2018年电子级双氧水与电子级氨水项目可行性研究报告
2018年10月
目录
一、项目建设内容 (4)
二、项目必要性与可行性 (4)
1、必要性 (4)
2、可行性 (5)
（1）符合国家产业政策 (5)
（2）技术实施可靠 (5)
（3）销售渠道有保证 (6)
三、项目投资概算 (6)
四、项目设备投资计划 (6)
1、电子级双氧水生产单元 (7)
2、电子级氨水生产单元 (7)
3、产品灌装包装单元 (8)
五、项目工艺流程 (8)
1、电子级双氧水生产单元 (8)
2、电子级氨水生产单元 (9)
六、环境保护 (10)
1、废气处理 (10)
2、废水处理 (10)
3、固废处理 (11)
4、噪声控制措施 (11)
七、项目实施规划 (11)
OVM.GJ钢绞线整束挤压式拉索体系
柳州欧维姆机械股份有限公司 鉴于建筑结构、桥梁结构拉索的可靠性、耐久性、适应性直接关系到结构的安全和正常使用寿命，柳州欧维姆机械股份有限公司凭借在预应力锚具领域的技术优势，研制开发了具有自主知识产权的整束挤压式钢铰线拉索体系。本拉索体系对钢绞线整束挤压夹持，具有锚固可靠，结构尺寸紧凑，张拉调索方便，防腐性能好的特点，适用于作为拱桥吊杆和系杆、桥梁拉索、岩土锚索及大型体育场馆等建筑结构用索。 一、产品特点 图一钢绞线成品索体截面图 注：1、成品索内的钢绞线可以是光面、环氧喷涂或镀锌钢绞线。 2、可根据客户需求，成品索内耦合长期监测拉索应变量变化的光纤光栅传感器 1、钢绞线在索体内隔离防腐，防腐蚀性能优越，抗振性能好 根据不同的吨位，采用相应的多根钢绞线，钢绞线外涂防锈油
脂，单根聚乙烯护套防护，整束缠包高强聚脂带再挤包聚乙烯护套，三层防腐，避免了钢丝束由于一处受腐蚀而整束锈蚀。 同时，钢绞线之间有聚乙烯护套相隔，结构阻尼较钢丝拉索的要大，抗振性能好； 如有必要，钢绞线可以在聚乙烯护套内滑动，外层聚乙烯护套基本上没有受到拉应力，更加有效地防止其拉应力开裂。 图二钢绞线整束挤压拉索锚具结构图 2、减轻索体自重 由于采用比钢丝束强度（1670MPa级）更高的1860 MPa级钢绞线，在相同设计应力下，索体钢丝的总截面积可以减少11.4%，拉索总重相应地也可以降低10%左右，改善了桥梁承重条件。 3、钢绞线两端整束挤压锚固，安全可靠、疲劳性能好 生产制作时，将成品索中的钢绞线两端整束挤压后，锚头对钢绞线的握裹力基本不变，并且，通过特殊的方法使钢绞线端部胀形为锥体，因此，在高、低应力甚至是负应力的情况下，钢绞线都不会滑脱。 钢绞线进入锚头的折角比冷铸锚、热铸锚中钢丝的折角小，疲劳性能更好。 4、索体可以方便地耦合测量长期应变量变化的光纤光栅传感器。 5、锚头结构紧凑，外径小，有利于整体结构的优化、美观 挤压锚碇套的外形尺寸比冷铸锚、热铸锚的小，可使预留孔尺寸减少。例如，在极限承载力基本相同的情况下，OVM.GJ15-19型拉索锚头外径为140mm，比LZM7-85锚杯外径205mm小65mm，
第一章项目建设的目的和意义 1.1企业概况 瓮福（集团）有限责任公司［以下简称瓮福集团］于2008年4月26日挂牌成立，原名为“贵州宏福实业开发有限总公司”，是在1994年6月经贵州省人民政府批准，由贵州省瓮福矿肥基地工程建设指挥部改制组建而成。贵州省瓮福矿肥基地包括瓮福磷矿和瓮福磷肥厂两个国家重点建设项目，总投资58.5亿元，是国家在上世纪后十年投资200多亿元建设的全国五大磷肥基地之一，2001年12月30日通过国家验收。经过几年来的技术改造，瓮福集团现已形成450万吨/年原矿、200万吨/年硫酸、90万吨/年磷酸、120万吨/年磷酸二铵、48万吨/年磷酸一铵、1.54万吨/年氟化铝、3万吨/年黄磷的生产能力，以及磷精细化工和环保产业。 瓮福集团秉承国家建设的初衷，坚持以生产优质高浓度磷复肥满足农业生产需要为己任。2001年以来，瓮福集团坚持科学发展观，走新型工业化道路，坚持实施提升质量水平，提升科技含量，提升规模效应；降低成本，降低增量投入的“三升两降”工程，并取得良好成效。2001～2004年，瓮福集团年均发展速度超过35%，实现“四年四大步”跨越式发展，一跃成为中国磷肥行业的领头企业。2003年9月，“宏福牌”磷酸二铵荣获“中国名牌产品”称号；2004年9月，“宏福牌”磷酸二铵、磷酸一铵双双荣获国家质量检验检疫总局颁发的《产品质量免检证书》；2005年9月，“宏福牌”磷酸一铵荣获“中国名牌产品”称号。
瓮福集团先后被评为全国百家质量效益型先进企业、贵州省最具影响力企业、中国消费者十大满意品牌企业、中国石油和化工行业百强企业、全国十佳矿山企业等。许多党和国家领导人以及国家有关部委领导同志近几年先后到瓮福集团视察，对瓮福集团的工作给予了充分肯定并寄予厚望。省委、省政府把磷及磷化工作为贵州经济发展的重要支柱产业，并将瓮福集团列为近几年内建成销售收入达100亿元的企业集团之一。 瓮福集团拥有丰富的磷矿资源。所属瓮福磷矿位于贵州省中部的瓮安县与福泉市境内，面积58平方公里，规划矿段探明的地质储量超过8.19亿吨，工业储量5.19亿吨，平均P2O5品位25%以上，其中可供露天开采的储量为2.4亿吨。丰富的磷矿资源为瓮福（集团）的发展提供了坚实的保障。 瓮福（集团）所属瓮福磷肥厂位于贵州省福泉市马场坪镇北端，厂区距马场坪镇800m左右。相距瓮福磷矿46km，交通便利，临近川黔铁路与贵遵高速路，公司自备站台经1.9km铁路专用线在福泉火车站与湘黔铁路接轨。 多年来瓮福集团一直注重资源的高效综合利用，狠抓节能降耗工作，实施了磷酸扩能技改等多项节能降耗措施，大幅降低了单位产品消耗和综合能耗，使产品消耗逐年下降，经济实力逐年增长，逐步实现经济的良性循环，并在同行业中处于先进水平。 1.2项目提出的背景和意义 我国是一个磷矿储量丰富的大国，磷酸盐工业地位的崛起，主要体现在基础产品及中间产品的生产量走在了世界的前列，但在多功能、
