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最新课件-机械制造工程第四节精密加工、超精密加工和细微加工 精品

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精密与超精密加工课件第4章4.25

精密与超精密加工课件第4章4.25
电解加工是利用金属在电解液中的电化学阳极溶解原 理并借助于成型的阴极，将工件按一定的形状和尺寸加 工成型的一种工艺方法。
随着工件表面金属材料的不断溶解，工具阴极不断地 向工件进给，溶解的电解产物不断地被电解液冲走，工 件表面也就逐渐被加工成接近于工具电极的形状，如此 下去直至将工具的形状复制到工件上。
电化学加工技术 （3）电解液的特性 杂散腐蚀性、电流效率曲线、非线性性
电化学加工技术
电化学加工技术 4．三种常用电解液性能
电解液可分为中性盐溶液、酸性盐溶液和碱性盐溶液三大 类。其中中性盐溶液的腐蚀性较小，使用时较为安全，故应用 最广。常用的电解液有NaCl、NaNO3、NaClO3 三种。
（1）NaCl 电解液价廉易得，对大多数金属而言，其电流效 率均很高，加工过程中损耗小并可在低浓度下使用，应用很广。 其缺点是电解能力强，散腐蚀能力强，使得离阴极工具较远的 工件表面也被电解，成型精度难于控制，复制精度差；对机床 设备腐蚀性大，故适用于加工速度快而精度要求不高的工件加 工。 常用的电解液温度为25～35℃，但加工钛合金时，必须在 40℃以上。
电化学极化主要发生在阴极上，从电源流入的电子来不 及转移给电解液中的H+离子而在阴极上积累过多的电子， 使阴极电位向负移，从而形成了电化学极化。
电化学加工技术 5.金属的钝化和活化
金属在某些电解液中电解时，当电流密度增加到一定 值后，金属的溶解速度在大电流密度下维持一段时间后反 而急剧下降，使铁成稳定状态不再溶解。电解过程中的这 种现象称阳极钝化（电化学钝化），简称钝化。
电化学加工技术
电化学加工技术
Fe2 2OH Fe (OH)2
4Fe (OH )2 2H 2O O2 4Fe (OH )3

精密与超精密加工技术课件

精密与超精密加工技术课件
珩磨效果影响因素
珩磨效果受到多种因素的影响 ，如磨石的粒度、粘结剂的类 型、珩磨头的转速和压力等。
电解加工工艺
电解加工工艺概述
电解加工是一种利用电化学反应去除 工件材料的加工方法，具有加工精度 高、表面质量好等特点。
电解加工工艺流程
电解加工工艺通常包括工件表面处理 、电解液的选择和调整、电解加工设 备的设置以及加工参数的控制等步骤 。
、汽车和航空领域。
陶瓷材料
陶瓷材料具有高硬度、高耐磨性和 耐高温等特点，常用于制造刀具、 磨具和高温部件。
复合材料
复合材料由两种或多种材料组成， 具有优异的综合性能，如碳纤维复 合材料具有高强度和轻质的特点。
复合材料
玻璃纤维复合材料
玻璃纤维复合材料具有高 强度、高刚性和耐腐蚀等 特点，广泛应用于建筑、 船舶和汽车领域。
抛光效果受到抛光轮的材料、转速、抛光膏或抛光液的成分以及抛光 压力等因素的影响。
珩磨工艺
珩磨工艺概述
珩磨是一种利用珩磨头上的磨 石与工件表面进行摩擦，以去 除表面微小凸起和划痕的加工
方法。
珩磨材料
珩磨头上的磨石由硬质颗粒和 粘结剂组成，具有较高的硬度 和耐磨性。
珩磨工艺流程
珩磨工艺通常包括工件表面处 理、涂敷润滑剂、珩磨头的旋 转运动以及工件的往复运动等 步骤。
碳纤维复合材料
碳纤维复合材料具有高强 度、轻质和耐高温等特点 ，常用于制造航空器和体 育用品。
金属基复合材料
金属基复合材料以金属为 基体，加入增强纤维或颗 粒，以提高材料的强度、 刚度和耐磨性。
04
精密与超精密加工工艺
研磨工艺
研磨工艺概述
研磨材料
研磨是一种通过研磨剂去除工件表面微小 凸起和划痕的加工方法，以达到平滑表面 的效果。

