微米及纳米金刚石薄膜的真空电镀设备制备及其组织性能研究
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金刚石涂层机械密封环的制备与抛光特性研究雷学林;何云;孙方宏【摘要】为延长机械密封环的工作寿命,采用热丝化学气相沉积法在碳化硅陶瓷机械密封环工作表面涂覆具有耐磨减摩特性的、厚度30~50 μm微米金刚石(MCD)、纳米金刚石(NCD)和微纳米金刚石(MNCD)薄膜.分析结果表明:MCD薄膜的拉曼光谱具有明显的多晶金刚石特征峰,NCD和MNCD薄膜的拉曼光谱中出现了代表石墨和不定型碳的G峰和D峰.利用平面抛光实验,对比MCD、NCD和MNCD涂层机械密封环后续处理的抛光特性.实验结果表明:MNCD涂层抛光效率高且耐磨损性能优异,其综合使用性能优于MCD和NCD涂层,更适合涂覆在机械密封环表面,以增强其耐磨损性能.%In order to prolong the working life of mechanical seals,the micro crystalline diamond (MCD),nano crystalline diamond (NCD) and micro/nano crystalline diamond (MNCD) films with excellent wear resistance and low friction coefficient were deposited on the working faces of silicon carbide mechanical seals by chemical vapor deposition method.The results of Raman spectrum analysis show that the thickness of as-deposited MCD,NCD and MNCD films is all about 30~50 pm.The Raman spectrum of MCD film shows distinct peak of crystalline diamond,while the G and D peaks representing graphite and amorphous carbon are presented in the Raman spectra of NCD and MNCD films.The subsequent polishing properties of MCD,NCD and MNCD coated mechanical seals were comparatively studied by the plane polishing experiments.The experimental results indicate that the MNCD coating exhibits higher polishing efficiency and excellent wear resistance,showingbetter functional performance compared with the MCD and NCDfilms,which is more suitable to be deposited on the mechanical seals to improve their wear resistance.【期刊名称】《润滑与密封》【年(卷),期】2017(042)009【总页数】4页(P34-37)【关键词】金刚石薄膜;机械密封环;拉曼光谱;抛光性能【作者】雷学林;何云;孙方宏【作者单位】华东理工大学机械与动力工程学院上海200237;华东理工大学机械与动力工程学院上海200237;上海交通大学机械与动力工程学院上海200240【正文语种】中文【中图分类】TB43;TH117.1近年来,机械端面密封技术已广泛应用于石油、化工、轻工、冶金、机械、航空和原子能等工业领域[1-3]。