.精品. 电子级磷酸盐 简介 电子级磷酸属于高纯磷酸，广泛用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器(TFT-LCD)等微电子工业，主要用于芯片的清洗和蚀刻，其纯度和洁净度对电子元器件的成品率、电性能及可靠性有很大影响，纯度较低的主要用于液晶面板部件的清洗（面板级），纯度高的用于电子晶片生产过程的清洗和浊刻（称为IC级）。电子级磷酸还可用于制备高纯磷酸盐，也是高纯有机磷产品的主要原料，另外还可用作超高纯试剂和光纤玻璃原料等。 产业链 制作工艺 电子级磷酸可由元素磷或磷的氧化物经化学反应得到，也可由成品磷酸净化精制而得，制备的关键在于控制并达到所要求的碱金属与重金属杂质离子的含量和颗粒度。 目前有如下几种主要制备工艺：1）用高纯磷制备电子级磷酸；2）用高纯三氯化磷制备电子级磷酸；3）用三氯氧磷制备电子级磷酸。 提纯工艺主要有：1）磷酸的净化精制法；2）有机溶剂萃取法；3) ①冷冻结晶法；②熔融结晶法；5）其他净化法其他的净化方法有电渗析：①电渗析法；②膜分离。 电子级磷酸的国际质量标准 国际半导体设备与材料组织(SEMI) 将电子化学品按应用范围分为SEMI-C1、SEMI - C7、SEMI-C8和SEMI -C12四个等级。我国则划分为BV-Ⅰ、BV-Ⅱ、BV- Ⅲ和BV- Ⅳ四个等级，BV-Ⅲ级已达到国际SEMI -C7质量标准，适用于018～112μm工艺技术的加工制作，这是目前我国生产的较高水平的微电子化学品。
国内外技术差别 国内技术水平：目前国内市场所需MOS 级、BV电子级磷酸已有工厂生产，BVII级和BVIII 电子级磷酸仍处于研发状态，所需产品依赖进口。 国外技术水平：高纯电子化学品的生产技术在国际上尚处于高度保密和高度垄断阶段，生产技术主要由德国、日本和美国等少数几个发达国家掌握，有关生产方法、工艺技术、实验研究、产品质量指标体系的确立及分析方法、设备包装材质的研究等等内容鲜见报道，国外技术拥有方甚至不进行实质性专利申请，技术研发机构很难检索到有价值的技术文献信息。技术难点：高纯电子化学品技术的研发必须依靠自主创新，建立完整的研发、生产、检测及包装体系，但在该技术的开发存在着工艺、设备、材料、控制等许多难题，技术开发和生产控制难度很高，研发投入大，即便是建立一个小型实验室，至少需要数百万元的投入，如果建设中等规模的工业化装置，总投资至少在数千万元，甚至过亿。 我国电子磷酸市场现状 （1）企业规模小，目前国内30多家，只有十几家企业进行生产和销售高纯磷酸，且规模均不大，主要集中在江苏、四川和贵州。 （2）国内生产的产品只能达到高纯磷酸低端产品要求，只能应用于电子工业的液晶显示器生产上作清洗剂。 （3）高纯磷酸由于其专利技术等原因，致使我国IC、LED、TFT-LCD行业用的高纯磷酸长期依赖进口，而目前我国市场上的高纯磷酸供应商主要集中在日本、美国和德国。 （4）我国电子级磷酸出口量远远大于进口量，这些出口的初级产品大多被用于再提纯，生产更高级别的产品，又部分返销回国内。 （5）我国总体技术水平落后于发达国家，而且，原材料的消耗以及生产成本普遍高于国外
天津大学化工学院硕士生导师——杨长生 职称： 职务： 导师类型：硕导 专业：化学工程与工艺 联系电话： +86（0）22- 传真： +86（0）22- 通讯地址： 电子信箱：yangchangsheng@https://www.doczj.com/doc/8f19067564.html, 主要教育经历 1982-1986年郑州工学院化工学院读本科 1986-1989年郑州工学院化工学院读研究生 1989-2000年郑州工业大学化工学院任教 2000-2003年天津大学化工学院读博士 2003年-至今天津大学化工学院任教 主要研究方向 （1）电子化学品的制备 （2）电化学合成及其工业化研究 （3）化工热力学数据测定 主要教授课程 （1）本科生的《化工热力学》
（2）研究生的《高等化工热力学》 （3）研究生的《环境化工热力学》 主要学术成就、奖励及荣誉 （1）转让项目：河北沧州信联化工有限公司“2万吨电子级四甲基氢氧化铵工业化生产”；（2）合作项目：贵州省翁福（集团）有限责任有限公司“工业级无水氟化氢制备电子级氢氟酸的工艺研究”； “热力学性质和传递性质的测定和关联”教育部自然科学贰等奖； 课题组介绍 本课题组长期从事电子化学品的制备和提纯研究，与山东华鲁恒升股份公司合作的由工业级DMF制备电子级DMF的技术已经投入工业化生产，并且申请了国家专利；电子级TMAH的生产技术已经成熟，现在合成技术正在转让给河北沧州信联化工有限公司，年设计生产能力2万吨，投资总额六千多万元，本课题组负责成套技术的设计和开车，2011年3月投产；目前，我们正在与贵州省翁福（集团）有限公司委托开发电子级氢氟酸的生产技术，实验室小试结果得到了委托方的认可，现在双方正在协商进行中试试验还是直接进行工业化生产；另外我们还正在进行电子级氨水的技术开发。 课题组成员 杨长生 张旭斌 胡瑞杰
电子级磷酸简介
电子级磷酸盐 简介 电子级磷酸属于高纯磷酸，广泛用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器(TFT-LCD)等微电子工业，主要用于芯片的清洗和蚀刻，其纯度和洁净度对电子元器件的成品率、电性能及可靠性有很大影响，纯度较低的主要用于液晶面板部件的清洗（面板级），纯度高的用于电子晶片生产过程的清洗和浊刻（称为IC 级）。电子级磷酸还可用于制备高纯磷酸盐，也是高纯有机磷产品的主要原料，另外还可用作超高纯试剂和光纤玻璃原料等。 产业链 制作工艺 电子级磷酸可由元素磷或磷的氧化物经化学反应得到，也可由成品磷酸净化精制而得，制备的关键在于控制并达到所要求的碱金属与重金属杂质离子的含量和颗粒度。 目前有如下几种主要制备工艺：1）用高纯磷制备电子级磷酸；2）用高纯三氯化磷制备电子级磷酸；3）用三氯氧磷制备电子级磷酸。
