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水平棕化线操作指引

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水平棕化工艺流程教材

水平棕化工艺流程教材

3
1. 简 介： 水平棕化工艺的定义： 通过水平化学生产线处理产生一种均匀，有良好粘 合特性的有机金属层结构，使内层粘合前铜层表面受控 粗化，用于增强内层铜层与半固化片之间压板后粘合强 度的一种严格的适于制造高质量多层线路板的工艺技术。 水平棕化工艺的优点：
工艺简单、容易控制；棕化膜抗酸性好，不易出现粉
露铜：
原因和处理方法：
1）AOI制板表面有残胶等异物粘附，需用600号以上砂
纸打磨后再做棕化。
2）酸性、除油段药水浓度不正常，需分析后调整。 3）药水受污染，如泵、Cl等，需更换污染段的药水。 4）制板表面深度划伤，制板报废。
棕化颜色不正常： 原因和处理方法： 1）活化段PH值异常，需分析后调整至7左右。 2）药水污染，需更换受污染药水。 3）活化、棕化段药水浓度异常，需分析后调整。
硫酸（H2SO4）98%
过硫酸钠99.9%
工艺流程图：
AOI制板清洁
酸洗
四级水洗
除油
四级水洗
二级DI水洗
四级水洗
棕化
活化
二级热风吹干
收板
3. 工艺流程解析： 棕化前处理： 作用：将AOI工序中产生的铜屑，补线碎屑通过清洁机上 胶纸辘的粘附作用加以去除。 酸洗： 作用：在除铜层表面的氧化物，清洁铜面。 参数：
红圈故障； 生产制板质量稳定一致。
2. 工艺流程: 棕化用化学药水： 内层键合剂A（Bondfilm part A）100% 内层键合除油剂ALK（Bondfilm cleaner ALK）100% 内层键合活化剂（Bondfilm Activator）100% 双氧水（H2O2）50%
处理方式：水平喷淋处理。

棕化流程

棕化流程

棕化流程PC-2023棕化流程已经逐步取代在当今线路板工业中作为标准的黑化工艺了。

PC-2023流程是一种简单的生产过程，该流程能够在铜板表面上生成一层深棕色的，有机金属膜。

PC-2030能够适用于垂直和水平两种工作方式。

配槽预浸：1、纯水98%2、PC-2022 2%（V/V）棕化：1、纯水2、硫酸4%（V/V）3、PC2023A 8%（V/V）4、PC2023B 10%（V/V）5、双氧水（35%） 3.2%（V/V）设备桶槽：PVC，聚乙烯，聚丙烯加热器：铁氟龙，石英排风系统：必要反应条件预浸：PC-2022 1.5-2.4%（2%）温度25-35℃时间水平式15-30秒垂直式60-120秒PH 5.0-8.5棕化硫酸 4.5-5.0% (4%)双氧水（35%） 3.0-3.5% (3.2%)铜浓度25g/l温度35-40℃（38℃）时间传动系统3/4-1分钟维修保养和添加预浸药水的PH值必须通过必要时对硫酸和双氧水的添加保持在5.0-8.5之间，当每升药水做到20-25m2时，建议更换新槽。

棕化A液和B液的添加量基于工作流程或是硫酸量的补充A液：40ml/ m2或等同于所补充的硫酸量B液：48 ml/ m2或是所补充硫酸数量的120%硫酸：根据分析决定添加量双氧水：根据分析决定添加量药水的添加方式同时也由设备的添加系统和添加原理决定，如果可以采用的计片计时添加方式，那么可以根据做板的大小和含铜率来调节片数；如果采用比重添加方式，则可以根据铜浓度来调节，当铜浓度超过25g/l时，建议更换部分槽液，最佳的工作状态是铜浓度为10-15g/l时。

