材料电子显微镜分析技术及应用
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电子显微镜技术的应用电子显微镜是一种高分辨率的显微镜,它利用电子束代替了光束,能够观察到光学显微镜无法看到的许多微观结构,并且可以观察到原子的排列。
电子显微镜已经成为现代材料、生命科学和物理学等领域中必不可少的手段之一。
本文将介绍电子显微镜技术的应用。
一、材料科学的应用1. 表面形貌观察:电子显微镜可以观察样品表面的形貌和纹理,予以分析和比较,这对于制造和加工表面光洁度极高的元件和仪器非常重要。
2. 组织结构观察:电子显微镜可以观察到样品中的细胞结构、微观缺陷、晶体结构等内部细节,为了研究材料的性能和性质,这非常重要。
3. 化学成分分析:电子显微镜还可以用于材料成分的分析。
电子束通过样品时会产生一些反射、散射、俘获和激发等反应,这些反应可以被感知器检测到,进而提供有关样品成分和结构的信息。
4. 纳米技术:电子显微镜对于研究和制备纳米结构材料具有重要意义。
通过电子束的聚焦和聚合,可以制备出纳米尺度的线条、点及其它结构,这对于微观器件的制备及其特性的研究都是至关重要的。
二、生命科学的应用1. 细胞及其组织结构:在生命科学的领域中,电子显微镜是必不可少的工具。
神经细胞、肌肉细胞、血管组织等可以使用电子显微镜来深入研究,以观察其真实的细胞和组织结构。
2. 蛋白质和核酸结构:电子显微镜在观察和研究蛋白质和核酸结构方面的能力也非常重要。
通过对高度复杂的这些分子的3D结构进行观察,科学家们可以确定它们的功能、定位和相互作用方式。
3. 感知器:感知器是一些生物机能的关键部件。
通过电子显微镜的观察,我们可以了解感知器的形状、结构和调节机制,从而找到更多的研究思路。
三、物理学的应用1. 凝聚态物理研究:在凝聚态物理学中,电子显微镜尤为重要。
电子显微镜可以通过观察样品中的原子排列来确定材料被制造时凝聚态的性质,这对于「晶体生长」技术很有帮助。
2. 量子现象:量子力学研究中,电子束的性质和行为同样具有重要性。
电子束的相干性和聚集特性,使电子显微镜能够研究量子环境中的复杂运动状态。
电子显微镜技术的原理及应用随着科学技术的不断发展,各种分析和检测仪器也越来越精密。
电子显微镜便是其中一种技术应用广泛的仪器。
本篇文章将会探讨电子显微镜技术的原理及应用。
一、电子显微镜的原理电子显微镜简称电镜,是一种高分辨率的显微镜,采用的是电子束而不是光线。
电子束是由电子枪产生的,具有很高的能量和短波长,可以穿透物质的表面,再由电镜中的透射电子显微镜将其反射到显微镜的荧光屏上,从而形成高分辨率的图像。
电子束有束缚效应,因此需要电子镜的真空环境,可以将电子镜分为透射电子显微镜和扫描电子显微镜两种。
透射电子显微镜通过样品制备薄片,并透过物质表面直接对内部结构进行拍照。
而扫描电子显微镜是通过扫描样品表面产生的二次电子信号进行成像。
由于有很高的分辨率和深部探测能力,在材料科学、生物学、化学以及地球科学中都得到了广泛的应用。
二、电子显微镜的应用1. 材料科学在材料科学的研究中,电子显微镜广泛用于制备和研究,可以精确地观察材料的微观结构。
电子显微镜的高分辨率特点可以精确地显示材料的晶格结构、界面、缺陷、成分以及在同一晶体中不同区域的微观结构。
2. 生物学电子显微镜在生物学中的应用可以揭示生物系统复杂的细胞和组织结构。
在生物学研究中,电子显微镜被用来研究细胞器、细胞膜、细胞核、细胞分裂和细胞膜运输,可以为研究生物系统和疾病提供重要的信息。
3. 化学在化学研究中,电子显微镜可以对材料的表面和组织结构进行研究。
电子显微镜的高分辨率可以精确地显示表面分子、配合物、晶格结构以及各种化学特征,可以为分子识别和分子作用研究提供有力的工具。
4. 地球科学在地球科学研究中,电子显微镜被广泛应用于研究矿物的晶体结构、成分、晶体缺陷和反应。
