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硅片工艺现状与优化策略
硅片工艺是光伏产业中非常关键的一环，它直接影响到光伏电池的性能和成本。
目前，硅片工艺存在一些现状和挑战，需要通过优化策略来改进。
1. 制造成本高：目前硅片工艺的制造成本较高，主要是由于原材料成本和能耗较大。
优化策略可以通过提高生产效率、降低原材料成本、改进工艺流程等来降低制造成本。
2. 能源消耗大：硅片工艺需要大量的能源供应，包括电能和热能。
优化策略可以通过引入节能措施，如利用废热回收、优化设备结构等来降低能源消耗。
3. 纯度和均匀性不足：硅片工艺中的杂质和不均匀性会影响到光伏电池的效率和稳定性。
优化策略可以通过改进杂质去除工艺、提高材料纯度、改进晶体生长工艺等来提高硅片的纯度和均匀性。
4. 生产能力有限：目前硅片工艺生产能力相对较低，难以满足快速增长的光伏市场需求。
优化策略可以通过改进设备和工艺，提高生产效率和产能，以满足市场需求。
5. 环境影响大：硅片工艺中使用的一些化学物质和废水废气排放会对环境造成一定的负面影响。
优化策略可以通过引入环保措施，如使用环保材料、改进废物处理等来减少环境影响。
总之，硅片工艺的现状和挑战需要通过综合考虑材料、能源、
工艺等方面的优化策略来改进，以提高硅片工艺的效率、降低成本并减少对环境的影响。
2024年半导体硅片、外延片市场发展现状1. 前言半导体硅片和外延片是电子信息技术产业中的核心材料。
它们在集成电路、光电子器件等领域发挥着重要作用。
本文将从市场规模、应用领域、技术发展等角度，对半导体硅片和外延片的市场发展现状进行分析。
2. 市场规模半导体硅片和外延片市场的规模不断扩大。
随着物联网、人工智能、5G等技术的飞速发展，对高性能、高集成度的芯片需求不断增加，直接促进了半导体硅片和外延片的市场需求。
据市场研究机构预测，半导体硅片和外延片市场规模将在未来几年持续增长。
3. 应用领域半导体硅片和外延片的应用领域广泛。
首先是集成电路领域，半导体硅片作为芯片的基础材料，广泛应用于计算机、手机、消费电子等产品。
其次是光电子器件领域，外延片作为制备激光器、光电二极管等器件的材料，被广泛应用于通信、显示器、照明等领域。
4. 技术发展半导体硅片和外延片的技术不断创新。
目前，多晶硅和单晶硅是主要的硅片制备技术。
而外延片技术则经历了从传统的HPHT外延技术到现在的MOCVD外延技术的转变。
这些技术的不断发展，使半导体硅片和外延片能够提供更高的品质和更好的性能，满足市场对高性能芯片的需求。
5. 主要市场竞争者半导体硅片和外延片市场具有较高的竞争度。
目前，全球主要的市场竞争者包括三星、台积电、英特尔等知名半导体制造企业。
这些企业凭借自身的技术实力和生产规模，在市场上占据较大份额，并不断推动着半导体硅片和外延片市场的发展。
6. 发展趋势未来，半导体硅片和外延片市场将继续保持高速发展的势头。
一方面，随着新一代通信技术5G的商用化，对高频高速芯片的需求将进一步增加，推动半导体硅片和外延片市场的增长。
另一方面，人工智能、物联网等新兴技术的兴起，将带来对半导体硅片和外延片更高要求的应用场景，促进市场的进一步扩大。
7. 结论半导体硅片和外延片市场发展迅猛，市场规模不断扩大。
随着技术的不断创新和应用领域的拓展，市场前景广阔。
硅片制备工艺的发展趋势引言硅片是集成电路制造的基础材料，其制备工艺的发展对电子行业的发展具有重要意义。
