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静脉留置针在手术室护理中的应用与体会兰州大学第一医院东岗院区手术室魏琼全夏萍730020摘要：目的：正确选择留置针快速建立静脉通道并规范操作，保证患者麻醉给药安全，确保手术顺利进行。
方法：对570例手术患者正确使用静脉留置针，迅速建立静脉通道，规范护理，进行了回顾性分析总结。
结果：正确选择留置针及血管、穿刺部位并规范护理是确保麻醉及手术安全的重要环节。
结论：加强护理人员的责任心，掌握静脉留置针操作规程，提高一次置管的成功率;加强观察及护理，及时发现置管存在的护理问题并进行原因分析，采取有效的护理措施是麻醉及手术安全的重要保障。
关键词：静脉留置针, 手术室 ,护理，应用体会静脉穿刺输液是手术室患者治疗的重要手段，由于手术急症抢救病员，往往需要短时间内快速大量输血及输液，这样，随着医学科学的发展传统的头皮钢针逐渐被静脉留置针所代替，快速静脉输液，使很多大量失血、失液患者转危为安。
静脉留置针（vein detained needle）是一种先进的输液器材, 最早20世纪60年代，静脉留置针就被欧美国家作为头皮针的替代物而普及使用，成为临床输液的主要工具, 近年来在国内临床得到广泛的应用。
在手术室中抢救创伤、危重患者或大手术时常需要大量、快速输注液体或血液制剂, 是手术顺利进行的必要条件之一。
我科自1995年开始应用静脉留置针，在手术过程中应用静脉留置针建立静脉通路，保证了手术及急症抢救病人的顺利进行，现将体会汇报如下。
1.一般资料2014年8月至2015年4月，手术患者570例，其中男352例，女218例，年龄在3个月-86岁之间，术前均选用静脉留置针建立静脉通路，规范操作，术中密切观察静脉留置针使用情况，及时发现置管存在的护理问题并进行原因分析，确保了术中麻醉给药及患者的安全。
2. 静脉留置针的优点与应用2.1静脉留置针的规格2.2静脉留置针的优点（1）保护血管，静脉留置针具有柔韧性好、对血管刺激小、很少发生导管打折与导管尖端破损等;（2）可以留置72-96小时，减少患者因反复穿刺造成的血管损伤及精神痛苦;（3）保持静脉输液通畅, 适用于大手术、特殊体位手术及术中需变换体位的患者;（4）减少了静脉的穿刺次数, 减轻了患者的痛苦和护士的负担, 提高了工作效率;(5) 能方便术中迅速静脉给药、紧急补液;（6）可以为患者提供多条治疗通道;(7)利于手术中巡回护士的观察。
毕业论文-学校教职员工管理系统的设计与实现---副本介绍该文档描述了一个学校教职员工管理系统的设计与实现。
该系统旨在帮助学校管理教职员工的信息和日常事务，提高管理效率和工作流程。
功能和特点该系统将具备以下几个主要功能和特点：1. 用户管理：系统将允许管理员创建和管理教职员工的用户账号。
不同角色的用户将享有不同的权限和访问级别。
2. 人员信息管理：系统将收集和存储教职员工的个人信息，包括姓名、性别、联系方式等。
管理员可对这些信息进行添加、修改和删除。
3. 考勤管理：系统将记录教职员工的考勤信息，包括上下班时间、请假记录等。
这将帮助学校监控员工的工作情况并统计相关数据。
4. 工资管理：系统将自动生成教职员工的工资单，并提供工资计算和统计功能。
管理员可以根据设定的薪资标准自动计算工资，并进行相关报表生成。
5. 绩效评估：系统将提供一个绩效评估模块，用于评估教职员工的工作表现和能力。
这将有助于判断员工的优劣，并为相关奖励和晋升提供依据。
6. 文档管理：系统将提供一个方便的文档管理功能，用于存储和共享教职员工相关的文档和资料。
7. 通知和消息：系统将提供一个内部通知和消息功能，用于实时发送重要通知给教职员工。
技术实现该系统将采用以下技术进行设计和实现：1. 后端开发语言：使用Java语言进行后端开发，利用Spring框架搭建系统后台。
3. 数据库管理：使用关系型数据库（如MySQL）存储和管理教职员工的信息和相关数据。
4. 系统安全性：采用密码加密和访问控制等机制确保系统数据的安全性和隐私保护。
5. 数据备份和恢复：定期对系统数据进行备份，以确保数据的完整性和可靠性。
结论设计和实现一个高效的学校教职员工管理系统对于学校来说具有重要意义。
该系统将帮助学校提高教职员工管理的效率和准确性，为学校的人事管理工作提供强有力的支持和便利。
通过采用现代化的技术和合理的设计，该系统有望成为学校管理的重要工具。
