半导体洁净车间管理制度
半导体洁净车间的环境与生产要求
一、氧化（炉）（Oxidation）
对硅半导体而言，只要在高于或等于1050℃的炉管中，通入氧气或水汽，自然可以将硅晶的表面予以氧化，生长所谓干氧层(dryz/gate oxide)或湿氧层(wet/field oxide)，当作电子组件电性绝缘或制程掩膜之用。氧化是半导体制程中，最干净、单纯的一种；这也是硅晶材料能够取得优势的特性之一（他种半导体，如砷化镓GaAs，便无法用此法成长绝缘层，因为在550℃左右，砷化镓已解离释放出砷）硅氧化层耐得住850℃~1050℃的后续制程环境，系因为该氧化层是在前述更高的温度成长；不过每生长出1微米厚的氧化层，硅晶表面也要消耗掉0.44微米的厚度。
以下是氧化制程的一些要点：
（1）氧化层的成长速率不是一直维持恒定的趋势，制程时间与成长厚度之重复性是较为重要之考量。
（2）后长的氧化层会穿透先前长的氧化层而堆积于上；换言之，氧化所需之氧或水汽，势必也要穿透先前成长的氧化层到硅质层。故要生长更厚的氧化层，遇到的阻碍也越大。一般而言，很少成长2微米以上之氧化层。
（3）干氧层主要用于制作金氧半（MOS）晶体管的载子信道（channel）；而湿氧层则用于其它较不严格讲究的电性阻绝或制程罩幕（masking）。前者厚度远小于后者，1000~1500埃已然足够。
（4）对不同晶面走向的晶圆而言，氧化速率有异：通常在相同成长温度、条件、及时间下，{111}厚度≥{110}厚度＞{100}厚度。
（5）导电性佳的硅晶氧化速率较快。
（6）适度加入氯化氢（HCl）氧化层质地较佳；但因容易腐蚀管路，已渐少用。
（7）氧化层厚度的量测，可分破坏性与非破坏性两类。破坏性量测是在光阻定义阻绝下，泡入缓冲过的氢氟酸（BOE，Buffered Oxide Etch，系HF与NH4F以1：6的比例混合而成的腐蚀剂）将显露出来的氧化层去除，露出不沾水的硅晶表面，然后去掉光阻，利用表面深浅量测仪，得到有无氧化层之高度差，即其厚度。
（8）非破坏性的测厚法，以
椭偏仪(ellipsometer)或
是毫微仪（nano-spec）最为
普遍及准确，前者能同时输出
折射率(refractive index；
用以评估薄膜品质之好坏)及
起始厚度b与跳阶厚度a(总
厚度t=ma+b)，实际厚度
(需确定m之整数值)，仍需与
制程经验配合以判读之。后者
则还必须事先知道折射率来
反推厚度值。
（9）不同厚度的氧化层会显现不同的颜色，且有2000埃左右厚度即循环一次的特性。有经验者也可单凭颜色而判断出大约的氧化层厚度。不过若超过1.5微米以上的厚度时，氧化层颜色便渐不明显。
二、扩散（炉）（diffusion）
1、扩散搀杂
半导体材料可搀杂n型或p型导电杂质来调变阻值，却不影响其机械物理性质的特点，是进一步创造出p-n接合面（p-n junction）、二极管（diode）、晶体管（transistor）、以至于集成电路（IC）世界之基础。而扩散是完成导电杂质搀染的初期重要制程。
众所周知，扩散即大自然之输送现象(transport phenomena)；质量传输(mass transfer)、热传递(heat transfer)、与动量传输(momentum transfer；即摩擦拖曳)皆是自然的三种已知现象。杂质扩散即属于质量传输之一种，唯需要在850摄氏度以上的高温环境下，效应才够明显。
2、前扩散(pre-deposition)
第一种定浓度边界条件的浓度解析解是所谓的互补误差函数，其对应之扩散步骤称为「前扩散」，即我们一般了解的扩散制程；当高温炉管升至工作温度后，把待扩散晶圆推入炉中，然后开始释放扩散源(p型扩散源通常是固体呈晶圆状的氮化硼芯片，n型则为液态POCl3之加热蒸气)进行扩散。其浓度剖面外形之特征是杂质集中在表面，表面浓度最高，并随深度迅速减低，或是说表面浓度梯度(gradient)值极高。
3、后驱入(post drive-in)
第二种定搀杂量的边界条件，具有高斯分布(Gaussian distribution)的浓度解析解。对应之扩散处理程序叫做「后驱入」，即一般的高温退火程序；基本上只维持炉管的驱入工作温度，扩散源却不再释放。或问曰：定搀杂量的起始边界条件自何而来？答案是「前扩散」制程结果；盖先前「前扩散」制作出之杂质浓度集中于表面，可近似一定搀杂量的边界条件也！
至于为什么扩散要分成此二类步骤，当然不是为了投数学解析之所好，而是因应阻值调变之需求。原来「前扩散」的杂质植入剂量很快达到饱和，即使拉长「前扩散」的时间，也无法大幅增加杂质植入剂量，换言之，电性上之电阻率特性很快趋稳定；但「后驱入」使表面浓度及梯度减低(因杂质由表面往深处扩散)，却又营造出再一次「前扩散」来增加杂质植入剂量的机会。所以，借着多次反复的「前扩散」与「后驱入」，既能调变电性上之电阻率特性，又可改变杂质电阻之有效截面积，故依大家熟知之电阻公式；其中是电阻长度，可设计出所需导电区域之扩散程序。
4、扩散之其它要点，简述如下：
(1)扩散制程有批次制作、成本低廉的好处，但在扩散区域边缘，有侧向扩散的误差，故限制其在次微米(sub-micron)制程上之应用。
(2)扩散之后的阻值量测，通常以四探针法（four-point probe method）行之，示意参见图2-5。目前市面已有多种商用机台可供选购。
(3)扩散所需之图形定义（pattern）及遮掩（masking），通常以氧化层（oxide）充之，以抵挡高温之环境。一微米厚之氧化层，已足敷一般扩散制程之所需。
三、化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition；CVD)
到目前为止，只谈到以高温炉管来进行二氧化硅层之成长。至于其它如多晶硅(poly-silicon)、氮化硅(silicon-nitride)、钨或铜金属等薄膜材料，要如何成长堆栈至硅晶圆上？
基本上仍是采用高温炉管，只是沿着不同的化学沉积过程，有着不同的工作温度、压力与反应气体，统称为「化学气相沉积」。
即是化学反应，故免不了「质量传输」与「化学反应」两部份机制。由于化学反应随温度呈指数函数之变化，故当高温时，迅速完成化学反应。换言之，整体沉积速率卡在质量传输(diffusion-limited)；而此部份事实上随温度之变化，不像化学反应般敏感。所以对于化学气相沉积来说，如图2-11所示，提高制程温度，容易掌握沉积的速率或制程之重复性。然而高制程温度有几项缺点：
1.高温制程环境所需电力成本较高。
2.安排顺序较后面的制程温度若高于前者，可能破坏已沉积之材料。
3.高温成长之薄膜，冷却至常温后，会产生因各基板与薄膜间热胀缩程度不同之残留应力(residual stress)。
所以，低制程温度仍是化学气相沉积追求的目标之一，惟如此一来，在制程技术上面临之问题及难度也跟着提高。
以下，按着化学气相沉积的研发历程，分别简介「常压化学气相沉积」、「低压化学气相沉积」、及「电浆辅助化学气相沉积」：
1、常压化学气相沉积(Atmospheric Pressure CVD；APCVD)
最早研发的CVD系统，顾名思义是在一大气压环境下操作，设备外貌也与氧化炉管相类似。准备成长的材料化学蒸汽自炉管上游均匀流向硅晶，至于何以会沉积在硅晶表面，可简单地以边界层(boundary layer)理论作定性说明：
当具黏性的化学蒸汽水平吹拂过硅芯片时，硅芯片与炉管壁一样，都是固体边界，沿着靠近芯片表面约1mm的边界层内速度的大量变化(由边界层外缘之蒸汽速度减低到芯片表面之0速度)，会施予一拖曳外力，拖住化学蒸汽分子；同时，因为硅芯片表面温度高于边界层外缘之蒸汽温度，芯片将释出热量，来供给被拖住之化学蒸汽分子在芯片表面完成薄膜材质解离析出所需能量。所以基本上，化学气相沉积就是大自然「输送现象」(transport phenomena)的应用。
常压化学气相沉积速度颇快，但成长薄膜的质地较为松散。另外，如果晶圆不采用水平摆放的方式(太浪费空间)，薄膜之厚度均匀性(thickness uniformity)不佳。
2、低压化学气相沉积(Low Pressure CVD；LPCVD)
为进行50片或更多晶圆之批次量产，炉管内之晶圆势必要垂直密集地竖放于晶舟上，这明显产生沉积薄膜之厚度均匀性问题；因为平板边界层问题的假设已不合适，化学蒸汽在经过第一片晶圆后，黏性流场立即进入分离(separation)的状态，逆压力梯度(reversed pressure gradient)会将下游的化学蒸汽带回上游，而一团混乱。
在晶圆竖放于晶舟已不可免之情况下，降低化学蒸汽之环境压力，是一个解决厚度均匀性的可行之道。原来依定义黏性流特性之雷诺数观察，动力粘滞系数ν随降压而变小，如此一来雷诺数激增，而使化学蒸汽流动由层流(laminar flow)进入紊流(turbulent flow)。有趣的是紊流不易分离，换言之，它是一种乱中有序之流动，故尽管化学蒸汽变得稀薄，使沉积速度变慢，但其经过数十片重重的晶圆后，仍无分离逆流的现象，而保有厚度均匀，甚至质地致密的优点。以800℃、1torr（托；真空度单位）成长之LPCVD氮化硅薄膜而言，其质地极为坚硬耐磨，也极适合蚀刻掩膜之用(沉积速度约20分钟0.1微米厚。)
3、电浆辅助化学气相沉积(Plasma Enhanced CVD；PECVD)
尽管LPCVD已解决厚度均匀的问题，但温度仍太高，沉积速度也不够快。为了先降低沉积温度，必须寻找另一能量来源，供化学沉积之用。由于低压对于厚度均匀性的必要性，开发低压环境的电浆能量辅助(电浆只能存在于10~0.001托下)，恰好补足低温环境下供能不足的毛病，甚至于辅助的电浆能量效应还高于温度之所施予，而使沉积速率高过LPCVD。以350℃、1Torr成长之PECVD氮化硅薄膜而言，其耐磨之质地适合IC最后切割包装(packaging)前之保护层(passivation layer)使用(沉积速度约5分钟0.1微米厚。)
PECVD与RIE两机台之运作原理极为相似，前者用电浆来辅助沉积，后者用电浆去执行蚀刻。不同之处在于使用不同的电浆气源，工作压力与温度也不相同。
四、洁净车间（clean room）
一般的机械加工是不需要洁净车间(clean room)的，因为加工分辨率在数十微米以上，远比日常环境的微尘颗粒为大。但进入半导体组件或微细加工的世界，空间单位都是以微米计算，因此微尘颗粒沾附在制作半导体组件的晶圆上，便有可能影响到其上精密导线布局的样式，造成电性短路或断路的严重后果。
为此，所有半导体制程设备，都必须安置在隔绝粉尘进入的密闭空间中，这就是洁净车间的来由。洁净车间的洁净等级，有一公认的标准，以class10为例，意谓在单位立方英寸的洁净车间空间内，平均只有粒径0.5微米以上的粉尘10粒。所以class后头数字越小，洁净度越佳，当然其造价也越昂贵。
为营造洁净车间的环境，有专业的建造厂家，及其相关的技术与使用管理办法如下：
1、内部要保持大于一大气压的环境，以确保粉尘只出不进。所以需要大型鼓风机，将经滤网的空气源源不绝地打入洁净车间中。
2、为保持温度与湿度的恒定，大型空调设备须搭配于前述之鼓风加压系统中。换言之，鼓风机加压多久，冷气空调也开多久。
3、所有气流方向均由上往下为主，尽量减少突兀之室内空间设计或机台摆放调配，使粉尘在洁净车间内回旋停滞的机会与时间减至最低程度。
4、所有建材均以不易产生静电吸附的材质为主。
5、所有人事物进出，都必须经过空气吹浴(air shower)的程序，将表面粉尘先行去除。
6、人体及衣物的毛屑是一项主要粉尘来源，为此务必严格要求进出使用人员穿戴无尘衣，除了眼睛部位外，均需与外界隔绝接触(在次微米制程技术的工厂内，工作人员几乎穿戴得像航天员一样。)当然，化妆是在禁绝之内，铅笔等也禁止使用。
半导体净化车间设计装修
7、除了空气外，水的使用也只能限用去离子水(DI water,de-ionized water)。一则防止水中粉粒污染晶圆，二则防止水中重金属离子，如钾、钠离子污染金氧半(MOS)晶体管结构之带电载子信道(carrier channel)，影响半导体组件的工作特性。去离子水以电阻率(resistively)来定义好坏，一般要求至17.5MΩ-cm以上才算合格；为此需动用多重离子交换树脂、RO逆渗透、与UV紫外线杀菌等重重关卡，才能放行使用。由于去离子水是最佳的溶剂与清洁剂，其在半导体工业之使用量极为惊人！
8、洁净车间所有用得到的气源，包括吹干晶圆及机台空压所需要的，都得使用氮气(98%)，吹干晶圆的氮气甚至要求99.8%以上的高纯氮！以上八点说明是最基本的要求，另还有污水处理、废气排放的环保问题，再需要大笔的建造与维护费用!
