半导体材料研究分析论文(全文)
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半导体材料介绍摘要:本文主要介绍半导体材料的特征、分类、制备工艺以及半导体材料的一些参数。
半导体在我们的日常生活中应用很广泛,半导体材料的一些结构和参数决定了它的特性。
以二氧化钛为例,它就是一种半导体材料,其结构和性能决定了它在降解有机污染物方面的应用,人们现在研究了有关它的性质,并将进一步研究提高它的光催化效果。
关键词:半导体材料导电能力载流子电阻率电子空穴正文:半导体材料是导电能力介于导体与绝缘体之间的物质。
半导体材料是一类具有半导体性能、可用来制作半导体器件和集成电的电子材料,其电导率在10(U-3)~10(U-9)欧姆/厘米范围内。
半导体材料可按化学组成来分,再将结构与性能比较特殊的非晶态与液态半导体单独列为一类。
按照这样分类方法可将半导体材料分为元素半导体、无机化合物半导体、有机化合物半导体和非晶态与液态半导体。
制备不同的半导体器件对半导体材料有不同的形态要求,包括单晶的切片、磨片、抛光片、薄膜等。
半导体材料的不同形态要求对应不同的加工工艺。
常用的半导体材料制备工艺有提纯、单晶的制备和薄膜外延生长。
半导体材料虽然种类繁多但有一些固有的特性,称为半导体材料的特性参数。
这些特性参数不仅能反映半导体材料与其他非半导体材料之间的差别,而且更重要的是能反映各种半导体材料之间甚至同一种材料在不同情况下特性上的量的差别。
常用的半导体材料的特性参数有:禁带宽度、电阻率、载流子迁移率(载流子即半导体中参加导电的电子和空穴)、非平衡载流子寿命、位错密度。
禁带宽度由半导体的电子态、原子组态决定,反映组成这种材料的原子中价电子从束缚状态激发到自由状态所需的能量。
电阻率、载流子迁移率反映材料的导电能力。
非平衡载流子寿命反映半导体材料在外界作用(如光或电场)下内部的载流子由非平衡状态向平衡状态过渡的弛豫特性。
位错是晶体中最常见的一类晶体缺陷。
位错密度可以用来衡量半导体单晶材料晶格完整性的程度。
当然,对于非晶态半导体是没有这一反映晶格完整性的特性参数的。
半导体材料介绍论文引言:半导体材料是当今电子工业中至关重要的一类材料。
它们具有介于金属和绝缘体之间的电导性质,因而被广泛应用于电子器件的制造。
半导体材料的研究和发展对于电子行业的技术进步和创新起到了关键的作用。
本文将介绍半导体材料的基本特性、分类、制备方法、以及常见的应用领域。
1.基本特性:-可控的电导率:半导体材料的电导率可以通过外加电场或掺杂调节。
这使得半导体材料可以用来制造各种控制电流的电子器件,例如晶体管。
-禁带:半导体材料具有接近禁带(能量带隙)范围的能级,使得它们在常温下既不是导电体也不是绝缘体。
-注入载流子:通过施加特定的电压或电流,碰撞激发半导体中的电子和空穴,形成导电的载流子。
-温度敏感性:半导体材料的导电性质受温度影响较大,温度升高会导致其电导率增加。
2.分类:根据禁带宽度,半导体材料可以分为以下几类:-基础型半导体:禁带宽度较大,难以直接用于电子器件的制造。
例如,硅(Si)和锗(Ge)。
-化合物半导体:由两种或多种元素结合形成的化合物。
其禁带宽度较小,适合用于电子器件的制造。
例如,砷化镓(GaAs)和磷化氮(GaN)。
-合金半导体:由两个或多个基础型半导体材料合成的材料。
通过调节合金组成可以改变其禁带宽度。
例如,锗硅(Ge-Si)合金。
3.制备方法:-材料净化:去除杂质和不纯物质,确保制备的半导体材料具有良好的纯度。
-晶体生长:通过溶液法、气相沉积法、分子束外延等技术,使半导体材料在晶体结构中有序排列。