2021年12月 第6期第41卷 总第246期金刚石与磨料磨具工程D i a m o n d &A b r a s i v e s E n g i n e e r i n g D e c .2021N o .6 V o l .41 S e r i a l 246‘金刚石与磨料磨具工程“2021年总目次2021年第1期(总第241期)M P C V D 金刚石的制备与应用研究进展马志斌(1) 基于孕镶金刚石颗粒的硬质合金基底的预固晶预处理新方法简小刚,马千里,唐金垚,等(5) 沉积气压对金刚石膜微米纳米结构转变的影响范冰庆,王传新,徐远钊,等(12) 钨表面激光处理对金刚石膜附着力的影响黄逸豪,马志斌(17) 用于六面顶压机的2种叶蜡石成分及传压性能对比江明全,王义鹏,杨功章,等(21) 新型组装方式烧结纯P c B N 材料邓福铭,王 浩,宋美娇,等(27) N i –C r 合金钎焊镀W 金刚石的微观结构分析苏仕超,肖 冰,王树义,等(32) S L S 和F D M S 制造超薄金刚石锯片对比研究张绍和,苏 舟,刘磊磊,等(38) C V D 金刚石刀具微铣削A A 356铝合金的磨损分析张亚博,白清顺,何 欣,等(44)单颗磨粒划擦S i C f /S i C 陶瓷基复合材料的试验研究周雯雯,王建青,赵 晶,等(51)超声振动螺线磨削砂轮表面的功率谱密度分析王秋燕,梁志强,白硕玮,等(58)18C r N i M o 7–6钢高速外圆磨削残余应力和硬度的试验分析张银霞,原少帅,王子乐,等(65) 基于动态惯性权重粒子群算法的磨削低能耗加工方法张 昆,田业冰,丛建臣,等(71) 基于机器视觉的滚抛磨块缺陷检测方法贾 坡,田建艳,杨英波,等(76) 1,2,4三氮唑和苯并三氮唑对316L 不锈钢化学机械抛光的影响王 浩,陈国美,倪自丰,等(83) 磨粒半径对金刚石研磨加工影响机制的仿真研究张桐齐,岳晓斌,雷大江,等(89) 基于热性能分析的P D C 切削齿选型试验研究王传留(95) 中国超硬材料行业2019年运行情况孙兆达,李志宏,赵兴昊,等(101)2021年第2期(总第242期)超硬磨具发展情况栗正新(1) 微波诱发热爆法制备钛铝碳结合剂金刚石复合材料代 振,张旺玺,梁宝岩,等(4) 热力耦合下轴向旋转热管砂轮的强度分析姜华飞,陈佳佳,傅玉灿,等(9) 单层C B N 砂轮感应钎焊温度的优选方法研究李奇林,丁 凯,雷卫宁,等(17) 金刚石工具用适配型C u S n Z n N i 预合金粉末的研制于 奇,马 佳,龙伟民,等(23) 静态高压国内外最新进展王义鹏,寇自力,江明全(28) 金刚石合成过程中放炮现象的分析及预警刘乾坤,何文江,杜欢龙,等(35) 低功率M P C V D 制备金刚石薄膜朱海丰,王艳坤,丁文明,等(39) 高导热金刚石/铝复合材料的真空热压制备徐 洋,沈维霞,范静哲,等(46) 金刚石–W C –C o 复合材料的高温高压合成杨亚楠,王海阔,侯志强,等(53) 金属/金刚石复合磨料在树脂磨具中的应用刘恒源,徐三魁,韩志静,等(59) 电镀金刚石线锯表面磨粒分布密度的多相机视觉检测赵玉康,毕文波,葛培琪(64)P C B N 刀具高速切削淬硬钢材料的研究叶智彪,江文清,罗 涛(69)金刚石与磨料磨具工程总第246期胎体组分对热压孕镶金刚石钻头胎体腐蚀磨损性能的影响刘志江,姚远基,王文正,等(75) 钇铝石榴石晶体化学机械抛光液成分优化研究张自力,金洙吉,慕 卿,等(82) 基于响应曲面法的304不锈钢化学机械抛光工艺参数优化刘海旭,武庆东,曹潇俊,等(89) 铸件浇冒口砂轮自适应切割王维信,孟广耀,王 哲,等(96)2021年第3期(总第243期)砂轮修整技术的发展崔仲鸣(1) 基于磨削法的金刚石磨料工具精密修磨技术崔仲鸣,冯常财,庄召鹏,等(5) 金刚石砂轮的E C D 修锐和整形研磨及其对硬脆材料的加工康喜军,田牧纯一,久保明彦,等(12) 六方氮化硼直接转化合成多晶立方氮化硼的研究王永凯,位 星,王大鹏,等(19) 聚晶金刚石的研究进展与展望邹 芹,向刚强,王 瑶,等(23) 绕丝结构砂轮磨削沟槽结构化表面唐成志,吕玉山,李兴山,等(33) 3D 打印金刚石工具的研究进展张云鹤,黄景銮,宋运运,等(40) 陶瓷结合剂研磨盘制备及研磨蓝宝石性能研究路家斌,聂小威,阎秋生,等(48) 单晶硅裂纹萌生的刻划深度研究陈自彬,葛梦然,毕文波,等(55) 金刚石线锯切割碳化硅陶瓷的机理与工艺研究陈勇彪,张松辉,张晓红,等(60) 增强纤维对超薄超硬树脂砂轮切割偏摆问题的影响杜晓旭,李大水,李彩虹,等(68) 基于金刚石固结磨具的圆柱滚子高效研磨工艺研究雷 阳,杨晓光,冯凯萍,等(74) 