电子显微镜可以提供各种分析技术,如能谱分析、点分析和高分辨率成像,可以在矿物学、矿物资源开发、环境地球化学等领域提供各种诊断工具。
三、总结在本文中,我们讨论了电子显微镜技术的原理及其在材料科学、生物学、化学和地球科学等领域的应用。
材料分析中的扫描电子显微镜技术材料科学作为一门重要的研究领域,广泛应用于各个行业。
其基本原理是通过对材料的物理性质和结构进行研究,以提高材料的性能和功能。
在材料分析中,扫描电子显微镜(SEM)技术是一种非常重要的工具,能够提供高分辨率和大深度的观察和分析。
扫描电子显微镜是一种应用电子束技术的显微镜,其工作原理是通过聚焦的电子束扫描待观察的材料表面,然后通过探测器捕捉并记录反射的电子束信号。
与传统光学显微镜相比,SEM具有更高的分辨率和更大的深度。
它可以观察到材料的表面形貌、形状和大小,并提供其它有关材料结构和成分的信息。
SEM技术在材料科学中的应用非常广泛。
首先,它可以用来观察和分析材料的表面形貌和结构。
通过SEM观察材料的表面形貌,我们可以了解材料的纹理、孔隙结构和表面粗糙度等特征。
这对于研究材料的界面性质、材料的耐磨性和材料与环境的相互作用具有重要意义。
此外,SEM还可以提供材料的成分分析。
通过利用扫描电子显微镜上的能谱仪,我们可以获取X射线能谱信息,进而分析材料的元素组成和含量。
这对于材料的合成、纯度和混杂物含量的研究非常重要。
同时,SEM技术还可以通过电子束与材料的相互作用,提供对材料电荷分布、晶体结构和缺陷等性质的观察和分析。
扫描电子显微镜技术的应用不仅局限于材料科学领域。
在生物学、医学和环境科学等其他领域,SEM也发挥着重要作用。
在生物学中,SEM可以用来观察和分析生物细胞、组织和微生物的形态特征。
在医学中,SEM可以用于研究病毒、细菌和肿瘤细胞的形态、结构和成分。
在环境科学中,SEM可以用来观察和分析大气颗粒、水质颗粒和土壤颗粒等微观颗粒的形貌和成分,从而帮助我们研究环境中的污染物和微观生物。
尽管SEM技术在材料科学和其他领域中得到广泛应用,但它并非没有一些限制。
首先,SEM技术对样品的制备要求较高,样品需要进行表面处理和真空吸附,以确保电子束的穿透性和样品的稳定性。
此外,SEM分析所需的仪器和设备也相对昂贵,对于一些小型研究实验室来说可能存在一定的经济压力。
电子显微分析技术及应用材料测试技术是材料科学与工程研究以及应用的重要手段和方法,目的就是要了解、获知材料的成分、组织结构、性能以及它们之间的关系,即材料的基本性质和基本规律。
同时为发展新型材料提供新途径、新方法或新流程。
在现代制造业中,测试技术具有非常重要的地位和作用。
材料的组织形貌观察,主要是依靠显微镜技术,光学显微镜是在微米尺度上观察材料的组织及方法,电子显微分析技术则可以实现纳米级的观察。
透射电子显微镜、扫描电子显微镜和电子探针仪等已成为从生物材料、高分子材料到金属材料的广阔范围内进行表面分析的不可缺少的工具。
下面将主要介绍其原理及应用。
1.透射电子显微镜(TEM)a)透射电子显微镜 b)透射光学显微镜图1:透射显微镜构造原理和光路透射电子显微镜(TEM)是一种现代综合性大型分析仪器,在现代科学、技术的研究、开发工作中被广泛地使用。
所谓电子显微镜是以电子束为照明光源的显微镜。
由于电子束在外部磁场或电场的作用下可以发生弯曲,形成类似于可见光通过玻璃时的折射现象,所以我们就可以利用这一物理效应制造出电子束的“透镜”,从而开发出电子显微镜。
而作为透射电子显微镜(TEM)其特点在于我们是利用透过样品的电子束来成像,这一点有别于扫描电子显微镜。
由于电子波的波长大大小于可见光的波长(100kV的电子波的波长为0.0037nm,而紫光的波长为400nm),根据光学理论,我们可以预期电子显微镜的分辨本领应大大优于光学显微镜。
图l是现代TEM构造原理和光路。