半导体洁净车间管理制度
1.无尘车间管理的目的
洁净室产品生产过程对车间有明
确的洁净要求，为了满足生产工艺
需要、保证产品质量、安全生产，
必须要对车间的环境、人员、设备
和生产过程等进行控制。
2.无尘车间管理的原则
进入车间的管理，包括对车间工作
人员的进入、物料进入、各类设备
的搬入以及相
关的设备、管线的维护管理，应做
到不得将微粒、微生物带入车间。操作管理技术。
对车间人员用洁净工作服的制作、穿着和清洗；操作人员的移动和动作；室内设备及装修材料的选择和清扫、灭菌等，尽可能的减少、防止车间内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖等。严格各类设备、设施的维护管理，制定相应的操作规程，保证各类设备、设施按要求正常运转，包括净化空调系统，各类水气电系统、生产工艺设备和工器具等。以确保产品生产工艺要求和空气洁净度等级。清扫、灭菌管理，对车间内德各类设备、设施的清扫、灭菌以及方法、周期和检查作明确的规定，防止、消除车间内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖等。车间环境控制的内容包括：空气净化、洁净建筑、与产品直接接触的水或者气体或化学品和生产设备、工器具等污染物的控制。
3适用范围
洁净室产品所有生产区及辅助间（包括人员净化用室、物料净化用室和相关生
活用室等）、车间内管理区（包括部分办公、值班、管理和休息室等）和将来新建、改建、扩建的厂房及其辅助用房。
4.责任与义务
1.车间人员有义务保持车间内的卫生干净整洁，严禁不通过风淋而直接走旁通道进入
车间。
2.作业人员在工作时要严格执行操作规程，不允许跑跳、打闹及喊叫，不做不必要的
动作，不做易发尘和大幅的动作。
3.作业人员在车间工作时，尽量避免人员聚集现象。若个别工位五特殊协作需求，其
他工位员工禁止聚集、围观与自己工位工作不相干的其他工作正常工作时间。
4.不允许将与生产无关和容易产生灰尘的物品带进车间，严禁在车间内部吸烟、饮食
和进行非生产性活动。
半导体洁净车间安全工作规范
一、洁净车间须知
1.进入洁净车间前，必须知会管理人，并通过基本训练。
2.进入洁净车间严禁吸烟，吃(饮)食，外来杂物(如报章，杂志，铅笔...等)不可携入，并严禁嘻闹奔跑及团聚谈天。
3.进入洁净车间前，需在规定之处所脱鞋，将鞋置于鞋柜内，外衣置于衣柜内，私人物品置于私人柜内，柜内不可放置食物。
4.进入洁净车间须先在更衣室，将口罩，无尘帽，无尘衣以及鞋套按规定依程序穿戴整齐，再经空气洗尘室洗尘，并踩踏除尘地毯(洗尘室地板上)方得进入。
5.戴口罩时，应将口罩戴在鼻子之上，以将口鼻孔盖住为原则，以免呼吸时污染芯片。
6.穿著无尘衣，无尘帽前应先整理服装以及头发，以免着上无尘衣后，不得整理又感不适。
7.整肃仪容后，先戴无尘帽，无尘帽的穿戴原则系(1)头发必须完全覆盖在帽内，不得外露。
(2)无尘帽之下摆要平散于两肩之上，穿上工作衣后，方不致下摆脱出，裸露肩颈部。
8.无尘帽戴妥后，再着无尘衣，无尘衣应尺吋合宜，才不致有裤管或衣袖太短而裸露皮肤之虞，穿衣时应注意帽之下摆应保平整之状态，无尘衣不可反穿。
9.穿著无尘衣后，才着鞋套，拉上鞋套并将鞋套整平，确实盖在裤管之上。
10.戴手套时应避免以光手碰触手套之手掌及指尖处(防止钠离子污染)，戴上手套后，应将手套之手腕置于衣袖内，以隔绝污染源。
11.无尘衣着妥后，经洗尘，并踩踏除尘毯，方得进入洁净车间。
12.不论进入或离开洁净车间，须按规定在更衣室脱无尘衣，不可在其它区域为之，尤不可在洁净车间内边走边脱。
13.无尘衣，鞋套等，应定期清洗，有破损，脱线时，应即换新。
14.脱下无尘衣时，其顺序与穿著时相反。
15.脱下之无尘衣应吊好，并放于更衣室内上层柜子中;鞋套应放置于吊好的无尘衣下方。
16.更衣室内小柜中，除了放置无尘衣等规定物品外，不得放置其它物品。
17.除规定纸张及物品外，其它物品一概不得携入洁净车间。
18.无尘衣等不得携出洁净车间，用毕放置于规定处所。
19.口罩与手套可视状况自行保管或重复使用。
20.任何东西进入洁净车间，必须用洒精擦拭干净。
21.任何设备的进入，请知会管理人，在洁净车间外擦拭干净，方可进入。
22.未通过考核之仪器，禁止使用，若遇紧急情况，得依紧急处理步骤作适当处理，例如关闭水、电、气体等开关。
23.洁净车间内绝对不可动火，以免发生意外。
二、洁净车间操作须知
1.处理芯片时，必须戴上无纤维手套，使用清洗过的干净镊子挟持芯片，请勿以手指或其它任何东西接触芯片，遭碰触污染过的芯片须经清洗，方得继续使用:
(1)任何一支镊子前端(即挟持芯片端)如被碰触过，或是镊子掉落地上，必须拿去清洗请勿用纸巾或布擦拭脏镊子。
(2)芯片清洗后进行下一程序前，若被手指碰触过，必须重新清洗。
(3)把芯片放置于石英舟上，准备进炉管时，若发现所用镊子有污损现象或芯片上有显眼由
镊子所引起的污染，必须将芯片重新清洗，并立即更换干净的镊子使用。
2.芯片必须放置盒中，盖起来存放于规定位置，尽可能不让它暴露。
3.避免在芯片上谈话，以防止唾液溅于芯片上，在芯片进扩散炉前，请特别注意，防止上述动作产生，若芯片上沾有纤维屑时，用氮气枪喷之。
4.从铁弗龙(Teflon)晶舟，石英舟(Quartz Boat)等载具(Carrier)上，取出芯片时，必须垂直向上挟起，避免刮伤芯片，显微镜镜头确已离芯片，方可从吸座上移走芯片。
5.芯片上，若已长上氧化层，在送黄光室前切勿用钻石刀在芯片上刻记。
6.操作时，不论是否戴上手套，手绝不能放进清洗水槽。
7.使用化学站或烤箱处理芯片时，务必将芯片置放于铁弗龙晶舟内，不可使用塑料盒。
8.摆置芯片于石英舟时，若芯片掉落地上或手中则必须重新清洗芯片，然后再进氧化炉。
9.请勿触摸芯片盒内部，如被碰触或有碎芯片污染，必须重作清洗。
10.手套，废纸及其它杂碎东西，请勿留置于操作台，手套若烧焦、磨破或纤维质变多必须换新。
11.非经指示，绝不可开启不熟悉的仪器及各种开关阀控制钮或把手。
12.奇怪的味道或反应异常的溶液，颜色，声响等请即通知相关人员。
13.仪器因操作错误而有任何损坏时，务必立刻告知负责人员或老师。
14.芯片盒进出洁净车间须保持干净，并以保鲜膜封装，违者不得进入。
15.洁净车间内一律使用原子笔及无尘笔记本做记录，一般纸张与铅笔不得携入。
三、黄光区操作须知
1.湿度及温度会影响对准工作，在黄光区应注意温度及湿度，并应减少对准机附近的人，以减少湿、温度的变化。
2.上妥光阻尚未曝光完成之芯片，不得携出黄光区以免感光。
3.己上妥光阻，而在等待对准曝光之芯片，应放置于不透明之蓝黑色晶盒之内，盒盖必须盖妥。
4.光罩使用时应持取边缘，不得触及光罩面，任何状况之下，光罩铬膜不得与他物接触，以防刮伤，光罩之落尘可以氮气枪吹之。
5.曝光时，应避免用眼睛直视曝光机汞灯。
四、镊子使用须知
1.进入实验室后，应先戴上手套后，再取镊子，以免沾污。
2.唯有使用干净的镊子，才可持取芯片，镊子一旦掉在地上或被手触碰，或因其它原因而遭污染，必须拿去清洗，方可再使用。
3.镊子使用后，应放于各站规定处，不可任意放置，如有特殊制程用镊子，使用后应自行保管，不可和实验室内各站之镊子混合使用。
4.持镊子应采"握笔式"姿势挟取芯片。
5.挟取芯片时，顺序应由后向前挟取，放回芯片时，则由前向后放回，以免刮伤芯片表面。
6.挟取芯片时，"短边"(锯状头)置于芯片正面，"长边"(平头)置于芯片背面，挟芯片空白部分，不可伤及芯片。
7.严禁将镊子接触酸槽或D.I Water水槽中。
8.镊子仅可做为挟取芯片用，不准做其它用途。
五、化学药品使用须知
1.化学药品的进出须登记，并知会管理人，并附上物质安全资料表(MSDS)于实验室门口。
2.使用化学药品前，请详读物质安全资料表(MSDS)，并告知管理人。
3.换酸前必先穿著防酸塑料裙，戴上防酸长袖手套，头戴护镜，脚着塑料防酸鞋，始可进行换酸工作。
4.不得任意打开酸瓶的盖子，使用后立即锁紧盖子。
5.稀释酸液时，千万记得加酸于水，绝不可加水于酸。
6.勿尝任何化学药品或以嗅觉来确定容器内之药品。
7.不明容器内为何种药品时，切勿摇动或倒置该容器。
8.所有化学药品之作业均须在通风良好或排气之处为之。
9.操作各项酸液时须详读各操作规范。
10.酸类可与碱类共同存于有抽风设备的储柜，但绝不可与有机溶剂存放在一起。
11.废酸请放入废酸桶，不可任意倾倒，更不可与有机溶液混合。
12.废弃有机溶液置放入有机废液桶内，不可任意倾倒或倒入废酸桶内。
13.勿任意更换容器内溶液。
14.欲自行携入之溶液请事先告知经许可后方可携入，如果欲自行携入之溶液具有危险性时，必须经评估后方可携入，并请于容器上清楚标明容器内容物及保存期限。
15.废液处理:废液分酸、碱、氢氟酸、有机、等，分开处理并登记，回收桶标示清楚，废液桶内含氢氟酸等酸碱，绝对不可用手触碰。
16.漏水或漏酸处理:漏水或漏酸时，为确保安全，绝对不可用手触碰，先将电源总开关与相关阀门关闭，再以无尘布或酸碱吸附器处理之，并报备管理人。