正确处理教师个人利益与学校集体利益,李兵论文-副本正确处理教师个人利益与学校集体利益，调动教师工作的积极性一所学校的运转离不开教师，怎样处理好教师个人利益与学校集体利益的关系，调动教师工作的积极性，促进学校的发展，是每一个学校管理者都值得深思的问题。
下面我们就来探讨一下。
一、个人利益与集体利益。
个人利益是个人物质生活和精神生活需要的满足。
个人利益一般包括三个方面:生存需要的满足、发展需要的满足和享受需要的满足。
生存需要是个人及其家庭维持生命的存在和延续后代的需要。
发展需要是个人的思想、智力和体力等方面发展完善的需要。
享受需要是人提高生活质量的需要。
集体利益是社会集体存在和发展需要的满足。
集体利益是集体成员的共同利益。
集体利益不是个人利益的总和。
就是说，"集体利益"这个概念，不是对人们的个人利益的概括。
每个人都有自己的个人利益，如果把人们的个人利益加以概括，形成一个概念，这个概念应当叫做"群众的个人利益",而不能叫做集体利益。
集体利益是独立于个人利益而存在的。
二、教师个人利益与学校集体利益的关系教师作为一名个体与学校这个集体是辩证统一的关系。
学校是教师个人生存的依靠，是教师成长的园地，教师的工作、学习与生活都离不开学校这个集体，教师只有紧紧地依靠学校这个集体，才能有无穷的力量。
学校又是由一个一个教师组成，学校的生存与发展离不开每个教职工的努力。
学校利益和教师个人利益的关系也是如此，在我国这样的社会主义国家，学校的利益和每位教师的个人利益在根本上是一致的,因此，在处理学校集体利益与教师个人利益问题上，以强调任何一方而忽略另一方，可能都有失偏颇。
应该把学校集体利益和教师个人利益紧密结合起来，既要以学校利益为重，又要尊重和维护教师的个人利益。
以学校集体利益为重，并不排斥教师个人的正当利益。
教师正当利益的实现会促进学校的发展，在学校生活中，学校应当尊重每位教师的个性，尽量满足教师的合理要求。
北京师范大学网络教育课程论文课程代码：课程名称：《幼儿园环境创设》学习中心姓名学号专业年级金秋十月，我参加了全市幼儿教师学术交流研讨会，有幸参观了本市马钢集团力生有限责任公司第二幼儿园，并和中二班的老师就幼儿活动区创设的有关话题进行了探讨。
参观了中二班的活动区后，我感觉其活动区在空间结构和利用方面都是比较合理的。
首先活动区在总体上设计是比较具有班级特色化，班级个性化的。
他们根据孩子的年龄段确定了相应的主题。
避免了各个班级布置的同质化。
在活动区布置中，充分发挥了老师、幼儿的想象力、创造力，其中装扮个性化的班级也能体现出孩子的积极参与的热情和主观能动性。
其次有一面活动的可以随时更换的主题墙，此空间由教师去制作简单的背景，由老师和孩子一起，根据每周不同的主题，张贴孩子的作品或生成探索的成果，主题内容布置与楼层主题和本班教室外墙主题结合的较好。
最后根据孩子的年龄特点，增设了相应的角色区、如自然角、益智区、阅读区等。
各个区域用不同的游戏架分隔开来。
便于儿童清楚地选择活动区，教师也可以纵观全局，做到心中有数，方便照顾孩子游戏。
以上这些活动区创设的特点值得我在今后的工作、学习中借鉴。
结合活动区创设要求，我会借鉴以上的优点对本班活动室进行科学合理的区域安排和划分，设计一个相对“理想的”班级环境空间。
创设艺术化、情趣化的专用活动室1.早教咨询室2.玩具制作室3.玩具陈列室4.卫生保健室5.图书资料阅览室图书室主要陈列各类图书，供老师阅读6.幼儿公共阅读区亲子阅读、幼儿阅读，室内环境要体现一个“静”，要有足够的适合孩子阅读用的可爱形状的桌椅，地垫、靠背等，可以以浅黄色为主色调，充满温馨。
7.音体室8.美工创意馆美工室里分多个展示区域：泥工；纸工、废旧物品制作，涂鸦、粮食粘贴等，按情况定区域。
环境布置要有成平和半成品若干，要有相应的展示柜9.科学发现室为使幼儿园的每一块墙壁、每一个角落都与幼儿产生交流作用，要求每班提供的活动区至少5个以上（包含语言区），环境和准备投放材料时，想有效地利用环境促进幼儿的发展，引导幼儿与环境相互作用，我们必须对每一个活动、每一种材料所蕴含的教育价值有所了解。
题名
（题名采用二号黑体字，居中）
作者姓名
（作者姓名采用四号楷体字，加粗，居中）
1、【摘要】（中文（外文）摘要、关键词、参考文献的行间距均为18磅）
（”摘要”采用五号黑体字，外加中括号）
内容
（摘要内容采用五号楷体字）
【关键词】
（“关键词”采用五号黑体字，外加中括号）
（内容采用五号楷体字）
关键词之间空一格，不使用标点符号