提纯工艺主要有：1）磷酸的净化精制法；2）有机溶剂萃取法；3) ①冷冻结晶法；②熔融结晶法；5）其他净化法其他的净化方法有电渗析：①电渗析法；②膜分离。 电子级磷酸的国际质量标准 国际半导体设备与材料组织(SEMI) 将电子化学品按应用范围分为SEMI-C1、SEMI - C7、SEMI-C8和SEMI -C12四个等级。我国则划分为BV-Ⅰ、BV-Ⅱ、BV- Ⅲ和BV- Ⅳ四个等级，BV-Ⅲ级已达到国际 SEMI -C7质量标准，适用于018～112μm工艺技术的加工制作，这是目前我国生产的较高水平的微电子化学品。 国内外技术差别
产品使用依赖进口 国内技术水平：目前国内市场所需MOS 级、BV电子级磷酸已有工厂生产，BVII级和BVIII电子级磷酸仍处于研发状态，所需产品依赖进口。 国外技术水平：高纯电子化学品的生产技术在国际上尚处于高度保密和高度垄断阶段，生产技术主要由德国、日本和美国等少数几个发达国家掌握，有关生产方法、工艺技术、实验研究、产品质量指标体系的确立及分析方法、设备包装材质的研究等等内容鲜见报道，国外技术拥有方甚至不进行实质性专利申请，技术研发机构很难检索到有价值的技术文献信息。 技术难点：高纯电子化学品技术的研发必须依靠自主创新，建立完整的研发、生产、检测及包装体系，但在该技术的开发存在着工艺、设备、材料、控制等许多难题，技术开发和生产控制难度很高，研发投入大，即便是建立一个小型实验室，至少需要数百万元的投入，如果建设中等规模的工业化装置，总投资至少在数千万元，甚至过亿。 我国电子磷酸市场现状 （1）企业规模小，目前国内30多家，只有十几家企业进行生产和销售高纯磷酸，且规模均不大，主要集中在江苏、四川和贵州。
电子级氨水的原料与上下游产业链分析 氨水原料供应与市场概况 氨水属于铵态氮肥。我国目前氨水的产量不到氮肥总产量的％。氨水的生产是由合成氨导入水中稀释而成。 我国是世界上最大的合成氨生产国，产量约占世界总产量的1/3。“十一五”期间，合成氨及下游产品生产规模继续保持快速增长。据统计，2006年我国合成氨产量万吨，居世界第一位，占世界总产量的%。2009年我国氨水的产量已达到5135万吨。受金融危机影响，2010年我国合成氨产量4963万吨。 2011年全国合成氨的产量达万吨。从各省市的产量来看，2011年山东省合成氨的产量达696万吨，同比增长%，占全国总产量的%。紧随其后的是山西、河南和湖北等省市。 合成氨是重要的无机化工产品，在国民经济中具有基础地位。除了用于化肥生产，在农业上使用外，合成氨等产品在工业上的应用领域也十分广泛，尤其是在石化行业中，下游产品涉及基础化工原材料、合成材料、国防化工品、新型材料、专用化学品和精细化工品等方面。 目前，约有80%的合成氨用来生产化学肥料，其余作为生产其他化工产品的原料。除了生产尿素、硝酸及硝酸铵等产品间接用于工业生产外，合成氨还直接用于丙烯腈、己内酰胺等产品的生产。同时，在其他工业领域也有十分广泛的应用，如用作制冰、空调、冷藏系统的制冷剂，在冶金工业中用来提炼矿石中的铜、镍等金属，在医药和生物化学方面用作生产磺胺类药物、维生素、蛋氨酸和其他氨基酸等。 氨水除由氮肥厂生产外，炼焦工厂、煤炭干馏和石油工业也可生产浓度不同的氨水作为副产品。还可利用氮肥厂氨加工过程中的含氨尾气，用水吸收后生产稀氨水，含氮量为1％～3％，价格低廉，适于就近施用。我国常用的氨水浓度
电子级磷酸的相关报告 前言 电子级磷酸属高纯磷酸，高纯磷酸(H3PO4)是电子行业使用的一种超高纯化学试剂，属于微电子化学产品之一，目前世界上仅有美国、日本、韩国等少数几个国家能够生产。电子级磷酸广泛应用于超大规模集成电路、大屏幕液晶显示器等微电子工业，主要用于芯片的湿法清洗和湿法蚀刻，包括：①基片涂胶前的清洗；②光刻过程中的蚀刻及最终去胶；③硅片本身制作过程中的清洗和绝缘膜蚀刻、半导体膜蚀刻、导体膜蚀刻、有机材料蚀刻等。 近年来，随着我国微电子和面板产业的高速发展，世界上许多著名IC晶圆代工、半导体封装以及LED、TFT—LCD企业巨头在中国大陆投资建厂，电子化学品的需求越来越大。“十五”期问，我国电子专用超净高纯化学试剂需求量超过1万t，而国内生产企业仅能提供10％。其中，国内通用型试剂市场今后的年增长率仍将维持在5％一8％左右，电子化学品市场预计超过80亿美元，年增长率近20％；世界电子化学品产业市场年平均净增长率为8％以上。电子级磷酸由于具有优良的性能，已成为电子工业不可缺少的电化学品之一，其需求量正逐年增长。 一、行业概况： 电子级磷酸发展背景 高纯电子级磷酸属电子化学品系列产品之一,电子化学品一般指与电子工业配套的专用 化学品。伴随着国际半导体芯片(IC)和液晶制造业迅速向中国转移, 我国微电子技术, 特别是半导体器件和集成电路微细加工的蚀刻与清洗工艺和薄膜液晶制造工艺所需的电子级磷酸的需求量也在稳步增长。其质量对IC 产品成品率、电性能、可靠性和液晶显示器( LCD) 质量都有重要影响。预计到2010年国内市场(包括出口)对电子级磷酸需求量将达到150~ 160 kt /a, 以后年均增长率10% 以上, 成为高档磷酸的一个重要市场。微电子技术发展主要特点是依靠不断缩小元器件特征尺寸、增加芯片面积、提高集成度和运行速度而迅猛发展。自上世纪70年代起, 集成电路芯片的发展速度基本上遵循每1.5 年集成度增加1倍, 芯片特征尺 寸每3年缩小一半, 芯片面积增加约1.5倍, 芯片中晶体管数增加约4倍的规律, 即基本上每3年就有一代新的IC 产品问世。与此密切相关的电子级磷酸也随着IC 集成度的不断提高、电子技术要求的提升, 对产品要求也会越来越严格。不同级别电子级磷酸其金属杂质和微粒要求不同。而不同线宽IC 制造业须由对应规格的电子级磷酸与其配套。 1发展前景 近年来由于工业和液晶显示电视迅速发展用于半导体、液晶显示器及其他电子设备做腐刻剂的电子级磷酸需求增长强劲。目前我国已成为世界上电子级磷酸需求增长最快的国家。我国生产电子级磷酸具有丰富的原料优势，有条件大力发展电子级磷酸产品，而且随着电子行业的不断发展，国内对电子级磷酸的需求将会大幅度增长。因此电子级磷酸市场无疑将具有广阔的发展前景。 2市场情况 电子级磷酸应用于发展前途广阔的IT产业，被称为“磷酸行业皇冠上的明珠”。其关键技术长时间垄断在美国、德国、日本等发达国家跨国集团企业手中。虽然我国黄磷、磷酸的产量已居世界第一位,但是精细磷化工的产品只占其中的4%。电子级磷酸成为我国市场供不应求、国家鼓励出口的高附加值产品。 我国高纯磷酸市场具有以下特点： （1）企业规模小，目前国内30多家，只有十几家企业进行生产和销售高纯磷酸，且规模均不大，主要集中在江苏、四川和贵州。