六、化学工作站操作
1.操作时须依规定，戴上橡皮手套及口罩。
2.不可将塑料盒放入酸槽或清洗槽中。
3.添加任何溶液前，务必事先确认容器内溶剂方可添加。
4.在化学工作站工作时应养成良好工作姿势，上身应避免前倾至化学槽及清洗槽之上方，一方面可防止危险发生，另一方面亦减少污染机会。
5.化学站不操作时，有盖者应随时将盖盖妥，清洗水槽之水开关关上。
6.化学药品溅到衣服、皮肤、脸部、眼睛时，应即用水冲洗溅伤部位15分钟以上，且必须皮肤颜色恢复正常为止，并立刻安排急救处理。
7.化学品外泄时应迅速反应，并做适当处理，若有需要撤离时应依指示撤离。
8.各化学工作站上使用之橡皮手套，避免触碰各机台及工作台，及其它器具等物，一般操作请戴无尘手套。
七、RCA Method
1.DI Water5min
2.H2SO4:H2O2=3:1煮10~20min75~85℃，去金属、有机、油
3.DI Water5min
4.HF:H2O10~30sec，去自然氧化层(Native Oxide)
5.DI Water5min
6.NH4OH:H2O2;H2O=1:1:5煮10~20min75~85℃，去金属有机
7.DI Water5min
8.HCl:H2O2:H2O=1:1:6煮10~20min75~85℃去离子
9.DI Water5min
10.Spin Dry
八、清洗注意事项
1.有水则先倒水﹐H2O2最后倒﹐数字比为体积比。
2.有机与酸碱绝对不可混合﹐操作平台也务必分开使用。
3.酸碱溶液等冷却后倒入回收槽﹐并以DI Water冲玻璃杯5min。
4.酸碱空瓶以水清洗后﹐并依塑料瓶﹐玻璃瓶分开置于室外回收筒。
5.氢氟酸会腐蚀骨头﹐若碰到立即用葡萄酸钙加水涂抹，再用清水冲洗干净，并就医。碰到其它酸碱则立即以DI Water大量冲洗。
6.清洗后之Wafer尽量放在DI Water中避免污染。
7.简易清洗步骤为1-2-9-10;清洗SiO2步骤为1-2-10;清洗Al以HCl:H2O=1:1。
8.去除正光阻步骤为1-2-10，或浸入ACE中以超音波振荡。
9.每个玻璃杯或槽都有特定要装的溶液﹐蚀刻、清洗、电镀、有机绝不能混合。
10.废液回收分酸、碱、氢氟酸、电镀、有机五种，分开回收并记录，倾倒前先检查废弃物兼容性表，确定无误再倾倒。
半导体洁净车间现场改善方法研究
某半导体企业是量产
工厂，员工人数多、
规模大、产品种类多、
生产工艺复杂，必须
有相应的规章制度来
管理公司的日常生
产运作。公司在引进
精益生产管理思想之
前，曾经效仿某企业
提倡“6S”管理。但
由于每个部门的职责
不同，对“6S”的理
解与落实也不同，又
加上没有相应的考核体系，导致“6S”管理流于形式。只有在客户或上级来检查时，才会突击打扫一下卫生，但没过几天，又会回到原来脏乱的样子。由于现场“6S”管理未做到位，混料的情况时有发生，并因此多次遭到客户的投诉。作业人员对现场的脏乱状况习以为常，没有改进工作环境的意愿。脏乱的工作环境会直接影响作业人员的工作习惯和工作质量，降低了工作效率，增加了质量事故的发生几率。建立一套合理、高效、实用的生产现场管理制度是本文主要探讨的问题。问题描述某公司多年以前就已引入“6S”，但从现场的调查情况发现，“6S”管理做得不到位，现场人员对“6S”的重要性认识不够，员工行为多停留在运动式的层面，不能按“6S”的基本要求实施操作，规范化程度低。问题主要表现在以下几个方面。
1.1随意摆放工具，定置管理差不加分类地随意摆放工具，增加了工人寻找工具的时间，降低了工作效率；通常情况下，越复杂的生产工序，需要使用的工具就越多，在工具的找寻过程中工作人员过多地走动，容易造成现场工作秩序出现混乱。此外，随意摆放工具也容易使工具损坏。
1.2各种品质的产品随意混放各种品质的产品随意混放，容易使车间管理出现混乱，影响产品的品质；操作工需要花费大量的时间判断产品品质的好坏，降低了生产效率；管理人员无法准确统计货品数量，造成管理的混乱和无序。
1.3物流布局不畅所示为改善前的现场布局。产品的生产、加工过程就是物料或半成品在各道工序之间传输的过程，如果在工作现场没有一个通畅的物流布局，就会影响工作现场的秩序，造成生产现场秩序混乱，作业流程不畅。各种物料运输相互干扰，增加了搬运时
间，降低了生产效率，也容易产生安全隐患和生产事故。
1.4闲置物品未及时清理在生产现场，大量不经常使用的物品长期滞留占用生产场【作者简介】蔡伯承，同济大学机械与能源工程学院工程硕士生。半导体制造车间现场改善方法研究（同济大学机械与能源工程学院，上海200092）要】半导体制造企业是量产工厂，企业员工多、规模大、产品种类多、生产工艺复杂，必须有相应的规章制度来管理公司的日常生产运作。文章通过对半导体制造生产现场进行观察和分析后提出，用消除浪费的精益生产思想来改善现有的“6S”管理，可以解决生产现场定置管理差、产品混料、物流不畅及浪费的问题。
企业科技与发展
应用技术2012年第21期（总第339NO.21,2012（Cumulatively NO.339）
理论
2.1现场“6S”管理在精益生产中，“6S”是现场管理的基础，是TPM员生产维护）的前提，是TQM（全员质量管理）的第一步。“6S”起源于日本，是在“5S”管理的基础上衍生出来的，通过实施整理（Seiri）、整顿（Seieon）、清扫（Seiso）、清洁（Seiketsu）、素养（Shitsuke）、安全（Safety）6个项目，规范现场管理，营造良好的工作环境，培养员工良好的工作习惯，以及提高企业的管理水平和员工的素质。“6S”具体指以下几个方面。（1）整理：区分必需品和非必需品，现场不能放置非必
（2）整顿：减少寻找必需品的时间。
（3）清扫：保持无垃圾、无灰尘、干净、整洁的状态。
（4）清洁：将整理、整顿、清扫工作制度化。
（5）素养：对于公司制定的规定，大家都要遵守执行。
（6）安全：清除事故隐患，排除险情，保证员工的人身安全和生产活动的正常运行。“6S”活动不仅能够改善生产环境，还能提高生产效率、产品品质、服务水准及员工士气，是减少浪费、提高生产力的基本要求，也是有效展开其他管理活动的基础。因此，该半导体企业需要系统地引进“6S”管理，为接下来的改进活动打好基础。
2.2精益生产的核心思想消除浪费是精益思想的核心。精益生产的核心目标是消除一切浪费，通过改进实现利润最大化。去除生产活动中所有不能增加产品价值的要素，每个工作环节和与其配备的工作人员的安排必须是增值的，清除一切不增值的岗位。“精益”中的“精”指少而精，不投入多余的生产要素，只在必要的时候生产被市场（或后工序）需要的产品；“精益”中的“益”指生产经营活动要有益、有效且具有经济性。精益生产理论中的7种浪费是指过量生产的浪费、等待时间的浪费、运输的浪费、库存的浪费、工序的浪费、动作的浪费、产品缺陷的浪费。用消除浪费的精益生产思想来改善现有的“6S”管理以上列举的“6S”管理中的缺陷，体现了在生产辅助器具的布局和“6S”环境管理的思想上缺乏精益思想。实施“6S”的管理者缺乏和生产一线员工的有效沟通。“6S”管理不能局限于前人总结的理论概念，而要结合实际的生产状况来制定相应的规章制度。“6S”的目的不是单纯地做好“6S”，而是要借助“6S”这个生产管理的工具实现生产现场的良好秩序，保证生产线的正常运营。
因此，对于该公司的“6S”管理，我们可以做如下改善。首先，对于工具随意摆放的问题，可以采取划定摆放区域的方法，以就近原则，用醒目的颜色标注工具的类别或者名称并放置在对应设备的附近，这样工人一目了然，就不会在存取工具的环节浪费时间。
其次，对于不同品质产品的存放问题，可以更改公司目前的规章制度，把需要做实验的货品
编入被截住待处理（异常）的产品的范围内，被截住待处理的货品其实是等待工程师处理的产品，工程师自行处置的货品也是等待工程师处理的产品。这样，需要工程师做实验的货品就可以存放在被截住待处理（异常）的产品货架上，既减少了搬运时间，又不违反“6S”。再者，对于物流通道不畅的问题，可以做如下改善：根据物料加工的工艺流程，按照直线型为主、“U”形为辅的方法进行现场设备布置。将生产区域按面板生产流程自左向右排列，做到物料从进口到出口是按照一个方向流动。将原材料区和成品区设在产品流程方向的左边，既给各生产区取料带来了便利，又缩短了生产E区与成品区的运输距离，也缩短了各生产区之间的运输距离。合并工序COG M2，在空间上也将两者都放在生产D区。这样不仅减少了运输距离，也减少了工序L2和M2之间的Bank，从而避免了制品在此工序的堆积。经过改善后的布局消除了取料过程中人流和物流交错迂回的现象，缩短了取料距离；各生产区域按生产流程直线排列，减少了空间上的距离，取消了之前用于存放在制品的Bank，缩短了物流线路，保证工序间物料的先进先出；由于布局合理紧凑，节约了宝贵的生产场地。最后，改进留言单的管理。该半导体制造公司的留言单是用于夹在货物上说明货物的特殊用途、归属或其他一些重要的信息，用无尘纸制成，其价格比普通纸贵10倍。根据公司“6S”的规定，留言单只能写一面，若在反面写字并夹在货物上，就属于“6S”缺失。事实上，留言单的用途在于留下重要的信息，我们应该对反面加以利用，这样就能节约成本。
