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电子报/2010年/4月/4日/第011版职业技能Tekscan柔性薄膜网格状触觉压力传感器(下)成都生为编译二、传感器加载方法柔性传感器的完整面积是作为一个独立的触点进行处理的，因此，对传感器面上的加载应分布均匀，以保证测量精度即受力重复读数。
如果加载的分布超过了传感器的面积，其测量读数会有所变化。
注意:传感器面的边缘是由银环组成的。
以下分三种情况，说明传感器的加载方法。
1.加载的尺寸小于传感器的面积如果加载的有效尺寸比传感器面积小时，其负载不得放在传感器面的边缘，以确保负载均匀分布。
此外，确保传感器的物理面是负载的完整通道，也是重要的。
2.加栽的尺寸大于传感器的面积对传感器加载时，如果加载的有效尺寸大于传感器的面积时，此时必须使用“puck“，“puck”是一块刚性金属(比传感器的面积略小)，再把“puck”放在传感器的面积上，以保证所加的载通过“puck”的面上。
再有，“puck”不要碰触传感面的边缘，因为边缘会造成错误的加载，引起测量误差。
3.把传感器固定到面上如果必需把传感器固定到表面上，此时推荐使用绷带固定。
说明:柔性传感器检测的力是垂直于传感器表面的一种力，若所加的力是一种剪切力，此时会减少传感器的寿命。
如果应用时，确需加剪切力到传感器上时，应在传感器上覆盖一种弹性材料加以保护。
三、校准这里介绍一种对传感器使用的校准方法，即利用传感器受力时其两端输出的电信号加以校准。
为此，对传感器加上一已知力，则与该力相对应是一种电阻值(传感器两个端子)，然后利用多个不同的已知力，绘出力-电阻的曲线，如图3所示。
然后，再绘出力-导纳(1/R)的曲线，如图4所示。
这样在负载为0到已知负载值之间即一条线性关系(注意:防止负载引起的传感器特性的饱和状态)。
在上述的校准中，应注意下列事项:1.校准时，应避免加载力造成传感器的特性饱和，如果出现了饱和，应调整其灵敏度(降低)。
2.校准中，加在传感器面上的力，应分布尽可能均匀，如果加载的力超过了传感器受力面，其读数会略有变化。
柔性薄膜压力传感器数字转换模块MY2901使用说明书版本号：V1.1执行日期：2019-05-16苏州能斯达电子科技有限公司Suzhou Leanstar Electronic Technology Co.,ltd声明本说明书版权属于苏州能斯达电子科技有限公司（以下称本公司）所有，未经书面许可，本说明书任何部分不得复制、翻译、存储于数据库或检索系统内，也不可电子、翻拍、录音等任何手段进行传播。
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苏州能斯达电子科技有限公司MY2901是苏州能斯达电子自主研发的多通道压力转换模块，可将柔性薄膜传感器模拟信号转换为数字量。
将苏州能斯达电子的柔性压力传感器接到MY2901，可直接从通讯接口读取信号转换后的数字值。
本模块适配苏州能斯达电子DF9-40系列、SF15系列、MD30系列、ZNX 鞋垫传感器和ZNS 手套传感器等多种柔性薄膜压力传感器系列产品；可用于测量柔性薄膜压力传感器表面压力。
4个输入通道，最多可支持4路信号同时测量； 提供UART 方式输出信号； 4路数字开关信号输出； 小尺寸，易于集成； 低功耗；用于柔性薄膜压力传感器测试及应用、可穿戴电子产品、智能家居电子产品、消费类电子产品等多种场合。
产品型号 MY2901工作电压 3.3V~5.0V （无电压反接保护）输出数据 UART （3.3V 电平）模拟输入接口数量 4个 数字开关输出接口数量 4个模拟信号采样频率20Hz 工作电流 ≤30mA 工作温度 -10℃～55℃ 尺寸20mm*29mm产品描述产品特点主要应用技术参数典型应用引脚序号名称功能1~2 Vin 供电电压输入（3.3V~5.5V ）3~4GND 供电电压接地端5~6 NC 保留 7 GND 接地8 VCC 模块正常工作电压3.3V 9 Rx UART (RXD) 0V ～3.3V 数据输入 10 Tx UART (TXD) 0V ～3.3V 数据输出11~14 A0~A3 模拟信号输入 15 GND 模拟信号输入公共端 16~19 D0~D3 数字开关信号输出 20 GND数字开关信号输出公共端尺寸规格管脚定义模块功能图示为MY2901同时测量4个柔性薄膜压力传感器的连接电路图。