电子级氨水的生产现状与预测 电子级氨水生产现状及预测 电子级氨水生产发展历程 我国的合成氨工业起步于20世纪30年代。…. 江苏达诺尔公司也是国内主要的电子级氨水生产厂家。目前电子级氨水扩大到5000吨/年。 自金融危机以来，化工行业的开工率明显降低。电子级氨水的生产环境要求很高，加上金融危机的影响，没有查到近两年电子级氨水其他新建产能。 国内其他各电子级氨水生产厂家的产能都不大，主要是因为电子级氨水的用量较小，目前一些厂家具有一百甚至几百吨的生产能力。 目前国内有不少厂家可以规模化生产电子级氨水，由于产量主要受应用量的限制。很多厂家按需生产。 3.1.2 电子级氨水生产现状 电子级氨水由于技术壁垒较高，实际生产厂家不多，国内较大的生产厂家以光明化工研究设计院为代表，每年产量只有几千吨。 2005年，我国电子级氨水年产能力约吨，产量吨。2009年，我国电子级氨水的产能已达到吨，产量吨。2005～2009年产量年均增长%。增长主要得益于电子工业领域的增长。 2011年，我国电子级氨水生产能力依然在吨/年，产量估计达到吨。 表 2005～2011年我国电子级氨水产能产量情况表 单位：吨/年1 1 / 5
图 2005～2011年我国电子级氨水产能产量走势图 电子级氨水竞争态势与竞争格局分析 目前（2012年6月25日），我国能够生产电子级氨水的企业很多，有近家，总生产能力约吨/年。 国内规模较大的电子级氨水生产厂家有光明设计院（吨/年）、江苏达诺尔半导体超纯科技有限公司（吨/年）、佛山市南海志力化工有限公司（吨/年）等。 光明设计院由于得天独厚的科研能力在生产企业中独占鳌头，江苏达诺尔半导体超纯科技有限公司（5000吨/年）是中美合资企业，有生产优势。其他一些厂家基本是民营企业，主要是生产特种气体或生产电子清洗剂的企业。这些企业所产电子级氨水产品全部对外销售。 电子级氨水用量不大，生产公司大都位于华东华南一带以及华北东北的沿海地区地区，区域竞争明显。… 电子级氨水生产发展分析与预测 近几年，我国电子级氨水产能产量增长较多，基本能满足国内市场需求。今后几年我国电子级氨水产能产量还有所增加。 预计到2015年，我国将新增电子级氨水产能吨左右，产能将出现过剩。根据我国市场现状，我们建议发展电子级氨水须谨慎，不可盲目兴建。 表 2012～2015年我国电子级氨水产能产量预测表 图 2012～2015年我国电子级氨水产能产量预测图 2 2 / 5
电子级磷酸盐 简介 电子级磷酸属于高纯磷酸，广泛用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器(TFT-LCD)等微电子工业，主要用于芯片的清洗和蚀刻，其纯度和洁净度对电子元器件的成品率、电性能及可靠性有很大影响，纯度较低的主要用于液晶面板部件的清洗（面板级），纯度高的用于电子晶片生产过程的清洗和浊刻（称为IC级）。电子级磷酸还可用于制备高纯磷酸盐，也是高纯有机磷产品的主要原料，另外还可用作超高纯试剂和光纤玻璃原料等。 产业链 制作工艺 电子级磷酸可由元素磷或磷的氧化物经化学反应得到，也可由成品磷酸净化精制而得，制备的关键在于控制并达到所要求的碱金属与重金属杂质离子的含量和颗粒度。 目前有如下几种主要制备工艺：1）用高纯磷制备电子级磷酸；2）用高纯三氯化磷制备电子级磷酸；3）用三氯氧磷制备电子级磷酸。 提纯工艺主要有：1）磷酸的净化精制法；2）有机溶剂萃取法；3) ①冷冻结晶法；②熔融结晶法；5）其他净化法其他的净化方法有电渗析：①电渗析法；②膜分离。 电子级磷酸的国际质量标准 国际半导体设备与材料组织(SEMI) 将电子化学品按应用范围分为SEMI-C1、SEMI - C7、SEMI-C8和SEMI -C12四个等级。我国则划分为BV-Ⅰ、BV-Ⅱ、BV- Ⅲ和BV- Ⅳ四个等级，BV-Ⅲ级已达到国际SEMI -C7质量标准，适用于018～112μm工艺技术的加工制作，这是目前我国生产的较高水平的微电子化学品。
国内外技术差别 国内技术水平：目前国内市场所需MOS 级、BV电子级磷酸已有工厂生产，BVII级和BVIII 电子级磷酸仍处于研发状态，所需产品依赖进口。 国外技术水平：高纯电子化学品的生产技术在国际上尚处于高度保密和高度垄断阶段，生产技术主要由德国、日本和美国等少数几个发达国家掌握，有关生产方法、工艺技术、实验研究、产品质量指标体系的确立及分析方法、设备包装材质的研究等等内容鲜见报道，国外技术拥有方甚至不进行实质性专利申请，技术研发机构很难检索到有价值的技术文献信息。技术难点：高纯电子化学品技术的研发必须依靠自主创新，建立完整的研发、生产、检测及包装体系，但在该技术的开发存在着工艺、设备、材料、控制等许多难题，技术开发和生产控制难度很高，研发投入大，即便是建立一个小型实验室，至少需要数百万元的投入，如果建设中等规模的工业化装置，总投资至少在数千万元，甚至过亿。 我国电子磷酸市场现状 （1）企业规模小，目前国内30多家，只有十几家企业进行生产和销售高纯磷酸，且规模均不大，主要集中在江苏、四川和贵州。 （2）国内生产的产品只能达到高纯磷酸低端产品要求，只能应用于电子工业的液晶显示器生产上作清洗剂。 （3）高纯磷酸由于其专利技术等原因，致使我国IC、LED、TFT-LCD行业用的高纯磷酸长期依赖进口，而目前我国市场上的高纯磷酸供应商主要集中在日本、美国和德国。 （4）我国电子级磷酸出口量远远大于进口量，这些出口的初级产品大多被用于再提纯，生产更高级别的产品，又部分返销回国内。 （5）我国总体技术水平落后于发达国家，而且，原材料的消耗以及生产成本普遍高于国外