精密加工和特种加工ppt课件

精密加工和特种加工ppt课件

特种加工与机械加工
利用能源：电能、电化学能、光能及声能等； 工具资料：硬度可以比工件资料的硬度低； 切削力：加工时普通没有明显的切削力； 切削速度：加工去除工件资料速度比切削加工低。
机械切削加工的本质和特点： 一是靠刀具资料比工件更硬： 二是靠机械能把工件上多余的资料切除。
电火花加工〔EDM〕
Electrical Discharge Machining
高速小孔加工工艺
• 管状电极回转并沿轴向 •进给，1～5MPa高压任务液 •〔去离子水、乳化液等〕排 •屑,加工速度达60mm/min左 •右，孔深径比可超越100。 • 国外公司样品直径为 •3mm,深度达330mm。
线切割加工的运用范围
加工各类模具 各类资料的切断 试制新产品 加工薄片零件、特殊难加工资料零件 加工电火花成型加工用的电极
Chapter 4 Precision and special machining technology
第四章 精细加工与特种加工技术
精细加工
精细加工是指在精车、精镗、精铰、精 磨的根底上，旨在获得比普通磨削更高 精度〔IT6~IT5或更高〕和更小的外表粗 糙度〔Ra0.1~0.01μm〕的研磨、珩磨、 超级光磨和抛光等加工，从广义上讲， 它还包括刮削、宽刀细刨和金刚石刀具 切削等。
主要是靠电化学的作用来去除金属，机 械作用只是为了更好地加速这一过程
包括电解磨削、电解珩磨、电解研 磨、电化学机械抛光、电化学机械 加工等加工工艺
电解磨削原理表示图
中极法 电解磨削
附加一个中间电极，工 件接正极，砂轮不导 电， 只起刮除钝化膜的 作用， 电解作用在中间 电极和 工件之间进展， 从而 大大添加导电面积
电解研 磨加工

《超精密加工技术》PPT课件

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X轴滑台
主轴
刀架 z轴滑台
光路护罩
基座
周缘 护板
图3 T形布局的金刚石车床
一、 精细与超精细加工技术
➢ 金刚石车床主要性能指标〔表3〕
表3 金刚石车床主要性能指标
最大车削直径和长度 /mm
最高转速 r/mm
最大进给速度mm /min
数控系统分辩率 /μm
重复精度(±2σ) / μ m
主轴径向圆跳动 / μ m
➢ 例：美国陀螺仪球圆度0.1μm，粗糙度Ra0.01μm， 导弹命中精度控制在50m范围内；英国飞机发电机转子叶 片加工误差从60μm降至12μm，发电机压缩效率从89% 提高到94%；齿形误差从3-4μm减小1μm，单位重量齿 轮➢ 箱精扭细矩加可工提与高超一精倍细加工技术是新技术的生长点
➢ 精细与超精细加工技术涉及多种根底学科和多种新 兴技术，其开展无疑会带动和促进这些相关科学技术的开 展
R 350
AA
6.4
R=0.5～1.2 50 B
R 110～1200 B
6.4
6.4
A-A 60
10 B-B
60
60
图6 金刚石刀具角度
一、 精细与超精细加工技术
金刚石车床
单点金刚石车床加工铜工件 单点金刚石车床的非球面光学超精细加工
图7 金刚石车床及其加工照片
加工4.5mm陶瓷 球
一、 精细与超精细加工技术
精密与超精密加工设备造价高，难成系列。常常针对某一特定产 品设计（如加工直径3m射电天文望远镜的超精密车床，加工尺寸小于 1mm微型零件的激光加工设备）。
◆ 与自动化技术联系紧密
广泛采用计算机控制、适应控制、再线检测与误差补偿技术，以

