对半导体:
u 体型应变片: u 扩散型应变片: u 薄膜型应变片: u 外延型应变片: u PN结及其它
金属丝式应变片:有U型、V型、H型
(a)
(b)
(c)
金属丝弯曲部分成圆弧(U) 形,是最早常用的一种形式, 制作简单但横向效应较大
图 2.3
金属丝弯曲部分成直角(H)形,两 端用较粗的镀银铜线焊接,横向效 应较小,制作工艺复杂(将逐渐被横 向效应小、性能更优越的箔式应变 计所代替)
应力波从试件通过胶层、基片传到敏感栅需要一定时间,沿应变计长度方 向经过敏感栅需要更长一些的时间,敏感栅电阻的变化是对某一瞬时作用 于其上应力的平均值的反应; 胶层和基片的总厚度约为0.05mm,由试件经过胶层和基片传到敏感栅的 时间约为5×10-8s,可以忽略不计;应变波沿敏感栅长度方向传播的时间 应加以考虑
R R
kx x
ky y
横向灵敏系数
轴向灵敏系数
总结:将同样长的金属线材做成敏感栅后,对同样应变,应变计敏感栅的电阻变化 变小,灵敏度降低,这种现象称为应变计的横向效应。
四、应变计的动态特性
钢材声速为5000m/s,胶层声速 为1000m/s。
应变波的传播过程
机械应变以相同于声波速度的应变波形式在材料中传播。
三、应变计的横向效应
l
y
x
在垂直方向产生压应 变-εy,该微段电阻 减少,在圆弧的其他 各微段,感受的应变 由+εx变化到 –εy, 圆弧段的电阻变化将 小于同样长度沿x方 向的直线段的电阻变 化
敏感栅由许多直线及圆角组成,拉伸被测试件时, 粘贴在试件上的应变计沿长度方向拉伸,产生纵向 拉伸应变εx,应变计直线段电阻增加;