2、正文（正文内容采用小四号宋体字（英文采用小四号“Times New Roman”字型））（正文段落格式为：固定值，行间距为24磅，段前、段后均为0磅）
3、【参考文献】（中文（外文）摘要、关键词、参考文献的行间距均为18磅）
(“参考文献”采用五号黑体字)（英文“References”采用五号“Times New Roman”字型，加粗），外加括号；
参考文献内容
（参考文献内容采用五号楷体字）（英文采用五号“Times New Roman”字型），格式如下：[1] 作者名1，作者名2，题名，杂志名，期号，页号。
中国传统文化中的用人艺术在现代企业中的运用姓名：**** 指导老师： *****摘要：当今社会正在经受着一场新理念的洗礼，新时代的竞争是科技的竞争，更是人才的竞争，……………………………………从而使现代人力资源管理理论更加的科学和完善。
关键词：传统文化用人艺术现代企业（空一行）识人用才历来被人看作是关系到一个企业兴衰成败的关键，而中国传统文化中有许多优秀的用人艺术，…………………………………。
一、中国传统文化中的用人艺术历史上的刘邦是个有很……………………………………………………。
（一）广结人才司马迁评价说：“廷中吏无所不狎侮，……………………”。
…………………………………………………………………………………………………………………………………………。
我们应当以此为契机，在学习西方先进管理经验的同时，在实践中不断地探索、总结我国传统文化蕴含的现代管理思想精髓，并运用于我们的企业管理，从而使现代人力资源管理理论更加科学和完善。
（空一行）参考文献：[1] 迟双明，首席执行官——张瑞敏经理法则[M]，北京，中国商业出版社，2002，第53页。
[2] 李毅，企业文化与企业发展[J]，管理科学，2007（10）：18。
……………………………………………………………………………（空一行）Humanistic Management Thought in EnterpriseManagement ApplicationZhangjingAbstract：In order to adapt to the development trend of the economic globalization actively change in its management, modern enterprise seek a prosperous management mechanism. …………Key words：Modern enterprise …………1。
毕业论文论文题目：齿轮泵的常见故障及处理措施班级：轮管1209班姓名：史作敏指导老师：孙华栋毕业论文（设计）开题报告专业12级轮机工程技术班级轮管1209班姓名史作敏学号201223020909 论文（设计）题目：齿轮泵的常见故障及处理措施论文（设计）纲目1齿轮泵的工作原理及特点2齿轮泵的常见故障及其产生的原因3处理措施4齿轮泵的管理注意事项毕业论文（设计）摘要注：本页一式两份，分别完成中、英文摘要。
毕业论文（设计）摘要注：本页一式两份，分别完成中、英文摘要。
齿轮泵常见故障及处理措施班级12级轮机1209班姓名史作敏内容摘要：通过介绍齿轮泵工作原理，齿轮泵的特点和一些比较常见的故障，来分析故障产生的原因，以及解决故障的处理措施，并且齿轮泵的管理。
关键词：齿轮泵，故障，特点，处理措施，管理Abstract: Through the introduction of the gear pump working principle,characteristics and some comparison side-plate common failures,to analyse the reasons of these faults,and resolve these fault processing measure,and some gear pump management.Keywords: Gear pump, fault, characteristic, processing measures, management引言齿轮泵是常见的回转式容积式泵，其主要的工作部件是互相啮合的齿轮。
与其它同流量的泵比较，齿轮泵体积最小。
但是它的自吸性能很好，无论在高速还是低速，以及是用手转动的时候，都能够可靠地实现自吸，又因它的转速范围大，不易咬死，所以广泛地应用在各种环境中，因此会出现各种各样的故障。