精密加工和超精密加工 ppt课件

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微进给装置
计算机数控
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砂带磨削 珩磨
超精研 研磨
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单五击、此砂处带编磨削辑：母版标题样式
工艺整合化 在线加工检测一体化
绿色化
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先进制造技术
2.3 精密、超精密磨削加工
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一、概念
精密砂轮磨削：利用精细修正的粒度为60#～80#的普 通砂轮进行磨削，其加工精度可达1µm，表面粗糙度可达 Ra0.025µm。
超精密砂轮磨削：利用经过仔细修正的粒度为W40～ W5的砂轮进行磨削，可以获得加工精度为0.1µm，表面粗 糙度为Ra0.025～Ra0.008µm的加工表面。
不适宜加工铁族金属材料。
立方氮化硼（CBN）
硬度莫氏硬度9.8-10
导热系数、热膨胀系数和研磨 能力也很突出；
稳定性和化学惰性大大优于金 刚石
适合加工普通磨料难以加工且 金刚石又不宜加工的硬而韧的 金属材料如工具钢、模具钢、 不锈钢、耐热合金等特别是高 钒高速钢、铝高速钢等对磨削 温度较为敏感的金属材料。
微刃的微切削作用 微刃的等高切削作用 微刃的滑挤、摩擦、抛光作用
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先进制造技术
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先进制造技术
单击超此精精处磨编削机辑理母： 版标题样式
1、超精磨削是一种极薄切削，切屑厚度极小，磨削 深度可能小于晶粒的大小，磨削就在晶粒内进行，因此 磨削力一定要超过晶体内部非常大的原子、分子结合力， 从而磨粒上所承受的切应力就极速地增大，可能接近被 磨削材料的剪切强度极限。同时，磨粒切削刃处收到高 温和高压的作用，要求磨粒材料有很高的高温强度和高 温硬度。

【机械制造】超精密加工技术ppt模版课件

【机械制造】超精密加工技术ppt模版课件
• 概述 • 超精密加工范畴 • 超精密加工现状 • 超精密加工的设备与环境 • 超精密加工的发展展望
18.03.2021
Page 18
超精密加工范畴
• 在过去相当的一段时期，精密加工、特别是超精 密加工的应用范围很狭窄。近十几年来，随着科 学技术和人们生活水平的提高，精密和超精密加 工不仅进入了国民经济和人民生活的各个领域， 而且从单件小批生产方式走向大批量的产品生产 。
• 概述 • 超精密加工范畴 • 超精密加工的设备与环境 • 超精密加工技术的发展展望
18.03.2021
Page 3
概述
• 超精密加工技术是适应现代技术发展的一种机械 加工新工艺，综合应用了机械技术发展的新成果 及现代电子技术、测量技术和计算机技术中先进 的控制、测试手段等，使机械加工的精度得到进 一步提高，使加工的极限精度向纳米和亚纳米精 度发展。
18.03.2021
Page 16
概述
• 在英国国家纳米技术(NION)计划已开始实行，纳 米技术战略委员会(Nanotechno1ogy Strategy Committee)巳建立，正在实行合作的研究计划， 1990年6月英国正式出版《纳米技术》学术期刊。
18.03.2021
Page 17
超精密加工技术
18.03.2021
Page 34
超精密加工技术的机床设备
• 为实现超精密位置的确定，采用了精密数字伺服方 式，控制部分为内装式CNC装置和激光干涉测长仪 ，实现随机测量定位。为了实现刀具的微量进给， 在DC伺服机构内装有压电式微位移机构，可实现 nm级微位移。该车床采用了恒温油淋浴系统，油温 控制在20士0.0005˚，消除了加工中的热变形。该 车床还采用了压电晶体误差补偿技术，使加工精度 达到0.025μm，该机床可用于加工平面，球面及非 球面，用于加工激光核聚变工程的零件，红外线装 置用零件以及大型天体望远镜。

第四节精密加工、超精密加工和细微加工-PPT精品文档


f＝0.01~0.04mm/r。
2．精密磨削及金刚石超精密磨削
精密磨削是指加工精度为1~0.1m，
Ra为0.16~0.006m的磨削方法；而 超精密磨削则是指加工精度高于 0.1m，Ra<0.04 ~0.02m的磨削方 法
精密磨削及超精密磨削的加工机理
精密磨削主要是靠对普通磨料砂轮的
加工有很大的危害，为了提高加工系 统的动态稳定性，除了在机床设计和 制造上采取各种措施，还必须用隔振 系统来保证机床不受或少受外界振动 的影响。应能有效地隔离频率为 6Hz~9Hz、振幅为0.1µ m~0.2µ m的外 来振动
超净：在未经净化的一般环境下，尘
埃数量极大，绝大部分尘埃的直径小 于1µ m，也有不少直径在1µ m以上甚 至超过10µ m的尘埃。这些尘埃如果落 在加工表面上，可能将表面拉伤；如 果落在量具测量表面上，就会造成操 作者或质检员的错误判断。因此，精 密加工和超精密加工必须有与加工相 对具可能处于工件
晶粒内部切削状态。切削力要超过分子 或原子间巨大的结合力，从而使刀刃承 受很大的剪切应力，并产生很大热量， 造成刀刃的高应力、高温的工作状态
金刚石精密切削的关键问题是如何均匀、
稳定地切除如此微薄的金属层
超精密车削加工余量只有几微米，能否
切除如此微薄的金属层，主要取决于刀 具的锋利程度。锋利程度一般是以切削 刃的刃口圆角半径ρ的大小来表示 金刚石刀具不仅具有很好的高温强度和 高温硬度，而且其材料本身质地细密， 经过仔细修研，刀刃的几何形状很好， 切削刃ρ极小
刀具ρ对ap的 影响
金刚石刀具的刃磨及切削参数
金刚石刀具是将金刚石刀头用机械夹
持或粘接方式固定在刀体上构成的
金刚石刀具 的刃磨

