下载文档原格式
磁控溅射的原理及应用1. 什么是磁控溅射磁控溅射是一种常用的薄膜沉积技术，通过利用磁场将材料原子或离子从靶材表面释放出来，形成一个薄膜层，沉积在基底表面上的一种方法。
这种方法可以在真空环境中进行，可以用于各种材料包括金属、合金、氧化物等。
2. 磁控溅射的原理磁控溅射的原理基于带电粒子在磁场中的运动规律。
溅射系统通常由一个靶材和一个基底组成，它们被放置在真空室中。
磁控溅射的过程包括以下几个步骤：1.靶材表面被离子轰击，其中的原子或离子被释放出来。
2.磁场控制离子在真空室中的运动轨迹。
3.基底表面上的原子或离子吸附并形成一个薄膜层。
这个过程中，磁场是十分重要的。
磁场会引导离子沿着特定的轨迹运动，使得离子沉积在基底的特定位置上。
磁场还可以控制离子的能量和方向，从而影响薄膜的性质和微结构。
3. 磁控溅射的应用磁控溅射是一种多功能的薄膜沉积技术，广泛应用于各种领域。
3.1 表面涂层磁控溅射可以用于向基底表面沉积各种薄膜层。
这些薄膜层可以具有不同的功能，如防腐、耐磨、导电等。
它们可以用于改善材料的性能和外观。
3.2 光学薄膜磁控溅射可以制备高质量的光学薄膜。
这些薄膜可以应用于光学器件，如镜片、滤光片、反射镜等。
因为磁控溅射是在真空环境中进行的，所以这些光学薄膜可以具有良好的光学性能。
3.3 金属薄膜磁控溅射可以制备金属薄膜。
这些薄膜可以具有高导电性和优良的机械性能，可用于电子器件、导电材料等领域。
3.4 磁性材料磁控溅射还可以制备磁性材料薄膜。
这些薄膜可以具有特定的磁性性能，如高矫顽力、高饱和磁感应强度等。
它们可以应用于磁存储器件、传感器等领域。
4. 总结磁控溅射是一种重要的薄膜沉积技术，通过利用磁场控制离子运动和沉积位置，可以制备各种功能薄膜。
它在表面涂层、光学薄膜、金属薄膜和磁性材料等领域有着广泛的应用。
磁控溅射技术的发展，为材料科学和工程领域提供了新的可能性，为各种应用提供了高性能的薄膜材料。
磁控溅射技术的原理及应用1. 磁控溅射技术简介磁控溅射技术是一种常用的薄膜沉积技术，通过将金属靶材溅射生成粒子或原子，在表面形成均匀且致密的薄膜覆盖层。
磁控溅射技术具有高效、环保、可控厚度等特点，广泛应用于材料科学、半导体制造、光学镀膜等领域。
2. 磁控溅射技术的原理磁控溅射技术基于电离溅射原理，通过磁场控制靶材离子的行为，使其垂直击打到靶材表面，从而产生溅射现象。
主要的原理包括以下几个方面：•靶材电离：在磁控溅射设备中，将靶材通电，使其产生离子。
电离的方式包括直流电离、射频电离等，通过电离可使靶材中的金属原子或粒子脱离束缚并形成等离子体。
•磁场控制：通过磁铁或电磁铁产生磁场，使得等离子体中的离子在磁场的作用下呈现螺旋轨道运动。
磁场对离子运动的控制可改变其飞行路径，使其垂直击打到靶材表面，并增加溅射效率。
•沉积膜形成：靶材表面被离子击打后，产生大量的金属原子或粒子，它们在靶材表面扩散并沉积形成均匀的薄膜。
溅射过程中的离子能量、离子束流密度等参数的调控可以影响薄膜的组成、结构和性能。
3. 磁控溅射技术的应用磁控溅射技术具有广泛的应用领域和潜力，主要包括以下几个方面：3.1 材料科学•薄膜制备：磁控溅射技术可以制备各种材料的薄膜，如金属薄膜、氧化物薄膜、氮化物薄膜等。
这些薄膜具有良好的致密性和附着力，在材料科学领域中起着重要作用。
•合金制备：通过磁控溅射技术，可以将两种或多种材料溅射在一起，制备出各种复合材料或合金。