电子级氨水的概略[整理版] 电子级氨水的概况 1.1 电子级氨水的基本概念与分类 中文名称:氨水 英文名称:Ammonium hydroxide 中文别名:氢氧化铵 CAS RN:1336-21-6 EINECS号 :215-647-6 分子式:NHOH 4 分子量:35.04 电子级就是电子纯(MOS):适用于电子产品生产中，电性杂质含量极低。 电子级氨水主要用于电子行业。过去几年来电子行业的快速发展带动了电子级氨水生产的快速发展，电子级氨水的产业的发展进入了一个新的阶段。 1.2 电子级氨水的理化性质 电子级氨水具有氨水的所有性质。 氨水是氨的水溶液，无色有强烈刺激性气味。氨含量越多，密度越小。熔点-77?。能溶于水、乙醇、醚。与酸中相反应产生热，有强烈的刺激臭味。对人3体的眼、鼻及破损皮肤有敏感的刺激性。有腐蚀性。最浓的氨水密度为 0.88g/cm，浓度为35.28,(质量百分数)。在氨水中既有自由的氨分子，也有水合氨分子和铵离子，主要形成水合氨分子，实质上是氨分子和水供给的氢以配位键相结合形成的。只有一小部分水合氨分子电离成铵根离子和氢氧根离子，故溶液显弱碱性。 -525?时，氨水的电离常数为K=1.8×10。
氨水吸收二氧化碳，生成碳酸氢铵;吸收二氧化硫，生成亚硫酸铵或亚硫酸氢铵。在常温下氨水可被Cl、KMnO等强氧化剂氧化。跟酸反应生成铵盐。跟24 Ag+、Cu2+、Cr3+、Zn2+等金属离子作用生成络离子。 氨水具有弱碱性。易挥发，随温度升高和放置时间延长而增加挥发率，且浓度的增大挥发量增加。氨水有一定的腐蚀作用，碳化氨水的腐蚀性更加严重。对铜的腐蚀比较强，钢铁比较差，对水泥腐蚀不大。对木材也有一定腐蚀作用。 1.3 电子级氨水的主要应用领域 氨水多用于农业，称农用氨水，其来源可以是合成氨厂的产品，也可以专门用液氨或气氨加水配制，有的还可以是化工生产过程中的副产品。农用氨水的氨浓度一般控制在含氮量15%,18%的范围内，碳化度量最好大于100%。施肥简便，方法也较多，如沟施、面施、随着灌溉水施或喷洒施用。军事上作为一种碱性消毒剂，用于消毒沙林类毒剂。常用的是10%浓度的稀氨水(密度0.960)，冬季使用浓度则为20%。 氨水在无机工业用于制选各种铁盐。毛纺、丝绸、印染等工业用于洗涤羊毛、呢绒、坯布，溶解和调整酸碱度，并作为助染剂等。有机工业用作胺化剂，生产热固性酚醛树脂的催化剂。医药上用稀氨水对呼吸和循环起反射性刺激，医治晕倒和昏厥，并作皮肤刺激药和消毒药。也用作洗涤剂、中和剂、生物碱浸出剂。 电子级氨水主要用于电子行业的清洗，以及其下游化合物的合成。虽然NH3在半导体制造用量不大，但在光电子领域、超纯氨是十分重要的原材料。 1.4 电子级氨水对环境的影响 1.4.1 对环境的影响 一、健康危害 侵入途径:吸入、食入。
目录 第一章项目概述 第二章项目建设单位 第三章投资背景及必要性分析第四章项目市场空间分析 第五章产品规划方案 第六章项目选址规划 第七章土建工程方案 第八章工艺分析 第九章环保和清洁生产说明第十章企业安全保护 第十一章风险性分析 第十二章项目节能概况 第十三章项目实施计划 第十四章项目投资分析 第十五章项目经济收益分析 第十六章项目评价结论 第十七章项目招投标方案
第一章项目概述 一、项目概况 （一）项目名称 电子级磷酸项目 （二）项目选址 xx工业示范区 项目建设方案力求在满足项目产品生产工艺、消防安全、环境保护卫 生等要求的前提下尽量合并建筑；充分利用自然空间，坚决贯彻执行“十 分珍惜和合理利用土地”的基本国策，因地制宜合理布置。项目建设区域 以城市总体规划为依据，布局相对独立，便于集中开展科研、生产经营和 管理活动，并且统筹考虑用地与城市发展的关系，与项目建设地的建成区 有较方便的联系。对各种设施用地进行统筹安排，提高土地综合利用效率，同时，采用先进的工艺技术和设备，达到“节约能源、节约土地资源”的 目的。 （三）项目用地规模 项目总用地面积41827.57平方米（折合约62.71亩）。 （四）项目用地控制指标 该工程规划建筑系数50.24%，建筑容积率1.65，建设区域绿化覆盖率7.37%，固定资产投资强度166.85万元/亩。
（五）土建工程指标 项目净用地面积41827.57平方米，建筑物基底占地面积21014.17平 方米，总建筑面积69015.49平方米，其中：规划建设主体工程53644.91 平方米，项目规划绿化面积5084.32平方米。 （六）设备选型方案 项目计划购置设备共计128台（套），设备购置费3464.08万元。 （七）节能分析 1、项目年用电量1235135.88千瓦时，折合151.80吨标准煤。 2、项目年总用水量10543.61立方米，折合0.90吨标准煤。 3、“电子级磷酸项目投资建设项目”，年用电量1235135.88千瓦时，年总用水量10543.61立方米，项目年综合总耗能量（当量值）152.70吨标准煤/年。达产年综合节能量59.38吨标准煤/年，项目总节能率20.00%， 能源利用效果良好。 （八）环境保护 项目符合xx工业示范区发展规划，符合xx工业示范区产业结构调整 规划和国家的产业发展政策；对产生的各类污染物都采取了切实可行的治 理措施，严格控制在国家规定的排放标准内，项目建设不会对区域生态环 境产生明显的影响。 （九）项目总投资及资金构成