药水消耗量，就水平线而言，药水的消耗为0.8-0.85l/m2。

分析预浸药液PC-2022（UV分光计）步骤：1、用吸液管在工作槽中吸入1毫升的预浸药液并放入100毫升的烧杯中2、然后用纯水将药液稀释到烧杯所指刻度3、在波长为259.2mm的条件下量出用在稀释液中的纯水的UV吸光度4、可接受范围为0.48-0.76计算方法浓度ml/L(PC-2022)=UV吸光度*32.3棕化药液1、双氧水试剂：Ferrion示剂0.1N Ceric Ammonium硫酸溶液20%硫酸步骤：1、把1毫升溶液放入250毫升的烧杯2、加入500毫升纯水3、加入10毫升20%硫酸4、加入5滴Ferrion指示剂5、用0.1N Ceric硫酸胺溶液滴定，是其颜色由橙色变为蓝色终点计算方法%by volume H2O2=ml Cerric Solin*(N Cerric Solin)*4.252、硫酸试剂：甲基橙指示剂1.ON氢氧化钠标准溶液步骤：1、把1毫升溶液加入250毫升烧杯2、加入100毫升纯水3、加入3-5滴甲基橙指示剂4、滴定1.ON氢氧化钠标准溶液直到颜色变黄计算方法%硫酸=（ml NaOH）* ( N NaOH) *2.78/样品容量3、铜浓度试剂：氨基盐溶液（100克N NH4OH（25%）+900克纯水PAH指示剂0.1mEDTA标准溶液步骤：1、把1毫升溶液放入250毫升烧杯2、加入50毫升（80-100℃）纯水3、加入5毫升氨基盐氢氧化物溶液，溶液变绿4、加入3-5滴PAN指示剂5、滴定0.1mEDTA颜色由深紫色变成绿色计算方法% Copper Metal=( ml EDTA)*( M EDTA) * 63.54/样品容量循环清洗剂（酸性或碱性）水洗▼预浸PC-2022 无需水洗▼棕化A液B液水洗▼热水洗（45-50℃）▼烘干注意事项如果接触到眼睛，立即用大量流水清洗，并及时就医。

081202棕黑化制程介绍

081202棕黑化制程介绍
电镀铜棕化面SEM 基板铜棕化面SEM
棕化表面有机膜物性

棕化表面的有机膜非常薄,厚度仅有几百纳 米左右,且与铜的结合较致密 利用TG/DTA热重-差热综合热分析仪,可以 测出棕化有机膜的热分解温度在300~400℃ 之间,故一般的100度左右的短时间烘烤不会 影响到有机棕化膜

棕化制程管制参数
棕化质量测试项目



微蚀量测试 耐酸性测试 离子污染度测试 爆板测试(热应力测试) 棕化拉力测试(结合力测试)
黑化流程简介
天车
设 备 图 示
挂架
药水槽
黑化流程简介
黑化流程的分类
黑化
传统黑化
LDD黑化
传统黑化与LDD黑化对比
作用对比: 传统黑化的作用与棕化流程的作用一样,均 是为了增加压合时PP层与棕/黑化层铜面间 的结合力,使其在高温作用下不会产生分层
黑化流 程对比:
黑化各药水槽作用

清洁洗 清除内层板板面上的指纹,油脂等有机物 药水:Jetcleaner HL(碱性清洁剂)
黑化各药水槽作用

酸浸 去除板面上的铜盐及氧化物 药水:H2SO4 反应方程式: CuO+H2SO4+H2O → CuSO4+2H2O
黑化各药水槽作用

微蚀
粗化铜面以增大其表面积
棕/黑化处理流程讲解
棕化制程的作用
棕化主要是对做完内层或外层需再压合的板进行压 合前的预处理,其主要作用如下:



增加铜面与树脂接触的表面积,加强二者之间的 附着力 增加铜面对流动树脂之润湿性,使树脂能流入各 死角而在硬化后有更强的结合力 在裸铜表面产生一层致密的有机金属层以阻绝 高温下液态树脂中胺类(Amine)对铜面的影响.