可以看出TEM的镜筒(Column)主要有三部分所构成:(1)照明系统,即电子枪;(2)成像系统,主要包括聚光镜、物镜、中间镜和投影镜;(3)观察系统。
通过TEM中的荧光屏,我们可以直接几乎瞬时观察到样品的图像或衍射花样。
我们可以一边观察,一边改变样品的位置及方向,从而找到我们感兴趣的区域和方向。
在得到所需图像后,可以利用相机照相的方法把图像记录下来。
现在新一代TEM也有的装备了数字记录系统,可以将图像直接记录到计算机中去,这样可以大大提高工作效率。
电子显微镜技术发展及其应用前景电子显微镜是通过电子束与样品相互作用,利用电磁透镜聚焦产生图像的一种高分辨率图像分析技术。
电子显微镜一般分为两种类型:透射电子显微镜(TEM)和扫描电子显微镜(SEM)。
随着电子显微镜技术的不断发展,其应用也越来越广泛,包括材料科学、生物学、纳米技术、化学等领域。
本文将从以下几个方面介绍电子显微镜技术的发展及其应用前景。
一、电子显微镜技术的发展1.早期电子显微镜技术早期的电子显微镜由于仪器质量和电子束强度限制等方面的原因,分辨率很低,所能观察的样品也很有限。
1950年代末期至1960年代初期,科学家们发明了透射电子显微镜和扫描电子显微镜。
TEM可以通过薄片样品获取高分辨率的图像,对微观结构、晶体结构、原子排列等信息进行研究。
但是,其样品制备难度较高,测量过程也比较复杂。
SEM则能够观察到外表面形貌和微结构等信息,而不需要对样品进行切片,具有显微操作简单、成图容易、分辨率适中等优点。
因此,SEM得到广泛的应用。
2.电子光学理论的发展通过电磁透镜使电子聚焦的原理是电子光学理论。
随着电子光学理论的发展,透镜数目增多、透镜质量提高、降低了畸变和散光的程度等新技术的出现,电子显微镜的分辨率得到了不断提高。
近年来,随着高分辨率成像技术的发展,电子显微镜的分辨率已达到亚埃级,可以实现原子级分辨。
而且,高通量电子显微镜的发明使得图像采集速度大大提高,开启了电子显微镜的新篇章。
二、电子显微镜的应用前景1.材料科学电子显微镜在材料科学中具有极其重要的作用。
通过TEM和SEM等技术,可以对材料结构和性质进行观察和分析。
例如,在材料摄影领域,低倍SEM可以对材料表面形貌和结构进行观察,高倍SEM可以对材料纹理和结构进行深入研究。
而TEM可以研究材料的微观结构和晶体结构,探究材料性质的基础。
EDS系统可以对样品的化学组成进行分析,较常见的流行的应用领域有微解剖学、材料科学和地质学等方面。
2.生命科学当然,电子显微镜在生物医学领域的应用也很广泛。
使用电子显微镜进行材料成分分析的技术要点在材料科学和工程领域,电子显微镜是一种重要且不可或缺的分析工具。
它可以提供高分辨率的图像和详细的成分信息,帮助科学家深入研究材料的微观结构和性质。
本文将介绍使用电子显微镜进行材料成分分析的技术要点。
1. 电子显微镜的基本原理电子显微镜的基本原理是利用电子束与材料相互作用而产生的信号来获取图像和成分信息。
其核心部件包括电子源、电子光学系统、样品台和探测器。
电子源产生高速电子束,经过电子光学系统的聚焦和缩聚,然后与待分析材料相互作用。
在与材料相互作用过程中,电子束与材料原子间的相互作用引发出多种信号,如二次电子发射、背散射电子、能量散布电子和X射线等。
2. 成分分析的方法在电子显微镜中,常用的材料成分分析方法包括能谱分析和电子能量损失谱分析。
能谱分析通过探测器测量材料中的X射线能谱,从而确定材料的元素组成。
而电子能量损失谱分析则基于材料中电子与原子核相互作用时产生的能量损失,通过分析能量损失谱来获取元素的化学态和晶格结构等信息。
3. 样品的制备和处理为了保证分析结果的准确性和可靠性,样品的制备和处理是不可忽视的环节。
对于不同类型的材料,需要根据具体要求进行样品制备。
对于固体材料,可以通过薄片切割、表面抛光、化学腐蚀等方法来制备样品。