电子级氨水的生产工艺与质量指标 2.1 电子级氨水制法 电子级氨水是用高纯氨通入高纯水中吸收，再经微孔滤膜处理即可。电子级氨水合成的关键步骤是高纯氨的制备。 2.1.1 高纯氨制备传统方法 传统高纯氨工艺主要有三种： 1、工业氨经三级吸附除去油、水及部分碳氢化合物，膜压机压缩后送入精馏塔，二次精馏除去低沸点杂质，吸附器进一步除水得高纯氨。 2、工业氨用吸附法除去水，采用间歇精馏法除去低沸点杂质，得到99.999%的高纯氨。 3、工业氨经精馏、多重吸附、超滤、终端纯化得到99.9999%的高纯氨。 图2.1 几种有代表性的吸附剂暇射程度与时间的曲线 吸附初期各吸附剂对NH中H0的吸附纯化程度曲线，1～7为不同试验的吸附剂。 图2.2 高纯氨生产工艺流程图 1.工业级NH3；2．2’脱油干燥器；3．3’吸附器4．精馏塔；5．高纯NH3； 6冷却水槽；7．过滤器；I脱油剂；II III IV干燥吸附剂 表2.1 精馏提纯NH3工艺条件 2.1.2 高纯氨制备其他方法 武汉华灿光电有限公司的专利CN1907855提出一种直接合成高纯氨的方法，其特征在于：先对合成氨所需的两种原材料——氮气N2和氢气H2进行提纯，然后再把它们合成为氨，从而得到所需的高纯氨；或者再经过简单的分离，把其中的N2和H2分离出来，从而得到所需的高纯氨。 用这种方法获得高纯氨克服了以往提纯的困难，所以成本降低很多，高纯氨
的价格将会大大降低。 江阴市润玛电子材料有限公司的专利CN101143728发明一种超高纯氨水的生产工艺，包括以下工艺步骤： （1）将液氨罐内的液氨输入缓冲罐； （2）缓冲罐的氨气通入第一个清洗塔中； （3）第一个清洗塔内的氨气进入第二个清洗塔内被去离子水吸收成氨水，并释放出比较纯的氨气； （4）第二个清洗塔内的氨气进入第三个清洗塔内被去离子水吸收成氨水，并释放出纯度极高的氨气； （5）第三个清洗塔纯度极高的氨气输入吸收塔后氨气被吸收塔内的去离子水大量的吸收； （6）在超净环境内，用过滤器对出吸收塔的氨水进行过滤分装得到超高纯的氨水成品。 该发明生产工艺简单、生产安全性好、产品纯度高、转换率高、生产成本低。 武汉高安新材料有限公司的专利CN101575102提出经氨催化裂解、氢氮气纯化和氨合成三步集成制备高纯氨。 2.2 电子级氨水的质量指标 电子级氨水有国家统一标准，1993年由化工部西南化工研究院起草的《GB/T14601-93电子工业用气体高纯氨》于2010年4月30日停止执行，取而代之的是大连光明化工研究院、中国西南油气田成都天然气化工总厂、武汉市鼎立化工有限责任公司、西南化工研究设计院起草的《GB/T14601-2009电子工业用气体氨》，于2010年5月1日起执行。 表2.2 GB/T 14601-93电子工业用气体高纯氨标准表 表2.3 GB/T 14601-2009电子级氨标准表 表2.4 GB/T 14601-2009光电子级氨标准表 表2.5 GB/T 14601-2009光电子级氨重金属标准表 达诺尔公司目前可批量提供符合国际半导体行业标准的五个规格的产品： 表2.6 电子级氨水国际半导体行业标准表
试剂名称(Product Name) Cas号分子式(Formular) MDL number EINECS Beilstein 磷酸/电子级磷酸 Phosphate standard concentrate 性状无色、无臭、粘稠液体，溶于水及醇。纯品磷酸为无色斜方晶体，富潮解性。溶于水和乙醇。其酸性较硫酸、盐酸和硝酸等强酸为弱，但较醋酸、硼酸等弱酸为强。能刺激皮肤引起发炎及破坏肌体组织。磷酸溶于水并放热，经高温加热便失水成焦磷酸和偏磷酸，长时间受冷即生成结晶，有腐蚀性，易吸湿。 熔点：42.℃ 沸点：213℃ 密度:1.834（18℃） 质量标准 GB/T 1282-1996 项目Item 优级纯分析纯 (GR) (AR) 含量(H3PO4)Assay,% ≥85.0 85.0 色度，黑曾单位Color(APHA),% ≤10 25 灼烧残渣Ignition residue,% ≤0.1 0.2 挥发酸Volatile acid，% ≤0.02 0.02 氯化物(Cl)Chloride,% ≤0.0002 0.0003 硫酸盐(SO4)Sulfate,% ≤0.001 0.003 硝酸盐(NO3)Nitrate,% ≤0.0003 0.0005 砷(As)Arsenic,% ≤0.001 0.0001 铁(Fe)Iron,% ≤0.001 0.002 钠(Na)Sodium,% ≤0.05 -- 钾(K)Potassium,% ≤0.005 -- 锰(Mn)Manganese,% ≤0.0002 0.0002 镍(Ni)Nickel,% ≤0.0005 -- 铜(Cu)Copper,% ≤0.0005 -- 锌(Zn)Zinc,% ≤0.001 -- 镉(Cd)Cadmium,% ≤0.0005 -- 铅(Pb)Lead,% ≤0.0005 -- 重金属(以Pb计)Heavy metals,% ≤-- 0.001 还原物质(以H3PO4计)Reducing substances,% ≤0.005 0.01 项目电子级磷酸 含量（P2O5）% 63.0-68.0 熔点℃35.0-42.3 外观不规则粉末 硝酸盐(NO3) ppm≤5 硫酸盐(SO4) ppm≤5 氯化物(Cl) ppm≤5 铝（Al) ppb≤20 锑(Sb) ppb≤300 砷(As) ppb≤10 钡(Ba) ppb≤20 镉(Cd) ppb≤10
湿电子化学品概述 湿电子化学品，又称超净高纯试剂或工艺化学品，是指主体成分纯度大于 99.99%，杂质离子和微粒数符合严格要求的化学试剂。主要以上游硫酸、盐酸、氢氟酸、氨水、氢氧化钠、氢氧化钾、丙酮、乙醇、异丙醇等为原料，经过预处理、过滤、提纯等工艺生产得到的高纯度产品。 湿电子化学品是微电子、光电子湿法工艺制程中使用的各种液体化工材料，是电子技术与化工材料相结合的创新产物，具有技术门槛高、资金投入大、产品更新换代快等特点。 湿电子化学品的分类 1.按用途分 湿电子化学品按用途主要分为通用化学品和功能性化学品两类。其中通用化学品以高纯溶剂为主，例如氧化氢、氢氟酸、硫酸、磷酸、盐酸、硝酸等；功能性化学品指通过复配手段达到特殊功能、满足制造中特殊工艺需求的配方类或复配类化学品，主要包括显影液、剥离液、清洗液、刻蚀液等。 湿电子化学品主要品种一览