1齿轮泵的工作原理及特点1.1外啮合齿轮泵的工作原理及特点图为外啮合齿轮泵的工作原理图。
论文格式论文格式模板在各领域中，大家最不陌生的就是论文了吧，论文对于所有教育工作者，对于人类整体认识的提高有着重要的意义。
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论文格式模板篇1【摘要】随着建筑行业的持续发展，我国高烈度地震区兴建的建筑规模日益扩大，因此加强对高烈度地震区建筑结构选型的研究是极为必要的。
基于此，本文首先阐述了高烈度地震区建筑结构体系分类，并结合实例对地震区建筑结构的选型作进一步分析，仅供参考。
【关键词】高烈度地震区;结构选型;体系分类1引言地震区建筑结构选型是一个复杂性较强的决策问题，涉及了大量的不确定和不确知因素，特别是在建筑功能要求越来越高、结构体系多样化发展的情况下，为了满足现代建筑设计要求，需从经济性、实用性等多角度出发，加强对地震区建筑结构选型的研究，有利于保障建筑物的使用性能。
2地震区建筑结构体系及选型(1)筒体结构体系。
该结构体系一般包括以下两个方面：①框架-核心筒结构，主要由实体的核心筒和外框架构成;②筒中筒结构，主要由实体内筒和空腹外筒组成。
(2)框架-剪力墙结构体系。
框架-剪力墙结构体系能实现布置大空间房层，还具备较大的侧向刚度，被广泛应用于楼层多、高度高的建筑中，可有效满足建筑的基本功能需求。
对于地震区来说，框架-剪力墙结构的剪力墙与框架是两道抗震防线，但其应用缺点在于由于剪力墙布置位置受到一定条件的限制，在布置过程中会出现偏心扭矩现象，同时其侧向刚度整体偏小，房屋建造高度受限。
(3)框架结构体系。
该结构体系主要由楼板、柱、梁等构件组成，其在实际应用中具有柱网布置灵活性强、使用空间较大、延性良好、横向侧移刚度较小的特点，适用于层数不多、需要大空间、房屋高度适宜的建筑中。
(4)剪力墙结构体系。
剪力墙需承受较大的竖向荷载和水平荷载，其主要优势在于整体性好、刚度大、水平力作用下的侧移小，且不存在梁、柱外凸现象;缺点是不能提供大空间房层结构、延性较差。
齐鲁师范学院成人函授教育毕业论文封面浅谈写字和小学教育摘要中国书法艺术是中华五千年文明中的一颗璀璨明珠，在世界艺术种类中占据非常重要的位置，蕴含有独特的文化价值，这与小学语文教育含有的文化价值是相契合的。
小学生是未来社会的继承者和发扬人，更应该掌握一手好字。
在写字教学中，我们只有了解和掌握儿童心理，激发儿童的写字兴趣，运用灵活多样的写字方法，积极引导学生主动参与，激活学生的创造思维，学生才能感受到学习和创造带来的快乐，从而使“苦学”变成“乐学”。
关键词：小学生，写字能力，自主，兴趣，书法，小学语文教学价值目录1、浅谈小学写字教学中存在的问题及对策---------------------------11.1教师对田字格的认识不够---------------------------------11.2没有分阶段夯实课标要求---------------------------------11.3三姿（握笔姿势、坐姿、写字姿势）强调不到位-------------21.4研究学情不扎实，教师的示范引领少-----------------------22、规范书写在小学教育中的重要性---------------------------------32.1陶冶情操，提升审美意识---------------------------------32.2提升考试成绩-------------------------------------------33、书法在小学语文教学中的价值-----------------------------------33．1书法教育在小学语文教学中的现状-------------------------33.2书法教育在小学语文教学中的现状-------------------------44、小学教育中写字能力的培养解析---------------------------------54.1明确写字方法-------------------------------------------54.2加强写字实践，培养写字能力-----------------------------64.3发挥教师的榜样作用，加强教师与学生的交流---------------65、浅谈小学低段学生写字热情的激发-------------------------------75.