棕化--压板工艺原理及控制要点

棕化--压板工艺原理及控制要点

目前公司常用半固化片IT158特性及参数 目前公司常用半固化片IT158特性及参数 IT158
項目 規格 7628 7628 7628 2116 2116 2116 1080 1080 1080 1080 106 106 106 106
布重(g/ (g/㎡ 布重(g/㎡) Glass Fiber Weight 樹脂含量 Resin Content (%):R/C± (%):R/C±2 樹脂流量 Resin Flow(%): R/F±5 R/F± 膠化時間( 膠化時間(秒) Gel Time(sec) G/T±20 ± (拉絲法) 拉絲法) G/T±20 ± (脫盤法) 脫盤法) 脫盤法 揮發物含量 Volatile Content(%) V/C 壓合 光板厚度 (mil) Thickness
2.3 常见多层板(以六层板为例)结构 常见多层板(以六层板为例)
--Foil Prepreg
-- Core(C/C) -- Prepreg -- Core(C/C) -- Prepreg -- Foil
2.5 压板方式
------MASS LAM ------MASS ------PIN ------PIN LAM
压板生产步骤： 2.2 压板生产步骤： 排板---------将内层板与半固化片及铜 A、排板-----将内层板与半固化片及铜 箔以钢板分隔排好。 箔以钢板分隔排好。 压板---------通过压板机将排好的多层 B、压板-----通过压板机将排好的多层 book）压合成整体。 板（book）压合成整体。
3.2 Prepreg
即半固化片，由玻璃纤维布和树脂组成。 即半固化片，由玻璃纤维布和树脂组成。其 中的树脂呈半固化状态-----称 ;业界 中的树脂呈半固化状态-----称 B-Stage ;业界 ----常称“树脂片”，“半硬化材料”，“半固化片” 常称“树脂片” 半硬化材料” 半固化片” 等。

水平棕化线作业标准书

水平棕化线作业标准书
按下控制面板上对应的按钮
文件名称
水平棕化线(W09-0404)作业标准书 文件编号
Q/WS-307
步骤
3、工序作业标准[3.2送板作业标准]
页码
3-2-1
1、生产板检查
按照《层压工序产品可接收标准》中的要求，对生产板做检查。
2、 铜面积设定： 2.1 、加工MC产品时的铜面积设定：
根据棕化工序的ERP工程指示---铜面积数值：
3-4-5％
传送速度
2.2+/-0.2m/min
喷淋压力Kg/cm2
上下压力：1.0～2.0Kg/cm2
过滤循环压力Kg/cm2
1.0～3.0Kg/cm2
液泵功率 kW*台
5.25*1
加热器（材质）/ kW*支
SUS316/9*3
冷却器（材质）/KW*支
SUS316*1
滤网
20＃530*310
过滤器*台
页码
Q/WS-307 1-1-2
4、 各槽作用 4.1 酸洗：有效去除铜表面的氧化点。 4.2 DI水洗：充分洗去粘附在板面的酸液。 4.3 除油：去除表面的手指印、膜渣和其他污染。 4.4 DI水洗1：洗去板面残留的碱液。 4.5 预浸：加快棕化反应速度，且保护棕化主槽免遭拖带污染。 4.6 棕化：内层铜在棕化液的作用下同时发生微蚀和成膜反应，并且可以通过调节
更改线过滤芯的浸泡方法及线过滤芯规格（与DPEC棕化统一）
增加棕化返工基准
增加棕化后使用离型膜垫板、使用筐篮放板转板的具体要求 1、DPMC水平棕化线作业标准书更名为DOEC水平棕化线(W09-0404)作业标准
书 C/2 2011.08.20 2、文件编号由Q/DPMC.G.QP.EG－DM97更改为Q/WS-307

棕化工艺问题解析指南

棕化工艺问题解析指南
CIRCUBONDTM 2200 棕化工艺
问题解析指南
罗门哈斯电子材料(东莞)有限公司 January . 2005
RHEM Confidential
CIRCUBOND 2200棕化工艺问题解析指南
TM
故障排除步骤
分析所有槽液各成分含量 DES中的退膜液 检查下列条件是否变化 流速 温度 液位 铜箔类型 H2O2浓度或 预浸液中铜含量 层压板周期
TM
轮印
输送轮缺失或被更换 输送轮位置设计不合理 滚轮脏 前工序带来轮印 H2O2浓度低 水平线棕化段流量太 小
RHEM Confidential
检查并清洁 保证输送轮交错排列并且不会阻 碍药水流动 检查并清洁 检查前工序 分析并调整 加大流量
CIRCUBOND 2200棕化工艺问题解析指南
TM
棕化不良
RHEM Confidential
CIRCUBOND 2200棕化工艺问题解析指南
TM
综述
开缸：
• 在开缸时，2218A、2218B中的成份将可能因DI水温度低而沉淀 出来，导致分析结果偏低。如果在此时补加药水，待温度升高 ，成份重新溶解出来就会造成实际浓度偏高。 为了避免以上情况发生，请在配槽时第一步先加入浓H2SO4，再加 入2218A及2218B。 请使用经过处理或浸泡清洗的过滤芯，以免将过滤芯中的粘合剂 和润滑剂带入槽液。未经过处理的过滤芯可能带来大量的泡沫和 发亮的棕化涂层。
CIRCUBOND 2200棕化工艺问题解析指南
TM
金色涂层
没有或2218B浓度低 分析并调整 分析并调整
2218A浓度太高
RHEM Confidential
CIRCUBOND 2200棕化工艺问题解析指南