本文将探讨硅片制备工艺的发展趋势，从材料选择、加工技术、设备创新以及智能化生产等方面进行分析和讨论。
一、材料选择硅片制备工艺的首要问题是选择合适的材料。
传统上，单晶硅是最常用的材料，但其生产成本高、能源消耗大等问题逐渐凸显。
因此，研究人员开始寻找新型材料替代单晶硅。
其中，多晶硅和非晶硅成为研究热点。
多晶硅具有较高的导电性能和较低的生产成本，在太阳能电池等领域得到广泛应用。
然而，多晶硅存在结构不均匀性和导电性能差异大等问题，限制了其在集成电路领域中应用。
非晶硅是一种非结晶态固体，在光伏领域具有巨大潜力。
相比于传统单晶或多晶硅，非晶硅具有更高的光吸收系数和更低的生产成本，但其导电性能有待提高。
未来，材料选择将更加多样化，例如石墨烯、碳化硅等材料的应用将成为硅片制备工艺发展的新方向。
二、加工技术加工技术是硅片制备工艺中另一个关键因素。
传统的制备工艺主要包括晶体生长、切割和抛光等步骤。
然而，随着电子行业对高性能和微型化要求的提升，传统加工技术已经难以满足需求。
微细加工技术是未来发展的方向之一。
通过光刻、蚀刻等微细加工技术可以实现亚微米级别的器件制造。
同时，在多晶硅和非晶硅等新型材料上开展微细加工研究也具有重要意义。
另外，3D打印技术也为硅片制备带来了新的可能性。
通过3D打印可以实现复杂结构器件的快速制造，并且可以根据需求进行定制化生产。
三、设备创新设备创新是推动硅片制备工艺发展的重要驱动力。
随着工艺的不断演进，制备设备也需要不断更新和改进。
首先，制备设备需要具备更高的自动化和智能化水平。
传统的制备设备大多需要人工干预和调节，效率低下且易出现人为失误。
引入智能化技术可以提高生产效率和产品质量。
其次，制备设备需要更高的生产能力和稳定性。
随着电子产品需求的增长，硅片制造需求也在不断增加。
因此，提高生产能力是硅片制造企业面临的重要挑战。
硅片切割技术的现状和发展趋势作者：李苏杰陈钊来源：《中国科技纵横》2012年第23期摘要:随着半导体行业的发展,硅片的切割成为半导体应用时的一个必要环节,本文简介多线硅片切割和太阳能级硅片切割的机理以及特点,介绍国内外硅片切割技术的研究现状,同时对这一领域的发展趋势作出展望。
关键词:半导体硅片切割太阳能级1、引言随着半导体技术的飞速发展,工业上或是实验室制造的半导体硅片不仅直径不断增大,而且对厚度有着越来越严格的要求。
制造直径大而且超级薄的硅片是工业生产上和实验室研究中追求的目标。
因此对于硅片的切割技术有着越来越严格的要求。
切片是硅片的制备过程中一道至关重要的程序,切割的好坏直接会影响到硅片的表面晶向以及粗糙程度等,而且对于前文以及的硅片的厚度有着至关重要的影响。
因而最终影响到硅片的品质以及成品率。
在这种对于硅片切割的高要求的驱动下,现今切割技术正在不断改进,很多新型的硅片切割技术陆续被提出并得到广泛应用,后文将提及的太阳能级硅片切割技术以及硅片多线切割技术就是应用很广的两种硅片切割重要手段。
2、硅片多线切割技术简介2.1 宏观机理从硅片多线切割设备的宏观机理简图看待切割的晶棒由玻璃板固定于不锈钢的工件上,然后放在切割机的相应部位上,导轮经过开槽工艺来对对精密线槽进行处理,钢线有序的缠绕在四个导轮上形成了上下两个互相平行的线网。
当发动机带动导轮开始旋转时,导轮也带动线网移动,线速一般可达15m/s左右。
当将砂浆均匀喷洒在线网上时,砂浆将随着切割线进入单晶棒,从而进行切割作业。
切割晶棒的最大直径将会受到导轴之间的空间大小的限制,一般的这种切割装置的适用于切割7英寸左右的晶棒。