2.按应用领域分 湿电子化学品目前广泛应用在半导体、平板显示、太阳能电池等多个领域，其中液晶面板领域增速快。即按下游产品应用的工艺环节分，主要有平板显示制造工艺的应用、半导体制造工艺的应用及太阳能电池板制造工艺的应用。 其中平板显示制造领域对湿电子化学品的需求量最高，半导体制造工艺用湿电子化学品是技术要求最高，太阳能电池板制造用湿电子化学品盈利能力一般。 湿电子化学品按应用领域分类
湿电子化学品的应用 湿电子化学品主要应用在半导体、平板显示、太阳能光伏领域等微电子器件制造领域，广泛应用于超大规模集成电路、LED、TFT-LCD 面板制造过程、太阳能硅片的蚀刻与清洗。 超净高纯试剂的应用多种多样，例如在晶圆生产过程中对于晶圆的清洗，在芯片制造光刻工艺中的刻蚀、显影和洗脱过程，同时在芯片制造和 PCB 板制造中的电镀液（例如硫酸铜）的制备原料硫酸也属于超净高纯试剂范畴。晶圆清洗试剂是前端加工关键工艺。由于集成电路内各元件及连线相当微细，因此制造过程中，如果遭到尘粒、金属的污染，很容易造成晶片内电路功能的损坏，形成短路或断路等，导致集成电路的失效以及影响几何特征的形成。因此在集成电路加工之前，必须对晶圆进行清洗，清除残留在晶圆上之微尘、金属离子及有机物之杂质。 CMP 研磨液的配置原料中涉及超净高纯试剂的应用，例如其中用作氧化剂的双氧水（H2O2）和碱性溶液 KOH。在硅表面处理过程中涉及到碱洗除去 Si 余料和酸洗活化 SiO2表面过程中分别涉及碱性试剂氨水 NH3?H2O 和酸性试剂 H2SO4 等。 晶圆污染物类型及清洗工艺
磷酸/电子级磷酸 上海紫一试剂厂.com 电话: ; 传真: 磷酸/电子级磷酸 Phosphatestandardconcentrate Cas号: 【7664-38-2】 MDL: MFCD00011340 分子式: H3O4P; H3PO4 分子量: 98.00 别名: 正磷酸,一缩原磷酸,缩原磷酸,乙烯利水剂 Phosphoricacidsolution Phosphoricacid Orthophosphoricacid Orthophosphoricacid 订货信息: 性状: 无色、无臭、粘稠液体, 溶于水及醇。纯品磷酸为无色斜
方晶体, 富潮解性。溶于水和乙醇。其酸性较硫酸、盐酸和硝酸等强酸为弱, 但 较醋酸、硼酸等弱酸为强。能刺激皮肤引起发炎及破坏肌体组织。磷酸溶于水 并放热, 经高温加热便失水成焦磷酸和偏磷酸, 长时间受冷即生成结晶, 有腐 蚀性, 易吸湿。 熔点: 42.℃ 沸点: 213℃ 密度:1.834( 18℃) 质量标准: GB/T 1282-1996 项目Item 优级纯分析纯 (GR) (AR) 含量(H3PO4)Assay,% ≥ 85.0 85.0 色度, 黑曾单位Color(APHA),% ≤ 10 25 灼烧残渣Ignition residue,% ≤ 0.1 0.2 挥发酸Volatile acid, % ≤ 0.02 0.02 氯化物(Cl)Chloride,% ≤ 0.0002 0.0003 硫酸盐(SO4)Sulfate,% ≤ 0.001 0.003 硝酸盐(NO3)Nitrate,% ≤ 0.0003 0.0005 砷(As)Arsenic,% ≤ 0.001 0.0001 铁(Fe)Iron,% ≤ 0.001 0.002 钠(Na)Sodium,% ≤ 0.05 -- 钾(K)Potassium,% ≤ 0.005 -- 锰(Mn)Manganese,% ≤ 0.0002 0.0002 镍(Ni)Nickel,% ≤ 0.0005 -- 铜(Cu)Copper,% ≤ 0.0005 -- 锌(Zn)Zinc,% ≤ 0.001 --
电子级氨水的生产现状与预测 3.1 电子级氨水生产现状及预测 3.1.1 电子级氨水生产发展历程 我国的合成氨工业起步于20世纪30年代。…. 江苏达诺尔公司也是国内主要的电子级氨水生产厂家。目前电子级氨水扩大到5000吨/年。 自金融危机以来，化工行业的开工率明显降低。电子级氨水的生产环境要求很高，加上金融危机的影响，没有查到近两年电子级氨水其他新建产能。 国内其他各电子级氨水生产厂家的产能都不大，主要是因为电子级氨水的用量较小，目前一些厂家具有一百甚至几百吨的生产能力。 目前国内有不少厂家可以规模化生产电子级氨水，由于产量主要受应用量的限制。很多厂家按需生产。 3.1.2 电子级氨水生产现状 电子级氨水由于技术壁垒较高，实际生产厂家不多，国内较大的生产厂家以光明化工研究设计院为代表，每年产量只有几千吨。 2005年，我国电子级氨水年产能力约吨，产量吨。2009年，我国电子级氨水的产能已达到吨，产量吨。2005～2009年产量年均增长6.2%。增长主要得益于电子工业领域的增长。 2011年，我国电子级氨水生产能力依然在吨/年，产量估计达到吨。 表3.1 2005～2011年我国电子级氨水产能产量情况表 单位：吨/年 图3.1 2005～2011年我国电子级氨水产能产量走势图
3.1.3 电子级氨水竞争态势与竞争格局分析 目前（2012年6月25日），我国能够生产电子级氨水的企业很多，有近家，总生产能力约吨/年。 国内规模较大的电子级氨水生产厂家有光明设计院（吨/年）、江苏达诺尔半导体超纯科技有限公司（吨/年）、佛山市南海志力化工有限公司（吨/年）等。 光明设计院由于得天独厚的科研能力在生产企业中独占鳌头，江苏达诺尔半导体超纯科技有限公司（5000吨/年）是中美合资企业，有生产优势。其他一些厂家基本是民营企业，主要是生产特种气体或生产电子清洗剂的企业。这些企业所产电子级氨水产品全部对外销售。 电子级氨水用量不大，生产公司大都位于华东华南一带以及华北东北的沿海地区地区，区域竞争明显。… 3.1.4 电子级氨水生产发展分析与预测 近几年，我国电子级氨水产能产量增长较多，基本能满足国内市场需求。今后几年我国电子级氨水产能产量还有所增加。 预计到2015年，我国将新增电子级氨水产能吨左右，产能将出现过剩。根据我国市场现状，我们建议发展电子级氨水须谨慎，不可盲目兴建。 表3.2 2012～2015年我国电子级氨水产能产量预测表 图3.2 2012～2015年我国电子级氨水产能产量预测图 3.2 电子级氨水主要生产企业产能统计 目前我国电子级氨水生产厂家与生产能力统计情况见表3.3。 表3.3 目前我国电子级氨水主要生产厂家与生产能力情况表