棕化LDD流程介绍



减少钻孔时的激光能量，对镭射激光的吸收能力较差的 铜面反应变得稳定，有助使溅铜或悬边等问题减至最低。
工艺流程应对的技术探讨

配合微蚀剂E285工艺作为镭射钻孔的前处理工艺，经过多
次测试，在同样的镭射钻孔条件下，可获得的孔径较单纯 使用一般的微蚀方法作为酸洗的较大；从检测结果及在其 他客户的操作经验所显示，此优点有利于调整镭射钻孔的 吸收能力，并有效地改善铜层厚度分布的质量问题。

主要原因是铜面在微蚀反应时变得稳定，有助使蚀刻速度 不平均等问题减至最低。

如配合使用三分一安士的铜皮，则新流程可考虑删除减铜 工序，直接进行表面处理。
普通棕化
FR4 RCC
119.80 99.32 139.49 137.58
TopBond
FR4 RCC
除胶后孔壁状况比较
测试结果比较

从测试结果显示，使用新工艺E285及TopBond LDD的 流程搭配比较普通棕化工艺表现较佳，不论是孔径或 是孔的形状都较为理想。
在相同的钻孔条件下，孔径约增加了10%，而孔径的 差异或均匀性也较旧的工艺更为良好。 在除胶渣后，孔壁状况都是正常，而铜的悬边较少， 有助后续电镀处理工艺。
除油 45秒

除油 30秒
活化 24秒
活化 16秒
棕化 90秒
棕化 64秒
微蚀槽操作条件比较
控制项目 E285 硫酸 过硫酸钠 温度 微蚀量 硫酸/过硫酸钠 / 20-40ml/l 10-45g/l 25-35℃ 0.1-0.3微米 微蚀E285 20% / / 30-40℃ 0.4-0.6微米
TopBond LDD与普通棕化流程操作条件对比
工艺流程应对的技术探讨

工艺技术棕化层压工艺规范教材(DOC37页)

1、目的：规范层压工序制程能力的管控。

2、范围：适用于层压工序制程能力的管控。

3、职责：层压工序工艺工程师按规范要求管控该工序制程能力；技术中心负责该规范的编制与更新。

5、制程目标产品能力：详见附件三《层压工序产品能力参数表》设备能力：详见附件二《层压工序设备能力参数表》制程能力：详见附件四《层压工序制程能力参数表》6、工序资源设备资源：详见附件六《层压工序设备列表》物料资源：详见附件五《层压工序物料列表》7、基本原理棕化内层芯板经过棕化处理后，在铜面形成一层均匀的棕色有机金属膜，可增强铜面与半固化片的结合力，同时在高温压合过程中，阻止铜与半固化片的氨基发生反应。

产品实现的基本原理有药水作用原理、设备作用原理等。

棕化反应机理酸洗酸洗的主要作用是去除铜表面氧化物，中和残余退膜液，粗化铜面，保证稳定的微蚀、成膜及着色。

酸洗段的主要成分为过硫酸钠（NaPS）、H2SO4。

其反应机理如下：Cu+CuO+H2SO4+Na2S2O8→2CuSO4+Na2SO4+H2O碱洗碱洗的主要作用是去除铜表面的油污、手指印、轻微氧化物及抗蚀剂残渣。