这些合金具有独特的力学、电磁等性能，广泛应用于航空航天、汽车制造等领域。
3.2 半导体制造•集成电路制备：磁控溅射技术可以制备半导体材料的薄膜，作为集成电路的关键材料。
薄膜的制备过程中可以调控其成分和结构，从而改变其电学、光学等性能，满足集成电路的需求。
•光罩制备：在半导体工艺中，磁控溅射技术还可以制备光罩。
光罩是半导体制造中的重要工艺设备，用于制作集成电路的图案，对半导体工艺的精度和稳定性要求非常高。
磁控溅射设备的部件构成及整体结构下载提示：该文档是本店铺精心编制而成的，希望大家下载后，能够帮助大家解决实际问题。
文档下载后可定制修改，请根据实际需要进行调整和使用，谢谢！本店铺为大家提供各种类型的实用资料，如教育随笔、日记赏析、句子摘抄、古诗大全、经典美文、话题作文、工作总结、词语解析、文案摘录、其他资料等等，想了解不同资料格式和写法，敬请关注！Download tips: This document is carefully compiled by this editor. I hope that after you download it, it can help you solve practical problems. The document can be customized and modified after downloading, please adjust and use it according to actual needs, thank you! In addition, this shop provides you with various types of practical materials, such as educational essays, diary appreciation, sentence excerpts, ancient poems, classic articles, topic composition, work summary, word parsing, copy excerpts, other materials and so on, want to know different data formats and writing methods, please pay attention!1. 引言磁控溅射技术是一种常用于薄膜沉积的方法，广泛应用于微电子、光学涂层和材料表面改性等领域。
射频磁控溅射原理射频磁控溅射是一种常用的薄膜沉积技术，广泛应用于半导体、光伏和平板显示等领域。
其原理是利用射频场和磁控场来激发靶材并产生离子化的原子或分子，然后将其沉积到基底上形成薄膜。
在这个过程中，射频场和磁控场的作用起着至关重要的作用。
首先，让我们来看一下射频场。
射频场是一种高频交变电场，通过与靶材的相互作用，可以产生离子化的原子或分子。
通常，射频场的频率在几MHz到几十MHz之间，这样的高频交变电场可以将靶材中的原子或分子激发出来，从而形成离子化的物质。
其次，我们再来看一下磁场的作用。
磁场可以用来控制离子的方向和速度，从而使得沉积在基底上的薄膜具有更加均匀的性质。
磁场通常是通过在靶材周围设置一定的磁场来实现的，这样可以将离子聚集在一起，并控制它们与基底的碰撞过程。
在射频磁控溅射过程中，首先在真空室中，放置含有被溅射材料的靶材，通过真空系统将真空室抽成高真空状态。
然后，通过外部加入射频电场和磁场，激发靶材表面的原子或分子，使其离子化。
