扫描电镜Hitachi S-4800操作
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HITACHI H-7650 透射电镜操作规程编号: QW148 HITACHI S4800扫描电子显微镜操作规程样品准备及要求:1.含水样品测试前必须干燥,样品要尽量的小,多孔样品做之前一般要烘两到三天;2.粉末样品测试时尽量用最少量的样品,否则容易使电镜污染;3.严禁观察磁性样品;4.样品须处于样品台中央位置,样品表面平坦,样品厚度不可太大。
操作步骤:一、开机顺序1. 开墙上主机电源的开关,开启冷却循环水;2. 将仪器后面板处的主电源开关(Main Power) 打开,之后按下Reset键;3.启动Evac Power,等待TMP指示正常后顺序打开IP1、IP2 和IP3的电源开关:4.达到真空度要求后,开启操作台电源,PC机自动启动进入Windows操作系统,并自动运行S-4800操作程序,此时点击OK (没有密码)后自动进入S 4800操作软件。
二、样品安装1.在实验台上事先粘好样品,并用高度规检测其高度;2.装样品前确认工轴、WD,x,y以及Rotation是否复位(Z轴=8,WD=8,x=25,y=25,Rotation=0),如未复位,将其复位;3.点击样品交换室的Air键,当听到笛的一声后轻轻的拉开样品交换室;4.将样品杆手柄处于Unlock位置,把样品机座装于样杆的香蕉头处并转动手柄到Lock位置;5.轻轻推住样品交换室,点击Evac键,抽好真空后点市Open键,样品交换室与样品室间的闸门自动打开;5. 轻轻的推动样品杆的手柄将样品送至于样品台上,旋转手柄至Unlock, 拉出样品杆,最后点击Close关闭阀门,安装样品结束。
三、图像观察1.加高压后即可进行调试观察;2.首先在TV1模式下找到所要观察的区域;3.在高倍下用coarse键粗聚焦,然后用fine键细调聚焦,直到图像清楚;4.放回到观察倍数,用ABC或手动调到适合的对比度:5. 在SLOW模式下观察调试后的图像,不合适重新执行步骤2,3,若合适即可拍照。
一、介绍Hitachi S-4800场发射扫描电镜采用了新型ExB式探测器和电子束减速功能,提高了图象质量(15 kV下分辨率1 nm),尤其是将低加速电压下的图象质量提高到了新的水平(1 kV下1.4 nm);新型的透镜系统,提高了高分辨模式、高速流模式、大工作距离模式、磁性样品模式等多种工作模式,使其能够精确和清楚地捕捉最短暂的瞬间。
二、操作说明1.开机(1)日常开机:打开Display的开关,PC自动开机进入用户界面并自动运行PC_SEM程序,以空口令登入。
(2)完全关闭电源后开机:接通配电盘电源→拔上MAIN Swith 开关→按一下Reset按钮,→将MAIN控制面板上EVAC POWER按至ON,SC EVAC指示灯处于常绿状态后,等半小时→按下Display开关至ON, PC 自动开机进入用户界面并自动运行PC_SEM程序,以空口令登入。
2.图像观察(1)装入样品制样→把样品托装入样品座,并用标尺确定高度、旋紧→按AIR按钮→将样品座插在样品交换杆上,并锁紧→将交换杆拉至尽头卡紧,关闭交换室→按下EVAC按钮→按下OPEN 按钮打开MV-1后,推进交换杆,旋转样品杆UNLOCK位置后拉出交换杆→按下CLOSE 按钮。
(2)图像观察及保存SC真空恢复正常后(显示为L E-3)→选择适当的加速电压(Vacc)→加高压→在低倍、TV模式下将图像调节清楚→聚焦、消象散→Slow3确认图像质量→点击Capture按钮拍照→点击右下方Save按钮→选择保存位置、使用者及样品信息,保存。
(3)结束观察点击OFF按钮关闭加速高压→将放大倍率还原设至×1.00K→按操作界面上home使样品台回到初始位置→依照装入样品的方式反序取出样品。
3.关机(1)日常关机退出PC_SEM程序→退出Windows XP系统→关闭DISPLAY(2)完全关机短时间关机:退出PC_SEM程序→退出Windows XP系统→关闭DISPLAY→关闭EVAC→等待约35分钟后Multi Indicator区域显示“POFF”→关闭MAIN SWITCH→关闭电源总开关。
扫描电镜S-4800操作规程一、日常开机打开Display开关,电脑自动开机进入s-4800用户界面,PC_SEM程序自运行,点击确认进入软件界面。
二、装样品1.将样品台装在样品座上,根据标尺调整高度及确认样品位置后旋紧。
2.按下AIR键,当AIR灯变绿时拉开样品交换室,水平向前推出交换杆,把样品座插在交换杆上,逆时针旋转交换杆(即按照杆上的标示转至LOCK)锁定样品座后,将交换杆水平向后拉回原处。
3.关闭交换室,按下EV AC键,当EV AC绿灯亮时,按OPEN键至绿灯亮样品室阀门自动打开。
4.水平插入交换杆,直至样品座被卡紧为止,顺时针旋转交换杆(即按照杆上的标示转至UNLOCK)后水平向后拉回原处,点CLOSE键至绿灯亮样品室阀门自动关闭。
三、图像观察1.加高压点击屏幕左上方的高压控制窗口,弹出HV Control对话窗。
选择合适的观察电压和电流,点击ON,弹出提示样品高度的对话框,点击确定出现HV ON 提示条,待图像出现后,关闭HV Control对话窗。
2.在低倍、TV模式下,找到所要观察的样品,点击H/L按钮切换到高倍模式,通过调节样品位置,找到所要观察的视场。
3.聚焦、消像散选好视场后,放大到合适的倍数聚焦消像散。
先调节聚焦粗调和细调旋钮,使图像达到最佳状态,若图像有拉长现象,则需进行消像散。
调节STIGMATOR/ALIGNMENT X使图像在水平方向的拉长消失,再调节STIGMATOR/ALIGNMENT Y使图像在垂直方向的拉长消失。
4.图像采集及保存用A.B.C.键或BRIGHTNISS/CONTRAST旋钮自动或手动调节图像的对比度和亮度,扫描速度变为慢扫,点击抓拍按钮进行采集。
采集后暂时存放在窗口下侧,选中要保存的图像,点击Save,弹出Image Save对话框,输入文件名,选好存储位置保存即可。
5.对中调整改变加速电压和电流时,或图像在高倍聚焦发生漂移时,需要进行对中调整,方法如下:(1)选取样品上一个具有明显特征的位置放在视场中心。