2.2 微观机理硅片多线切割的微观机理看出碳化硅和砂浆的悬浮液填充于切割线和单晶表面,使得单晶棒向着切割线的方向移动,同时切割线也发生了弯曲,弯曲角度一般在5度以内。
在接触的不同区域,由钢线造成的压力是不相同的,在其正下方可以达到最大值。
1. 多线切割技术概述太阳能硅片目前常规的切割方法主要有：内圆切割和多线切割。
内圆切割：利用内圆刃口边切割硅锭。
但由于刀片高速旋转会产生轴向振动。
刀片与硅片的摩擦力增加，切割时会产生较大的残留切痕和微裂纹，切割结束时易出现硅片崩边甚至飞边的现象。
多线切割技术是目前世界上比较先进的加工技术，它的原理是通过金属丝的高速往复运动把磨料带入加工区域对工件进行研磨，将棒料或锭件一次同时切割为数百片甚至数千片薄片的一种新型切割加工方法。
多线切割技术与传统加工技术相比有效率高、产能高、精度高等优点，目前被广泛应用于单（多）晶硅、石英、水晶、陶瓷、人造宝石、磁性材料、化合物、氧化物等硬脆材料的切割加工。
晶体硅原料和切割成本在电池总成本中占据了最大的部分。
光伏电池生产商可以通过在切片过程中节约硅原料来降低成本。
降低截口损失可以达到这个效果。
截口损失主要和切割线直径有关，是切割过程本身所产生的原料损失。
切割线直径已经从原来的180-160μm 降低到了目前普遍使用的140-100μm 。
降低切割线直径可以在同样的硅块长度下切割出更多的硅片，提升机台产量。
让硅片变得更薄同样可以减少硅原料消耗。
光伏硅片的厚度从原来的330μm降低到现在普遍的180-220μm 范围内。
这个趋势还将继续，硅片厚度将变成100μm.减少硅片厚度带来的效益是惊人的，从330μm 到130μm，光伏电池制造商最多可以降低总体硅原料消耗量多达60%。
多线切割内圆切割切割原理磨料研碎金刚石沉积刀片表面结构切痕剥落酸碎损伤层厚度∕um 25～35 35～40切割效率30～50（单片）20～40硅片最小厚度∕um 250 350适合硅片尺寸200 300刀损度轻微严重2. 多线切割原理将开方处理后的单晶棒料通过玻璃板固定在不锈钢工件上,然后放置到切割机的相应区域。
导轮经过开槽工艺处理在轮体上刻有与所使用切割线直径相适合的精密线槽,钢线通过来回顺序缠绕在个导轮的线槽上而形成上下两个平行线网。
2023年金刚线切割硅片表面ttv原因和措施2023年金刚线切割硅片表面ttv原因和措施引言2023年，金刚线切割技术在硅片制造中被广泛应用。
然而，由于某种原因，硅片表面的总体变异（TTV）问题成为生产过程中的一个关键挑战。
本文将探讨2023年金刚线切割硅片表面TTV的原因，并提出有效的措施来解决该问题。
原因硅片表面TTV的增加主要有以下几个原因：1. 材料变异硅片作为一种晶体材料，在生产过程中存在微小的结构变化。
这些变化可能导致硅片具有不同的表面高度，进而导致TTV的增加。
2. 钻头磨损金刚线切割过程中使用的钻头会随着时间的推移而磨损。
磨损的钻头可能会引起切割不平均，导致TTV的不一致性增加。
3. 切割参数切割参数的选择对硅片表面TTV有着重要的影响。
不正确的切割参数可能导致切割不均匀或过于剧烈，进而导致TTV的增加。
针对硅片表面TTV的增加，可以采取以下措施来解决问题：1. 控制材料变异制造过程中可以通过严格控制硅片的晶体结构和生长条件来减少材料变异。
通过优化生产工艺，确保硅片具有更加一致的表面高度。
2. 定期更换钻头定期更换切割钻头可以保持切割过程的稳定性。
及时更换磨损的钻头可以减少切割不均匀性，从而降低硅片表面TTV的增加。