碱式除油剂主要成分为NaOH和H2O。

其反应过程是利用热碱溶液对油脂的皂化作用和乳化作用来进行除油。

水洗棕化线在酸洗、碱洗、棕化之后均有水洗段，主要目的是去除酸洗、碱洗、棕化缸在板面残留的药水，避免污染下一道工序。

序号影响因素具体影响1 DI水电导率水洗用水必须具备一定的纯净度，即对电导率有要求，当电导率超过一定范围，则会带来离子污染。

2 水洗时间水洗需要一定的时间去作用，水洗时间不够，则无法去除板面残留药水，从而引起缸与缸之间的药水污染。

3 喷淋压力采用喷淋水洗主要是为了全面去除板面各个位置的残留药水，若水洗压力不当，则会导致局部区域水洗效果不佳，引发污染。

预浸预浸的主要作用是活化铜表面以利于棕化处理快速均匀，增强结合力。

预浸段的主要成分为活化剂（成分为苯并三唑，乙二醇单异丙基醚和水）。

PCB工艺流程之棕化工序培训教材

10
棕化的工艺流程、原理及其作用
1:CU金属遭受微蚀攻击而氧化 2:氧化铜与有机物形成有机物层沉积 3:微蚀/沉积持续进行
11
棕化的工艺流程、原理及其作用
1:CU金属遭受微蚀攻击而氧化 2:氧化铜与有机物形成有机物层沉积 3:微蚀/沉积持续进行 4:反应达到平衡
12
棕化的工艺流程、原理及其作用
去离子水(DI水) BondFilm Activator
内层键合活化剂
BondFilm Part A Plus 内层键合剂A Plus
硫酸(50%) 双氧水(50%) 去离子水(DI水)
操作浓度 30ml/L 20g/L 510L/hr
100ml/L
510L/hr 20ml/L
100ml/L
50ml/L 21.5ml/L 510L/hr
a:装机要求
1.机器运行良好，所有的机械部分运作良好，无损坏，无异常磨损。 2.机器不漏水，所有的药水缸无药水泄露，包括所有的进水管道、排水管道、
加药泵、加药桶和加药盒。 3.设备运转时无尖锐的噪音，噪音低于国家标准65分贝。 4.机器无不正常的震动 5.所有的马达运转正常 6.所有的电线连接正确，不发生过热现象，不发生裸露铜线。 7.所有的电气信号正确
六、棕化设备
a:Schmid(迅德)棕化线
22
棕化工艺控制及设备要求
b:UCE(宇宙)棕化线
23
棕化工艺控制及设备要求
六、棕化设备能力
1.板厚：0.05~3.2MM(含铜,以H/HOZ铜作标准) 2.板大小尺寸：最大620*622mm,最小180*180mm 3.孔径比：10：1
七、棕化设备要求
二、棕化颜色不均匀
29
棕化主要缺陷及其成因和改善对策