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浙江高联科技开发有限公司目录CSY-XS-01传感器系统实验箱说明书：一、产品简介二、实验箱组成三、产品特点四、传感器五、V9.0数据采集卡及处理软件CSY-XS-01传感器系统实验箱使用（示范实验举例）实验一应变片单臂特性实验实验二应变片半桥特性实验实验三应变片全桥特性实验实验四应变片单臂、半桥、全桥特性比较实验五应变直流全桥的应用—电子秤实验实验六应变片的温度影响实验*实验七应变片温度补偿实验实验八移相器、相敏检波器实验实验九应变片交流全桥的应用(应变仪)—振动测量实验实验十压阻式压力传感器的压力测量实验实验十一电容式传感器的位移实验实验十二差动变压器的性能实验实验十三激励频率对差动变压器特性的影响实验十四差动变压器零点残余电压补偿实验实验十五差动变压器测位移实验实验十六差动变压器的应用—振动测量实验实验十七电涡流传感器位移特性实验实验十八被测体材质对电涡流传感器特性影响实验十九被测体面积大小对电涡流传感器的特性影响实验实验二十电涡流传感器测振动实验实验二十一压电式传感器测振动实验实验二十二温度源的温度控制调节实验实验二十三 K热电偶测温特性实验实验二十四 Pt100铂电阻(热电阻)测温特性实验实验二十五集成温度传感器(AD590)温度特性实验实验二十六NTC热敏电阻温度特性实验实验二十七PN结温度传感器温度特性实验实验二十八线性霍尔式传感器位移特性实验实验二十九开关式霍尔传感器测转速实验实验三十磁电式传感器测转速实验实验三十一光电传感器测转速实验实验三十二利用光电传感器控制电机转速实验三十三光纤传感器的位移特性实验实验三十四气敏传感器实验实验三十五湿敏传感器实验实验三十六数据采集系统实验—静态采集举例实验三十七数据采集系统实验—动态采集举例注：红色代表实验未做，绿色代表实验已做。
柔性薄膜压力传感器数字转换模块MY2901（四通道）使用说明书苏州能斯达电子科技有限公司Suzhou Leanstar Electronic Technology Co.,ltdMY2901是苏州能斯达电子自主研发的多通道压力转换模块，可将柔性薄膜传感器模拟信号转换为数字量。
将苏州能斯达电子的柔性压力传感器接到MY2901，可直接从通讯接口读取信号转换后的数字值。
本模块适配苏州能斯达电子DF9-40系列、SF15系列、MD30系列、ZNX鞋垫传感器和ZNS手套传感器等多种柔性薄膜压力传感器系列产品；可用于测量柔性薄膜压力传感器表面压力。
产品特点4个输入通道，最多可支持4路信号同时测量；传感器通道相互独立，可独立测量不同型号的传感器；提供UART方式输出信号；小尺寸，易于集成；低功耗；主要应用MY2901主要用于柔性薄膜压力传感器性能测试和评估，可应用于可穿戴电子产品、智能家居电子产品、消费类电子产品等多种领域。
技术参数产品型号MY2901四通道工作电压 3.3V~5.0V（无电压反接保护）输出数据UART（3.3V电平）模拟输入接口数量4个模拟信号采样频率100Hz工作电流≤30mA工作温度-10℃～55℃尺寸20mm*29mm尺寸规格管脚定义引脚序号名称四通道MY2901功能1~2Vin供电电压输入（3.3V~5.5V）3~4GND供电电压接地端5~6NC保留7GND接地8VCC模块正常工作电压3.3V9Rx UART(RXD)0V～3.3V数据输入10Tx UART(TXD)0V～3.3V数据输出11~12P0~P1传感器通道0的两个电极接入端口[1]13~14P2~P3传感器通道1的两个电极接入端口15GND接地16~17P4~P5传感器通道2的两个电极接入端口18~19P6~P7传感器通道3的两个电极接入端口20GND输出数字开关信号接地端注1：苏州能斯达单点式柔性压力传感器的2个电极不分极性，可直接接到传感器通道的2个输入端口。
压电薄膜传感器技术手册智美康科技（深圳）有限公司 0755-******** 130******** 1/60目录表第一部分引言背景压电薄膜特性典型压电薄膜元件工作特性第二部分引线装接技术第三部分频率响应压电薄膜低频响应第四部分温度效应第五部分压电膜电缆及其特性第六部分压电基础第七部分热电基础第八部分基本电路概念电缆第九部分制造开关冲击传感器体育运动记分传感器乐器交通传感器第十部分振动传感音乐拾音机器监控轴承磨损传感器风扇叶片气流传感器断纱传感器自动售货机用传感器第十一部分加速度计第十二部分超声应用医用成像NDT(无损探伤)液位传感器第十三部分声频扬声器话筒第十四部分声纳第十五部分将来的应用有源振动阻尼硅基传感器灵敏表皮第十六部分压电薄膜的应用第十七部分压电薄膜论文索引智美康科技（深圳）有限公司 0755-******** 130******** 2/60智美康科技（深圳）有限公司0755-******** 130******** 3/60第十八部分超声油墨位面感测的讨论引言传感器材料是将一种形式的能量转换为另一种形式的能量，并被广泛地应用在传感探测方面。
微处理器应用的巨大增长推动了传感器在多种应用方面的需求。
今天，在180亿美元的全球传感器市场中压电聚合物传感器跻身在最快速发展的技术行列之中。
像任何其他新技术一样，在很多应用中，“压电薄膜”已被考虑用作传感器的解决方案。
自从压电膜聚合体被发现以来的20年中，这项技术已日趋成熟，实际应用层出不穷，技术的商业化进程正在加速。
本手册对压电聚合体技术、术语、特性以及传感器设计思考等提供了综述，同时还探索了近年来业已成功开发出来的诸多传感器的应用项目。