3. 优化切割参数通过对切割参数进行优化，可以减少切割的不均匀性和过于剧烈的切割。
合理选择切割速度、压力和切割深度等参数，以达到最佳的切割效果并降低TTV的增加。
结论在2023年，金刚线切割硅片表面TTV的增加成为一个主要的挑战。
通过控制材料变异，定期更换钻头和优化切割参数等措施，可以有效解决这一问题。
这些措施将有助于提高硅片制造的质量和稳定性，推动硅片应用的发展。
没问题，请继续阅读下面的文章。
2023年，金刚线切割技术在硅片制造中被广泛应用。
然而，由于某种原因，硅片表面的总体变异（TTV）问题成为生产过程中的一个关键挑战。
本文将探讨2023年金刚线切割硅片表面TTV的原因，并提出有效的措施来解决该问题。
硅片切割的发展趋势
1. 越来越细的切割
随着电子产品越来越小，硅片切割越来越细。
目前，硅片切割的线宽已经可以达到30微米以下，预计在未来几年会继续缩小，直至200nm以下。
2. 精密加工的要求提高
硅片切割加工要求更加精密，尤其是表面质量和切口形状的控制。
随着光纤通信、MEMS、集成电路等应用领域的广泛发展，对硅片切割的精度要求也越来越高。
3. 激光切割技术得到普及
激光切割技术在硅片切割中的应用越来越广泛。
相对于传统的钻孔切割和金刚石锯切割，激光切割技术有更高的精度和效率，并且切割效果更加光滑。
4. 切割速度提升
硅片切割速度的提升是未来的趋势之一。
为了满足大规模生产的需求，硅片切割机将更加注重提高切割速度和效率，从而降低生产成本。
5. 自动化程度不断提高
自动化程度的提高可以提高硅片切割的效率和精度，并减少工人的劳动强度。
未来的硅片切割机将更多采用自动化技术，包括自动装载硅片、自动清洗、自动对位等技术。
硅产业发展现状和趋势研究报告硅产业是指以硅材料为基础的产业，包括硅材料的生产、加工和应用等环节。
硅材料主要分为单晶硅、多晶硅和非晶硅等类型，是现代电子信息产业、太阳能产业和光电子产业的基础材料之一、本文将对硅产业的发展现状和趋势进行研究。
一、硅产业发展现状：1.生产环节：硅材料的生产主要集中在少数发达国家和地区，如美国、日本、韩国和中国等。
中国是全球硅材料生产第一大国，年产量占全球的70%以上。
中国的单晶硅生产技术达到国际先进水平，但多晶硅和非晶硅的生产技术还有待提高。
2.加工环节：硅材料加工主要包括切割、打磨和组装等工序。
目前，硅材料加工技术已经相对成熟，但在高速切割和薄片处理等方面仍有一定的技术难题。
3.应用环节：硅材料的应用非常广泛，主要包括电子信息产业、太阳能产业和光电子产业等。
在电子信息产业中，硅材料被广泛应用于半导体芯片、集成电路和显示屏等产品中。
在太阳能产业中，硅材料则是光伏电池的核心材料。
在光电子产业中，硅材料主要用于光学器件和光纤通信等领域。
二、硅产业发展趋势：1.技术创新：随着科技的不断进步，硅产业将会面临技术创新的挑战和机遇。
在硅材料生产环节，需要进一步提高多晶硅和非晶硅的生产技术，降低制造成本。
在硅材料加工环节，需要解决高速切割和薄片处理等技术难题，提高产品质量和加工效率。
在硅材料应用环节，需要加强光电子产业和新能源产业的融合应用，推动硅材料在光伏电池、光学器件和光纤通信等领域的创新应用。
2.资源优化：硅材料的生产需要大量的石英矿石和电力资源。
随着石英矿石和电力资源的稀缺性增加，硅产业将面临资源优化的压力。
因此，需要进一步提高硅材料的资源利用效率，降低生产过程中的能耗和排放。
3.绿色发展：硅产业对环境的影响较大，主要表现为能源消耗和废物排放等方面。