5G 覆铜板叠层复合材料高效切磨工艺试验研究高 航,杨 勇,许启灏,等(82) 静电雾化微量润滑粒径分布特性与磨削表面质量评价贾东洲,张乃庆,刘 波,等(89)2021年第4期(总第244期)再制造加工技术的研究进展刘文浩,陈 燕,周 睿,等(1) 航空发动机叶片再制造技术的应用及其发展趋势李文辉,温学杰,李秀红,等(8) 面向再制造的高能束射流清洗技术综述李 博,郑文光,黄 军,等(19) 垂直排列石墨烯纳米金刚石复合材料的制备及其导热性能研究杨晨光,成晓哲,穆云超,等(25) 石墨烯/纳米金刚石复合电极性能研究张金辉,李 敬,郁建元(31) 六面顶压机合成过程中线性卸压机构的设计与应用王本亮,熊莎莎,冯晓鹏,等(36) F e 基胎体中添加Z n 粉后的金刚石磨边轮组织及性能孙为云,孙长红,康 杰,等(45) 结合剂强度和不同镀层对金刚石工具出刃高度的影响朱振东,张作栋,栗晓龙,等(53) 磨粒有序排布曲面砂轮设计及磨削性能实验研究李瑞昊,石广慧,黄 辉(58) 钎焊C B N 砂轮与陶瓷C B N 砂轮磨削粉末冶金高温合金的加工性能对比研究张 曦,李本凯,丁文锋(64) 刚玉砂轮缓进深切磨削K 444镍基高温合金研究刘 爽,李 敏,丁文锋,等(72) 氮化硅陶瓷轴承外圈磨削的双目标工艺优化谢天舒(82) 基于不同纳米划痕顺序的6H –S i C 单晶片材料去除机理研究郜 伟,张银霞,黄鹏举(92) 不锈钢打磨砂带用酚醛树脂关键参数测试与分析邢 波,赵金坠,宋运运,等(98)29第6期‘金刚石与磨料磨具工程“2021年总目次2021年第5期(总第245期)特种加工技术在再制造领域中的应用与发展牛梓源,陈 燕,张泽群,等(1) 钎涂金刚石在盾构刀具再制造中的应用吴奇隆,张 雷,孙华为,等(9) 纳米金刚石粒径对N i –P 化学复合镀层耐磨性和耐腐蚀性的影响向春彦,张凤林,王 健,等(14) F e -B -C 体系金刚石单晶的高温高压制备与表征徐 洋,张壮飞,黄国峰(21) N 掺杂石墨化纳米金刚石超级电容器电极材料性能张金辉,李 敬,郁建元,等(26) 铜化学机械抛光的弱缓蚀剂研究徐 浩,宋恩敏,卞 达,等(32) 铝粉改性低温陶瓷结合剂的性能研究王延铭,侯永改,夏学锋,等(40) G H 4169超声辅助磨削表面完整性研究韩 璐,康仁科,张 园,等(46) C F R P 砂轮与钢基体砂轮高速磨削过程中的动力学特性杨淮文,冯 伟,朱建辉,等(52) 微粉金刚石钎焊砂轮磨削氧化铝陶瓷的磨削力和表面粗糙度特征李全城,沈剑云,黄国钦(59) 砂带磨削接触压强模型分析与实验王亚杰,黄 云(65) 金刚石涂层刀具加工石墨的切削性能陈守峰,王成勇,郑李娟,等(70) 镍–硼/金刚石超薄切割片的制备与性能张 兰,宋文韬,李 纳,等(77) 金刚石薄圆锯片基体的磨削工艺参数优化邱陆一,王秋燕,白硕玮,等(84) 基于剪切增稠液的高速钢铣刀刃口修整王明海,张静波,龙志凯,等(89) 基于机器人平台的固结磨料工具抛光叶片路径规划刘纪东,徐成宇,朱永伟(95)2021年第6期(总第246期)金刚石表面石墨烯的制备及应用研究进展余 威,栗正新(1) 机匣零件气道面及支板面的机器人磨抛加工曾庆双,郭皓邦,李鼎威(7) 基于环境模型优化的机器人磨抛阻抗控制王竞航,彭云峰(12) 钛合金材料页轮磨抛材料去除深度模型胡智杰,曹诗宇,黄文健,等(18) 孔隙密度对化学气相沉积泡沫金刚石导热性能的影响李崧博,于杨磊,焦增凯,等(24)M P C V D 法制备金刚石膜的工艺李思佳,冯曙光,郭胜惠,等(31) 保温时间对P r 6O 11刻蚀金刚石单晶的影响朱振东,马金明,陈冰威,等(38) 采用旋转电极的金刚石表面镀镍方法及工艺张 杨,崔仲鸣,冯常财,等(44) T i H 2对C u 60Z n 40合金结合剂结构和性能的影响韩 平,刘恒源,徐三魁,等(51) 基于灰色关联理论的R B –S i C 陶瓷电火花机械复合磨削工艺参数优化黄书强,魏宗泽,饶小双,等(56) 基于逐步回归分析法的表面粗糙度预测张家有,宋万万,白玉珍,等(63) 径向振动匹配层换能器的设计参数及模态优化郭帅宏,李 军,王欢涛(68) 电镀金刚石线锯使用性能的试验研究张晨政,葛培琪,陈自彬,等(74) 磨料质量分数对磨硅片用金刚石砂轮磨削性能的影响骆苗地,赵金伟,丁玉龙,等(80) 不同斧型钻齿切削刃角下的破岩方式李尚劼,赵 星,黄继庆,等(85)39。