四精密与特种加工PPT课件

.
加工原理
当油石最初与比较粗糙的零件表面接触时，虽 然压力不大，但由于实际接触面积小，压强较大， 油石与零件表面之间不能形成完整的油膜，加之切 削方向经常变化，油石的自锐作用较好，切削作用 较强。
.
加工原理
随着零件表面被逐渐磨平，以及细微切屑等嵌入油石 空隙，使油石表面逐渐平滑，油石与零件接触面积逐渐增 大，压强逐渐减小，油石和零件表面之间逐渐形成完整的 润滑油膜，切削作用逐渐减弱，经过光整抛光阶段，最后 便自动停止切削作用。
.
机械研磨
当研磨盘转动时，分隔盘由偏心轴带动作偏心旋 转，零件既可以在槽内自由转动，又可因分隔盘的偏 心而作轴向滑动，因而其表面形成网状轨迹，从而保 证从零件表面切除均匀的加工余量。
.
研磨平面和凹槽
研磨平面
研磨凹槽
.
研磨 (视频)
.
珩磨
.
珩磨机
.
珩磨机
.
珩磨具
.
珩磨
珩磨是利用带有磨条的珩磨头对孔进行精 整加工的方法。
.
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小结
综上所述，研磨、珩磨、超级光磨和抛光所 起的作用是不同的，抛光仅能提高零件表面的光 亮程度，而对零件表面粗糙度的改善并无益处。 超级光磨仅能减小零件的表面粗糙度，而不能提 高其尺寸和形状精度。研磨和珩磨则不但可以减 小零件表面的粗糙度，也可以在一定程度上提高 其尺寸和形状精度。
从应用范围来看，研磨、珩磨、超级光磨和 抛光都可以用来加工各种各样的表面，但珩磨则 主要用于孔的精整加工。
.
加工原理
零件旋转，磨具以恒力轻压于零件表面， 作轴向进给的同时作轴向微小振动，从而对 零件微观不平的表面进行光磨。
.
加工原理
油石 油膜 零件

《精密超精密加工》PPT课件


精密切削研究最早从金刚石车削开始——金刚石铣削——金刚石镗削，来 加工型面和内孔。刀具材料从金刚石刀具材料——立方氮化硼、复合陶瓷等。 精密加工的经济性：
过去尤其其昂贵的价格、高要求的加工环境在一定程度上限制精密加工的 应用范围。
现在由于科学技术发展和生活水平的提高，精密加工深入到各个领域。机 械制造业：加工工具、卡具、量具，发达国家已经开始零件的精密加工。
特点：
精密磨削加工
磨削是一种常用的半精加工和精加工方法，砂轮是磨削的主要工具。
1、可加工 一般结构材料：铸铁、碳钢、合金钢； 难以切削高硬度材料：淬火钢、硬质合金、陶瓷、玻璃等。
2、精度高、表面粗糙度小：IT5及以上，Ra为1.25~0.01um
3、径向作用力大且作用在工艺系统刚性较差的方向上。 4、磨削的温度高，磨削产生的切削热多：80%~90%传入工件。故应大量采用切削液来降 低磨削温度。
5、砂轮有自锐作用：磨粒破碎，形成新的菱角。
6、磨削加工的工艺范围广：外圆面、内圆面、平面等。 7、磨削在切削加工中的应用比例增大：发达国家占到30%~40%。
精密与超精密加工技术
精密磨削加工：细粒度的磨粒或微粉、高精度小表面粗糙度值。是利用微小的 多刃刀具去除细微切屑的一种加工方法。一般指砂轮磨削和砂带磨削。
精密与超精密加工技术
精密加工中，热变形引起的加工误差占总误差的40%~70%。因此必须严格控 制工件的温升和环境温度的变化。
通常采用切削液浇注工件的方法来减小切削热对精密加工的影响。 课本上列出了干切削与施加冷却液时的表面粗糙度比较图，见图1.14；不同 的切削液对表面粗糙度的影响图，见图1.15。
◆ 机理、特点
金刚石超精密加工技术
➢ 切削在晶粒内行； ➢ 切削力＞原子结合力（剪切应力达13000N/ mm2）；