棕化--压板工艺原理及控制要点 层压


3337℃
2次/班
处理方式：药水浸入处理。
水洗： 作用：清洗上一步反应的残存药水，以利下一步反应的进行。 处理方式：喷淋处理,溢流水洗
DI水洗： 作用：降低制板表面离子含量，最终清洁制板。 处理方式：喷淋处理，逐级溢流水洗。 烘干： 作用：去除棕化膜表面水份，为排压板做准备。 处理方式：风刀热风吹干
钻孔工序制作
2.1 压板的原理及目的：
利用半固化片(B-Stage树脂)受高温高压 而完全固化使多层板各层结合在一起，保证多 层板的电气性能和机械性能。
2.2 压板生产步骤：
A、排板-----将内层板与半固化片及铜 箔以钢板分隔排好。
B、压板-----通过压板机将排好的多层 板（book）压合成整体。
半固化片的特性指标各项并非孤立存在，而是相互 影响。
例如： a、Gel Time长则树脂流失多； b、挥发份含量高则树脂流失多； c、树脂含量高则树脂流量高。
选择半固化片的原则：
在层压时树脂能填满内层线路间隙，排除叠片间的气 体和挥发物，并保证制板要求的厚度及电气性能，而且 需考虑客户的特殊要求、制板尺寸、布线密度、层数等。
水平棕化工艺的优点：
工艺简单、容易控制；棕化膜抗酸性好，不 易出现粉红圈故障；
生产制板质量稳定一致。
2. 工艺流程:
棕化用化学药水： 碱性除油剂 内层键合活化剂 双氧水（H2O2）30% 硫酸（H2SO4）98% MS100
工艺流程图：
AOI制板清洁
酸洗
二级逆流水洗
除油
三级逆流DI水洗
强风吹干 四级逆流DI水洗
保持 /min
8 7 1 100 15 15
斜率 /min
5 0 0 15 0 20
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7.1.6检查棕化线各缸液位是否足够。
7.1.7生产前将清洁及棕化水洗后之吸水海绵充分润湿使其达吸水效果（生产中应关闭喷水以保证吸干效果，要求每4小时清洁润湿一次）
7.1.8检查DI水电导率＜20us/cm（要求化验室每班测一次电导率，超出范围则停止生产，通知相关部门解决再做板）。
7.2开机程序：
7.2.1开启DI、自来水水阀门，调节各水缸的水流量；并打开冷却水进/出水管阀门。
1.换槽.
2.纯水水质差.
2.控制纯水电导率＜10us/cm,CL-＜5ppm.
3.Cu2+浓度太高.
3.排掉部分液体,补充新药液.(或者换槽)
4.液位不足.
4.补充药液.
5.药水质量异常.
5.联系药水供应商解决.
板面露铜或星点状露铜
1.板面有残膜.
1.用细砂打磨或送内层重新退膜.
2.Cu2+浓度太高.
DI溢流水洗
喷 淋
常 温
20±5
DI水洗
喷 淋
常 温
20±5
烘干段
80-90设定:85
6.3流程参数：
缸名
分析项目
控制范围
最佳值
千尺添加
换缸频率
分析频率
微 蚀
H2SO4
4-6%
5%
分析添加
Cu2+＞30g/L
20g/L
1次/班
NPS
20-30g/L
25g/L
分析添加
1次/班
Cu2&#红 色
1、液位过低 2、安全门开
绿 色
1、电源开启 2、设备运行指示
9各缸换糟说明：
槽名
保养项目
频率
程序
各水洗槽
洗槽
一次/30天
1.打开排水阀,将槽液排尽，取出过滤网清洗干净。
2.以水冲洗滚轮、喷管、槽壁、传动轮（必要时加氢氧化钠和硫酸进行清洗）。3.关排水阀，放入过滤网。
4.放入清水。
换水
一次/天
2.排掉部分液体,补充新药液.(或者换槽)
3.板面有难以去除的污物.
3.用细砂打磨或送内层走前处理.
4.预浸液受污染或浓度太低.
4.换槽或补充药液浓度.
5.前处理未开启或浓度异常
5.开启前处理或调整浓度至正常范围内。
板面颜色不均
1.棕化槽上、下喷淋压力不协调.
1.调节上、下喷淋压力.
2.Cu2+浓度太高.
6.4.1铜箔厚度≤10Z时,速度为1.2-1.3m/min；
6.4.2铜箔厚度﹥1OZ时,速度为 0.8-1.2m/min ；
6.4.3重工板时速度为2.0-2.5m/min。H/H允许重工一次，1OZ可重工两次，生产中据实际铜厚调整
6.5 各水洗槽流量计流量为5-15L/min。
7生产操作：
7.1开工规则：
7.3.4芯板厚度≤0.2mm可考虑将板与身体成450的斜放入机体或用板条拖板作业，板间距≥40mm；
7.3.5戴手套将出板段的板目检后插架，注意不要叠板放；不要擦花棕化膜；取板时手指不得入图形区。
7.3.6要求开始生产时必须有首板确认并做好记录,另每一块板需经检查是否符合要求。
7.3.7生产时有异常情况则停止入板，待问题排出后方可继续生产，紧急时可按急停开关。
11.4 热风烘干段温度较高，切莫触摸，以免烫伤。
12.品质检查及标准：
12.1铜厚要求：经处理OK的内层铜箔厚度需符合IPC标准。（HOZ≥0.0125mm、1OZ≥0.025mm、20Z≥0.055mm）
12.2棕化拉力测试：棕化拉力≥3 lb/inch 。
13其它保养项目：