-掺杂:故意添加少量特定元素(掺杂剂),改变半导体材料的导电性质。
-制造器件:通过光刻、蚀刻、金属沉积等工艺,将半导体材料转化为各种电子器件。
4.应用领域:-电子行业:半导体材料是电子器件的基础材料,例如集成电路、晶体管等。
-光电子学:半导体材料的光学特性使其适用于光电器件的制造,例如激光二极管、太阳能电池等。
-光通信:半导体材料是光纤通信系统的重要组成部分,用于制造光电调制器、光放大器等器件。
半导体材料论文
半导体材料是一种在电学上表现介于导体和绝缘体之间的材料。
它具有在一定
条件下能够导电的特性,但在其他条件下又表现出绝缘体的特性。
半导体材料在现代电子技术中起着至关重要的作用,广泛应用于集成电路、太阳能电池、光电器件等领域。
半导体材料的研究始于20世纪初,随着科学技术的发展,人们对半导体材料
的认识不断深化,材料的种类也在不断扩展。
目前,常见的半导体材料主要包括硅、锗、砷化镓、氮化镓等。
这些材料在电子、光电子等领域都有着重要的应用价值。
半导体材料的性能对于电子器件的性能有着至关重要的影响。
例如,半导体材
料的载流子浓度、迁移率、能隙等参数都会直接影响器件的性能。
因此,对于半导体材料的研究和探索显得尤为重要。
近年来,随着人们对能源、环境等问题的关注,半导体材料在太阳能电池、光
电器件等方面的应用越来越受到重视。
例如,砷化镓材料在光电器件中具有较高的光电转换效率,被广泛应用于激光器、LED等领域。
而氮化镓材料在太阳能电池
中也表现出较高的光电转换效率,成为太阳能电池领域的研究热点之一。
除了在电子器件领域的应用外,半导体材料在生物医学、光通信等领域也有着
广泛的应用前景。
例如,砷化镓材料在激光医疗设备中的应用,氮化镓材料在光通信中的应用等,都展现出了半导体材料在不同领域的巨大潜力。
总的来说,半导体材料作为一种介于导体和绝缘体之间的材料,具有着独特的
电学性能和广泛的应用前景。
随着科学技术的不断进步,相信半导体材料在未来会有更广泛的应用,为人类社会的发展做出更大的贡献。
材料科学中的半导体材料研究随着现代科学技术的快速发展,材料科学领域中出现了许多重要的材料,其中半导体材料是最为广泛应用的材料之一。
半导体材料能够在某些特定条件下表现出优异的电学和光学性能,因此在现代电子技术、光学技术等领域得到广泛应用。
本文将重点探讨半导体材料在材料科学中的研究现状和未来发展趋势。
第一部分:半导体材料的基本概念半导体材料是一类电阻率介于导体和绝缘体之间的材料。
在一定条件下,半导体材料能够表现出良好的电学和光学性能。
典型的半导体材料包括硅、锗、硒化镉、氮化镓等。
在半导体材料中,电子的运动是受外加电场或光照激发的,因而这类材料具有非常重要的应用前景。
半导体材料主要有以下几个特点:1. 电子能带结构窄、带隙能量小:它们的导电性能介于金属与非金属之间,因而在其能带结构中,带隙能量较小,一般为1-10eV,介于电子与空穴之间。
2. 操作温度宽:相比金属与绝缘体,半导体材料在操作温度上更加宽容,不易受到环境因素的影响。
3. 前向偏置的正向电流较小:尽管在偏置情况下电荷的扰动会影响电子的自旋,但半导体材料在正向偏置下的电流很小,因而具有良好的电学性能。
4. 具有良好的光学性能:半导体材料在一定条件下具有良好的光学性能,包括反射、透射、折射和吸收等方面的影响。
第二部分:半导体材料的应用领域随着科学技术的快速发展,半导体材料得到了广泛应用,并涉及到了诸多领域。
我们来逐一介绍:1. 电子技术领域:半导体材料在电子技术领域的应用已经非常广泛。
例如,半导体材料在集成电路、太阳能电池片、LED灯、半导体激光器等方面都发挥了重要作用。