结论
“6S”可以为实施精益生产创造良好的工作环境，是一切生产1区（生产工艺：L1）原材料区成品区Bank生产2（生产工艺：M1）生产4（生产工艺：L2）Bank生产6（生产工艺：M3）Bank生产5（生产工艺：M2）生产3（生产工艺：A/C）Bank Bank传，增加农户订刊数量。与百度、搜狐等各大搜索引擎合作，建立期刊网站的搜索（竞价）排名或在网页上与同类期刊网站和农业网站建立友情链接，扩大期刊网站的知名度，增加读者的点击率。
21世纪是信息时代，但因为信息闭塞，农民读者常遇到农产品无人问津的尴尬境地。农业科普期刊应找准这一切入点，充分利用新媒体的优势，开展全方位、多层次的信息咨询服务，让读者及时获得宝贵的信息，掌握市场走向，在市场竞争中始终占据主动地位。期刊要加强与相关机构合作，提供农业科技书籍、农用物资及相关产品等销售和咨询服务，为农民读者排忧解难，增加期刊的盈利点。
结语
在新形势下，面对市场的严峻挑战，农业科技期刊面临重重压力，农业科普期刊应审时度势，正确剖析自身问题，积极寻找解决方案，更新陈旧观念，采取切实可行的措施，下大力气提高办刊质量，努力打造品牌，力争在竞争激烈的传媒市场占有一席之地。〔责任编辑：许桂霞〕原材料区成品区生产A（生产工艺：L1）生产B（生产工艺：M1）生产C（生产工艺：A/C）生产D（生产工艺：L2、M2）生产E改善后的生产现场布局精益改善的前提。该半导体公司首先对全体员工进行培训，先从整理、整顿、清洁入手，由公司领导带头，将现场所有物品区分为必需的和非必需的，对整理之后的必需品进行分类，对非必需品予以清除，并清扫干净工作现场。每个部门都制定了“6S”的检查细则，并认真切实地反映到日常、月度、年度的各项考核机制中，与员工的绩效奖金直接挂钩。
工厂安全管理制度范本 无论是生产还是生活，安全是最重要的，所以，做好安全管理工作非同小可。以下以某工厂为例，为大家提供一则工厂安全管理制度范本，希望大家从中借鉴如何做好安全管理工作。 总则 第一条为了改善公司生产中的劳动条件，保护劳动者在生产过程中的安全和健康，促进公司的经营活动能够顺利的开展下去，根据有关劳动保护的法令、法规等有关规定，结合公司的实际情况制定本规定。 第二条公司必须树立“安全第一，预防为主”的安全生产方针，由总经理(法定代表人)总体负责，各级领导要坚持“管生产必须管安全”的原则，生产要服从安全的需要，来实现公司的安全生产和文明生产。 第三条对在安全生产方面有突出贡献的团体和个人要给予奖励，对因违反安全生产制度和操作规程而造成事故的责任者，要给予严肃处理，触及刑法的，交由司法机关进行处理。 机构与职责 第四条公司应该成立安全生产委员会(以下简称安委会)，来总体组织领导公司的安全生产，安委会应该由公司领导和有关部门的主要负责人组成。其主要职责是：全面领导公司的安全生产管理工作，研究制订安全生产措施和劳动保护计划，检查和监督生产安全，调查处理发生的事故等工作。安委会的日常事务由安全生产委员会办公室(以下简称安委办)负责处理。 第五条公司下属生产单位必须成立安全生产领导小组，负责对本单位的职工进行安全生产教育，制定安全生产实施细则和操作规程，实施安全生产监督检查，贯彻执行安委会的各项安全指令，确保生产安全。安全生产小组组长由各单位的领导任命，并按规定配备专(兼)职安全生产管理人员。各机楼(房)、生产班组要选配一名不脱产的安全员。 第六条安全生产主要责任人的划分：单位行政第一把手是本单位安全生产的第一责任人，分管生产的领导和专(兼)职安全生产管理员是本单位安全生产的主要责任人。 第七条公司安全生产专职管理干部职责： 第八条各级工程师和技术人员在审核、批准技术计划、方案、图纸及其他各种技术文件时，必须使其符合安全生产和劳动保护的要求。 第九条各职能部门必须在本职务范围内做好安全生产的各项工作。 第十条各生产单位的专(兼)职安全生产管理员要协助本单位领导贯彻执行劳动保护法
食品车间卫生管理制度 第一条制定目的 为加强车间对员工身体健康、车间工作环境卫生和车间设备卫生的控制，预防和控制各因素对产品质量的影响，特制定此制度。 第二条制度内容 1. 个人卫生管理 1.1 个人健康规范 1.1.1 根据视食品卫生法的要求，食品企业必须保证所有工作人员每年一次由当地卫生免疫部门进行健康检查合格后方可继续进行工作； 1.1.2 每一位新加入员工必须在当地卫生免疫部门出具健康证，建立健康档案才能上岗。 1.1.3 凡是感染过或是接触过传染疾病的人员不得参加生产活动，如疟疾、伤寒、病毒性肝炎、（有腹泻、呕吐症状的病症）结核病、化脓性渗出性皮肤病等。 1.1.4 生产区域或包材暂存区域发生工伤事故应立即向班组长或生产领导汇报，特别是流血事故。任何伤口在车间都应该进行正确的包扎措施，避免带伤人员接触产品、水源及包材。 1.2 个人着装规范 1.2.1 所有进入车间员工必须穿戴车间统一配发的工装（包括鞋、帽、头套、口罩等）。 1.2.2 进入内包、化妆品车间等有洁净要求区域时，一定要穿戴连体服，并佩戴鞋帽口罩等。 1.2.3 车间生产服装由车间统一定制，不得私自在工装上添加装饰品；随时检查并更换破损衣物。 1.2.4 车间生产工装必须由车间统一清洗消毒，不得私自带回家清洗。清洗时，洁净区服装和一般工作区服装应分开清洗和分开存放。 1.2.5 生产时，工装不得穿出生产区域，必须严格按照换装流程进行换装外出。 1.2.6 严格按照工装穿戴标准进行着装，如：头套必须包裹头发、口罩盖住口鼻等。 1.2.7 直接接触物品的岗位在接触前必须进行清洗消毒；有条件的地方可以佩戴无菌手套。 1.2.8 外来参观人员必须按照着装规定更换白色大褂和鞋帽，在入口处进行完消毒后才可以进入。 1.2.9 车间员工工作期间不得佩戴饰品、手表、戒指、留长指甲、化妆等；长发束起，不佩戴假发等。 1.3 员工行为规范 1.3.1 每次进出车间都要严格按照车间进出程序进行换装和消毒。 1.3.2 车间内不得有吸烟、随地吐痰等现象发生；咳嗽、打喷嚏等应掩住口鼻，痰应用纸包好，并严格进行洗手等消毒后才能再进行工作。 1.3.3 在车间内或者洁净区内严禁进行修指甲、抠耳朵等不卫生行为。 1.3.4 非车间人员要进入车间，一定要提醒穿戴完整、消毒完全后方可进入；私人物品不得带进车间。 2. 车间环境卫生、清洁规范 随时保持车间生产区域整齐、卫生是食品企业产品质量的保证。 2.1 车间出入口卫生
字号：大中小 洁净区管理规程 1 目的 建立洁净区人、物流管理规定，防止人员、物品对环境的污染。 2 范围 本规程适用于制盖车间十万级洁净区的清洁，人流及物流的管理。 3 责任 3.1制盖车间负责本规程的贯彻执行。 3.2质量管理部负责本规程的监督考核。 4 操作规程及要求 4.1环境要求： 4.1.2洁净室内墙壁、房顶、门窗、地面要无灰尘，无死角。 4.1.3设备表面要无油污、无灰尘，见本色。 4.1.5洁净室内禁止吸烟、禁止随地吐痰等不良行为。 4.1.7洁具要见本色，地漏口要清洁。 4.1.9洁净工作服饰的衣柜不应采用木质材料，应与GMP对设备选型的要求一致。 4.1.10操作人员不许穿工作服出洁净区。 4.1.12洁净厂房应定期清洗消毒。使用的消毒剂不得对设备、原材料、产品等产生污染。（新洁尔灭1%） 4.1.13洁净室内的工装设备、工位器具也应定期清洗消毒或清洁处理。
4.1.14洁净室于非洁净室内的工位器具应严格区分，标示明显，不得交叉使用。 4.1.15对于与产品或零件直接接触的设备及工作台面每天工作前应用消毒液浸过的洁净卫生不脱落纤维的抹布进行擦拭。 4.1.16每天上班前和下班后应打开净化车间内的紫外线灯照射各30分钟灭菌或用溴氧发生器进行消毒。 4.1.17洁净区所有门窗户平时不许开，工作时门必须关紧，通道门的开关必须 遵循前门不关后门不开的原则。 4.1. 19洁净区内进行各种操作活动要稳、准、轻，不做与工作无关的动作，各种活动（操作）应限制在最低限度。 4.1. 20不允许将食品或与生产无关的物品带入洁净区。生产过程中产生的废弃物应及时装入洁净的不产尘的容器或袋中，密闭放在洁净区内指定地点，并按规定在工作结束后将其及时清除出洁净区。 4.2清洁规程 4.2.1清洁范围：洁净区地面、门把手、配电箱、水池、地漏、墙面、门、窗、天花板、灯罩、高效过滤器的层流罩、紫外灯管、回风口、鞋橱等。 4.2.2清洁频次： 4.2.2.1每天生产结束后清洁； 4.2.2.2每周最后一个工作日； 4.2.2.3停产三天后再生产前清洁； 4.2.3清洁用品： 4.2.3.1清洁工具：丝光毛巾、不锈钢桶、水托、毛刷等。 4.2.3.2清洁剂：洗洁精、纯化水；消毒剂：5%甲酚皂溶液，0.1%新洁而灭溶液，75%的乙醇溶液。
