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优缺点:
分子束外延法的优点是:生长温度底,能把诸如扩
散这类不希望出现的热激活过程减少到最低;生长速率慢
,外延层厚度可以精确控制,生长表面或界面可以达到原
子级光滑度,因而可以制备极薄的薄膜;超高真空下生长
,与溅射方法相比更容易进行单晶薄膜生长,并为在确定
条件下进行表面研究和外延生长机理的研究创造了条件;
用化学气相沉积法可以制备几乎所有的金属,氧化物、氮化物、碳化合物、复合氧化物等膜材料。
大,有利于在气敏、湿敏及催化方面的应用,可能会使气 纳米材料由于其特殊的性质,近年来引起人们极大的关注。
化学气相沉积是迄今为止气相法制备纳米材料应用最为广泛的方法,该方法是在一个加热的衬底上,通过一种或几种气态元素或化合
技术的发展,由此衍生出来的许多新技术,如金属有机化
学缺陷相沉积、热丝化学气相沉积、等离子体辅助化学气
相沉积、等离子体增强化学气相沉积及激光诱导化学气相
沉积等技术。
化学气相沉积法是纳米薄膜材料制备中使用最多的
一种工艺,广泛应用于各种结构材料和功能材料的制备。
用化学气相沉积法可以制备几乎所有的金属,氧化物、氮
纳米薄膜材料的制备
概述:
纳米材料由于其特殊的性质,近年来引起人们极大 的关注。随着纳米科技的发展,纳米材料的制备方法已日 趋成熟。纳米技术对21世纪的信息技术、医学、环境、自 动化技术及能源科学的发展有重要影响,对生产力的发展 有重要作用。
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按原理可分为:
化学方法
1.化学气相沉积(CVD); 2.溶胶-凝胶(Sol-Gel)法;
生长的薄膜能保持原来靶材的化学计量比;可以把分析测
试设备,如反射式高能电子衍射仪、四极质谱仪等与生长
系统相结合以实现薄膜生长的原位监测。