2. 光电技术领域:半导体材料在光电技术领域也得到了广泛应用。
例如,半导体材料在光通信、光存储、光电显示、光伏发电等方面都有很重要的作用。
3. 生命科学领域:半导体材料还可以在生命科学领域得到应用。
例如,半导体材料可以用于细胞生物学、生化学、医学领域等,发挥着很重要的作用。
4. 环境监测领域:半导体材料也可以在环境监测领域得到应用,例如,气敏传感器、湿度传感器、温度传感器、膜材料等,都离不开半导体材料。
半导体毕业论文半导体:探索未来科技的基石引言:在当今科技发展迅猛的时代,半导体作为一种关键材料,已经成为现代生活和工业生产的基石。
它的应用范围广泛,从电子设备到通讯技术,从能源领域到医疗科学,无不离开半导体的支持。
本文将探讨半导体的基本原理、应用领域以及未来的发展趋势,旨在展示半导体技术对于人类社会的巨大影响和潜力。
一、半导体的基本原理半导体是一种介于导体和绝缘体之间的材料,其电导率介于两者之间。
这种特性源于半导体晶体中的电子能级结构。
通过控制材料中的杂质浓度和制造工艺,可以调节半导体的电导率,从而实现对电流的控制。
半导体的基本原理为现代电子学的发展提供了坚实的基础。
二、半导体的应用领域1. 电子设备半导体是电子设备中最重要的组成部分。
从智能手机到电脑、电视,几乎所有现代电子产品都离不开半导体芯片。
半导体的微小尺寸和高度集成的特点,使得电子设备越来越小型化、高效化和功能强大化。
2. 通讯技术半导体在通讯技术中扮演着重要角色。
无线通信、光纤通信、卫星通信等都依赖于半导体器件。
半导体的高速开关特性和信号放大能力,使得信息传输更加快速和稳定。
3. 能源领域半导体技术在能源领域的应用也日益重要。
太阳能电池板、LED灯、电动汽车等都离不开半导体器件。
半导体的光电转换效率高和能量损耗小的特点,为可再生能源的发展提供了强有力的支持。
4. 医疗科学半导体技术在医疗科学中的应用也日益广泛。
例如,生物芯片可以用于基因检测和疾病诊断,人工智能和机器学习可以应用于医学影像处理和疾病预测。
这些应用将大大提高医疗水平和人类生活质量。
三、半导体的未来发展趋势1. 三维集成电路随着电子设备的不断发展,对于更高性能和更小尺寸的需求也越来越迫切。
三维集成电路技术可以将多个晶体管层叠在一起,大大提高芯片的集成度和性能。
这一技术的发展将推动电子设备的进一步革新。
2. 新型材料除了传统的硅材料,新型半导体材料也在不断涌现。
例如,石墨烯、氮化镓等材料具有优异的电子特性,有望在未来取代硅材料,推动半导体技术的进一步发展。
半导体材料论文范文
标题:半导体材料的研究与应用
摘要:
本论文主要介绍半导体材料及其在电子技术中的应用。
首先概述了半导体材料的基本概念和独特的物理性质,然后详细介绍了几种常见的半导体材料,包括硅、锗和化合物半导体等。
接着讨论了半导体材料在电子器件中的应用,如PN结、MOSFET等。
最后对未来半导体材料的发展进行了展望,并提出了一些问题供深入研究。
关键词:半导体材料;物理性质;电子器件;发展趋势
1.引言
2.半导体材料的基本概念和性质
2.1半导体材料的定义和分类
2.2半导体材料的能带结构
2.3半导体材料的载流子类型
2.4半导体材料的禁带宽度
3.常见的半导体材料
3.1硅
3.1.1硅的基本性质
3.1.2硅的制备方法
3.2锗
3.2.1锗的基本性质
3.2.2锗的制备方法
3.3化合物半导体
3.3.1GaAs
3.3.2InP
4.半导体材料在电子器件中的应用
4.1PN结
4.1.1PN结的结构和特点
4.1.2PN结的应用:二极管和锗石榴石激光器4.2MOSFET
4.2.1MOSFET的基本结构和工作原理