随后，这些离子在磁场的作用下，被引导到基底上，形成均匀的薄膜。
射频磁控溅射技术有很多优点。
首先，它可以在较低的温度下进行沉积，这对于一些温度敏感的基底是非常重要的。
其次，射频磁控溅射过程中的原子或分子离子化程度高，可以形成致密的薄膜，而且薄膜的结合强度也很高。
此外，由于离子在磁场的作用下可以被定向引导，因此可以形成均匀的薄膜。
然而，射频磁控溅射技术也存在一些问题。
首先，射频场和磁场的调控需要较好的技术水平，否则可能无法形成均匀的薄膜。
其次，由于射频场和磁场可能对其他设备产生干扰，因此对设备的要求也较高。
另外，一些材料并不适合通过射频磁控溅射来进行沉积，这需要进行充分的材料选择。
总的来说，射频磁控溅射技术是一种非常重要的薄膜沉积技术，具有广泛的应用前景。
通过合理的射频场和磁场的设计调控，可以形成致密、均匀的薄膜，满足不同领域对于薄膜材料的要求。
未来，随着材料科学和工艺技术的不断发展，射频磁控溅射技术将会得到更加广泛的应用。
磁控溅射工作原理磁控溅射是一种常用的薄膜沉积技术，广泛应用于半导体、光学薄膜、导电膜、装饰膜等领域。
在磁控溅射过程中，通过磁场控制等离子体的运动，使靶材表面的原子或分子被溅射出来，沉积在基板上形成薄膜。
下面将详细介绍磁控溅射的工作原理。
首先，磁控溅射系统主要由真空室、靶材、基板、磁控装置和电源等部分组成。
在工作时，首先将真空室抽成高真空状态，排除其中的气体，以确保溅射过程在无氧或低氧环境中进行。
然后，在真空室中加入惰性气体，如氩气，作为溅射过程中的靶材表面的溅射气体。
其次，通过外加电场和磁场，使靶材表面产生等离子体。
在磁控溅射系统中，通常采用环形磁场，通过磁控装置在靶材表面形成较为均匀的等离子体。
这些等离子体受到磁场的作用，沿着磁力线运动，撞击靶材表面，将靶材表面的原子或分子溅射出来。
随后，溅射出的原子或分子沉积在基板表面，形成薄膜。
在溅射过程中，可以通过调节靶材和基板的相对位置、溅射功率、溅射时间等参数，控制薄膜的厚度、成分和结构。
同时，磁控溅射系统还可以采用多靶材溅射、旋转靶材和旋转基板等技术，实现多层薄膜的沉积和复合薄膜的制备。
最后，磁控溅射工艺具有高沉积速率、较好的薄膜致密性和成膜均匀性等优点，广泛应用于半导体器件、光学镀膜、导电膜、装饰膜等领域。
同时，磁控溅射系统还可以与其他薄膜沉积技术相结合，如离子束溅射、化学气相沉积等，实现多种功能薄膜的制备。
总的来说，磁控溅射工作原理是通过磁场控制等离子体的运动，使靶材表面的原子或分子被溅射出来，沉积在基板上形成薄膜。
通过精确控制工艺参数，可以实现对薄膜厚度、成分和结构的调控，满足不同领域对薄膜材料的需求。
这种工艺在材料科学和工程领域具有重要的应用前景。
磁控溅射原理磁控溅射是一种常用的薄膜沉积技术，广泛应用于半导体、光电子、信息存储、显示器件等领域。
磁控溅射原理是指在磁场作用下，通过离子轰击靶材使其表面原子或分子脱离并沉积在基底表面形成薄膜的过程。
本文将从磁控溅射的基本原理、设备结构和工艺特点等方面进行介绍。
首先，磁控溅射的基本原理是利用离子轰击靶材，使靶材表面的原子或分子脱离，并沉积在基底表面形成薄膜。
在磁控溅射系统中，通常采用惰性气体（如氩气）作为溅射气体，通过电离产生的离子轰击靶材，使靶材表面的原子或分子脱离。
同时，通过外加磁场的作用，使得离子在靶材表面形成螺旋状轨迹，增加了沉积薄膜的均匀性和致密性。
其次，磁控溅射设备通常由真空室、靶材、基底架、溅射源、磁控装置和辅助加热装置等组成。