为了实现可持续发展，硅产业需要加大绿色技术和绿色制造的研发力度，减少能源消耗和废物排放，并积极推行循环经济模式，实现资源的可再生利用。
光伏硅片行业概述一、行业概述光伏硅片行业是随着太阳能光伏发电技术的快速发展而兴起的一个新兴产业。
该行业主要涉及硅材料的加工和制造，是光伏产业链的重要环节。
光伏硅片是将硅材料通过切片加工制成，用于制造太阳能电池的核心材料，具有高效、环保、可持续等优点。
二、行业规模随着全球对可再生能源需求的不断增加，光伏硅片行业的规模不断扩大。
根据市场研究机构的数据，全球光伏硅片市场规模在逐年增长，市场份额主要集中在中国、美国、日本等国家。
同时，随着光伏技术的不断进步和成本的不断降低，光伏硅片的应用领域也在不断扩展，从最初的太阳能电站建设，逐步拓展到汽车、建筑、航空航天等多个领域。
三、技术发展光伏硅片技术经过多年的发展，已经取得了显著的进步。
在切片技术方面，随着金刚石线切割技术的普及和应用，硅片表面的粗糙度得到了有效控制，提高了硅片的加工效率和成品率。
在硅片材质方面，高纯度、低衰减的硅片材料得到了广泛应用，提高了太阳能电池的转换效率和寿命。
此外，光伏硅片行业的生产设备和工艺也在不断升级和改进，进一步推动了行业的快速发展。
四、市场竞争格局光伏硅片行业的市场竞争激烈，主要集中在中国、美国、日本等几个国家。
在中国，光伏硅片行业经过多年的发展，已经形成了以隆基股份、中环股份、晶澳科技等企业为主导的市场格局。
这些企业在技术研发、生产规模、品牌建设等方面具有较强的实力和优势。
在美国和日本，光伏硅片行业也拥有一些知名企业，如SunPower、First Solar等。
这些企业在技术创新、品质控制和市场营销等方面表现突出，具有较强的竞争力和影响力。
五、未来发展趋势随着全球能源结构的转型和可再生能源的普及，光伏硅片行业将继续保持快速增长的态势。
未来几年，光伏硅片行业的发展将主要集中在以下几个方面：1.技术创新：光伏硅片行业将继续加大技术研发和创新投入，以提高硅片的转换效率和降低成本。
金刚石线切割技术、氮化镓材料等新技术将得到更广泛的应用，推动光伏产业的技术进步和升级。
太阳能电池片切割加工太阳能电池板作为可再生能源的代表，在当今发展的环境保护意识日益提升的现状下，成为了热门的能源之一。
而太阳能电池片切割加工作为太阳能电池板的关键环节，也备受各个领域的关注。
1. 切割加工的原理太阳能电池板主要由硅制成，而硅是一种半导体材料，具有特殊的电导性能和光学特性，因此需要特殊的切割加工来制作成电池片。
而太阳能电池片切割加工主要采用的技术是机器切割和激光切割。
机器切割主要采用磨料切割和金刚石切割两种方式。
其中磨料切割是通过一定的磨料在高速旋转的方式下切割硅片，而金刚石切割则是通过金刚石做的切割刀片切割硅片。
而激光切割主要通过高能量激光束在硅片上进行切割，可以实现高质量、高效率的切割。
2. 切割加工的优势切割加工技术的发展，使得太阳能电池板制作过程变得更加高效、精准，而且还具有以下优势：(1) 制作速度快：机器切割和激光切割技术都可以实现高速切割，大大缩短了制作周期；(2) 制作精度高：机器切割和激光切割技术都具有高精度，可以实现更精准的切割，提高了电池效率；(3) 节约成本：机器切割和激光切割技术的自动化程度高，可以实现工人的省力制作，同时可以减少废料的产生，节省了成本。