4.2.2MOSFET的应用:集成电路和场效应晶体管
5.半导体材料的发展趋势和前景
5.1新材料的研究与应用
5.2高效能源的开发
5.3环境保护和可持续发展
6.结论
本论文全面介绍了半导体材料的基本概念、性质、常见种类以及在电子器件中的应用。
同时,对半导体材料未来的发展趋势进行了展望,并提出了一些问题供深入研究。
半导体材料的制备与应用研究半导体材料是当代科技发展领域不可或缺的材料,广泛应用于光电子、信息技术、能源以及生物医学等多个领域。
本篇文章将主要聚焦于半导体材料的制备与应用研究,从其中探究其重要性以及发展前景。
一、半导体材料的制备方法半导体材料的制备方法繁多,常见的包括蒸发法、溅射法、化学气相沉积法和分子束外延法等多种方法。
其中,溅射法和化学气相沉积法被广泛应用于半导体器件的制备过程中。
溅射法是一种通过离子轰击将靶材溅射到衬底上的方法,它具有高成本、高生产效率、材料纯度高等优点。
尤其是在高温下使用溅射法制备材料,其薄膜的质量可以得到更好的保证。
化学气相沉积法是利用气相反应得到薄膜的方法。
在其中,往往需要一种前驱体化合物,通过热分解使其分解成原子或分子形式在衬底上沉积形成材料。
相比较于溅射法,这种方法成本更低,在生产过程中也更加方便。
以上两种制备方法虽然在生产过程上存在着差异,但它们都需要考虑到材料的性能以及成本等因素,在一定程度上影响到半导体材料的应用。
二、半导体材料的应用研究由于半导体材料具备着众多的优点,它在当代科技发展领域得到了广泛的应用。
除了老牌的计算机和手机等传统领域,半导体材料同样在能源、生物医学等领域得到了应用。
1. 光电子技术领域随着信息时代的发展,光电子技术得到了广泛的应用。
半导体材料在光电子技术领域的应用也愈发重要。
如利用半导体材料制造太阳能电池板,将太阳光转化为电能,以及使用LED照明等都是半导体材料在光电子技术领域得到了广泛应用的实例。
2. 信息技术领域半导体材料在信息技术领域的使用更加广泛,从计算机到手机再到网络等多个方面都离不开半导体材料的支持。
例如,CMOS芯片中的硅材料在计算机领域中的使用,以及新一代5G技术的到来,均离不开半导体材料的参与。
3. 能源领域半导体材料在能源领域的应用也日渐增多,它们可以用于制造晶体管,从而用于自动控制和调节极低的电压。
本质上,能源领域中半导体材料的应用主要是为了提高节能、降低排放、减少污染和延长能源使用寿命等。
论文-浅谈半导体材料的应用
摘要
随着半导体材料技术的发展,它已经成为现代生活的重要元素,并在
许多领域的应用中发挥着重要作用。
本文介绍了半导体材料的结构、性能
和其在电子工程中常见的应用领域,包括发光二极管(LED)、晶体管(BCT)、光电子器件、激光器件、微处理器、微分动力元件、光纤传感
器(OFD)以及光纤通信等。
本文还研究了近年来半导体材料在汽车、航
空航天、能源机器人和医疗保健等领域的应用。
本文尝试提出了未来半导
体材料发展的可能性,以及可能面临的问题,以及可行的改进方案。
关键词:半导体材料;发光二极管;晶体管;光电子器件;激光器件;微处理器;微分动力元件;光纤传感器;航空航天;能源机器人;医疗保
健
1. Introduction
半导体材料的研究已经源远流长,从早期水晶管到现代有机太阳能电池,一直都在发展。
自20世纪60年代以来,半导体材料的发展越来越迅速,已经成为现代生活不可或缺的重要的元素,在电子工程中应用非常广泛。
半导体材料的优势在于其可编程性和高度集成功能,改变了传感器技
术和制造的工艺,从而促进了科学和技术的发展,并影响了多个领域的应用。