1. 目的 加强洁净厂房的管理，规范洁净厂房的使用。 2. 范围 适用于洁净厂房的管理。 3. 职责 设备负责人负责洁净区空气净化系统和空调系统设备的操作与维护。 进入洁净区的人员负责执行本制度。 质量部QA负责对洁净环境的定期监测。 4. 内容 人员的管理 个人健康 进入洁净厂房的工作人员应体检合格，人事部对其备案。 在工作期间，每年必须体检一次，体检结果存档，体检合格后方可继续留在洁净区厂房工作。 在工作中，如有身体不适或外伤，应及时就医，发现患有传染病、精神病、外伤、皮肤病等，要及时上报领导，调离工作岗位。 因病离岗的工作人员在疾病痊愈，身体恢复健康以后，要持有医生开具的健康合格证明方可重新上岗。 个人卫生 随时注意个人清洁卫生，勤理发、剃须、勤剪指甲、勤换内衣。 接触产品的人员不允许化妆，不涂含有粉质的护肤品，不允许戴饰物、手表。 进出洁净厂房应严格执行规定的人员净化程序。 每日上岗前必须按规定洗手、消毒、穿戴好清洁、完好的洁净工作服，工作鞋，戴好口罩。 工作服的管理 要求按《工作服卫生管理制度》中～条款执行。 原辅料的管理
进入洁净厂房的原辅材料、内包装材料、容器及工具均需在物料净化室对外表面处理，或剥去污染外皮，采取有效的消毒措施，再通过传递窗进入洁净区。 进入洁净区的使用物料应控制在最低限度，洁净区内不能存放多余的物料及与生产无关的物料，生产余料应及时办理退库或由领料员存放于暂存室。 生产过程管理 洁净区的清洁工作应在每班次生产操作结束后进行，如有需要可在生产开始前进行紫外灯消毒。生产必须在净化空调系统开机运行30min后开始。 生产过程期间对进入洁净区的非生产人员要严格控制和监督，严格控制进入洁净区的人数，非生产人员未经批准不得入内，进入前需按要求填写《非生产人员进入洁净区登记表》，并按《物料、人员进入生产区卫生管理制度》执行。 不允许未穿洁净工作服或剧烈活动后的人员进入洁净区。洁净室内操作人员在工作过程中的动作要稳、轻、少，尽量减少不必要的活动和交谈。 更换品种或每日工作结束后，必须将地面、台面、工具擦拭干净，采取消毒措施，接触药品的容器、器具洗涤清洁。 禁止携入洁净区的物品是：未按规定进行净化的物料、容器、工具、仪器、记录等，操作人员的个人杂物等。 设备卫生管理 洁净区使用的设备、容器、管路在进行清洁时，应按设备操作规程规定的工艺用水清洁，并采取有效的消毒措施。 传递窗的门应联锁，进和出不能同时打开。 局部100级净化，每次必须在生产操作前10min启动，生产结束后应原位消毒。 应严格控制不必要的设备、物料、器具进入洁净室，对于必须使用的物料、容器及设备应控制在最低限度，且所用设备不产尘。 洁具管理 洁净区清洁工具宜采用不掉纤维的材料，应配置适用于不同清洁部位和功能的洁具，并保证足够的量。洁净区的洁具应专区专用，并标识明确，存放于专用洁具间规定的位置，不得随意摆放和混乱使用，不同洁净级别的操作间应严格区分使用洁具，洁具应按规定定期消毒。
洁净区施工管理制度 目的 对洁净厂房施工过程中进行成品保护。 范围 1、彩钢板及其构件包括：壁板、顶棚、门封头，门（含门板、门框、合页、插销、锁具、闭门器及门上的窗户）、窗（含窗框、玻璃），装于壁板上的安全标志牌。 2、地面：环氧涂层、自流平、塑胶地板、瓷砖。 3 、其它设施：水池（含水池附件和排水管）、地漏、洁净灯具、开关、插座，各种管道及管道保温，消防控制箱（柜）及其内的消防器材，高效散流罩、百叶式回风口。 程序 1、进入洁净区施工必须经过审批（审批单详见附页），任何施工单位未经过审批进入洁净区施工，发现后对该项目部每次扣除工程款5000元。经过审批后的施工单位进入洁净区后必须遵守以下规定，违反下列规定的施工单位根据损坏情况每次扣除工程款2000-5000元。对进行恶意破环的单位和个人将扭送司法机关进行处理。 2、进入洁净区参观的人员必须由建设单位或管理公司相关人员陪同，进入人员必须戴干净鞋套；进入洁净区施工的单位必须经过审批，进入人员必须穿专用软底胶鞋（洁净区专用）。 3 、壁板（包括彩钢板和粉刷后土建墙壁）禁止人体站立其旁的依、扶、靠行为；禁止行走中对墙壁的拍打、抚摩行为；禁止在壁板上的涂、抹、刻画等行为；禁止任何物品以壁板为支撑的倚靠与摆放；禁止任何可移动的物体对壁板的撞击、刮蹭、摩擦；禁止任何固定或临时摆放的物品接触到壁板（与壁板固定的物品除外），凡靠近壁板放置的物品应距壁板不少于10cm；禁止在壁板上穿孔、打眼；清理壁板粘附较强的污泽可使用中性洗涤剂濡润后擦拭，不允许用硬物铲、刮、打磨。 4 、顶棚（含顶棚与壁板接合处的圆角）。禁止随意在顶棚上穿孔。对粘附较强的污泽可使用中性洗涤剂濡润后擦拭，不允许用硬物铲、刮、打磨。 5、门。禁止移动物体（运输工具等）通过门口时挤撞门板、门框或碾压门封头。人员通过房门时，应手握把手旋开门锁将门推（或拉）开，通过后换手握住另一侧把手徐徐将门关闭，禁止以身体任何部位将门撞开或用脚踢门；禁止通过门口后用力回推门板或用脚勾门板的关门行为；禁止任何物体对门板、门框的撞击、刮蹭、顶压，禁止撬门砸锁，锁门前应先插好插销。 6、地面。禁止在地面上拖拽工具箱和施工用品等无脚轮支撑的物品，当需移动上述物品时不论距离远近必须用运输工具转运或抬起搬运；禁止用任何物品敲砸地面，在向地面放置物品时动作必须轻、缓，不得损伤地面；沾有油污的机件、工具放置时必须衬垫箱皮或塑料布；各种运输工具的脚轮应转动灵活不得在地面上滑行；禁止任何物体碰撞壁板的边沿；梯子等登高工具支腿必须用柔软橡塑海绵进行包裹。 7、管道及保温。禁止在管道上悬挂（吊）任何物品、禁止踩踏管道尤其不得踩踏保温外皮，禁止在保温外皮上搁置任何物品，禁止敲、砸保温外皮。
管理制度编号：YTO-FS-PD554 出租厂房、设备安全管理制度通用版 In Order T o Standardize The Management Of Daily Behavior, The Activities And T asks Are Controlled By The Determined Terms, So As T o Achieve The Effect Of Safe Production And Reduce Hidden Dangers. 标准/ 权威/ 规范/ 实用 Authoritative And Practical Standards
出租厂房、设备安全管理制度通用 版 使用提示：本管理制度文件可用于工作中为规范日常行为与作业运行过程的管理，通过对确定的条款对活动和任务实施控制,使活动和任务在受控状态，从而达到安全生产和减少隐患的效果。文件下载后可定制修改，请根据实际需要进行调整和使用。 第一章总则 第一条为规范集团公司各单位出租厂房、设备的安全管理，落实出租方与承租方各自的安全管理责任，特制定本制度。 第二条本制度适用于集团公司各单位出租厂房、设备的安全管 理。本制度中，出租厂房还包括经营场所（酒店、商场）、办公场所等。 第二章出租厂房、设备满足条件 第三条集团公司各单位进行厂房、设备出租时必须签订租赁合同。 第四条出租方和承租方在发生租赁业务前必须签订有效的安 全生产管理协议，明确划定出租方与承租方各自的安全责任、权利和义务。或在租赁合同中注明安全生产管理协议应有的内容，出租方和承租方必须严格按合同和安全
生产管理协议约定内容履职尽责。 第三章出租方的责任和权利 第五条各单位出租的厂房、设备必须满足国家法律、法规、标准规定的安全生产条件。 第六条各单位厂房、设备出租前，对承租单位的资质进行审查， 其资质必须与合同约定的作业活动相符，不准将本单位的厂房、设备出租给不具备相应资质的单位和个人。资质审查包括相应证件、安全生产管理机构、安全生产管理人员、安全生产规章制度（包括责任体系）、应急管理体系等情况。 第七条当一个区域内有多个承租单位进行生产经营活动时，出 租方对此区域各个承租单位的安全管理工作指定专人负责协调，明确各自的安全生产职责和应当采取的安全技术措施，避免出现安全管理 盲区，确保区域的整体安全。 第八条当承租方在承租厂房进行施工与检修时，出租方应当对 可能引发事故的周边设施（包括隐蔽工程）、危险物品等情况向承租方说明。 第九条出租方应定期对出租的厂房、设备进行安全生
车间卫生管理制度 一、目的 建立、维护各办公场所卫生、车间卫生、人员卫生是每个员工的责任和义务。 每个员工需养成个人服装整洁，穿戴正规化的习惯，自觉维护公司各个场所卫生。本制度适用于生产部车间卫生管理，已针对2017年6月7日公布《生产车间卫生管理制度》进行补充和修改。 二、生产卫生责任制度： 各员工必须自觉遵守规章制度，自觉履行自身义务，管理人员必须负责培训、教育工人。每个车间卫生责任落实到班长级，主任监管、经理负责，建立与维护企业生产场所卫生环境是每个员工应有的义务，当月每天卫生情况计入各车间管理人员业绩考核。 三、卫生要求： （一）更衣室 1、保持更衣室整洁，更衣室不得放置生产使用原料、设备、包装物等其他物 品。 2、员工进入更衣后，应将便服放置于储物柜内，生活靴放置于靴架底部。储 物柜不得放置食品（含水、饮料）、药品等涉及食品安全的物品，保持上锁。 3、设置共用物品柜，放置口罩、鞋套、手套等共用物品，方便员工取用。共 用物品柜不得存放个人物品或其他生产工器具。 4、工作服不得穿出车间，更不允许穿工作服上厕所，员工进入车间前必须严 格洗手消毒，手消毒液溶度50-100ppm，工作靴消毒溶度200-300ppm，消毒时间不得低于10秒。 5、以上4条违者罚款5元/次，由管理人员现场进行处罚，隔日班前提交罚 款通知单。 （二）加工间 1、保持车间卫生，做到干净整洁，保持车间干燥，不积水、不积尘。 2、进出各个操作间（含更衣室）应随手关门，减少外界污染。各物流、人流通道不得人为堵塞或破坏防护措施。 3、生料区与熟料区应时刻注意隔离，如摊凉间与烘烤间中间门应在通行后立即关闭，避免生熟交叉污染。