3. 切割加工中需要注意的事项切割加工虽然具有很多优势，但是在切割的过程中也需要注意一些事项：(1) 合理选用切割工具：不同硅片需要不同的切割工具，因此需要根据实际情况进行选择；(2) 切割速度不能过快：切割速度过快容易导致硅片裂开或者出现其他问题，需要适当区分速度；(3) 切割精度要求高：太阳能电池片的制作需要切割精度相当高，因此在切割的过程中要特别注意。
4. 切割加工未来发展趋势随着国内外太阳能电池板制作行业的发展，太阳能电池片切割加工技术也在不断的创新和提高。
未来的发展趋势主要是：(1) 自动化生产：由于机器切割和激光切割具有自动化程度高的特点，未来的生产趋势也会向着自动化的方向发展；(2) 应用更广泛的材料：目前太阳能电池板的主要材料为硅片，但是未来随着新材料的开发和应用，太阳能电池板的切割加工技术也会相应的进行创新和提高。
光伏硅片制备技术光伏硅片是太阳能电池的核心组件，其制备技术在太阳能产业中具有至关重要的地位。
本文将从硅片的制备工艺、工艺参数控制、设备选型等方面，详细介绍光伏硅片制备技术的发展现状和未来趋势。
一、硅片制备工艺硅片制备工艺主要包括多晶硅制备、单晶硅制备和晶圆加工三个环节。
其中，多晶硅制备是光伏硅片制备的关键环节之一。
1、多晶硅制备多晶硅制备采用的是电解法，具体步骤如下：（1）原料制备：将硅矿石经过粉碎、筛分等工序，制成粉末状的硅粉；（2）精炼：将硅粉与氢气混合后，在高温高压条件下，使其发生化学反应，生成氯化硅。
然后将氯化硅蒸汽输送到电解槽中，经过电解得到多晶硅；（3）熔炼：将多晶硅加热至高温状态，使其熔化成为硅锭。
2、单晶硅制备单晶硅制备采用的是Czochralski法，具体步骤如下：（1）原料制备：将多晶硅锭经过切割、打磨等工序，制成直径为200mm的单晶硅棒；（2）熔炼：将单晶硅棒放入熔融的硅熔体中，使其慢慢旋转并向上拉出，从而形成单晶硅棒；（3）切割：将单晶硅棒切成薄片，即为硅片。
3、晶圆加工晶圆加工是将硅片加工成为光伏电池的关键环节之一。
主要包括以下几个步骤：（1）清洗：将硅片放入清洗槽中，用酸碱溶液清洗，去除表面杂质；（2）切割：将硅片切割成为合适大小的晶圆；（3）扩散：将硅片放入扩散炉中，经过高温处理后，将掺杂物（如磷、硼等）扩散到硅片表面，形成p型和n型硅片；（4）蒸镀：将硅片放入真空蒸镀机中，加热后，将金属（如铝、银等）蒸镀到硅片表面，形成电极；（5）刻蚀：将硅片放入刻蚀槽中，用酸溶液刻蚀硅片表面，形成电池结构。
二、工艺参数控制硅片制备过程中，各个环节的工艺参数控制对于硅片质量和产量的影响非常大。
下面以多晶硅制备为例，介绍一些关键参数的控制方法。
1、氯化硅浓度氯化硅浓度是电解法制备多晶硅的重要参数之一。
在氯化硅浓度过高的情况下，会导致电流密度过大，从而使多晶硅产生结构缺陷；而在氯化硅浓度过低的情况下，会导致电流密度过小，从而影响多晶硅的生长速度。
硅片切割技术的现状和发展趋势
中国新能源网| 2008-7-30 9:31:00 | 新能源论坛| 我要供稿
特别推荐：《生物质能源技术国际会议论文集》征订
摘要：随着全球各国绿色能源的推广和近年来半导体产业的超常规发展，硅片市场的供需已极度不平衡，切割加工能力的落后和产能的严重不足已构成了产业链的瓶颈。
作为硅片(晶圆) 上游生产的关键技术，近年来崛起的新型硅片多丝切割技术具有切割表面质量高、切割效率高和可切割大尺寸材料、方便后续加工等特点。
由于驱动研磨液的切割丝在加工中起重要作用，与刀损和硅片产出率密切关联，故对细丝多丝切割的研究具有迫切与深远的意义。
关键词：晶圆，多丝切割，细丝，产出率，切削量
0 引言：
硅片切割是电子工业主要原材料一硅片(晶圆)生产的上游关键技术，切割的质量与规模直接影响到整个产业链的后续生产。