真空室用于提供高真空环境，保证溅射过程中的稳定性和纯净度；靶材是溅射的原料，可以是金属、合金、化合物等材料；基底架用于放置基底材料，通常需要加热以提高薄膜的结晶度和致密性；溅射源是产生离子的地方，通常采用直流或射频电源产生电弧，将靶材表面的原子或分子脱离；磁控装置用于产生磁场，控制离子轨迹，增加薄膜的均匀性和致密性；辅助加热装置用于提高基底的温度，促进薄膜的结晶生长。
最后，磁控溅射具有工艺简单、成本低、薄膜均匀致密、沉积速率快等特点，广泛应用于半导体器件、光学镀膜、信息存储介质、显示器件等领域。
在半导体工业中，磁控溅射被用于制备金属薄膜、氧化物薄膜、氮化物薄膜等，用于制备电极、金属层、光学膜等功能材料。
在光学镀膜领域，磁控溅射被用于制备反射膜、透射膜、滤光膜等，用于改善光学器件的性能。
在信息存储介质领域，磁控溅射被用于制备磁记录介质膜，用于制备磁盘、磁带等存储介质。
在显示器件领域，磁控溅射被用于制备透明导电膜、光学膜、阻挡层等，用于制备液晶显示器、有机发光二极管等显示器件。
总之，磁控溅射作为一种重要的薄膜沉积技术，具有广泛的应用前景和重要的科学研究意义。
随着材料科学和工艺技术的不断发展，磁控溅射技术将在更多领域发挥重要作用，推动相关领域的发展和进步。
磁控溅射法原理
磁控溅射法是一种常用的薄膜制备技术，它通过利用磁场控制离子在真空中运动来实现材料离子化和沉积。
磁控溅射法的基本原理如下：首先，通过加热材料将其转化为蒸气或离子状态。
随后，通过在真空室中施加磁场，使得磁场力线和离子运动方向垂直，从而形成所谓的“磁镜效应”。
这种磁镜效应可以阻止离子撞击到溅射靶材表面，从而使溅射源中的原子以准平行的方式射出。
在磁控溅射过程中，靶材的离子化和溅射是基于靶材与离子的相互作用力。
当离子击中靶材表面时，一部分离子将被散射回真空室中，形成所谓的“背景气体”。
而另一部分离子则进一步穿透靶材表面，将表面的原子或分子击出，并沉积在底板上形成薄膜。
这种沉积过程可以得到均匀、致密、具有良好结晶性的薄膜。
磁控溅射法有许多优点，例如可以控制薄膜的成分、结构和性能；可以在各种材料上制备薄膜；具有较高的沉积速率和较好的沉积效率等。
因此，磁控溅射法被广泛应用于各种领域，如光学、电子、材料科学等。
磁控溅射仪原理磁控溅射仪是一种常用的薄膜制备设备，其原理是利用磁场控制电子轰击靶材，使靶材表面的原子或分子被剥离并沉积在基底上形成薄膜。
下面将详细介绍磁控溅射仪的原理。
1. 靶材磁控溅射仪的靶材通常是金属或合金，也可以是陶瓷、玻璃等材料。
靶材的选择取决于所需的薄膜材料和性质。
2. 真空室磁控溅射仪的操作需要在高真空环境下进行，因此需要一个真空室。
真空室通常由不锈钢制成，内部表面光滑，以减少气体分子的碰撞和吸附。
3. 磁控系统磁控溅射仪的磁控系统是其核心部分。
它由磁铁、磁场控制器和靶材支架组成。
磁铁产生一个强磁场，将电子束聚焦在靶材表面，使其被剥离。
磁场控制器可以调节磁场的大小和方向，以控制薄膜的成分和性质。
靶材支架用于固定靶材并将其与磁铁相连。
4. 电子枪电子枪是磁控溅射仪的另一个重要组成部分。
它产生高能电子束，用于轰击靶材表面。
电子束的能量和电流可以通过调节电子枪的电压和电流来控制。
5. 基底基底是薄膜沉积的目标。
它通常是硅片、玻璃等材料。
基底的表面应该光滑、干净，以便薄膜的质量和附着性。
6. 气体在磁控溅射过程中，需要将真空室抽成高真空状态，以减少气体分子的碰撞和吸附。
但是，为了维持电子束的稳定性，需要在真空室中注入一定量的惰性气体，如氩气。