第三层文件 净化车间管理制度 编制：日期： 审核：日期： 批准：日期： 文件更改栏
由于净化车间属于高洁净度区域，根据GMP的要求，为了保证净化车间的正常运行与安全，特制定本制度来规范净化车间的各种行为。 一、人员出入管理 A、人员的进入 1、洁净区人员进入洁净区之前，把外套脱去，换上白色工作服，再通过通道换鞋柜，坐在柜 上进行换室内鞋操作。换好室内鞋后，如需进入洁净室，则进入第一更室内；如需在非洁净区内操作，则直接通过走廊，在非洁净区内工作。男生进入男更衣室，女生进入女更衣室。 2、第一更室的换洁净鞋步骤如下：先打开门进入后，立即关上门；把室内鞋脱下后放靠入口 的鞋柜内，双脚不要着地，把净化区专用鞋穿上，再把手清洗干净并烘干。准备进入第二更室进行换洁净服。 3、第二更室的换衣步骤如下：打开门进入后，立即关上门；从衣柜内取出无尘衣和无尘口罩 （手套），穿上后进入缓冲间。 4、缓冲间的步骤如下：打开门进入后，立即关上门；把手放在手消毒器上进行消毒，只要是 露出洁净服的手的部位均要喷到消毒液；手消毒完成后，然后通过洁净走道进入各自的生产操作区域。 B、人员的出去 1、人员从各自的生产操作区域通过洁净走道来到手消毒间，通过手消毒间，可以直接到各自 的更衣室去，把无尘衣和无尘口罩（手套）脱去，放入回收箱内，穿上白色工作服，走出第二更室。 3、在第一更室内，按照进入进的方法，反向操作，穿上室内鞋走出第一更室。 注意事项： 1、穿好无尘服后才能进入手消毒间，严禁手不消毒进入净化车间。 2、出入净化车间时，开关门时应轻推轻关，且门不能对开。 3、以上每违反一条，每次从工资中扣10元，违反人员的直属上司扣管理费用2元。 二、无尘服的存放与管理 1、无尘服必须按要求定期清洗，每班清洗1次（使用时）。 2、无尘服脏、破、清洗不干净时均要申请更换，更换时均要以旧换新。 3、存放无尘服的区域必须保持干净，除无尘服外不能存放任何物品。 4、无尘服严禁有乱穿、乱放等现象。 5、具体参照QG-19《洁净服和无菌工作服管理制度》进行。 6、以上每违反一条，每次从工资中扣10元，违反人员的直属上司扣管理费用2元。 三、着装管理
生产车间厂区环境卫生管理制度 为确保产品质量,有效地维护企业形象与企业品牌,遵照《中华人民共与国食品卫生法》与食品饮料生产企业标准,制定新环源卫生管理制度。 一、员工卫生管理规定 1、生产岗位员工必须保持良好的个人卫生习惯,坚持“五勤”即:勤洗手、勤剪指甲(指甲长度不许超过1毫米)勤洗澡理发、勤换洗衣服鞋帽、勤换洗晾晒被褥,防疾病,健身体。 2、生产岗位员工必须穿着整洁工装,佩带卫生帽进入生产区,工装领口袖口扣紧,不许带各种首饰及饰物,头发不许外露,应全部罩在卫生帽内,不 许化妆。 3、公司综合部应为员工发放两套以上工装,保证员工工装更换。 4、为保持工装整洁,生产岗位员工装应保存在个人更衣橱内,不准随意穿出厂区(维修人员除外),员工工装不准相互换穿。 5、生产岗位员工上岗前,必须用肥皂按照“五步洗手消毒法”的要求洗手消毒,不准涂染指甲。 6、生产岗位员工不许将食品、饭盒、香烟、手表、戒指等饰物及与生产无关的物品带入生产区,不准近距离正对水线产品、半成品等食品说话打喷嚏,不准在生产区内修指甲、梳头、挖耳朵、抠鼻孔等,不准穿拖鞋与高跟鞋。 7、生产岗位员工在生产区内不准吸烟、吃东西、吐痰、擤鼻涕。
8、综合部应组织生产岗位员工定期查体(查体期限一般为一年),确诊为传染性疾病(包括携带病菌、病毒的肝炎、活动性肺结核等疾病)的员工,应及时调离生产岗位或解聘;手部有伤口化脓性感染的员工,应带乳胶手套操作,避免伤口直接与产品、原料、包装材料接触。 二、员工更衣室管理规定 1、更衣橱按照编号由每个员工专管专用,不准混用、借用、合用。 生产车间厂区环境卫生管理制度 2、更衣室地面、墙壁保持清洁干爽,无纸屑烟头、无痰迹;更衣室每天由专人定期打扫。 3、员工的雨具、饭盒等其她物品应整齐挂放在指定挂衣架与储物架上,不准放入更衣橱内。 4、员工个人更衣橱应保持橱面、挂锁整洁无损,不准乱涂乱画,用硬物杂撬。 5、生产岗位员工上下班更衣完毕,更衣室应及时关闭上锁,并打开紫外线灯进行杀毒灭菌,不准非生产岗位人员进入。 三、环境卫生管理规定 1、保持厂区及生产区内外环境清洁优美,厂区周边应设有绿化隔离带。 2、厂区内不准随地吐痰、乱扔果皮、纸屑、烟头等物,不准乱倒垃圾;各部门垃圾应倒入专门垃圾袋或垃圾筒内,每天由专人进行定期清理。
CNC车间规范管理制度 （一）刀具的管理 1.刀具的管理由配刀专员专管，从仓库领取刀具必须由配刀专员领取，其他人不给予领取。到仓库领取刀具必须以旧换新原则。 2.配刀专员发放给操作员使用时，必须做好登记。做到每台机每个人所使用的刀具有明细记录，操作员损坏换刀必须以旧换新，用完后及时归还配刀专员。 3.刀具使用不正常的（同样规格的刀具损坏3支或3支以上）及时停止发放并且同时通知组长，当事操作员以书面形式描述损坏原因以及改善措施《CNC 个人刀具损坏表》，组长签字确认后配刀专员才给予换刀最后由配刀专员把《CNC个人刀具损坏表》交给主管，再未改善者配刀专员及时向主管汇报。如人为因素造成损坏的由配刀专员直接上报主管按公司规定处罚，必要时调整工作岗位。 4 如刀具丢失，由个人按公司规定赔偿。 5 每月月底盘点，如有与仓库账本对不上，追究配刀专员责任。 6.月底配刀专员依据《CNC刀具使用记录》制作《CNC刀具使用明细表》上交主管审核。以及制作《CNC 个人刀具损坏表》，列入员工月底考核。 （二）工装夹具的管理 1 工装：螺杆、螺母、垫块、压块、钢钳口等按照指定区域分类 存放。调机时自己取用，调机好后及正常生产时机台旁多余的工装和工具及时放回指定位置，摆放以5S为标准。 页脚内容1
2.工装夹具损坏不能用的组长及时挑选出来交予主管确认申请报废处理。保证工具架上不能存放无用的工装和工具。 3.工装从机台上拆下来时去除切屑、油污、并且涂防锈油，铝件不需涂防锈油。 4 .工装夹具使用时要轻拿轻放，不允许有碰伤，绝不允许用铣刀锣钢件工装夹具，保证下次用时是完好的，能及时投入使用. 5.专用工装夹具未经主管同意绝对不允许私自改制、拆卸或做其它工件夹具。 （三）机台的操作 1. 机台的操作严格按安全操作规程执行。 2. 学徒员工绝对不允许私自更改机台的参数、程序、设置，如果发现违反必定严重处理。在公司对平时工作表现突出的有上进心学徒员工有意陪养成技工且有高级技工或组长的监护下才可以做调机作业。 3. 上班时必须穿好工衣，衣扣要扣好，开机前要认真检查，开机时严禁戴手套。 4. 机台自动运行时操作者不得擅自离开岗位，将机台内的所有与之无关的工具、量具、等器具拿出机台外，如发现加工异常立即停机。 5. 机台自动运行时严禁从刀库门装卸刀具，换刀时要关门。 6. 在试机加工时RAPID快速倍率要调到最慢，直到正常加工时才可以调至100%。 7. 主轴没有装刀把时严禁使用气枪，清理切削时，气枪严禁朝工作台以下部位吹气，以免切削吹进主轴或导轨。 8. 配换刀具时，要选用配套的刀把、弹簧夹、拉钉，不能随意更换，刀具装夹要可靠，拉钉要经常检查是否拧紧。 9. 严禁赤手清理切削，不得随意触摸刀刃或刀尖，装卸工装夹具或大件产品时要戴手套以免划伤和碰 页脚内容2
无尘车间管理制度 IMB standardization office【IMB 5AB- IMBK 08- IMB 2C】
无尘车间管理制度 (某世界500强半导体企业内部规范-仅供参考) 目录 1.0 无尘车间管理的目的 2.0 无尘车间管理的原则 3.0 适用范围 4.0 术语 5.0 管理程序 5．1 无尘车间施工管理制度 5．2 无尘车间洁净度定期检测制度/测量标准 5．3 人员管理制度 5．4 无尘车间洁净服管理制度 5．5 无尘车间物流/洁净室内设备及工器具管理制度 5．6 无尘车间清洁、清扫和灭菌管理 5．7 无尘车间洁净室安全管理 6.0 版本更改记录 1．0 无尘车间管理的目的 半导体产品生产过程对车间有明确的洁净要求，为了满足生产工艺需要、保证产品质量、安全生产，必须对洁净室的环境、人员、物料、设备、生产过程等进行控制。 2．0 无尘车间管理的原则