第23 卷第6 期2003 年11 、12月真空科学与技术VACUUM SCIENCE AND TEC HNOLOGY(C HINA)435金刚石膜上电子束蒸镀Ti/ Ni/ Au 多层膜杜素梅1 潘存海2(11 天津工业大学机械电子学院天津300160 ; 21 天津大学材料学院天津300072)T i/ Ni/ Au Multi2layer Gro wth on Surfaces ofChemical Vapor Deposited Dia mond FilmsDu Sumei1 ,Pan Cunhai2(1. C ollege of Mechanical and Electronic Engineering , Tianjin Polytechnic University , Tianjin ,300160 , C hina;2. C ollege of Material Science and Engineering , Tianjin University , Tianjin ,300072 , China)Abstract Ti/ Ni/ Au Multi2layers were g row n by electron beam evaporation on the substrates of oxygen2enriched diamond films prepared by chemical vapor deposition(CVD) . The mu lti2layers were studied with Auger electron spectroscopy(AES) and its phase transition map was al2 so analyzed. The results show that oxyg en2enrichment of diamond film is responsible for the significant increase of adhesion at the mu lti2layer/ diamond interface. AES spectra confirm that carbon atoms may diffuse into the Ti layer as far as 150 nm. Oxygen2enrichment and carbon d iffu2 sion into the Ti2layer results in the formation of TiO and TiC ,which considerably improves the interfacial adhesion.Key words Electron beam evaporation ,Diamond substrates ,Thermal m anagement ,Metallization摘要经过相图分析提出了CV D 金刚石膜上蒸镀Ti/ Ni/ Au 的体系。
氢终端金刚石薄膜生长及其表面结构马孟宇;蔚翠;何泽召;郭建超;刘庆彬;冯志红【期刊名称】《物理学报》【年(卷),期】2024(73)8【摘要】氢终端金刚石的导电性问题是目前限制其在器件领域应用的关键因素.传统的氢终端金刚石制备工艺由于金刚石中含有杂质元素以及表面的加工损伤的存在,限制了氢终端金刚石的电特性.在金刚石衬底上直接外延一层高纯、表面平整的氢终端金刚石薄膜成为一种可行方案,但该方案仍存在薄膜质量表征困难,表面粗糙度较大等问题.本文采用微波等离子体化学气相沉积(CVD)技术,在含氮CVD金刚石衬底上外延一层亚微米级厚度金刚石薄膜,并研究分析了不同甲烷浓度对金刚石薄膜生长以及导电性能的影响.测试结果显示:金刚石薄膜生长厚度为230—810 nm,且外延层氮浓度含量低于1×10^(16) atom/cm^(3),不同的甲烷浓度生长时,金刚石外延层表面出现了三种生长模式,这主要与金刚石的生长和刻蚀作用相关.经过短时间生长后的金刚石薄膜表面为氢终端(2×1:H)结构,而氧、氮元素在其中的占比极低,这使得生长后的金刚石薄膜具有P型导电特性.霍尔测试结果显示,甲烷浓度为4%条件下生长的氢终端金刚石薄膜导电性最好,其方块电阻为4981Ω/square,空穴迁移率为207 cm^(2)/(V·s),有效地提升了氢终端金刚石电特性,为推进大功率金刚石器件发展应用起到支撑作用.