氩气分子被电子束轰击后会产生等离子体，进而促进靶材表面原子或分子的剥离。
总之，磁控溅射仪利用磁场控制电子束轰击靶材表面，使其原子或分子被剥离并沉积在基底上形成薄膜。
其原理简单、操作方便、薄膜质量高，因此在材料科学、电子学、光学等领域得到了广泛应用。
磁控溅射的基本原理
磁控溅射是一种常用的物理沉积技术，它利用高速离子轰击靶材
表面，将靶材表面原子或分子剥离并喷出，然后沉积在基板表面，形
成薄膜。
磁控溅射的基本原理是在真空环境下，将靶材和基板分别放置在
两个相对的位置，然后在靶材上加入高频交流电，产生电子流和离子流。
通过施加外部磁场，可将电子和离子聚焦在靶材表面的局部区域，使其原子或分子被轰击出来，并沉积在基板表面，生成薄膜。
与其他物理沉积技术相比，磁控溅射具有以下优点：
1. 薄膜成分均匀，质量稳定且纯度高。
2. 可在较低的温度下进行，适用于较多种材料的沉积。
3. 由于直接沉积，薄膜与基板的附着力很强，不易脱落。
磁控溅射技术应用广泛，如制备硅薄膜、二氧化钛薄膜、氧化铝
薄膜等，同时也可用于金属及其合金、氧化物、氮化物等多种材料的
制备。
但是，磁控溅射也存在着一些问题，如高压功率耗电量大、靶材
利用率低、沉积速率较慢、薄膜厚度难于控制等问题，这些问题使得
磁控溅射在工业应用中仍存在一定的局限性。
因此，在实际应用中，需要根据不同需求选择合适的沉积技术，以达到最好的效果。
同时，磁控溅射技术的不断改进也将为其更广泛的应用提供更多可能性。
磁控溅射镀膜原理磁控溅射镀膜是一种常用的薄膜制备技术，其原理是利用磁场和电场的作用，将固体靶材溅射成离子，然后沉积在基底表面形成薄膜。
这种技术在光学薄膜、电子器件、光电子器件等领域有着广泛的应用。
下面将详细介绍磁控溅射镀膜的原理。
1. 溅射过程。
在磁控溅射镀膜中，首先将固体靶材置于真空室内，然后通过加热或者其他方式使靶材表面产生蒸汽，同时加入惰性气体，如氩气。
随后，通过加高压力或者磁场的作用，使得靶材表面的原子或分子被击出，形成离子流。
这些离子流在电场的作用下被加速，并沉积在基底表面，形成薄膜。
2. 磁场的作用。
磁场在磁控溅射镀膜中起着至关重要的作用。
磁场可以使得离子流在靶材表面形成环形轨道，从而增加了离子的平均自由程，提高了溅射效率。
此外，磁场还可以调控离子的能量和方向，使得薄膜的成分和结构得以控制。
3. 电场的作用。
电场同样对磁控溅射镀膜有着重要的影响。
电场可以加速离子流，提高溅射速率，同时还可以调控离子的能量和方向，从而影响薄膜的成分和结构。
此外，电场还可以在基底表面引入静电吸附力，促进薄膜的成核和生长。
4. 薄膜的性能。
通过磁控溅射镀膜制备的薄膜具有优良的性能。
由于溅射过程中离子能量较高，因此薄膜的致密性和结晶度较高，具有较好的机械性能和化学稳定性。
同时，磁控溅射还可以制备多层膜和合金膜，从而实现多种功能的薄膜材料。
总结。
磁控溅射镀膜是一种重要的薄膜制备技术，其原理是利用磁场和电场的作用，将固体靶材溅射成离子，然后沉积在基底表面形成薄膜。
磁场和电场在溅射过程中起着至关重要的作用，影响着薄膜的成分和结构。
通过磁控溅射制备的薄膜具有优良的性能，具有着广泛的应用前景。
磁控溅射靶材的根瘤的形成磁控溅射是由于各种各样的行业，如薄膜太阳能电池，半导体，光学，装饰涂料，耐磨和防腐蚀保护应用的高度重视的技术。
据观察，在过去，在某些情况下，当溅射金属或陶瓷材料，结节表面形成溅射赛马场附近地区（自动转存面积），有时甚至在赛马场区域目标（图1）。