在电子工业中，对硅片的需求主要表现在太阳能光伏发电和集成电路等半导体产业上。
光伏发电是利用半导体材料光生伏打效应原理直接将太阳辐射能转换为电能的技术。
资料显示，太阳能每秒钟到达地面的能量高达80万千瓦，假如把地球表面0.1%的太阳能转为电能，转变率5%，每年发电量可达5.6×1012千瓦小时，相当于目前世界上能耗的40倍。
随着全球矿物资源的迅速消耗，人们环保意识的不断增强，充分利用太阳的绿色能源被高度重视（图1.1为近年来全球太阳能电池产量），发展势头及其迅猛。
晶体硅片是制作光伏太阳能电池的主要材料，每生产1MW的太阳能电池组件需要17
吨左右的原料。
Clean Edge 预计，全球太阳能发电市场的规模将从2005年的110亿美元猛进增到2015年的510亿美元，以芯片著名的“硅谷”将被“太阳谷”所取代。
显然太阳能产业的迅猛发展需要更多的硅原料及切割设备来支撑。
除太阳能电池外，硅片的巨大需求同样表现在集成电路等半导体产业上。
硅占整个半导体材料的95%以上，单晶硅片是半导体器件生产的关键性基材，是当之无愧的电子产业的基础支撑材料。
2005年我国集成电路产业消耗的电子级多晶硅约1000吨，太阳能电池多晶硅约1400吨；2006年，我国集成电路产业消耗的电子级多晶硅约1200吨，太阳能电池多晶硅约3640吨。
预计到2010年，电子级多晶硅年需求量将达到约2000吨，光伏级多晶硅年需求量将达到约4200吨。
随着全球各国能源结构的调整，绿色能源的推广和近年来半导体产业的超常规发展，硅片市场的供需已极度不平衡。
硅原料的供不应求，切割加工能力的落后和严重不足构成了产业链的瓶颈，严重阻碍了我国太阳能和半导体产业的发展。
因此，未来的3至5年间，将是中国晶硅产业快速发展的黄金时期。
1硅片切割的常用方法：
硅片加工工艺流程一般经过晶体生长、切断、外径滚磨、平边、切片、倒角、研磨、腐蚀、抛光、清洗、包装等阶段。
近年来光伏发电和半导体行业的迅速发展对硅片的加工提出了更高的要求(图1.2)：一方面为了降低制造成本，硅片趋向大直径化。
另一方面要求硅片有极高的平面度精度和极小的表面粗糙度。
所有这些要求极大的提高了硅片的加工难度，由于硅材料具有脆、硬等特点，直径增大造成加工中的翘曲变形，加工精度不易保证。
厚度增大、芯片厚度减薄造成了材料磨削量大、效率下降等。
硅片切片作为硅片加工工艺流程的关键工序，其加工效率和加工质量直接关系到整个硅片生产的全局。
对于切片工艺技术的原则要求是：①切割精度高、表面平行度高、翘曲度和厚度公差小。
②断面完整性好，消除拉丝、刀痕和微裂纹。
③提高成品率，缩小刀(钢丝)切缝，降低原材料损耗。
④提高切割速度，实现自动化切割。
目前，硅片切片较多采用内圆切割和自由磨粒的多丝切割(固定磨粒线锯实质上是一种用线性刀具替代环型刀具的内圆切割)。
内圆切割是传统的加工方法（图1.3a），材料的利用率仅为40％～50％左右；同时，由于结构限制，内圆切割无法加工200mm以上的大中直径硅片。
（a）为内圆切割（b）为多丝切割
图1.3 多丝切割与内圆切割原理示意图
多丝切割技术是近年来崛起的一项新型硅片切割技术，它通过金属丝带动碳化硅研磨料进行研磨加工来切割硅片（图1.3b）。
和传统的内圆切割相比，多丝切割具有切割效率高、材料损耗小、成本降低(日进NWS6X2型6” 多丝切割加工07年较内圆切割每片省15元)、硅片表面质量高、可切割大尺寸材料、方便后续加工等特点(见表1.1)。
特点多丝切割内圆切割
切割方法研磨磨削