2.1进入洁净室的管理，包括对洁净室工作人员进入、物料进入、各类设备的搬 入以及相关的设备、管线的维护管理，应做到不得将微粒、微生物带入洁净 室。 2.2操作管理技术，对洁净室内人员用洁净工作服的制作、穿着和清洗；操作人 员的移动和动作；室内设备及装修材料的选择和清扫、灭茵等，尽可能地减 少、防止洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖等。 2.3严格各类设备、设施的维护管理，制定相应的操作规程，保证各类设备、设 施按要求正常运转，包括净化空调系统、各类水气电系统、生产工艺设备和 工器具(工装夹具)等。以确保产品生产工艺要求和空气洁净度等级。 2.4清扫、灭菌管理，对洁净室内的各类设备、设施的清扫、灭茵以及方法、周 期和检查作明确的规定，防止、捎除洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、 繁殖。 2.5洁净室环境控制的内容包括：空气净化、洁净建筑、与产品直接接触的水或 气体或化学品和生产设备、工器具等的污染物控制以及微振动、噪声、静电 的控制、防止等。 3．0 适用范围 半导体公司所有洁净生产区及洁净辅助间(包括人员净化用室、物料净化用室和相关生活用室等)、车间内管理区(包括部分办公、值班、管理和体息室等)和将来新建、改建、扩建的洁净厂房及其辅助用房。 4．0 术语 洁净生产区是洁净厂房的主要部分，对洁净级别有明确规定的区域。
厂区施工安全管理制度条例 为确保工厂施工安全，减少安全事故，应制定规范的厂区施工安全管理制度。下面小编为大家整理了有关厂区施工安全管理制度的范文，希望对大家有帮助。 厂区施工安全管理制度篇1 为了贯彻执行安全生产、预防为主的方针，加强生产中安全工作的领导和管理，防止和减少生产安全事故，保障职工的生命和财产安全，特制定本制度: 1、正确穿戴工作服及劳保用品，禁止穿拖鞋、高跟鞋进入车间工作。留长发的的女工进入车间工作时需盘起头发并佩戴工作帽。 2、严格按照设备的操作规程操作设备。 3、工具、料件摆放平稳有序，不得阻碍安全通道，不得影响施工操作。 4、不得私拉乱接电源线，使用无齿锯、手电钻、角磨机等移动式用电设备时应在正规的有漏电保护功能的接线口接续，使用前需对线路及设备进行检查，确认没有安全隐患后方可使用。严禁踩踏碾压落地电缆。 5、车间内禁止吸烟。 6、禁止带耳机边听音乐边工作，禁止操作设备时接打电话。 7、禁止在车间内嬉戏打闹。 8、禁止酒后上岗，禁止疲劳和身体不适时上岗。 9、拒绝来自任何人的违章指挥，发现安全隐患及时向带班人报告，及时消除，共同参与安全监督管理。 10、每周不少于一次对所有设备进行大清扫、大检验。 11、每个月最后一个星期日，由公司主管安全领导带头，会同车间主管、各部门主管进行一次安全大检查工作，并召开安全生产例会，做好记录上交总经理，各部门针对各自安全隐患必须第一时间做出整改措施并落实到位。
厂区施工安全管理制度篇2 一、任何单位或承包商在厂区)生活区)餐厅范围内施工作业之 前,必须签订《东莞裕元制造厂外包施工作业安全责任合同书》后再按施工的 程序进行,承包单位必须具备相关施工资质和持有相关资格证书, 二、施工之前必须对施工现场进行安全清理,并做安全防护措施悬挂安全标 示标志,防护设施必须符合安全要求, 三、特殊工种操作者要有正规操作证,持证上岗, 四、施工用电必须符合安全用电规定，若需动用本公司电源，必须申请本公司指定电工人员搭接电源，严禁擅自挪接本公司电源。 五、施工时,不得使用破旧电源线,使用不同的作业工具应配置相应的电源线,同时不得动用生产在线插座(包括应急灯插座),应从主电柜接专用电源或插座使用,否则责令停工整 改。六、操作员带电作业时,必须使用绝缘工具及必要保护。 七、施工现场由承包单位)发包单位指定专人监护,工厂安全员) 保卫监督稽查,确保施工安全。 八、施工单位没有签订《东莞裕元制造厂外包施工作业安全责任合同书》或者动火审批报告表的,工厂保卫不得准许施工人员入内施工。 九、施工前发包单位应将相关资料(安全责任合同书)承包商施工资质证书或营业执照)特殊工种操作证)备份裕元制造厂安全课。 十、施工违反相关规定,对承包商按相关规定处罚或停工整改,对发包单位相关主管责任人执行记过或开除处理,同时对相关工厂当月消防安全成绩作扣数处理。 厂区施工安全管理制度篇3 第一章施工组织
车间卫生和设备保养管理制度 一、车间卫生管理制度:为创造一个舒适，干净，整洁的工作环境，树立公司的良好形象，制定本制： 1、车间卫生要求做到一天一小扫，每周一大扫。 2、车间要明确区域责任制，每个班组负责其工作的区域，实行谁的区域谁负责。 3、车间地而要求干净清洁、无灰尘、无垃圾、无污迹、无积水、无死角。 4、桌凳保持干净，物品放置整齐。车间内禁止打闹、嬉笑，避免造成安全事故，休息时坐姿要端正。 5、每天生产结束后，必须彻底将生产设备、工具、地面等打扫于净，汽车修理时遗留下的油渍在下班前一定要清理干净。员工领用汽车配件或机油没有用完或者没有用上的部件要及时还回仓库，及时消单。 6、汽车修理时拆下来的配件不能乱摆、乱放，要在指定区域内摆放整齐。车间内不能堆放杂物，要保持一个卫生、整洁、干净、舒适的工作环境。 7、严禁在车间内吐痰，乱扔垃圾（果皮、纸杯、纸屑、烟头、槟榔渣），垃圾要扔进垃圾桶内，上班时间不允许在车间内玩手机（玩游戏、看电影）、看杂志等无关工作的事情。 8、前台属于客户服务区域，有客户的情况下，员工不能进前台服务区域休息、看电视。 9、车辆在维修时，不得开启车内音响，车辆维修时一定要细致，因
个人原因造成客户投诉或其它质量问题的，一切损失由当事人负责。 10、客户车辆修好后，必须进行试车检验车辆维修情况，但必须车间主管安排，私自试车或驾驶客户的车辆外出，造成的后果由当事人全权承担。 二、设备管理制度:为了提高设备的使用性能，使设备保持高效的工作能力，提高检测数据的精密性，特制定本制度: 1、设备管理员（车间主管）应根据设备维护要求以及设备技术状况制定本车间设备的保养细则、保养周期和检定周期，并做好设备维修记录台帐。 2、车间设备、工具表面应保持干净、无尘土、无污垢，无锈斑。 3、设备、工具使用后必须清理或擦拭干净，工具按照定置管理要求整齐摆放到工具柜中或指定区域。 4、设备操作工在独立使用设备前，须掌握该设备的操作技能。 5、设备使用应定人定机，对公用设备由专人负责保养，明确划分责任。 6、操作工要养成自觉爱护设备的习惯。班前班后认真擦试设备及注油润滑工作，使设备经常保持良好的润滑与清洁。 7、操作工要遵守设备操作规程，合理使用设备，管好设备附件。 8、对私自操作设备人员，一经发现严惩不怠，由此发生的一切后果山私自操作者负责。 9、设备发生故障应及时停机，使用人应立即通知车间主管或单位领导，请修理人员检查排除故障。当修理人员在排除故障时，操作人员应积极协助修理人员排除故障。
洁净车间管理制度规范 洁净车间内白勺人是洁净车间室内污染白勺重要来源。必须尽可能减少洁净车间内人员活动所造成和传播白勺污染，以确保室内洁净度及降低维护费用。制定洁净车间白勺纪律，其目白勺就是使产品白勺污染风险降至最低。 洁净车间白勺运行管理人员在制定洁净车间纪律时，首先，应该对洁净车间内工作白勺人员以及洁净车间内部运行工作人员，包括维修人员和服务人员白勺活动，制定严格白勺纪律加以规范;。 一、严格控制进入洁净车间白勺人员 人在行走时，每分钟可以产生约百万个粒径≥0.5um。洁净车间内人员越多，散发白勺粒子数量也越多。因此，管理人员应尽量控制洁净车间内人员数量，也就是说仅允许必需白勺人员进人洁净车间。 此外，还要尽量减少洁净车间白勺参观者。由于参观者没有接受过洁净车间工作培训，因此只有在监管人员白勺管理之下，才能进入洁净车间。理想白勺方案是为洁净车间设计供参观者使用白勺观察窗，这样参观者就不一定非要进入室内，从而减少了造成污染白勺概率。
对洁净车间工作人员白勺基本要求洁净车间白勺工作人员与一般场所白勺工作人 员相比，应该尽量减少人体散发白勺污染。洁净车间运行管理人员应该制定详细白勺要求，以期将室内工作人员造成白勺污染控制在可接受白勺范围内。 1.对洁净车间工作人员身体状况白勺基本要求洁净车间工作人员应保持身体健康，出现以下身体状况白勺人员，可能产生大量白勺 污染粒子。因此，直至症状完全消除前，不宜进入洁净车间工作。 (1)患有某些皮肤病特别是皮炎、皮肤灼伤、头皮屑过量等状态时，因皮肤可 能散布大量白勺皮细胞， 而不宜入洁净车间工作。 (2)患有呼吸系统疾病 例如感冒、慢性肺部疾病等，易造成过量咳嗽或打喷嚏而散发大量白勺飞沫，病愈前不宜人洁净车间工作。 (3)过敏体质白勺人员 过敏体质人员容易有打喷嚏、搔痒、流鼻涕等症状，一般不适合在洁净车间内工作。 (4)可能携带某些微生物、病菌白勺人员 在生物洁净车间中，有时必须将人员与产品隔离开，以防止人员可能携带白勺微生物病菌在产品上滋长，从而损害产品或造成疾病。这些人员对其所从事白勺工作是否合适白勺问题，应连同产品对某种具体类型白勺微生物在其上生长白勺敏感性一道予以考虑。 2.对洁净车间工作人员卫生习惯白勺基本要求洁净车间工作人员应保持良女子白勺个人生活与卫生习惯，不良习惯同样会造成洁净 车间潜在白勺污染源，下列卫生习惯要求洁净车间工作人员在日常生活中予以 关注。 (1)人员应有良女子白勺个人卫生习惯要定期洗澡，清除头皮屑。每次理发后 要洗头，防止头发屑落在产品上。皮肤干 燥白勺人，应使用护肤霜代替护肤油滋润皮肤，以减少皮屑散发。