2. Structure and properties of semiconductor materials。
半导体材料研究进展分析论文摘要本文重点对半导体硅材料,GaAs和InP单晶材料,半导体超晶格、量子阱材料,一维量子线、零维量子点半导体微结构材料,宽带隙半导体材料,光子晶体材料,量子比特构建与材料等目前达到的水平和器件应用概况及其发展趋势作了概述。
最后,提出了发展我国半导体材料的建议。
关键词半导体材料量子线量子点材料光子晶体1半导体材料的战略地位上世纪中叶,单晶硅和半导体晶体管的发明及其硅集成电路的研制成功,导致了电子工业革命;上世纪70年代初石英光导纤维材料和GaAs激光器的发明,促进了光纤通信技术迅速发展并逐步形成了高新技术产业,使人类进入了信息时代。
超晶格概念的提出及其半导体超晶格、量子阱材料的研制成功,彻底改变了光电器件的设计思想,使半导体器件的设计与制造从“杂质工程”发展到“能带工程”。
纳米科学技术的发展和应用,将使人类能从原子、分子或纳米尺度水平上控制、操纵和制造功能强大的新型器件与电路,必将深刻地影响着世界的政治、经济格局和军事对抗的形式,彻底改变人们的生活方式。
2几种主要半导体材料的发展现状与趋势2.1硅材料从提高硅集成电路成品率,降低成本看,增大直拉硅(CZ-Si)单晶的直径和减小微缺陷的密度仍是今后CZ-Si发展的总趋势。
目前直径为8英寸(200mm)的Si单晶已实现大规模工业生产,基于直径为12英寸(300mm)硅片的集成电路(IC‘s)技术正处在由实验室向工业生产转变中。
目前300mm,0.18μm工艺的硅ULSI生产线已经投入生产,300mm,0.13μm工艺生产线也将在2003年完成评估。
18英寸重达414公斤的硅单晶和18英寸的硅园片已在实验室研制成功,直径27英寸硅单晶研制也正在积极筹划中。
从进一步提高硅IC‘S的速度和集成度看,研制适合于硅深亚微米乃至纳米工艺所需的大直径硅外延片会成为硅材料发展的主流。
另外,SOI材料,包括智能剥离(Smartcut)和SIMOX材料等也发展很快。
新型材料的半导体性能研究提要:在上世纪50 年代,随着锗、硅材料作为第一代半导体的出现,以集成电路为核心的微电子工业开始逐渐发展起来,此类材料被广泛应用于集成电路中。
此后的几十年时间里,电子信息产业发展壮大。
进入90 年代以后,第二代半导体砷化镓、磷化铟等具有高迁移率的半导体材料逐渐出现,使得有线通讯技术迅速发展。
随后在本世纪初,碳化硅,氮化镓等具有宽禁带的第三代半导体材料也相继问世,将当代的信息技术推向了更高的台阶。
关键词:半导体氮化镓碳化硅一氧化石墨烯正文:随着信息、生物、航空航天、核技术等新兴高技术产业的发展和传统材料的高技术化,新材料产业蓬勃发展。
当今世界上各种新材料市场规模每年已超过4000多亿元,由新材料带动而产生的新产品和新技术则是更大的市场,新材料产业成为21世纪初发展最快的高新技术产业之一。
其中笔电、手机等3C产品都需要半导体晶片,半导体的新材料研究也取得各种成果,比如:氮化镓,碳化硅,一氧化石墨烯等。
氮化镓作为第三代半导体的代表,其化学性质非常稳定,在室温下不溶于水,酸和碱,且融点高达1700℃,硬度较大。
由以上基本性质就可知用氮化镓做成的材料具有耐高温,耐酸碱腐蚀和抗外力变形等优越的性能。
目前,氮化镓和氮化镓基半导体材料已经成为了世界各国研究的热点。
氮化镓的合成与制备方法目前对氮化镓的主要研究对象之一,单晶氮化镓薄膜和纳米氮化镓的合成方法是研究的重中之重。
半导体发光二极管和半导体激光器类似,也是一个PN结,也是利用外电源向PN结注入电子来发光的。
半导体发光二极管记作LED,是由P型半导体形成的P层和N型半导体形成的N层,以及中间的由双异质结构成的有源层组成。