【总页数】6页(P323-328)【作者】马孟宇;蔚翠;何泽召;郭建超;刘庆彬;冯志红【作者单位】中国电子科技集团公司第十三研究所;河北半导体研究所【正文语种】中文【中图分类】TQ1【相关文献】1.原子氢在纳米金刚石薄膜生长中的作用2.贫氢富氩气氛下超纳米金刚石薄膜的生长3.用甲醇-氢混合气源在不锈钢上生长金刚石薄膜的研究4.负离子配位多面体生长基元与晶体表面结构(Ⅱ ) 异质同构晶体表面结构 :金刚石 (C)与闪锌矿 (ZnS) ;刚玉(Al_2_O3)与赤铁矿 (Fe_2O_3) ;碘化镉 (CdI_2 )与氯化镉 (CdCl_2 )5.碳—氢—氯体系金刚石薄膜生长条件预测因版权原因,仅展示原文概要,查看原文内容请购买。
金刚石微粉表面镀覆研究进展代晓南;何伟春【摘要】Copper, titanium, nickel, tungsten, molybdenum, silver, etc., are mainly used for diamond surface coating.These coating can enhance the compressive strength of diamond grains, the coefficient of thermal conductivity of grinding tool, service life, increase the binding force between the diamond abrasive and binder.There are a lot of different diamond surface plating processes, mainly included chemical plating, plating, magnetron sputtering, vacuum deposition, etc.Small size of diamond particle is required in grinding fluid, fine grinding and wire saw, so this needs fine grain diamond surface plating, but 5 ~10 μm is the smallest size in the industry at present, and its performance is not very good, so the study of fine grain diamond micro powder coating should be stepped up.%用于金刚石表面镀层的金属主要有铜、钛、镍、钨、钼、银等,不同程度的提高了金刚石颗粒的抗压强度、磨具的导热系数、使用寿命。
金刚石薄膜研究及在制造业中的应用金刚石薄膜是一种高科技材料,具有优异的机械、光学、电子性能,被广泛应用于各个领域。
随着科技的不断进步,金刚石薄膜研究也不断深入,其在制造业中的应用也更加广泛。
一、金刚石薄膜的制备技术金刚石薄膜的制备技术主要包括化学气相沉积(CVD)和物理气相沉积(PVD)两种方法。
CVD法是指将金刚石前体气体在热力学平衡条件下分解,沉积在衬底上形成金刚石薄膜。
该方法具有制备工艺简单、成本低等优点,但对设备和前体气体纯度要求较高,且易产生晶面取向不均匀等问题。
PVD法主要是利用离子束或者真空电镀等方法将金刚石材料沉积在衬底上。
该方法具有沉积速率快、晶面取向良好等优点,但缺点是设备复杂、制备周期长等。
二、金刚石薄膜在制造业中的应用1. 硬质合金刀具金刚石薄膜不仅硬度高,而且有优异的耐磨性能,使得其在制造业中的应用非常广泛,最为常见的应用就是硬质合金刀具。
生产硬质合金刀具的工艺主要包括两部分,即刀具材料的制备和刀具的制造加工。
其中,金刚石薄膜主要用于刀片的磨削和切削加工。
通过金刚石薄膜的应用,能够大幅提升硬质合金刀具的切削效率和耐磨性能。
2. IC制造IC制造是目前普遍应用金刚石薄膜的领域之一。
在IC生产过程中,金刚石薄膜可用作金属线路的保护层和刻蚀标记层,能够大幅提升IC制造的效率和稳定性。
为了提高IC器件的可靠性和生产效率,人们通过金刚石薄膜的应用,使IC器件的寿命更长,效率更高,品质更稳定。