硅片表面特征丝痕断裂&碎片
破坏深度(um) 5--15 20--30
生产效率（cm2/hr）110--200 10--30
每次加工硅片数200--400 1
刀损(um) 180--210 300--500
硅片最小厚度(um) 200 350
可加工硅碇直径(mm) >300 Max 200
表1.1：内圆切割与多丝切割的对比
2 切割技术的发展趋势：
作为一种先进的切割技术，多丝切割已经逐渐取代传统的内圆切割成为目前硅片切片加工的主要切割方式，目前，瑞士HCT公司，Meyert Burger公司，日本Takatori（高鸟）等少数著名制造厂商先后掌握了该项关键技术，并推出了相应的多丝切割机床产品，尤其是大尺寸的切割设备。
图1.4：线锯切割断面的几何参数
在上游原材料加工产能受限的今天，一方面由于多丝切割的刀损（图1.4）在材料加工损耗中占有较大的比例（有时可达到50%以上），且材料的切屑粒微小、共存于研磨液中，造成切割效率下降。
另一方面由于将研磨粒与其分离成本较高，实施较难。
故减小晶片的厚度（提高单位材料的产出率），减小切割的刀损（提高原材料的利用率），提高磨粒的利用率（降低加工成本），已成为迫切的要求。
EPIA国际委员会统计分析后给出的预言指出，未来的15年内，晶片的厚度和切割丝直径将减少一半（表1.2）。
表1.2：EPIA国际委员会统计分析后给出的预言
如以目前用的切割丝直径d分析（设刀损为2*d，硅碇总长度为L，晶圆厚度为H），可得以下计算公式：
1硅片产出率：
d mm钢丝：切割晶片数=
mm钢丝：切割晶片数=
单一硅锭的产出率变化：
2硅片切削量：λ
dmm钢丝：切削量=切割晶片数
mm钢丝：切削量=切割晶片数
单一硅锭的切削量变化：
3切割钢丝张力：λ
dmm钢丝：钢丝截面积
mm钢丝：钢丝截面积
由于钢丝张力比=钢丝截面积比；
张力变化：
得到结论：钢丝的张力-75%
以NISSIN的NWS6×2型多丝切割机为例，可同时并列一次切割2支6”（Φ152mm x 230mm）的硅晶棒或1支12” 的硅晶棒，采用0.16mm的钢丝，实际加工测得的丝损约为0.02mm，切割晶片厚度为0.2mm共900余片（或450余片）。
如将钢丝由0.16mm 减至0.08mm （刀损设定为直径*2），根据上述公式，可得如下结果：
单一硅锭的产出率变化：
单一硅锭的切削量变化：
张力变化：
由此可见，当切割硅碇的钢丝直径减半后（由原来的Φ0.16mm 减至Φ0.08mm），单一硅碇的硅片产量将提高44.4%，切削量将下降－27.8%，切割丝控制张力按要求下降－75％，单位硅材料的损耗将大幅下降，晶圆的产出率大幅提高。
因此细丝线锯是众多学者努力的方向，对细丝多丝切割的研究具有迫切与深远的意义。
3 结论：
硅片切割是电子工业主要原材料一硅片(晶圆)生产的上游关键技术，切割的质量与规模直接影响到整个产业链的后续生产。
在电子工业中，对硅片的需求主要表现在太阳能光伏发电和集成电路等半导体产业上。
随着全球各国能源结构的调整，绿色能源的推广和近年来半导体产业的超常规发展，硅片市场的供需已极度不平衡。
多丝切割作为一种先进的切割技术，目前已逐渐取代传统的内圆切割成为硅片切片加工的主要切割方式。
由于驱动研磨液的切割丝在加工中起重要作用，与刀损和硅片产出率密切关联，减小切割丝的直径将使硅材料的损耗大幅下降，使单位材料晶圆的产出率大幅提高。
故对细丝多丝切割的研究具有迫切与深远的意义。
(上海大学机电工程与自动化学院程志华, 李秀雯，裴仁清)。