氮化镓单晶材料是用于氮化镓生长的最理想的LED材料,这样可以大大提高晶圆膜的晶体质量,降低位错密度,提高器件工作寿命,提高发光效率,提高器件工作电流密度。
可是,制备氮化镓体单晶材料非常困难,到目前为止尚未有行之有效的办法。
半导体材料研究分析论文(全文) 1半导体材料的战略地位上世纪中叶,单晶硅和半导体晶体管的发明及其硅集成电路的研制成功,导致了电子工业革命;上世纪70年代初石英光导纤维材料和GaAs激光器的发明,促进了光纤通信技术迅速进展并逐步形成了高新技术产业,使人类进入了信息时代。
超晶格概念的提出及其半导体超晶格、量子阱材料的研制成功,彻底改变了光电器件的设计思想,使半导体器件的设计与制造从“杂质工程”进展到“能带工程”。
纳米科学技术的进展和应用,将使人类能从原子、分子或纳米尺度水平上操纵、操纵和制造功能强大的新型器件与电路,必将深刻地影响着世界的政治、经济格局和军事对抗的形式,彻底改变人们的生活方式。
2几种主要半导体材料的进展现状与趋势2.1硅材料从提高硅集成电路成品率,降低成本看,增大直拉硅(CZ -Si)单晶的直径和减小微缺陷的密度仍是今后CZ-Si进展的总趋势。
目前直径为8英寸(200mm)的Si单晶已实现大规模工业生产,基于直径为12英寸(300mm)硅片的集成电路(IC ‘s)技术正处在由实验室向工业生产转变中。
目前300mm,0.18μm工艺的硅ULSI生产线已经投入生产,300mm,0.13μm工艺生产线也将在2021年完成评估。
18英寸重达414公斤的硅单晶和18英寸的硅园片已在实验室研制成功,直径27英寸硅单晶研制也正在积极筹划中。
从进一步提高硅IC‘S的速度和集成度看,研制适合于硅深亚微米乃至纳米工艺所需的大直径硅外延片会成为硅材料进展的主流。
另外,SOI材料,包括智能剥离(Smartcut)和SIMOX 材料等也进展很快。
目前,直径8英寸的硅外延片和SOI材料已研制成功,更大尺寸的片材也在开发中。
理论分析指出30nm左右将是硅MOS集成电路线宽的“极限”尺寸。
这不仅是指量子尺寸效应对现有器件特性影响所带来的物理限制和光刻技术的限制问题,更重要的是将受硅、SiO2自身性质的限制。
尽管人们正在积极寻找高K介电绝缘材料(如用Si3N4等来替代SiO2),低K介电互连材料,用Cu代替Al 引线以及采纳系统集成芯片技术等来提高ULSI的集成度、运算速度和功能,但硅将最终难以满足人类不断的对更大信息量需求。
为此,人们除寻求基于全新原理的量子计算和DNA生物计算等之外,还把目光放在以GaAs、InP为基的化合物半导体材料,特别是二维超晶格、量子阱,一维量子线与零维量子点材料和可与硅平面工艺兼容GeSi合金材料等,这也是目前半导体材料研发的重点。
2.2GaAs和InP单晶材料GaAs和InP与硅不同,它们都是直接带隙材料,具有电子饱和漂移速度高,耐高温,抗辐照等特点;在超高速、超高频、低功耗、低噪音器件和电路,特别在光电子器件和光电集成方面占有独特的优势。
目前,世界GaAs单晶的总年产量已超过200吨,其中以低位错密度的垂直梯度凝固法(VGF)和水平(HB)方法生长的2-3英寸的导电GaAs衬底材料为主;近年来,为满足高速移动通信的迫切需求,大直径(4,6和8英寸)的SI-GaAs 进展很快。
美国莫托罗拉公司正在筹建6英寸的SI-GaAs集成电路生产线。
InP具有比GaAs更优越的高频性能,进展的速度更快,但研制直径3英寸以上大直径的InP单晶的关键技术尚未完全突破,价格居高不下。
GaAs和InP单晶的进展趋势是:(1)。