13.1每班机身清洁一次；
10.3机器的各段零部件不得随意调换使用。
10.4抽气阀应开启，以防止废气外泻。
10.5放板应均匀，充分使用整个有效输送面，以免造成相关零部件磨损不均匀。
10.6放板时各块板之间的距离不应小于30mmm，以免引起叠板等故障。
10.7出板段清洁保养时不得用水冲洗，应用吸尘器和抹布、酒精等清洁。
10.8已做好的棕化板应放在温度在20±2℃,湿度在55±10%之间。并且超出24小时需返工重做棕化处理。
13.2每班水洗缸换水一次；
13.3每班清洁吸水海绵一次；
13.4每班检查一次喷流是否正常；
13.5每班检查过滤器是否堵塞；
13.6每班检查液位是否正常。
14生产异常或放假处理措施:
14.1当生产中突发性停机（停电或机器故障）时应立即取出在线的生产板避免被药水腐蚀掉造成报废。
14.1.1关掉电源及水源的总开关。
14.1.2打开上面挡水玻璃。
14.1.3拆开上层传动轮取出生产板，马上用水冲洗干净，并用水槽储存，待恢复正常后再进行生产。
14.2放长假处理措施：把棕化药水抽出装入备用桶中，然后用自来水冲洗缸壁，排完废水，加入600LDI水
15棕化常见问题分析及对策：
常见问题
可 能 原 因
解 决 办 法
棕化不上
1.加错药水.
3.以硫酸3%洗槽，循环1小时后排除，再进DI水循环15分钟,排除。用DI水冲洗。
4.关排水阀，放入新棉芯。
5.重新配槽。
烘干
清洁风刀
1次/周
用干净的擦布将风刀、传动轮清洁干净。
吸水海棉
吸水海棉
1次/4H
用手搓揉后再用水冲洗
10 操作注意事项及规范:
10.1机器的使用温度不得超过规定值。
10.2 触摸屏为精密仪器，需小心操作，不得用尖硬物触碰。
4-6%
5%
分析添加
1次/班
TP101A
5%
5%
3.5L/kft2
1次/班
TP101B
5%
5%
3.5L/kft2
1次/班
50%H2O2
2-3%
2.5%
分析添加
1次/班
Cu2+
30g/L
5-15g/L
1次/班
温度
30-40℃
35℃
1次/班
微蚀厚度
40u〃-70u〃
50u〃
1次/天
6.4设为1.0-1.5m/min,具体调节做板速度为；
200L
1、TP-112：6.0L
2、DI水
1、清洁干净槽体，管闭排液阀后加入1/2体积的DI水。
2、缓满加入TP-112预浸液，再加入DI水至200L液位处。
3、安装过滤棉芯循环过滤并加热。
棕 化
395L
1. 98%H2SO420L
2.TP101A20L
3.TP101B20L
4.50%H2O210L
4．用DI水冲洗。
5.关排水阀，放入新的棉芯。
6.依配槽程序重新配槽。
棕化
1、更换棉芯
1次/每周
1.打开过滤器上盖,取出旧滤心。
2.装入新棉芯。
3.锁紧上盖。
换槽
1次/30天
或
Cu2+＞35g/L
1.打开排水阀,将槽液排尽，取出旧棉芯。
2.进水,倒入NaOH3%,循环1小时排除,再进水循环15分钟后排除。
2.5%(v/v)
10L
注明：棕化槽配槽顺序
7.5.1将主槽添加200LDI水。
7.5.2缓慢添加98%H2SO4、TP101A、 TP101B开缸量各20L。
7.5.3加入50%双氧水10L，添加时务必小心,此为强氧化剂。
7.5.4补加DI水至液位即可。
7.6换槽规定
槽名
换槽量
频率
污染值上限
微 蚀
7.4关机程序：
7.4.1按各缸开关至OFF进行逐步关机。
7.4.2关掉DI水及自来水开关。
7.4.3关闭电源总开关。
7.4.4检查所有项目，清洁机身及周围环境。
7.4.5连续生产时中有中断生产时，各药缸温度按钮不关闭。其它开关处于off状态。
7.5配槽药水用量
槽名
实际配槽体积
药品
配槽浓度
药品用量
微蚀
微蚀厚度
10-20u〃
15u〃
1次/天
碱洗
TP122
10%-15%
12.5%
2L/kft2
1次/30天
1次/班
温度
50-60℃
55℃
1次/班
预浸
TP112
2-4%
3%
0.5L/kft2
1次/30天
1次/班
温度
30-40℃
35℃
1次/班
棕化
DI水
/
电导率<10us/cm
/
Cu2+＞30g/L
1次/班
H2SO4
5.1双氧水 (50% H2O2) 硫酸(H2SO4)
5.2 除油剂（TP-122） 预浸剂（TP-112） 棕化剂（TP-101A; TP-101B） 此三种药水由供应商提供.
6操作工艺条件：
6.1流程介绍
6.1.1放板→微蚀→溢流水洗*2→碱洗→溢流DI热水洗*3→预浸→棕化→溢流水洗*3→DI水洗→强风吹干→热风吹干→出板
6.2流程条件：
流 程
处理方法
温度（℃）
压力Pis
点检频率
微 蚀
喷 淋
24-28设定:26
20±5
每班/1次
溢流水洗
喷 淋
常 温
20±5
碱 洗
喷 淋
45-55设定:50
20±5
DI溢流水洗
喷 淋
常 温
20±5
热水洗
喷 淋
30-40设定:35
20±5
预 浸
浸 泡
30-40设定:35
棕 化
浸 泡