1采用灵活多样形式，提高学生写字的兴趣-------------------75.2根据现代教学理念和教学手段，拓宽学生写字的渠道---------75.3运用各种写字方法，引导学生主动参与，激活学生创造思维---85.4评价行为对于学生的写字影响-----------------------------96、结论--------------------------------------------------------107、参考文献----------------------------------------------------118、致谢-------------------------------------------------------12浅谈写字与小学教育1、浅谈小学写字教学中存在的问题及对策1.1、教师对田字格的认识不够简单说，田字格是规范汉字楷书书写的模板，田字格是练楷书用的。
论文标准格式范本XX 学院XXUNIVERSITY题目院(系专业年级姓学Thesis:School or Department:Grade and Specialty:Name:Advisor:April20,2020(说明：该页为扉页，在封二位置)原创性声明本人郑重声明：本人所呈交的毕业论文，是在指导老师的指导下独立进行研究所取得的成果。
毕业论文中凡引用他人已经发表或未发表的成果、数据、观点等，均已明确注明出处。
除文中已经注明引用的内容外，不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的科研成果。
对本文的研究成果做出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。
本声明的法律责任由本人承担。
论文作者签名：日期：关于毕业论文使用授权的声明本人在指导老师指导下所完成的论文及相关的资料（包括图纸、试验记录、原始数据、实物照片、图片、录音带、设计手稿等），知识产权归属XX学院。
本人完全了解XX学院有关保存、使用毕业论文的规定，同意学校保存或向国家有关部门或机构送交论文的纸质版和电子版，允许论文被查阅和借阅；本人授权XX学院可以将本毕业论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用任何复制手段保存和汇编本毕业论文。
如果发表相关成果，一定征得指导教师同意，且第一署名单位为XX 学院。
本人离校后使用毕业论文或与该论文直接相关的学术论文或成果时，第一署名单位仍然为XX学院。
论文作者签名：日期：指导老师签名：日期：HPGe γ谱仪系统死时间校正方法的实验研究摘摘要(200-250字)给出了HPGe γ 谱仪系统死时间校正的一种实用方法。
用强源干扰找到了HPGe γ 从而解决了放射性定量测量中的一些困难。
谱仪，死时间，校正因子注意标题上边有一空行小二号黑体，加粗，居中，段前1.5行，段后1.5行。
小四号宋体/ Times New Roman ，1.5倍行距。
四号黑体，加粗，居中，段前0行，段后1行。
小四号黑体，加粗小五号宋体/ Times New Roman小四号宋体/ Times New RomanExperimental study on the method of deadtime correction For HPGe γ spectrometer systemA practical method of deadtime correction for HPGe γ spectrometer system was given.The relationbetween the percent deadtime and the correction of counting rate losses for HPGe γ spectrom eter system was found by using a strongγ source. Therefore ,the activity measurement can be finished at very high count rate,with this γ注意：如果摘要内容较多，一页排不下，则中文摘要（含关键词）单独占一页，英文摘要（含关键词）单独占一页。
高等职业院校（专科）毕业论文 年产8000吨多晶硅生产中三氯氢硅生产工艺的探讨
学 生：× × 指导老师：杨 铀
