控制计划(四车间)

  • 格式:xls
  • 大小:131.00 KB
  • 文档页数:26

名称/描述:
供应商/厂:
供应商守则:
客户通过体系认证/日期(如果要求)
切晶车间控制计划
单晶事业二部
流程 图符

序 号
工序名 称
机械,设 备,工装,
工具制造
特性
产品
过程
特殊 特性
流程图说明 产品/过程规范/公差
方法
评价测量技 样本

容量 频率
控制方法
反应计划
工件板 、方棒 、毛玻 璃预处

1.检查工件板无变形,用塞尺测量不大于0.1mm 为合格; 用十字交叉法锁紧晶托,检查8颗 螺丝无松动, 遵循先上晶托后粘胶; 2.方棒和毛玻璃在超声时低部必须垫塑胶小滑 轮; 硅棒超声时间为15min,毛玻璃超声时间为 30min,超声水温为26±2℃; 超声电流≥4A;
密度计、地 磅、时钟 NDJ-1型旋 转粘度计
25% 每班 配浆记录表
禁止使用 禁止使用
如添加油砂后搅拌时间必须超过 4h。
砂浆 NTC
砂浆密度在1.625~1.635kg/l;砂浆温度控制在25℃
±2℃; 砂浆必须保证搅拌16小时以上;砂浆粘度控制在 180dpa.s~260dpa.s; 砂将在车间存放温度为25~28℃;湿度≤50℉; 每次测试时停止搅拌时间不得超过 10min 。
时钟、温度 计、声强测 25% 每班
试仪
硅棒
1.无裂纹、无孔洞、划痕、硅落 端面崩边≤1.5mm、中部崩边≤3mm、垂直度≤ 1mm 2、预处理好的晶棒放置车间恒温4-6h;
目测
硅片追踪单
25% 每班 车间粘胶记 录
返工
PROD 4
粘胶
粘胶工作台 、毛玻璃、 美纹胶带、 日本胶、美 国胶、晶托 、工件板、 杯托、树脂 条、内六角 板手、HAT
6h;
2、车间温度控制在:26±2℃;车间湿度≤40
℉;
目测、时钟
时钟、温湿 度计
25% 每班 硅片追踪单
硅片追踪单 25% 每班 、发棒记录

禁止发棒、返 工
时间未共到不 能发棒
1、先检查晶托与工件板之间的8个固定螺丝是否 拧紧; 2、必须正确记录晶棒编号并确认晶棒长度; 必须确认不良项目是否与追踪单上所记录内容相 符;
方法
评价测量技 样本

容量 频率
控制方法
反应计划
PROD 6
切片
梅耶博格 DS264型多
线切割机
作业准 备
切片
热机时间≥30min;零点设置必须为2mm(从F13界面 中查看); 主辊寿命是否≤800h;小滑轮寿命是否≤60h; 线网是存在跳线;主辊是否存在大面积损伤;
车间温度控制在25℃±2℃;湿度≤50℉; 根据片机上面贴的《工艺卡》进行控制;
密度计、地 磅、时钟 NDJ-1型旋 转粘度计
25% 每班 配浆记录表
如添加油砂后搅拌时间必须超过 8h。
禁止使用
控制计划数/问题
原型 主要联系人/电话
日期(原始) 日期(修订版)
预开展
V
(XC)
2010/4/16
生产
夏根平、唐世文、钟纬、戴启明、党鹏、范扬、赵伟超、王雪芹、戴怀萍、 章永峰、陈宝增、詹益攀、张连奇;导轮槽距为125.8mm,8"导轮槽距为 156.8mm; 2、砂浆密度为1.65~1.70kg/l; 3、切割进给速度:900um/min; 4、每槽(共10槽)切割刀数≤8刀; 5、砂浆使用次数≤7刀;小滑轮使用刀数≤2刀 6、切割前注意查小滑轮、导轮、钢线等是否有损伤并 满足下一刀的需求量。 7、每刀切割前检查线槽是否对齐。 8、上料时注意检查每刀的圆棒长度差值要小于30mm。 9、开切前检查中部砂浆喷嘴所喷出的砂浆是否喷到晶 棒上。 10、砂浆过滤袋一刀一洗,是否执行到位。 1、6"、6.5"外形尺寸≥125.2mm;8"外形尺寸≥ 156.2mm;2、 1、磨削速度≤200mm/min; 2、进给量≤0.5mm 3、MB机器切割晶棒磨一面,NTC切割晶棒两边分线网 不用磨。
过2mm;
要求A棒和B棒的基准面工件板
、玻璃、硅块在同一个面上;NTC:要求基准面
以无把手为准,两根棒拼接缝的为位置相对应,
总长度相差≤2mm;
5、粘胶完成后检查晶棒与玻璃板位错长度应≤
1mm
5、将晶棒粘好后,待晶棒凝固约1.5h后在晶棒
上表面中部位置粘树脂条; 1、已粘接好的晶棒要求在车间存放时间必须≥
控制计划数/问题
原型 主要联系人/电话
日期(原始) 日期(修订版)
预开展
V
(XC)
2010/4/16
9-Apr-10
生产
夏根平、唐世文、钟纬、戴启明、党鹏、范扬、赵伟超、王雪芹、戴怀萍、 章永峰、陈宝增、詹益攀、张连奇
零件 编号
单晶
核心小 组:
夏根平、唐世文、钟纬
客户工程审批(如果要 求)
名称/描述:
机器显示屏 、开机点检