他们通常拥有一个到岗，圆锥或金字塔形状。
结节往往沉积运行收益增长。
最终，他们可以覆盖超过30％的目标的表面区域。
形成结节会带来不同的效果，如溅射速率，溅射原子的角分布的变化，增强电弧放电过程中漂移和不稳定，这反过来缺陷的结果，并导致质量差溅射薄膜。
涂层系统已被关闭经常清洗目标表面结节和碎片。
这会导致非预期的停机时间和降低生产速度。
目标表面上形成结节，因此极不可取的。
尽管这是一个严重的工业问题，一般有什么结果结节的增长，这是很重要的工艺参数的理解缺乏，以及如何解决这个问题。
因此，这篇文章的目的是阐明根瘤的形成机制，对靶材的关键工艺参数和提供解决方案以及一些轻。
图1。
A）扫描电镜图像显示结节形态。
从Lippens等。
[4] B）ITO靶材的黑色结节（图像- Gencoa有限公司提供）; C）在Si 靶材结节（图像- Faradox储能公司提供）。
根瘤的生长机制观察视锥细胞的离子轰击阴极的历史可以追溯到早在1942年[1]。
从那时起，这种现象一直受到学术界和工业界的科学家和工程师的兴趣。
韦纳锥的形成[2]进行了广泛的研究工作。
基于实验证据韦纳的结论，在溅射从另一个源提供的某些杂质原子或原子的极少量可以给离子轰击surfaces.The比种子诱导锥增长所需的主要原子可以上升到种子锥形成低至1 500人，分别为钼- 铜的情况下证明。
有趣的是，它也表明，种子原子材料具有较低的溅射率，但必须表现出了较高的熔点。
存款锥也可以出现更大的通量是一个较低的熔点金属热的熔点较高的金属，它是离子轰击下存放。
在低离子轰击能量（<1keV，即典型的磁控溅射应用）高温（〜⅓的熔点）为种子锥现象发生的重要。
当溅射金属靶材，氧或氮原子的痕迹阻碍表面原子的运动，因此种子锥形成。
离子轰击溅射阈值附近的直单晶晶须，这受到更高的能量轰击时，往往转换成锥增长的结果。
韦纳强调，种子锥晶须生长，吸附原子表面运动和溅射效果之间的相互作用的结果。
溅射靶材料已最常报告的有结节增长的问题是铟锡合金和铟锡氧化物（ITO）[3-9]。
这主要是由于的ITO透明导电氧化物（TCO）镀膜玻璃市场的主导地位。
目前在工业生产的ITO的最高优先事项是实现高溅射速率和过程的稳定性，这两者都是由结节增长的问题而受到损害。
其他目标材料，这种硅和Ti - W [10]，也被报道患有结节增长。
ITO溅射陶瓷目标陶瓷ITO铟锡合金目标上形成的结节通常是黑色的外观和表现出高电阻率[3，4]。
目标密度与结节增长的现象相当早，这是显著的努力（图2），以增加密度陶瓷的ITO目标[5，11，12]。
密集的目标是提高沉积速率，但仍然坚持结节增长的问题。
奥玛特等公布的结果。
[8]，具有相对密度高于99.5％，但由于当地偏差统一锡离子和氧空位分布不均匀传导电子密度患有结节形成率增加，意味着目标。
图2。
Hystorycal ITO靶材密度的提高。
从K.内海善雄等。
[12] 石桥等论文。
[3]和Lippens等。
[4]的状态，在ITO溅射情况下结节增长在很大程度上是相关目标表面上的氧化铟分离成高电阻In2O分氧化物和氧气与Sn作为结节形成的发起人。
结节是不断被涂与再沉积材料。
大衣厚度是几十微米的顺序，它可以将更多的氧气缺乏[6]，可能是由于存款的减少锡[4]比目标表面。
不匀的电气性能和化学成分导致持续增长（扩大）结节期间的生活的目标过程中（即溅射附近的目标侵蚀率更快）。