解决独特的传感方面问题是我们的应用工程师们特有的实力。
我们很高兴有机会在您的设计中考虑压电膜传感器的应用时为您提供帮助。
背景“压电”，希腊语叫做“压力”电，是在100多年前由Gurie兄弟所发现的。
他们发现，石英在电场的作用下会改变其外形尺寸，而相反，当受到机械变形时，则产生出电荷来。
(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201610545724.3(22)申请日 2016.07.04(71)申请人 电子科技大学地址 611731 四川省成都市高新区（西区）西源大道2006号申请人 东莞电子科技大学电子信息工程研究院(72)发明人 赵晓辉 陈喆 蒋洪川 张万里 (74)专利代理机构 电子科技大学专利中心51203代理人 吴姗霖(51)Int.Cl.G01K 17/08(2006.01)G01K 17/00(2006.01)G01K 7/16(2006.01)(54)发明名称一种柔性薄膜热流传感器及其制备方法(57)摘要一种柔性薄膜热流传感器，属于薄膜传感器的设计及制备技术领域。
自下而上依次为下封装层、冷端温度敏感薄膜电阻对、柔性衬底、热端温度敏感薄膜电阻对和上封装层，所述柔性衬底中设置贯穿柔性衬底的电极，用于将冷端温度敏感薄膜电阻对和热端温度敏感薄膜电阻对形成一个惠斯通电桥，冷端温度敏感薄膜电阻对和热端温度敏感薄膜电阻对中的电阻的阻值为10-1000Ω。
本发明热流传感器中温度敏感薄膜电阻的厚度非常小，具有更快的响应速度，响应时间大约为0.1s；本发明热流传感器采用柔性衬底作为传感器的载体，可以实现与异构件表面的紧密贴合，进而实现对异构件表面热流的精准测量，大大提高了薄膜热流传感器的适用范围。
权利要求书1页 说明书4页 附图1页CN 106225959 A 2016.12.14C N 106225959A1.一种柔性薄膜热流传感器，自下而上依次为下封装层(5)、冷端温度敏感薄膜电阻对(3)、柔性衬底(1)、热端温度敏感薄膜电阻对(2)和上封装层(4)，所述柔性衬底中设置贯穿柔性衬底的电极，用于将冷端温度敏感薄膜电阻对和热端温度敏感薄膜电阻对形成一个惠斯通电桥，惠斯通电桥的输入端连接恒压源，所述冷端温度敏感薄膜电阻对和热端温度敏感薄膜电阻对中的电阻的阻值为10-1000Ω。
基于柔性电极结构的薄膜电容微压力传感器姚嘉林;江五贵;邵娜;史云胜;田佳丁;杨兴【摘要】A novel thin film capacitive micro-pressure sensor was designed and fabricated based on a flexible elec⁃trode structure. On the basis of the working principle of film capacitive pressure sensor,two kinds of designs for the capacitive micro-pressure sensor were proposed:one was based on flexible nano-films and the other was based on the flexible electrode films that with micro-structure. Meanwhile,an optimal method of the sensitivity of the pres⁃sure sensor was proposed to achieve a slimmer,simpler and more sensitive capacitive pressure sensor according to the structural feature of the micro-pressure sensor and the processing property of the flexible materials. According to the experiments,the maximum pressure sensitivity of the proposed sensor can reach 218 fF/mmHg,which shows a promising application prospect in many industrial fields such as smart wearable devices as well as implantable medical pressure sensing.%基于柔性电极结构，本文设计、制作了薄膜电容微压力传感器，在阐述传感器工作原理的基础上，提出了两种设计思路，即基于柔性纳米薄膜的电容式微压力传感器和具有微结构的柔性电极薄膜电容式微压力传感器，并结合传感器的结构和柔性材料的加工特性，进一步提出了相应的力敏特性材料结构优化思路和加工流程，利用该流程得到了一种结构轻薄、工艺简单、高灵敏度的微压力传感器。