重庆化工职业学院 2014年5月 致 谢 在校的这三年时间里很感谢老师们对我的淳淳教诲，是你们教会了我们勤奋学习，诚实做人，踏实做事，以宽容之心面对生活。指引着我们沿着正确方向前进。在点滴汇聚中使我逐渐形成正确、成熟的人生观、价值观。特别要感谢我的指导老师，杨铀老师给予我很大的帮助。 感谢我的家人，我永远的支持者，正是在你们殷切目光的注视下，我才一步步的完成了求学生涯。没有你们，就不会有今天的我！我一直很感谢你们，让我拥有一个如此温馨的家庭，让我所有的一切都可以在你们这里得到理解与支持，得到谅解和分担。你们的支持和鼓励是我前进的动力。 重庆化工职业学院毕业论文
1 摘 要 多晶硅生产技术是利用二氧化硅和碳粉在熔融状态下进行的还原反应，以及在多晶硅生产技术中的各项工艺的探讨，包括三氯氢硅的合成、三氯氢硅氢还原制备高纯硅。 关键词：三氯氢硅 高纯硅 重庆化工职业学院毕业论文
2 目 录
1.引言 ............................................................ 3 2.三氯氢硅的工艺简介 .............................................. 3 2.1 三氯氢硅合成的工艺条件 ...................................... 4 2.2 三氯氢硅的还原反应基本原理 .................................. 8 3.三氯氢硅氢还原制备高纯硅 ........................................ 8 4.硅的应用 ........................................................ 9 5.结论 ........................................................... 10 参考文献 ......................................................... 11 重庆化工职业学院毕业论文
3 1.引言
20世纪50年代，联邦德国西门子公司研究开发出大规模生产多晶硅的技
术，即通常所说的西门子工艺。 多晶硅生产的西门子工艺，其原理就是在表面温度 1100℃左右的高纯硅芯上用高纯氢还原高纯含硅反应物，使反应生成的硅沉积在硅芯上。改良西门子方法是在传统西门子方法的基础上，具备先进的节能低耗工艺，可有效回收利用生产过程中大量的SiCl4 、HCl、H2等副产物以及大量副产热能的多晶硅生产工艺。 经过半个世纪的发展，多晶硅的制备从生产技术、规模、质量和成本都达到空前的水平，主要集中在美国、日本、德国三个国家。这三国几乎垄断了世界多晶硅市场。多晶硅生产的技术仍在进步发展，比如现在出现的硅棒对数达上百对的还原炉，可以使多晶硅的还原能耗降低到一个新的水平。 （还原）多晶硅是由硅纯度较低的冶金级硅提炼而来，由于各多晶硅生产工厂所用主辅原料不尽相同，因此生产工艺技术不同；进而对应的多晶硅产品技术经济指标、产品质量指标、用途、产品检测方法、过程安全等方面也存在差异，各有技术特点和技术秘密，总的来说，目前国际上多晶硅生产主要的传统工艺有：改良西门子法、硅烷法和流化床法。改良西门子法是目前主流的生产方法，采用此方法生产的多晶硅约占多晶硅全球总产量的85％。但这种提炼技术的核心工艺仅仅掌握在美、德、日等7家主要硅料厂商手中。这些公司的产品占全球多晶硅总产量的90%。
2.三氯氢硅的工艺简介 三氯氢硅是通过高纯氯化氢气体与冶金级单体硅(质量分数 98.0％～99.％)在一定温度、压力条件下反应制备的。反应方程式如下 ： Si+3HCl→SiHCl3+H2 (1) Si+4HCl→SiCl4+2H2 (2) Si+2HCl→SiH2Cl2 (3) 反应 (1)为主反应，反应(2)、(3)为副反应。反应(1)在动力学上属于零级反应，重庆化工职业学院毕业论文 4 热力学上属于放热反应，反应热为 141.8 kJ／mol。升高反应温度虽可加快反应速度，但不利于主产物的生成。在优化温度和压力的条件下，可大大提高三氯氢硅的选择性。例如在温度为 300-425℃、压力为 2～5 kPa条件下，硅和氯化氢发生反应，产物以600～1000 kg／h的流速连续输出，三氯氢硅选择性高达80％～88％，副产物中约有 1．0％～2．0％的二氯二氢硅和l％～4％的缩聚物，其余为四氯氢硅。