增大晶体直径,目前4英寸的SI-GaAs已用于生产,估计本世纪初的头几年直径为6英寸的SI-GaAs也将投入工业应用。
(2)。
提高材料的电学和光学微区均匀性。
(3)。
降低单晶的缺陷密度,特别是位错。
(4)。
GaAs和InP单晶的VGF生长技术进展很快,很有可能成为主流技术。
2.3半导体超晶格、量子阱材料半导体超薄层微结构材料是基于先进生长技术(MBE,MOCVD)的新一代人工构造材料。
它以全新的概念改变着光电子和微电子器件的设计思想,出现了“电学和光学特性可剪裁”为特征的新范畴,是新一代固态量子器件的基础材料。
(1)Ⅲ-V族超晶格、量子阱材料。
GaAIAs/GaAs,GaInAs/GaAs,AIGaInP/GaAs;GalnAs/InP,AlInAs/InP,InGaAsP/InP等GaAs、InP基晶格匹配和应变补偿材料体系已进展得相当成熟,已成功地用来制造超高速,超高频微电子器件和单片集成电路。
高电子迁移率晶体管(HEMT),赝配高电子迁移率晶体管(P-HEMT)器件最好水平已达fmax=600GHz,输出功率58mW,功率增益6.4db;双异质结双极晶体管(HBT)的最高频率fmax也已高达500GHz,HEMT逻辑电路研制也进展很快。
基于上述材料体系的光通信用1.3μm和1.5μm的量子阱激光器和探测器,红、黄、橙光发光二极管和红光激光器以及大功率半导体量子阱激光器已商品化;表面光发射器件和光双稳器件等也已达到或接近达到有用化水平。
目前,研制高质量的1.5μm分布反馈(DFB)激光器和电汲取(EA)调制器单片集成InP基多量子阱材料和超高速驱动电路所需的低维结构材料是解决光纤通信瓶颈问题的关键,在实验室西门子公司已完成了80×40Gbps传输40km 的实验。
另外,用于制造准连续兆瓦级大功率激光阵列的高质量量子阱材料也受到人们的重视。
虽然常规量子阱结构端面发射激光器是目前光电子领域占统治地位的有源器件,但由于其有源区极薄(~0.01μm)端面光电灾变损伤,大电流电热烧毁和光束质量差一直是此类激光器的性能改善和功率提高的难题。
采纳多有源区量子级联耦合是解决此难题的有效途径之一。
我国早在1999年,就研制成功980nmInGaAs带间量子级联激光器,输出功率达5W以上;2000年初,法国汤姆逊公司又报道了单个激光器准连续输出功率超过10瓦好结果。
最近,我国的科研工,Motorola公司,日本的富士通,NTT,索尼等都有这种外延材料出售。
生产型MBE和MOCVD设备的成熟与应用,必定促进衬底材料设备和材料评价技术的进展。
(2)硅基应变异质结构材料。
硅基光、电器件集成一直是人们所追求的目标。
但由于硅是间接带隙,如何提高硅基材料发光效率就成为一个亟待解决的问题。
虽经多年研究,但进展缓慢。
人们目前正致力于探究硅基纳米材料(纳米Si/SiO2),硅基SiGeC体系的Si1-yCy/Si1-xGex低维结构,Ge/Si量子点和量子点超晶格材料,Si/SiC 量子点材料,GaN/BP/Si以及GaN/Si材料。
最近,在GaN /Si上成功地研制出LED发光器件和有关纳米硅的受激放大现象的报道,使人们看到了一线希望。
另一方面,GeSi/Si应变层超晶格材料,因其在新一代移动通信上的重要应用前景,而成为目前硅基材料研究的主流。
Si/GeSiMODFET和MOSFET的最高截止频率已达200GHz,HBT最高振荡频率为160GHz,噪音在10GHz下为0.9db,其性能可与GaAs器件相媲美。
尽管GaAs/Si和InP/Si是实现光电子集成理想的材料体系,但由于晶格失配和热膨胀系数等不同造成的高密度失配位错而导致器件性能退化和失效,防碍着它的使用化。