电子级磷酸的纯化技术及其发展现状 刘飞1，2，李天祥1，2 ［1．瓮福（集团）有限责任公司，贵州福泉550501；2．贵州大学化工学院］ 摘要：随着半导体芯片制造业和液晶显示器（LCD）制造业向中国转移，中国将逐步成为全球较大的LCD产业基地，中国电子级磷酸的需求量将日益增长，发展电子级磷酸已成为当前精细磷化工行业发展的必然趋势。电子级磷酸广泛应用于大规模集成电路（IC）、薄膜液晶显示器（TFT－LCD）、半导体等微电子工业等方面，用作清洗和蚀刻剂。详细介绍了电子级磷酸的应用领域、质量标准、纯化技术和国内外研究发展现状。 关键词：磷酸；电子级磷酸；纯化技术；发展现状 中图分类号：TQ126．35文献标识码：A文章编号：1006－4990（2011）03－0011－03 Purification technology of electronic－grade phosphoric acid and present development status thereof Liu Fei1，2，Li Tianxiang1，2 ［1．Technical Center，Wengfu（Group）Co．，Ltd．，Fuquan550501，China；2．School of Chemical Engineering，Guizhou University］ Abstract：As the semiconductor chip and LCD manufacturing industries have transfered to China，China will gradually become a world's large LCD industrial base．Demand for electronic－grade phosphoric acid in China is growing，and the ex-pansion of electronic－grade phosphoric acid production has become the inevitable trend of the development of fine phosphate chemical industry at present．Electronic－grade phosphoric acid is widely used in large scale integrated circuit（IC），thin film liquid crystal display（TFT－LCD），semiconductor，and other microelectronics industries．Usually it is used as cleaning and etching agents．Application fields，quality standard，purification technology，and present R＆D status of electronic－grade phos-phoric acid at home and abroad were introduced in detail． Key words：phosphoric acid；electronic－grade phosphoric acid；purification technology；present development status 电子级磷酸属高纯磷酸，它是超净高纯试剂中的一种，广泛应用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器、半导体等微电子工业方面，用作清洗和蚀刻剂，其纯度和洁净度对电子元器件的产品率、电性能、可靠性等都有重要影响。近年来，随着中国微电子工业的高速发展，中国大陆逐步成为全球较大的液晶显示器产业基地，用于集成电路、薄膜液晶显示器和半导体等清洗和蚀刻剂的电子化学品的需求越来越大，预计2010年中国市场电子专用超净高纯化学试剂需求量将达15万 16万t。随着半导体芯片制造业和液晶显示器制造业向中国转移，特别是中国台湾、日本和韩国等企业将在中国大陆投巨资建设液晶显示器生产厂和晶圆代工厂，以满足电视、电脑和移动通讯领域对液晶显示器的需求，中国电子级磷酸的用量将会有大幅增长，这为中国电子级磷酸提供了极大的发展空间［1－4］。 1电子级磷酸质量标准 目前，国内外对电子级磷酸质量指标的划分没有统一的标准，其质量指标不同，用途有所不同。目前，中国还没有电子级磷酸国家标准，一般将电子级磷酸划分为低尘高纯级、MOS级、BV－Ⅰ级、BV－Ⅱ级、BV－Ⅲ级（相当于SEMI－C7质量标准）、BV－Ⅳ级（相当于SEMI－C8质量标准）和BV－Ⅴ级（相当于SEMI－C12质量标准）等，其中BV－Ⅲ级主要用于超大规模集成电路，适用电路宽度为0．8 1．2μm工艺技术的生产。由于世界超净高纯试剂市场的不断扩大，从事超净高纯试剂研究与生产的厂家也在增多，生产规模在不断扩大。但各生产厂家所生产的超净高纯试剂的标准各不相同，为了能够规范世界超净高纯试剂的标准，国际半导体设备与材料协会（Semiconductor Industry Asso-ciation）推出SEMI质量标准，将电子级磷酸划分为SEMI Grade1、SEMI Grade2和SEMI Grade3，其中SEMI Grade3电子级磷酸其单项金属杂质最高质量分数不超过1?10－7，单项非金属杂质最高质量分数不大于1?10－5，能满足微电子行业0．18μm以上工艺技术的加工制作，质量符合超大规模集成电路和薄膜液晶显示器等制造过程的品质要求。 11 第43卷第3期2011年3月 无机盐工业INORGANIC CHEMICALS INDUSTRY