而对于液态和气态材料,则需要采用适当的技术进行制备,如冷冻切片、冷冻干燥等。
4. 图像分析和元素定量在获取材料的高分辨率图像后,还需要对图像进行分析处理来获取更多的信息。
图像分析可以包括形态学分析、晶体学分析、晶粒尺寸测量等。
此外,还可以利用电子显微镜得到的能谱和能量损失谱数据进行元素定量分析。
通过参考标准物质的能谱和损失谱,可以计算出材料中各个元素的含量。
5. 环境条件的控制电子显微镜对环境条件有较高的要求,特别是在低温、低压和高真空下工作。
这是为了保证电子束的稳定性和材料与电子束的相互作用的准确性。
因此,在使用电子显微镜进行材料成分分析时,需要确保工作室的洁净度和温湿度的控制,以及电子束的准直性和稳定性。
电子显微镜在材料研究中的应用电子显微镜是一种高级的科技设备,它能够将物体的微观结构、表面形貌等细节信息表现出来。
它已经在材料科学研究中扮演了非常重要的角色,我们将在本文中探讨电子显微镜在材料研究中的应用。
第一部分:电子显微镜的基本原理在介绍电子显微镜在材料研究中的应用之前,我们来简单介绍一下电子显微镜的基本原理。
电子显微镜与光学显微镜类似,都是基于物体反射或透射的能力来观测物体的微观结构。
但是电子显微镜使用的是电子束而不是光束。
电子束比光束具有更短的波长,因此它能够提供更高分辨率的图像。
电子显微镜的核心是电子枪。
电子枪产生的电子束在通过一系列电磁透镜和准直器的作用下,能够聚焦于样品表面。
当电子束击打样品表面时,样品表面反射的电子将进入显微镜的探测器中。
通过对反射电子的检测和分析,我们能够获得关于材料微观结构的信息。
第二部分:电子显微镜在材料研究中的应用1. 表面形貌观测电子显微镜能够提供非常高分辨率的图像,因此在材料表面形貌的观测中得到广泛应用。
例如,当我们需要观察矿物结构、生物组织或者高分子材料的表面结构时,电子显微镜是非常有用的。
2. 纳米材料研究纳米材料是一种非常重要且广泛应用的材料。
然而,由于其尺寸过小,因此使用传统的分析方法很难对其进行研究。
电子显微镜提供了一种非常有力的手段来研究纳米材料。
通过球差校正电子显微镜技术,可以达到超过0.1纳米的分辨率。
3. 物质组成分析电子显微镜还可以帮助我们分析物质的组成。
通过电子衍射技术,我们可以获得样品的衍射图像。
这些衍射图像提供了材料晶体结构的信息,在结合X射线衍射实验等其他实验手段,我们能够对物质进行非常深入的组成分析。
4. 晶体形态分析在材料科学研究中,晶体的形态对其结构和性质具有重要影响。
电子显微镜可以帮助我们观测晶体的形态。
通过电子显微镜的准直器和显微镜屏幕等组件,我们能够观察晶体表面的结构和形态,并对其进行分析。
第三部分:结论电子显微镜是一种非常有用的工具,在材料科学研究中扮演着非常重要的角色。
扫描电子显微镜技术在纳米材料研究中的应用扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope, SEM)是一种能够观察物质微观结构的重要工具,被广泛应用于纳米材料研究领域。
本文就探讨一下扫描电子显微镜技术在纳米材料研究中的应用。
一、纳米材料的定义和特点纳米材料是指至少在一个尺度(一维、二维或三维)上具有几何尺度小于100纳米的结构的材料。
纳米材料具有与宏观物质不同的特点,包括巨大的比表面积、体积与表面特性之间的尺度效应、量子尺寸效应和表面能的影响等。
二、扫描电子显微镜的基本原理扫描电子显微镜是一种利用扫描电子束照射样品,在样品的表面上扫描图案而产生图像的显微镜。
它基于电磁透镜原理,在聚焦电子束的同时,控制其强度和束斑大小。
扫描电子束与样品相互作用时,会产生再散射电子,这些电子可被探测器捕获形成图像。
三、扫描电子显微镜在纳米材料研究中的应用1. 纳米材料形貌表征扫描电子显微镜可以对材料形貌进行高分辨率表征,分析材料表面的微观结构、晶 grain 或结晶面与基质之间的界面特性,探测材料的纳米结构等。