最近,Motolora等公司宣称,他们在12英寸的硅衬底上,用钛酸锶作协变层(柔性层),成功的生长了器件级的GaAs外延薄膜,取得了突破性的进展。
2.4一维量子线、零维量子点半导体微结构材料基于量子尺寸效应、量子干涉效应,量子隧穿效应和库仑阻效应以及非线性光学效应等的低维半导体材料是一种人工构造(通过能带工程实施)的新型半导体材料,是新一代微电子、光电子器件和电路的基础。
它的进展与应用,极有可能触发新的技术革命。
目前低维半导体材料生长与制备主要集中在几个比较成熟的材料体系上,如GaAlAs/GaAs,In(Ga)As/GaAs,InGaAs /InAlAs/GaAs,InGaAs/InP,In(Ga)As/InAlAs/InP,InGaAsP/InAlAs/InP以及GeSi/Si等,并在纳米微电子和光电子研制方面取得了重大进展。
俄罗斯约飞技术物理所MBE 小组,柏林的俄德联合研制小组和中科院半导体所半导体材料科学重点实验室的MBE小组等研制成功的In(Ga)As/GaAs高功率量子点激光器,工作波长lμm左右,单管室温连续输出功率高达3.6~4W.特别应当指出的是我国上述的MBE小组,2021年通过在高功率量子点激光器的有源区材料结构中引入应力缓解层,抑制了缺陷和位错的产生,提高了量子点激光器的工作寿命,室温下连续输出功率为1W时工作寿命超过5000小时,这是大功率激光器的一个关键参数,至今未见国外报道。
在单电子晶体管和单电子存贮器及其电路的研制方面也获得了重大进展,1994年日本NTT就研制成功沟道长度为30nm 纳米单电子晶体管,并在150K观察到栅控源-漏电流振荡;1997年美国又报道了可在室温工作的单电子开关器件,1998年Yauo等人采纳0.25微米工艺技术实现了128Mb的单电子存贮器原型样机的制造,这是在单电子器件在高密度存贮电路的应用方面迈出的关键一步。
目前,基于量子点的自适应XX络计算机,单光子源和应用于量子计算的量子比特的构建等方面的研究也正在进行中。
与半导体超晶格和量子点结构的生长制备相比,高度有序的半导体量子线的制备技术难度较大。
中科院半导体所半导体材料科学重点实验室的MBE小组,在继利用MBE技术和SK生长模式,成功地制备了高空间有序的InAs/InAI(Ga)As/InP的量子线和量子线超晶格结构的基础上,对InAs/InAlAs量子线超晶格的空间自对准(垂直或斜对准)的物理起因和生长操纵进行了研究,取得了较大进展。
王中林教授领导的乔治亚理工大学的材料科学与工程系和化学与生物化学系的研究小组,基于无催化剂、操纵生长条件的氧化物粉末的热蒸发技术,成功地合成了诸如ZnO、SnO2、In2O3和Ga2O3等一系列半导体氧化物纳米带,它们与具有圆柱对称截面的中空纳米管或纳米线不同,这些原生的纳米带呈现出高纯、结构均匀和单晶体,几乎无缺陷和位错;纳米线呈矩形截面,典型的宽度为20-300nm,宽厚比为5-10,长度可达数毫米。
这种半导体氧化物纳米带是一个理想的材料体系,可以用来研究载流子维度受限的输运现象和基于它的功能器件制造。
香港城市大学李述汤教授和瑞典隆德大学固体物理系纳米中心的LarsSamuelson教授领导的小组,分别在SiO2/Si和InAs /InP半导体量子线超晶格结构的生长制各方面也取得了重要进展。
低维半导体结构制备的方法很多,主要有:微结构材料生长和精细加工工艺相结合的方法,应变自组装量子线、量子点材料生长技术,图形化衬底和不同取向晶面选择生长技术,单原子操纵和加工技术,纳米结构的辐照制备技术,及其在沸石的笼子中、纳米碳管和溶液中等通过物理或化学方法制备量子点和量子线的技术等。