精密与超精密加工课件第四章-课件

15.12.2020
二、典型机床简介
DTM-3大型超精密车床 采用精密数控伺服方
式，控制部分为内装式 CNC装置和激光干涉测长 仪，精确测量定位，在 DC伺服机构内装有压电 微位移机构，实现纳米 级微位移。
15.12.2020
二、典型机床简介
大型光学金刚石车床LODTM
机床采用立式结构，采用止 推轴承，7路高分辨力双频激光 测量系统，4路激光检测横梁上 溜板的运动，3路激光检测刀架 上下运动位置，使用在线测量 和误差补偿，各发热部件用大 量恒温水冷却，用大的地基， 地基周围有防振沟，且整个机 床用4个大空气弹簧支承。
15.12.2020
第2节 精密主轴部件
双半球空气轴承主轴
前后轴承均采 用半球状，既 是径向轴承又 是轴向轴承。 由于轴承的气 浮面是球面， 有自动调心作 用，可提高前 后轴承的同心 度，提高主轴 的回转精度。
15.12.2020
第2节 精密主轴部件
前部用球形后部用圆柱 径向空气轴承的主轴
15.12.2020
15.12.2020
（一）、液体静压轴承工作原理
静压轴承组成：供油系统、节流器、轴承
15.12.2020
（二）、液体静压轴承的缺点
1）液体静压轴承的温升很高，难以控制，造成热变形，影响主 轴精度。
2）静压油回油时将空气带入油源，形成微小气泡悬浮在油中， 不易排出，降低轴承的刚度和动特性。
解决措施： 1）提高静压油的压力到6～8MPa，使油中微小气泡的影响减小， 提高静压轴承的刚度和动特性。 2）静压轴承用油经温度控制，基本达到恒温，减少轴承的温升。 3）轴承用恒温水冷却，减小轴承的温升。
第2节 精密主轴部件
立式空气轴承
15.12.2020
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加工检测一体化
采用计算机控制、误差补偿、适应控
制和工艺过程优化等生产自动化技术
四、常用的精密加工和超精密加工和细 微加工方法
采用金刚石刀具对工件进行超精密的微
细切削和应用磨料磨具对工件进行珩磨、 研磨、抛光、精密和超精密磨削等
采用电化学加工、三束加工、超声波加
工等特种加工方法及复合加工
机械制造工程——第五章
第四节
精密加工、 超精密加工 和细微加工
一、精密加工和超精密加工的界定
1．一般加工
指加工精度在10µ m左右（IT5~IT7）、
表面粗糙度为Ra0.2µ m~0.8µ m的加工方 法，如车、铣、刨、磨、电解加工等。 适用于汽车制造、拖拉机制造、模具制 造和机床制造等
2．精密加工
3．机床设备
高精密加工机床必须具备以下条件：
主轴有极高的回转精度及很高的刚性和
热稳定性
进给系统有超精确的匀速直线性，保证
在超低速条件下进给均匀，不发生爬行
为了在超精密加工时实现微量进给，必
须配备位移精度极高的微量进给机构
采用微机控制系统，自适应控制系统
4．工件材料
应考虑强度、刚度，还必须均匀一致，
切削时，其ap<lm，刀具可能处于工件
晶粒内部切削状态。切削力要超过分子 或原子间巨大的结合力，从而使刀刃承 受很大的剪切应力，并产生很大热量， 造成刀刃的高应力、高温的工作状态
金刚石精密切削的关键问题是如何均匀、
稳定地切除如此微薄的金属层
超精密车削加工余量只有几微米，能否
切除如此微薄的金属层，主要取决于刀 具的锋利程度。锋利程度一般是以切削 刃的刃口圆角半径ρ的大小来表示 金刚石刀具不仅具有很好的高温强度和 高温硬度，而且其材料本身质地细密， 经过仔细修研，刀刃的几何形状很好， 切削刃ρ极小
金刚石砂轮的修整
细粒度金刚石砂轮磨削高硬度、高脆性
材料时，常常采用与特种加工工艺方法 相结合的在线修整方法（in-process dressing），如高压磨料水射流喷射修 整法、电解修锐法、电火花修整法和超 声振动修整法等
