硅晶生长高度测量
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A
B
C
D
7
Drawn_Date
D ate General T olerance
Project_No.
Project No. T r eatment
MATERIAL
Material & Size Equip./
Qty
Qty Surface F inish
Remarks
R emarks
Over
Below
T olerance
0
6
0.10 0.15
6
30
Treatment
Scale
Scale D esigner
Module
硅晶生厂高度测量MC DC-CIRCUIT-DIAGRAM
R ev.
D escription
30
120
0.25 0.40 D rawing
120
300
D escription 300 600 0.60
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3.2 安全标志 设备的表面有粘贴警示标志,以提示相关人员在操作或维修时, 设备可能发生的伤害 四.安装要求 为 了 使设备 能 够 正 常的 运行 , 使用 者必须 遵循 以下 条 件 和 要 求: 1. 安装环境 a. 设备所安装的地面要平整 b. 不可以在潮湿的空间中运行,这样会影响设备的性能和使用 时间 c. 设备的环境温度应保证在 16 to 30°C 范围内 d. 设备的安装位置应该可以很容易的操作和维修 2. 电源和气源 a. 设备的 供 电电 源 为 :220VAC±10%,50HZ±10%, 单 相 电 源 + 地 线,10A±10% b. 气源为 5-7Bar 的压力 3. 安装规程 a. 在安装前,确认设备的各组装件是完好的 b. 设备到位后,调整设备的机脚使设备的工作太面处于水平位 置 c. 连 接 电 源 , 确 认 供 电电 源 为 :220VAC±10%,50HZ±10%, 单 相 电源+地线
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d. 连接气源,确认气源为 5-7Bar 的压力范围内 e. 将设备的包装材料和设备不相干的东西清除 f. 检查设备的元件和线路是否有松动, g. 将设备清洁干净 h. 打开电源,开电源前通知相关人员,以确保安全 i. 打开气源,开电源前通知相关人员,以确保安全 五.设备调整 设备在调整时,请先阅读第三节安全规程,以确保操作时人员和 设备的安全 1． 石英棒与测量机构同心度的调整 将测量机构移动到最大的位置，移动测量机构的底板，使石 英棒与测量机构的固定块同心， 再将测量机构移动到初始位 置，确认石英棒与测量机构的固定块是否同心，以确保测量 机构在测量过程中不损坏石英棒 六.操作使用 1.开机步骤 a.检查和润滑石英棒 b.打开设备的总气源 c.打开设备的电源 2.关机步骤 a. 检查石英棒 b.关闭设备的电源
硅晶生长高度测量设备 目录
一． 二． 三． 四． 五． 六． 七． 八． 九． 简介 技术参数 安全规程 安装要求 设备调试 操作使用 维护与保养 常见故障 附件 A 电气原理图
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一．
简介
1．概术 硅晶生长高度测量设备主要用于测试硅晶高度的设备， 首先将石英棒 固定到测量机构，通过测量机构的移动，当达到一定的阻力后，测量 机构返回，同时测量出硅晶的高度。 2．设备整体结构
3.设备类性 a.硬件部分 设备的运行主要由 PLC 控制的 制造商: 型号: OMRON CP1E
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输入: 输出: 三.安全规程
24 点 DC 16 点 DC
这章节 主要 对 设备安全 方面 的 描述 . 必须具 备安全 方面 的 培训才可 以操作或者维修此设备,以便于正确的操作和维修 1.安全要求 所有操作者和维修人员在 使用设备前必须经过安全方面 的培训,接 收培训后要完全理解以下内容: ※ 设备本身和加工过程 所可能发生化学或物理特性的危害 ※ 如何预防这些危害和当发生时, 如何保护自己 2.危害方面 化学 电气 机械 气压 放射性 热量 声音 控制系统 2.1 化学 在设备清洁或维修时,要注意清洗剂是否会对设备的元件和台 面 及表面产生影响
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D ate General T olerance
Project_No.
Project No. T r eatment
MATERIAL
Material & Size Equip./
此按纽用于点动测量机构上升方向 此按纽用于点动测量机构下降方向 此按纽用于退出回主界面 此按纽用于将测量机构回初始位置
表示设测量机构的移动动态图
C．历史数据界面
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测量时间 测量高度 之间高度 清 零 上一页 下一页
返 回
--------
退出此界面，切换到主界面
D．.参数设定界面
最小拉力 否正常 最小压力 突变压力 免测量高度 测量速度---返回速度----E.报警信息
--------
此设定是检测测量机构回 初始位置时的力是
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此设定是检测测量机构测量时的力是否正常 此设定是测量时检测到硅晶时的增加力 不需要测量力的高度
3. 设备主要部份 序号 1 2 功能 测量机构 电气控制系统
4.动作流程 首先测量机构回到初始位置，启动后测量机构开始移动，当移动过
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程中与到阻力大时，测量机构返回初始位置。 二.技术参数 本章节主要描述了设备总的性能和设备的要求 1.名牌 设备名称: 制造日期: 制造商: 设备编号: 2.设备特性 a.外观 外形尺寸:350X200X1500 设备重量:50KG b.电源 供电源:220V±10%+GROUND 50HZ 电流: 10A±10% c.气源 压力: 5-7Bar 硅晶生长高度测试设备 2010/12 苏州禹石自动化工程技术有限公司 MT10003
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显示测量时的时间 显示测量的高度 显示相联两次测量高度的差值 此按纽用于将测量的数据清零 切换到历史数据 1 界面 切换到历史数据 2 界面
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手动操作的选择 历史信息的选择 参数设定的选择 报警信息的选择 当前压力 -----
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此按纽用于切换到手动操作方式界面 此按纽用于切换到显示历史信息 此按纽用于切换到参数设定的界面 此按纽用于切换到报警信息界面
表示当前测量机构的压力
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MT10013-E-02 A4
U nit : MM [INCH] 0 5 10 Projection : 3rd Angle
8
Rev.
SUZHOU MILESTONE TECHNOLOGY CO.,LTD
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测量时速度的设定 测量后返回的速度设定
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此画面显示当前设备的故障原因 故障复位 返回 ----------------此按纽用于将设备的故障进行复位 此按纽用于切换到主界面
七.维护与保养 1．清洁 当设备的表面或框架有灰尘时，请首先用水浸湿一块柔软的布， 加入中性清洁剂，再将布拧干， 然后擦拭设备，不可使用涂料稀释 剂、有机溶剂或强酸混合物来清洗 ； 不可使用坚硬或带有尖角的物 体来操作触摸面板，否则可能损伤屏幕表面。 2．定期检查 所有电源线和电缆是否都已经正确连接？电缆有没有松动？ 安装固定螺丝是否可以稳固地支撑 ？安装固定螺丝是否松动？ 检测称重传感器的精度是否符合要求？ 七.常见故障 故障信息 故障现象说明 排除方法
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0.25 0.40 D rawing
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D escription 300 600 0.60
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0.90
DESIGNER
D rawn
1200
2000
1.20
Drawn_By
C hecked Approved
D rawing
2000
4000
1.80
N o.
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c.打开设备的总气源 3.操作界面 设备的操作界面是使用 FRO-FACE ST 系列的触摸屏与 OMRON 的 PLC 通讯,操作者可以通过触摸屏选择操作模式、 显示设备状 态、 报警信息、 设备动作等,在操作设备时必须理解各界面内容 的含义和功能 A.主界面 在 设备通电后, 触摸屏会 自 动 显示 到 这 个 界面 , 此画 面可以进 行 以下操作和显示:
Qty
Qty Surface F inish
Remarks
R emarks
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T olerance
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