卡尺 机器显示屏
100% 每刀
100%
过检 每班
25% 每班
开机点检表
方棒检验记 录表
随机查看
磨削速度≤350mm/min; 粗磨进给量≤0.15mm,精磨进给量≤0.05mm;
机器显示屏 25% 每班 随机查看
砂轮规格的确认
三组合砂轮 4300*127*35 粗磨砂轮 200*130*62*6*12
配胶
1、日本胶水,主剂:硬化剂=1:1; 2、美国胶水,主剂:硬化剂=1:1;
数显电子秤 (精确至 25% 每班 硅片追踪单 0.001g)
返工
PROD 4
粘胶
粘胶工作台 、毛玻璃、 美纹胶带、 日本胶、美 粘胶用 国胶、晶托 量 、工件板、 杯托、树脂 条、内六角 板手、HAT 清洗超声机
粘棒、 粘树脂
机器显示屏 、切割仓内 主辊、线网
温湿度计 切片机CN
25% 每班 机器CN
机器切割记
25% 每班

硅片追踪单
禁止开切 禁止开切
6
切片
梅耶博格 DS264型多线
切割机
6
切片
日本NTC型双 向切割机
目测、内六 角板手
硅片追踪单 25% 每班 、发棒记录

存在异常找生 产班长重新确 认后方可流入 下道工率序,
巡检做好记 录;重大异常 开出异常处理
单;
控制计划数/问题
原型 主要联系人/电话
日期(原始) 日期(修订版)
预开展
V
(XC)
2009/8/10
生产
夏根平、唐世文、钟纬、戴启明、党鹏、范扬、赵伟超、王雪芹、戴怀萍、章 永峰、陈宝增、詹益攀、张连奇

待切晶 棒
PROD 4
粘胶
粘胶工作台 、毛玻璃、 美纹胶带、 日本胶、美 国胶、晶托 、工件板、 杯托、树脂 条、内六角 板手、HAT 清洗超声机
发棒
MB: 6"粘毛玻璃用量:12g,粘棒用量:18+0.5g; 6.5"粘毛玻璃用量:15g,粘棒用量:20+0.5g; 8"粘毛玻璃用量:18g,粘棒用量:23+0.5g; NTC: 6"粘毛玻璃用量:10g,粘棒用量:14+0.5g; 6.5"粘毛玻璃用量:12g,粘棒用量:16+0.5g; 8"粘毛玻璃用量:14g,粘棒用量:18+0.5g;
晶托、粘胶 机、热熔胶

PRO D
2
开方
HCT开方机 、
晶托、粘胶 机、热熔胶

开方机 参数设 置与点

方棒 磨端面
PRO D
3
磨端 面、 平磨 、滚

WSK 003磨 床
WSK 011磨 床
参数控 制
平磨
PRO D
3
PRO D
3
平磨 、滚

WSK 003磨 床
WSK 009磨 床
方棒
外型尺 寸
滚磨倒 角、对 角线尺
零件 编号
单晶
核心小 组:
夏根平、唐世文、钟纬
客户工程审批(如果要 求)
名称/描述:
供应商/厂:
供应商守则:
客户通过体系认证/日期(如果要求)
切晶车间控制计划
单晶事业二部
流程图说明
流程 图符

序 号
工序名 称
机械,设 备,工装,
工具制造
特性 产品 过程
特殊 特性
产品/过程规范/公差
砂浆过滤袋是否一刀一换;
评价测量技 样本

容量 频率
控制方法
反应计划
烘干 SIC
600kg, 25kg袋装碳化硅正常容量为550kg,最大容量为 650kg。 烘干时间必须≥12小时。
钟表、 烘箱温度显
示屏
25%
每班
砂浆烘箱记 录表
禁止配浆
烘箱设定烘干温度为80℃—90℃。 配将比例为1:0.93;砂浆缸内无粉水份、杂质
PRO D

100%
过检 每班
方棒检验记 录表
±0.4mm;
1、崩边≤3mm2、亮点、划痕深度≤8.5um3、未滚磨长 度≤10mm。4、斜面≤1.5mm。
目测、粗糙 度测试仪、
卷尺
25%
每班
如任何一项不 符则停切检修

返工、报废 如有异常告知
生产班长改 正,巡检现在
教育 如有异常告知
生产班长改 正,巡检现在
砂轮更换说 明
100%
每次 更换
精磨砂轮 200*130*62*6*12
6"边长尺寸控制在125±0.4mm,对角线尺寸控制在150