该合成反应中，温度、压力、硅粉粒度、氯化氢气体的流速、氯化氢中O2和 H2O含量都会对三氯氢硅的收率产生很大影响。 氯化氢与硅的催化反应机理可以用吸附原理来解释。即在多相催化反应中。反应过程可分为 5个阶段：(1)气体反应物扩散到催化剂表面 ；(2)反应物分子吸附于表面 ；(3)表面反应 ；(4)形成的分子从表面解吸 ；(5)产物扩散到气相反应过程中。在用单质铜做催化剂时，氯化氢被吸附在触体表面 ，并离解成氢离子和氯离子 ，2个被吸附的氢原子再结合成 1个分子而被解 吸，2个被吸附的氯原子与 1个硅原子结合生成 SiC1：型的表面化合物 ，它又与另一个氯化氢分子结合成三氯氢硅。 Si+2HCl→(SiCl2)+H2 (SiCl2)+HCl→SiHCl3 2.1 三氯氢硅合成的工艺条件 (1)反应温度 SiHCl3被氢气还原以及热分解的反应是吸热反应。所以，从理论上来说，反应的温度愈高则愈有利于反应的进行。例如，以一定的氢气配比，在1240℃时还原SiHCl3，沉积硅的收率较1000℃ 时沉积硅的收率高大约20% 。此外，反应温度高，硅的结晶性就好，而且表面具有光亮的金属光泽；温度越低，结晶变得细小，表面呈暗灰色。反应温度也不能过高，因为: ① 硅与其他半导体材料一样，从气相往固态载体上沉积时有一个最高温度值，反应温度超过这个值时，随着温度的升高沉积速率反而下降。各种不同的硅卤化物有不同的最高温度值，反应温度不应超过这个值。此外，还有一个平衡温度值，高于该温度才有硅沉积出来。一般说来，在反应平衡温度和最高温度之间，沉积速率随温度增高而增大。 ② 温度过高，沉积硅的化学活性增强，受到设备材质沾污的可能性增加，重庆化工职业学院毕业论文 5 造成多晶硅的质量下降。 ③ 直接影响多晶硅品质的磷硼杂质，其化合物随温度增高，还原量也增大，从而进入多晶硅中，使多晶硅的质量下降。 ④ 温度过高，还会发生硅的腐蚀反应:
220012ClSiH2HCl Si℃
2001242SiClSiCl Si℃ 所以过高温度是不适宜的。但是温度过低对反应也不利，例如在 900～1000 ℃时，S1HC13的还原反应就不是主要的，而主要是SiHCl3的热分解反应，将导致SiHC13的转化率降低。在1080～1200℃范围内，SiHCl3的反应以氢还原反应为主，生产中常采用的反应温度为1080～1100℃左右。需要注意的是硅的熔点为1410到1420℃，与反应温度比较接近，因此生产中应严格控制反应温度的波动，以免温度过高使硅棒熔化倒塌，造成较大损失。
图1 反应温度对还原反应的影响 （2）反应配比
还原反应时,氢气与 SiHC13 的摩尔数之比 (也叫配比〕对多晶硅的沉积有很大影响。只有在较强的还原气氛下，才能使还原反应比较充分地进行，获得较高的SiHC13 转化率。如果按反应式计算所需的理论氢气量来还原SiHC13 ,那么不会得到结晶型的多晶硅，只会得到一些非晶态的褐色粉末，而且收率极低。增加氢气的配比，可以显著提高SiHC13的转化率。图4-2表示SiHC13在不同氢气配比情况下的理论平衡转化率。 重庆化工职业学院毕业论文
6 图2 SiHC13在不同氢气配比情况下的理论平衡转化率 通常，实际的转化率远远低于理论值。一方面是因为还原过程中存在各种副
反应，另一方面是实际的还原反应不可能达到平衡的程度。但是，总的情况仍然是还原转化率随着氢气与SiHC13 的摩尔比的增大而提高，氢气与SiHC13的配比不能过大，因为： ① 氢气量太大，稀释了SiHC13 的浓度，减少SiHC13 分子与硅棒表面碰撞的机会，降低硅的沉积速度，也就降低了单位时间内多晶硅的产量。同时，大量的氢气得不到充分的利用，增加了消耗。 ② 从BC13, PCI3的氢还原反应可以看出，过高的氢气浓度不利于抑制B、 P的析出，从而影响产品质量。 由此可知，配比增大，则SiHC13的转化率也增大，但是多晶硅的沉积速率 会降低。对于低配比所带来的SiHC13一次转化率降低的影响，可以通过尾气回收未反应的SiHC13 ，返回多晶硅还原生产中去使用，从而保证SiHC13 得到充分利用。 （3）反应气体流量 在选择了合适的气体配比及还原温度条件下，进入还原炉的气体量越大，则沉积的速度越快，炉内多晶硅产量也越高。在同样的设备内，采用大流量的气体 进入还原炉，是一种提高生产能力的有效办法。这是因为，流量越大，在相同时间内同硅棒表面碰撞的SiHC13 分子数量就越多，硅棒表面生成的硅晶体也就越多。同时，气体流量大，通过气体喷入口的气流速度也大，能更好地造成还原炉
