带压工作的产品，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。

正压法氦质谱检漏采用正压法检漏时，需对被检产品内部密封室充入高于一个大气压力的氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通孔漏孔进入被检外表面的周围大气环境中，再采用吸枪的方式检测被检产品周围大气环境中的氦气浓度增量，从而实现被检产品泄漏测量。