原料药车间D级洁净区卫生管理制度 1. 0 目的与范围 目的：建立洁净区卫生管理制度，保证洁净区清洁卫生。 范围：适用于洁净区卫生的管理。 2. 0 职责 原料药车间、班组负责本规程实施。 3. 0 内容 3.1 洁净区除达到一般生产区工艺卫生的全部要求，还必须达到以下方面的要求。 3.2 对空气洁净度的要求： 3.2.1 生产车间洁净室对洁净度的要求为D级，为了保证洁净区的洁净度，生产过程中必须开启净化空调。 3.2.2 洁净区操作人员，随时检查温湿度，如未达到要求，应及时与空调机组操作人员联系，使洁净区温湿度控制在18℃---26℃，相对湿度控制在45-65%。 3.2.3 洁净区要定期进行消毒： 3.2.4 洁净区整体消毒每周进行一次，消毒部位包括墙壁、门窗、机器设备、工作台及工用具，消毒剂为75%乙醇、0.1%新洁而灭等轮换使用； 3.2.5 洁净区各工作室的门不论生产或非生产时，均应及时关闭。 3.3 原辅材料的卫生： 3.3.1 进入洁净区的原辅材料、内包装材料均要在清外包室除去外表的灰尘或脱去外包装后，经传递窗进入洁净区的内包材暂存室； 3.3.2 进入洁净区内使用的物料应控制在最低限度。洁净区内不得存放多余的物料及与生产无关的物料。 3.4 生产过程中的卫生： 3.4.1 每班的生产工作开始，必须在净化空调系统开机运行15分钟后检查温、湿度符合要求后方可进行； 3.4.2 对进入洁净区的非生产人员要严格控制和管理,按公司要求执行； 3.4.3 洁净区内工作人员，操作要稳、轻，减少不必要的活动和交谈，以免造成空气过多污染；
3.4.4 洁净室安排生产时，每天必须有足够的时间用于清洁，更换产品时要保证有足够的时间清场、清洁。 3.5 洁净区的清洁卫生工具必须采用不掉纤维的材料，使用后按要求进行清洁、消毒； 3.6 所有传递窗是洁净区与非洁净区之间的隔离设施，两边的门不得同时打开。 3.7 洁净区内不得使用铅笔、橡皮擦、记事板等。 3.8 严禁携带以下物品进入洁净区： a. 食品、香烟、自己服用的药品； b. 首饰、化妆品、手帕、手纸； c. 钱包、打火机等； d. 其它非生产性物品。 鞠躬尽瘁，死而后已。——诸葛亮
厂房安全管理制度
XXX有限公司厂房 项 目 安 全 生 产 管 理 制 度 XXX有限公司 二0一三年六月 项目安全生产管理制度 一、安全目标 为了认真贯彻落实“安全第一，预防为主”的方针，切实加强安全生产和劳动保护工作，保障职工的安全和健康。本工程的安全管理目标为：重大安全事故为零，创安全生产标准化管理达标工地。
二、安全管理 结合我项目实际情况制作如下安全管理制度。 1、项目经理安全管理职责 （1）项目经理是项目施工安全生产第一责任人，应遵循认定的目标，认真贯彻执行国家和政府部门的安全生产方针、政策、法规和上级指示，结合企业实情制订各项制度，贯彻各项措施，并检查执行情况。 （2）根据新的标准和规范，建立和不断完善安全生产管理制度。 （3）对项目部的安全生产和目标管理负总责，把安全目标管理列入议事日程，定期召开安全生产会议，掌握动态，解决安全隐患问题，加强对专职安全管理人员的教育、指导。 （4）对各安全管理职能部门进行督促，主持重大伤亡事故的调查处理，认真执行“管生产必须管安全‘的原则。 （5）贯彻传达公司下达的各项对安全生产有关的文件，具体落实实施措施。 （6）在签订项目分包合同时，必须同时签订确保安全生产的协议书。 2、技术员、施工员安全管理职责 （1）对所负责的施工项目，负有安全生产直接责任，不违章指挥冒险作业。 （2）认真执行国家安全生产方针、政策、法令及公司的各项
规章制度和施工组织设计中制定的安全技术措施。 （3）根据新的标准规范和安全管理目标，健全各项施工生产的安全措施，遇到生产与安全发生矛盾时，坚持生产服从安全的原则。 （4）如发生重大伤亡事故时，要及时组织抢救，立即上报，并保护好现场，有权拒绝违反安全规定的生产指令。 3、安全员安全目标管理职责 （1）安全员是国家安全生产方针、政策、劳动保护法规及新标准、新规范的具体执行者，对项目部认定的目标管理负有直接责任。 （2）做好安全生产和目标管理的宣传教育和管理工作，深入现场掌握安全生产情况，调查研究生产中的不安全因素，提出改进意见，及时发现处理各种事故隐患。 （3）负责工地安全生产目标管理工作的资料检查记录和存档保管。 （4）会同有关部门做好三级教育和特殊工种培训、考核发证工作，同时做好上级下达的安全技术交底工作。 （5）有权制止违章指挥、违章作业，遇有险情，有权制止停工整改，并速报上级领导处理。 （6）对违规者经劝说无效，有权对其处以罚款等其它处理方案。 4、文明施工员目标管理职责
车间卫生管理制度 目的:为了规范车间卫生管理,确保食品的安全与卫生,特制定以下制度: 适用范围:生产车间 要求: 一、员工个人卫生管理 1、所有进入生产领域的人员须着装规范,戴好发网(工作帽)头发不允许外露,口罩应遮住口鼻(包括参观人员); 2、工作服要干净、整洁、无破损,冬季两天一换洗,夏天一天一换洗; 3、所有进入生产区域的人员要洗手消毒(包括中途外出); 4、在生产领域内不允许进食、喝水(喝水可在指定地方)、酗酒、吸烟; 5、手及指甲要干净,不允许涂抹指甲油,指甲长度不允许超过0、3mm; 6、任何人在车间内不得玩弄与接听手机(指定区域除外); 7、工作服及工作鞋要严格按照更衣程序进行更换,不可穿出生产领域,不允许穿裙子、短裤、拖鞋进入车间; 8、手部如有破损或包扎,应调换到与食品没有直接接触的岗位,并戴上完好的医用手套; 9、操作人员在车间内,手部接触到污染物后,要重新清洗消毒; 10、在生产区域内不允许化妆、戴手表、项链、戒指等首饰; 11、所有进入生产区域的人员,要按规定的人行通道出入车间,以防交叉污染; 12、更衣室要安排专人打扫,定时对更衣室进行灭虫灭菌消毒并做好记录; 13、任何人不得坐、站、躺在原料、工作台、容器、产品或垫板上。 二、设施、设备卫生管理 1、生产所需的设备、设施在生产前要用75%的酒精或配好的消毒水消毒; 2、生产所需的设备、设施在生产结束后要清洗干净,并归类存放在指定位置; 3、生产设备在生产过程中出现故障维修时,要先把生产现场用的原料、半成品隔离,再进行维修;维修完毕后要清理现场及设备卫生,与生产无关的东西要清除出去; 设备上的油污要及时清理,并保持无异味; 4、在生产过程中,操作者对设备要经常清理点检,保持设备干净整洁; 5、设备上与产品接触部位所用的润滑油必须为食品级润滑油。 三、工器具卫生管理 1、在生产过程中,各区域工器具管理应责任到人,按指定位置统一存放统一管理; 2、生产区域所有的工器具使用前要及时清洗消毒,使用时要做好标示,放在指定的位置,摆放整齐,使用结束后应归位; 3、用于装原料的器具与装垃圾的器具要标示区分,不得混用; 4、清洗所用的毛刷地板刷应区分使用、区分存放; 5、生产使用的毛巾与清洁卫生(擦门、窗、门帘、墙壁等)用的毛巾,要严格区分,不得混用,以免交叉污染; 6、停产或歇班所有工器具清洗后做好盘点并做好记录后应加遮盖。 四、原料、半成品、成品卫生管理 1、生产所需的原材料、原料不能直接接触地面与靠墙,要摆放在垫板或专用架上,并与墙壁保持一定距离(30cm); 2、包装所用的箱、包装袋必须干净,并符合食品要求; 3、生产现场严禁摆放与生产无关的原料,以防误用造成不必要的损失;
净化车间管理规定. 无尘车间管理规章制度. 1.生产管理规定 1.1工作调配由拉长以上干部根据工作的需要来确定人员位置，受任的的任何人员不可有挑剔工作的行为(特殊情况除外，但需经主管级人员确认) 1.2作业人员必须按照作业指导书或机器操作说明书去完成作业，作业方法更改或特殊技术作业必须经主管级人员确认后方可执行。 1.3作业人员必须要作好自我检查(含原料检查和部件检查)流水线作业站别作业员需要进行上一站作业检查，且要求所有作业员必须熟悉自己上一站和下一站作业内容.
1.4作业人员必须按规定完成产量，以保证工作效率。 1.5作业发现异常时必须及时汇报给拉长以上干部请求处理。 1.6作业人员当发现自己作业物料不够时需提前1小时汇报给物料员或拉长或领料员发料，不可私自到物料架上拿取物料。 2.物料管理规定 2.1所有物料必须有明确标示(含原料、组合料、成品) 2.2所有物料必须按规定摆放整齐。 2.3领料员必须定时清退不良物料(每批次1次，按订单确定)
2.4领料员每次领料时当出现缺料情况必须及时汇报给拉长或生产主要负责人。 2.5拉长或领料员必须负责物料的进出作账明细。 3.生产纪律规定 3.1所有人员必须提前5分钟到工作岗位 3.2所有人员必须按规定穿戴好无尘服、帽、鞋后方可进入无尘室，且不可在无尘内整理无尘服等。 3.3相关人员必须按规定戴好手套后方可进入无尘室作业。
3.4工作时间不可有聊天现象，更不允许有争吵现象。 3.5无尘室内不允许带入与工作无关的个人物品。 3.6所有人员上班前半个小时和下班半小时不允许上洗手间。 3.7去先手间人员必须用厂牌来换离位卡方可离位，去洗手间时间不得超过10分钟。 3.8所有人员上下班必须按规定放置好自己的衣服及静电服等。 3.9所有人员上下班前必须按规定清扫自己的工作岗位。 3.10所有人员上下班必须按规定排好队进出无尘车间。