图3显示原理图截面的一个结节上的ITO溅射靶。
不均匀的化学成分和电气性能，也导致负责建立，在一定的目标表面地区和电弧。
结节可以破解热应力作用下，或由一个弧形销毁。
结节分手后跟淋浴颗粒，核新一代的结节，从而解释了观察，一旦开始结节加速增长迅速[6]。
图3。
示意图截面的一个结节上的ITO溅射靶。
Schlott等。
[6]。
里格等人。
[13]用三维模拟人生审查约100在ITO靶材溅射形成结节。
他们正在寻找杂质，如C，镁，铝，硅，铜，钛和锆。
铜异常，发现杂质分布不均匀。
大部分杂质包括C或铝。
结节的三维深度分析发现，其中大多数是顶级C浓度未受影响的目标表面积相比要高得多。
[13]的作者因此得出的结论是C杂质发挥他们研究的目标结节增长的最重要的作用。
Schlott等人。
[6]用原位视频监控研究在ITO溅射过程根瘤的形成。
他们测试了两个75毫米直径平面的ITO目标没有刹车真空此起彼伏。
令人惊讶的是，他们有溅射第一的目标是覆盖有结节后1小时溅射，而相同的第二个目标，基本上保持结节〜4小时。
图4比较了10个小时后长溅射运行的两个目标。
结节数量在近两个数量级的差异进行了观察。
这个例子清楚地表明，结节核的主要来源之一是来自溅射系统的粉尘和剥落。
洁净室等级提高运作的第一个目标，它允许更长的无结核的第二个目标的操作。
图4。
两层ITO目标比较溅射不破坏真空的情况下为10小时此起彼伏。
Schlott等。
[6]。
再沉积的材料显示，要在两个方面[6]根瘤的形成源：一个结节核再沉积在赛道区和/或附近的赛马场和随后的溅射redeposits）;二）剥落的再沉积材料。
进一步在相同的和其他的研究确定根瘤的形成来源[6，10]：在分段目标（ITO）瓷砖之间的接缝很容易收集灰尘/颗粒，粒子（SiO2的空隙，裂缝，裂纹和污染氧化铝二氧化钛和C）在目标的制造工艺。
中岛和Kumahara的论文[7]报告使用很细的生粉和修改后的混合过程，提供显著SnO2的分布更均匀。
使用这种技术制造的目标被证明是非常不容易根瘤的形成和电弧（图5）。
一个根瘤的形成进一步减少，实现从行业标准的质量分数为10目标减少量的SnO2％至9 WT％[7]。
图5。
外观的改进目标（a）及（b）在160 Wh/cm2溅射的传统之一。
中岛和Kumahara [7]。
Cho等。
[9]研究了ITO与钙的目标兴奋剂的效果，通过另外的0.025和0.05 WT％的碳酸钙。
展示了一个结节形成和弧计算密度，提高靶材利用率，工艺的稳定性和可重复性的大幅下降（图6）。
值得注意的是，没有沉积的ITO薄膜的显著属性的变化发现钙掺杂的结果发生。
图6钙掺杂ITO目标：不同掺杂和目标侵蚀水平的目标表面上形成结节的影像。
从Cho等。
[9]。
热ITO溅射工艺是这里值得一提的，因为它是相信，经营约（或以上）500度的ITO靶材。
C的形成结节减少。
然而，这个过程不会似乎已被广泛接受，它的使用出现片状，它的任何技术信息是稀缺的。
反应的ITO溅射在锡（80-20）结节在反应的ITO沉积形成的目标已经调查Lippens 等。
[4]。
结果表明，根瘤的形成和增长的机制是类似陶瓷的ITO 溅射的情况下，但是，很明显，有一定的差异太大。
例如，在锡的目标上形成的结节往往被发现含有更多的氧气（/ O比值对应铟）相比，地区未来向他们表明，在反应溅射过程中的结节核的位置所在的目标强烈氧化。
在其他情况下，接近2 / 1 / O比值测定还与相应的锡和/或氧化锡的浓度较高[4]（注：电气SnO2的电阻率是高于ITO靶材的至少两个数量级）。