2. 纳米材料成分分析扫描电子显微镜可以通过分析激发的荧光光谱和散射光谱,获得材料的成分信息。
利用 X 射线荧光谱技术,可以对纳米材料的特定成分进行分析。
3. 纳米材料结晶学分析扫描电子显微镜可以提供高分辨率的结构成像,对纳米材料的不同晶相进行分辨。
4. 纳米材料电学性能分析利用扫描电子显微镜中的场发射机制,可以在超细导线、纳米颗粒等纳米材料上形成极细的电极,从而进行电学性质的分析。
5. 纳米材料表面分析扫描电子显微镜可以利用高分辨率成像能力和多种探测技术来表征和探测材料表面的物理和化学性质。
可通过扫描电子显微镜的扫描隧道显像技术,观察纳米材料表面的原子排列情况和拓扑特征,甚至观察到单个分子。
四、总结扫描电子显微镜技术在纳米材料研究中具有极其重要的应用价值,不仅可以对纳米材料的形貌、结晶学、成分以及电学性能等方面进行表征和分析,还可以通过对样品表面的原子排列情况和拓扑特征的观察,深入理解纳米材料的特殊性质和干涉机制,为纳米材料的设计制备和应用打下坚实的基础。
电子显微镜在材料微观结构分析中的应用近年来,材料科学领域取得了许多重要的突破,其中电子显微镜作为一种重要的工具,在材料微观结构分析中发挥着关键的作用。
本文将探讨电子显微镜的原理和应用,并举例说明其在材料科学研究中的重要性。
电子显微镜利用电子束取代了光束,能够通过对样品表面的扫描来获取高分辨率的图像。
与传统光学显微镜相比,电子显微镜具有更高的分辨率和放大倍数,能够观察到更细微的细节和结构。
这使得它成为研究材料微观结构的理想工具之一。
首先,电子显微镜在纳米材料研究中发挥了重要作用。
纳米材料具有特殊的物理和化学特性,因此对其进行研究和分析显得非常重要。
通过电子显微镜,研究人员可以观察到纳米颗粒的形状、尺寸、晶体结构等微观特征,从而了解其性质和行为。
例如,通过扫描透射电子显微镜(STEM)可以实现纳米颗粒的原子级分辨,这对于纳米材料的制备和改性具有重要的意义。
其次,电子显微镜在材料缺陷分析中也发挥着重要的作用。
材料中的缺陷对其性能和稳定性具有很大的影响,因此对缺陷的分析非常重要。
电子显微镜能够观察到材料中微观缺陷的形态和位置,并通过能谱技术可以分析出缺陷的化学成分。
这为材料工程师提供了宝贵的信息,帮助他们改进材料的设计和制备工艺。
此外,电子显微镜在材料界面和结晶行为的研究中也发挥着重要作用。
材料界面对于材料性能和功能具有重要影响,因此对其进行研究能够帮助我们深入理解材料的行为。
电子显微镜可以观察到材料界面的结构和形貌,通过分析其表面能量和化学成分,还可以研究材料间的相互作用。
此外,电子显微镜还可以观察到材料的结晶行为,帮助我们理解晶体生长的机理和动力学过程。
最后,电子显微镜在材料失效分析中的应用也非常重要。
当材料发生失效时,电子显微镜可以通过观察微观结构的变化来分析失效的原因。
通过观察材料中的微裂纹、晶界变形等细节,还可以研究失效的机理和过程,并为进一步改进材料的设计和制备提供参考。
综上所述,电子显微镜在材料微观结构分析中具有重要的应用价值。
材料电子显微镜分析技术及应用
1029201班
皮义群
1102900204
材料电子显微镜分析技术及应用
1. 透射电子显微镜(TEM )的应用
透射电子显微镜是一种具有高分辨率、高放大倍数的电子光
学仪器,被广泛应用于材料科学等研究领域透射电子显微镜以波
长极短的电子束作为光源,电子束经由聚光镜系统的电磁透镜将
其聚焦成一束近似平行的光线穿透样品,再经成像系统的电磁透
镜成像和放大,然后电子束透射到主镜筒最下方的荧光屏上形成
所观察的图像。
在材料科学研究领域,透射电子显微镜主要用于
材料微区的组织形貌观察,晶体缺陷分析和晶体结构测定。
选区电子衍射原理图:
如图,入射电子束穿过样品后,在物镜背焦面上形成衍射花
物镜
背焦面
选区光栏
中间镜
中间镜
物镜 样品