3. 机械密封件机械密封件是金刚石薄膜在制造业中的另一个应用领域。
在高压、高温和强腐蚀环境下,金刚石薄膜的耐磨性、耐腐蚀性和高压强度能力非常优异,使得其广泛应用于机械密封件的制造过程中。
通过金刚石薄膜的应用,能够大幅提高机械密封件在高强度、高温度和腐蚀环境下的使用寿命和性能稳定性。
三、金刚石薄膜在未来的发展与应用随着人们对金刚石薄膜的研究不断深入,其未来的应用领域也会越来越广泛。
目前,有关金刚石薄膜材料的研究主要集中在以下几个方面:1. 提高金刚石薄膜的厚度和质量目前,金刚石薄膜的厚度仍然比较薄,只有几纳米,受到厚度限制的应用场景也较为有限。
电刷镀镍基纳米金刚石复合镀层制备工艺的研究近年来,电刷镀镍基纳米金刚石复合材料作为新兴的涂层材料受到广泛的关注,其优良的耐磨性能和表面抗腐蚀性能使其在很多关键技术应用中受到高度重视。
因此,研究如何制备低损耗电刷镀镍基纳米金刚石复合镀层以及它的制备工艺具有重要的意义。
(一)电刷镀镍基纳米金刚石复合镀层的材料组成电刷镀镍基纳米金刚石复合镀层是一种以镍、纳米金刚石和其他辅助材料为主要成分的特殊涂层体系,由于纳米金刚石具有较高的硬度和耐磨性能,可以提高涂层的抗磨性能。
除此之外,由于纳米金刚石具有高热稳定性,可以在高温环境下提供更好的保护。
(二)电刷镀镍基纳米金刚石复合镀层的制备工艺电刷镀镍基纳米金刚石复合镀层的制备严格控制溶液组成、气体混合比例、处理温度和处理时间,其大致制备工艺可以分为:清洗、干燥、镀层制备、机械处理、热处理和检测几个步骤。
(1)清洗:清洗金属基体是制备电刷镀镍基纳米金刚石复合涂层的第一步,采用超声清洗或其他物理、化学方法实现对金属基体的清洗,有效去除基体表面的污染物和作用力污染杂质。
(2)干燥:金属基体清洗后,应尽快进行干燥处理,以免污垢粘附在基体表面影响涂层的质量。
(3)镀层制备:在温度、湿度、混合比例、分装密度等参数控制下,采用电刷镀技术制备出电刷镀镍基纳米金刚石复合镀层。
(4)机械处理:使用精密磨头精细磨削涂层表面,使表面平滑光洁,减少去模孔和把模痕,使镀层表面光洁度以及耐磨质量更加优良。
(5)热处理:将电刷镀镍基纳米金刚石复合镀层进行热处理,以改善镀层的性能,增强其耐磨性能和抗腐蚀性能。
(6)检测:最后,通过物理检测、电化学检测、扫描电子显微镜检测等方法,对电刷镀镍基纳米金刚石复合镀层进行全面检测,以保持高质量。
纳米金刚石涂层刀具高速铣削7075铝合金的工艺参数优化*邵伟平, 张 韬(无锡职业技术学院 机械技术学院, 江苏 无锡 214121)摘要 采用热丝CVD 法制备纳米金刚石薄膜涂层刀具,利用场发射扫描电子显微镜表征薄膜的表面形貌,并用已制备的CVD 金刚石涂层刀具,在无润滑干切条件下高速铣削7075铝合金工件,对其精铣工艺参数进行单因素及正交试验,探索精铣后工件的表面粗糙度变化规律并进行工艺参数优化。
结果表明:随着主轴转速n 从5 000 r/min 提高到8 000 r/min , 工件平均表面粗糙度在逐级缓慢降低;当进给速度v f 在1 000~7 000 mm/min 范围内,随着v f 提高工件平均表面粗糙度快速增大,在v f 为7 000 mm/min 时,其值达1.790 μm ;当轴向切削深度a p 在0.1~0.4 mm 范围内,随着a p 提高,工件平均表面粗糙度逐步增大,但a p 在0.2 mm 之后其增大趋势变缓。
对7075铝合金工件精铣表面粗糙度影响最大的是v f ,其次为n ,a p 的影响最弱;其精铣的最优参数组合是a p =0.2 mm 、v f =1 000 mm/min 、n =8 000 r/min ,精铣后的表面粗糙度平均值为0.516 μm 。
选用纳米金刚石薄膜涂层刀具精铣7075铝合金时,为得到较低的表面粗糙度,应选择高主轴转速、低进给速度、合适的轴向切削深度。
关键词 切削加工工艺;CVD 纳米金刚石薄膜涂层刀具;精加工;高速铣削;正交试验;优化组合中图分类号 TG58; TH145.9 文献标志码 A 文章编号 1006-852X(2022)04-0473-08DOI 码 10.13394/ki.jgszz.2021.4003收稿日期 2021-12-07 修回日期 2022-05-307075铝合金是一种冷处理锻压合金,其强度高,具有良好的机械性能等,在航空航天、模具加工、机械设备、工装夹具中广泛使用。