电解超硬砂轮 修锐方法
超精密磨床的技术要求
很高的主轴回转精度和必须能均匀地去
除不大于工件加工精度要求的极薄金属 层。当精密切削（或磨削）的ap<1µ m时， ap可能小于工件材料晶粒的尺寸，切削 在晶粒内进行，切削力要超过晶粒内部 非常大的原子结合力才能切除切屑，故 作用在刀具上的剪切应力非常大。刀具 或磨具必需具有很高的硬度和耐磨性
指加工精度在10µ m
~0.1µ m（IT5或 IT5以上）、Ra<0.1µ m的加工方法， 如金刚石车削、高精密磨削、研磨、 珩磨、冷压加工等
3．超精密加工
指加工精度在0.1µ m
~0.01µ m、Ra 为0.01µ m的加工方法，如金刚石 精密切削、超精密磨料加工、电子 束加工、离子束加工等
二、实现精密和超精密加工的条件 1．加工环境
恒温：温度增加l℃时，100mm长的钢
件就可能会产生1µ m的伸长，精密加 工和超精密加工的加工精度一般都是 微米级、亚微米级或更高。因此，为 了保证加工区极高的热稳定性，精密 加工和超精密加工必须在严密的多层 恒温条件下进行
防振：机床振动对精密加工和超精密
f＝0.01~0.04mm/r。
2．精密磨削及金刚石超精密磨削
精密磨削是指加工精度为1~0.1m，
Ra为0.16~0.006m的磨削方法；而 超精密磨削则是指加工精度高于 0.1m，Ra<0.04 ~0.02m的磨削方 法
精密磨削及超精密磨削的加工机理
精密磨削主要是靠对普通磨料砂轮的
加工有很大的危害，为了提高加工系 统的动态稳定性，除了在机床设计和 制造上采取各种措施，还必须用隔振 系统来保证机床不受或少受外界振动 的影响。应能有效地隔离频率为 6Hz~9Hz、振幅为0.1µ m~0.2µ m的外 来振动
超净：在未经净化的一般环境下，尘
埃数量极大，绝大部分尘埃的直径小 于1µ m，也有不少直径在1µ m以上甚 至超过10µ m的尘埃。这些尘埃如果落 在加工表面上，可能将表面拉伤；如 果落在量具测量表面上，就会造成操 作者或质检员的错误判断。因此，精 密加工和超精密加工必须有与加工相 对应的超净工作环境
不允许存在微观缺陷，有些零件甚至对 材料组织的纤维化也有一定要求 5．测控技术
常用在线检测、在位检测、在线补偿、
预测预报及适应控制等手段，测量仪器 的精度一般总是要比机床的加工精度高 一个数量级，需有灵敏的误差补偿系统
三、精密加工和超精密加工的特点
加工都以精密元件、零件为加工对象
多学科综合技术
微细加工是指制造微小尺寸零件的生产
加工技术
1．金刚石刀具超精密切削 切削机理
金刚石超精密切削主要是应用天然单晶
金刚石车刀对铜、铝等软金属及其合金 进行切削加工，以获得极高的精度和极 低表面粗糙度参数值的一种超精密加工 方法
金刚石与有色金属的亲合力极低，摩擦
系数小，切削时不产生积屑瘤
属于原子、分子级单位去除的加工
度，以保证工件的几何形状精度；常常 采用大理石导轨增加热稳定性
应配备有微进给机构，以保证工件尺寸
精度以及砂轮修整时的微刃性和等高性
工作台导轨低速运动的平稳性要好，不
精细修整，使磨粒具有微刃性和等高 性，再加上无火花阶段微刃的滑挤、 摩擦、抛光作用，获得高精度
超精密磨削则是采用人造金刚石、立方
氮化硼（CBN）等超硬磨料砂轮对工件 进行磨削加工
磨粒将承受很高的应力，使切削刃受到
高温、高压的作用
超精密磨削与普通磨削最大的区别是：
径向进给量极小，是超微量切除，可能 还伴有塑性流动和弹性破坏等作用
刀具ρ对ap的 影响
金刚石刀具的刃磨及切削参数
金刚石刀具是将金刚石刀头用机械夹
持或粘接方式固定在刀体上构成的
金刚石刀具 的刃磨
金刚石刀具的刃磨是一个关键技术 单晶体金刚石车刀的刃口圆角半径ρ
则可达0.02µ m
金刚石精密切削铜和铝时
v＝200~500m/min
αp＝0.002~0.003mm