样,在物镜像平面上形成图像。
若在物镜像平面处加入一光阑,只允许A'B'范围内的电子通过,而挡住A'B'范围以外的电子,最终到达荧光屏形成衍射花样的电子仅来自于样品的AB区域
此光阑起到了限制和选择形成最终衍射花样的样品区域的作用利用选区电子衍射可在多晶体样品中获得单晶体衍射花样,可实现组织形貌观察和晶体结构分析的微区对应。
利用选区电子衍射花样可以进行特征平面的取向分析和测定晶体取向
明暗场成像是透射电子显微镜的最基本也是最常用的技术方法,其操作比较容易。
晶体薄膜样品明暗场的衬度(即不同区域的亮暗差别),是由于样品相应的不同部位结构或取向的差别导致衍射强度的差异而形成的,因此称其为衍射衬度,以衍射衬度机制为主形成的图像称为衍衬像。
如果只允许透射束通过物镜光阑成像,称其为明场像;如果只允许某支衍射束通过物镜光阑成像,则称为暗场像。
2.扫描电子显微镜(SEM)的应用
扫描电镜成像主要是利用样品表面的微区特征,如形貌、原子序数、化学成分、晶体结构或位向等差异,在电子束作用下产生不同强度的物理信号,使阴极射线管荧光屏上不同的区域呈现出不同的亮度,从而获得具有一定衬度的图像,常用的包括主要由二次电子)信号所形成的形貌衬度像和由背散射电子信号所形成的原子序数衬度像。
1.二次电子(SE)像—形貌衬度
二次电子是被入射电子轰击出的原子的核外电子,其主要特点是:
(1)能量小于 50eV ,在固体样品中的平均自由程只有10~100nm,在这样浅的表层里,入射电子与样品原子只发出有限次数的散射,因此基本上未向侧向扩散;
(2)二次电子的产额强烈依赖于入射束与试样表面法线间的夹角α , α大的面发射的二次电子多,反之则少。
根据上述特点,二次电子像主要是反映样品表面10 nm左右的形貌特征,像的衬度是形貌衬度,衬度的形成主要取于样品表面相对于入射电子束的倾角。
如果样品表面光滑平整(无形貌特征),则不形成衬度;而对于表面有一定形貌的样品,其形貌可看成由许多不同倾斜程度的面构成的凸尖、台阶、凹坑等细节组成,这些细节的不同部位发射的二次电子数不同,从而产生衬度。
二次电子像分辨率高、无明显阴影效应、场深大、立体感强,是扫描电镜的主要成像方式,特别适用于粗糙样品表面的形貌观察,在材料及生命科学等领域有着广泛的应用。
2.背散射电子(BSE)像—原子序数衬度
背散射电子是由样品反射出来的初次电子,其主要特点是:
(1)能量高,从50eV到接近入射电子的能量,穿透能力比二次电子强得多,可从样品中较深的区域逸出(微米级),在这样的
深度范围,入射电子已有相当宽的侧向扩展,因此在样品中产生的范围大;
(2)背散射电子发射系数η随原子序数Z的增大而增加,如下图所示。
由以上特点可以看出,背散射电子主要反映样品表面的成分特征,即样品平均原子序数Z大的部位产生较强的背散射电子信号,在荧光屏上形成较亮的区域;而平均原子序数较低的部位则产生较少的背散射电子,在荧光屏上形成较暗的区域,这样就形成原子序数衬度(成分衬度)。
与二次电子像相比,背散射像的分辨率要低,主要应用于样品表面不同成分分布情况的观察,比如有机无机混合物、合金等。
3.电子探针显微分析应用
点分析
将电子束固定入射到选定的样品分析点,波谱仪连续改变分光晶体的位置,连续接收不同波长的X射线,可获得分析点的X射线全谱;或用能谱仪直接采集分析点的X射线全谱根据谱图中特征X射线的波长(或能量),确定分析点含有的元素
种类点分析主要用于物相的元素组成分析,结合定量分析结果,为物相鉴定提供依据。
线分析
将电子束在样品表面沿选定的直线扫描,谱仪固定接收被测元素的特征X射线可获得该元素在样品这一直线上的浓度变化曲线,主要用于研究各类界处面的元素扩散。
面分析
将电子束在样品表面选定的区域内扫描,谱仪固定接收选定元素的特征X射线,可获得该元素在这一区域的的浓度分布图像,主要用于研究显微组织中元素的浓度分布,也可用于显示组成相的形貌和分布。