进行附加实验纯（熔点- 157 deg.C时）和Sn（熔点- 232 deg.C 时）的目标。
结果表明，结节两个纯增长和锡的目标。
根瘤的形成是在锡的情况下，这印证提高结节核Sn的作用更为显着。
这些结果是在韦纳的工作[2]在前面的章节中讨论的协议。
有趣的是，没有结节被发现时增长溅射纯锡的目标。
Lippens等其他重要的观察。
[4]，结节密度的增加，有目标的氧气增加供给的铟由于分解，从而产生漂移也反应溅射过程控制复杂的进程，在反应的ITO沉积。
TI - W溅射罗和德雷珀研究的W -钛溅射根瘤的形成[10]。
他们得出了一些有用的关系有更广泛的适用性，因此本节中给出。
图7到C显示结节和密度的W -钛目标的生活和结节分布在径切面的W -钛目标，分别为功能。
图7。
结节（a）和密度（B）的W -钛的目标生活的功能和（c）结核分布在径切面的W -钛目标。
从罗湖和德雷珀[10]。
重要的工艺参数它已被证明在前面的章节中，在根瘤的形成溅射使用的目标是在非反应性和反应溅射过程的主要元素之一。
已经花了显著材料工程/开发努力溅射靶材供应商，以消除结节增长。
然而，它也可以从上面的，除了目标方面，工艺参数，以及适当的相关设备的使用可能会起到成核和生长的重要作用（率，密度等）的结节明显。
下面是重要因素： 清洁度的工艺室- I）存在的外来颗粒（如灰尘，片），二）污染物的活性气态物种（如扩散泵油蒸汽，可怜的基真空，泄漏，污染主要溅射气体或气体供应线的存在）。
清洁过程环境，以减少结节增长的问题。
溅射阴极方向（即纵向，横向）重要的是垂直阴极方向可能最大限度地降低一些目标表面度污染（如颗粒，片），以及基板的最佳。
∙弧处理- 磁控溅射电源功能- 延长结节自由运作是非常重要的。
弧产生不利影响过程以及阴极表面。
使用装有一个快速和可靠的弧的检测和淬火电路的电源（如[14]）是减少/消除结节增长至关重要。
双磁控溅射结合中频（MF）AC电源已被证明是减少反应溅射过程中的电弧事件的有效手段。
∙目标表面温度- 在一般核结节增强在目标表面温度升高。
因此，应据此选择溅射功率密度和高效的目标冷却需要减少结节增长。
这一趋势的一个例外，可能是热的ITO溅射工艺，如前面提到的。
∙有利于减少结节的生长过程的稳定性（尤其是在反应溅射的情况下）。
反应溅射过程中，积极的反馈过程控制器（如[15]）是用来保持在“过渡”地区的目标，除了增加沉积速率，减少电弧放电过程中的敏感性，在操作过程中，因此，结节核和生长率。
溅射源设计方面磁控溅射源的设计可以显著影响根瘤的生长现象。
这主要是涉及到再沉积的相对表面积和“慢”，结节核/成长率往往是最高的溅射区。
溅射表面积的增加导致降低再沉积区，因此，少结节增长。
以下三个磁控管设计（图8a - C），可以减少增加总目标表面溅射面积结核增长率：一）高产，II）全脸侵蚀和III）旋转磁控溅射。
在减少结节增长旋转磁控管提供最佳的性能。
下面给出一个简要介绍每个磁控管类型。
图8）“高息”溅射靶;二）“全脸侵蚀”溅射靶; C）可旋转溅射靶。
图片提供Gencoa有限公司∙高收益- 高收益磁阵列（如[16]）是用于平面阴极，以提高利用率一般为25％- 35％为标准的两极磁性45-50％。
增强的目标是创建使用内磁系统的磁极变形和扁平化目标表面的磁场结构。
∙全脸，圆形和矩形的形式侵蚀源（如[17]）提供了较高的目标使用，45％- 60％，由于磁场扫描的性质。
