贴膜无尘车间设计方案

(57)摘要本发明公开了一种集成电路芯片、太阳能光伏芯片等生产用无尘室的施工方法。本发明包括以下步骤：步骤A、无尘车间建造：通过保温墙板围成密封空间；在密封空间的顶部设置吊顶，并将进风罩固定于上述吊顶上，然后安装进风管、排风管和空调机组；步骤B、除尘；步骤C、空气净化：通过进风管向无尘室内部通入过滤净化后的新风，同时通过排风管将无尘室内部的空气排出；步骤D、铺设地板：将液态的环氧树脂倾倒于无尘室的地面，待环氧树脂凝固后，使得无尘室的地面形成水平的环氧树脂涂层地板。本发明提升了无尘室内部的温度均匀性，实现了无尘室的有效保温。无尘车间设计方案1.无尘室的施工方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤A、无尘室建造：通过保温墙板围成密封空间，在上述密封空间的底部安装0.3～0.5m高的所述水平支撑台(3)；在密封空间的顶部设置吊顶，并将进风罩(3)固定于上述吊顶上，然后安装进风管(102)、排风管(103)和空调机组(1)，完成无尘室的建造；其中：进风罩(2)由多个模块拼装而成；步骤B、除尘：首先对无尘室内部进行人工清扫，然后通过吸尘器对无尘室内部进行吸尘，最后将无尘室内部所有物体表面至少擦拭一遍酒精；步骤C、空气净化：通过进风管(102)向无尘室内部通入过滤净化后的新风，同时通过排风管(103)将无尘室内部的空气排出，保持1～1.5h；步骤D、铺设地板：将液态的环氧树脂倾倒于无尘室的地面，待环氧树脂凝固后，使得无尘室的地面形成水平的环氧树脂涂层地板；其中：所述液态的环氧树脂中添加了占其质量10～15％的石墨粉。2.根据权利要求1或2所述的无尘室的施工方法，其特征在于：所述无尘室包括空调机组(1)和由保温墙板围成的密封空间，上述密封空间的底部设置有水平支撑台(3)，密封空间的顶部设置有进风罩(2)，该进风罩(2)通过进风管(102)与空调机组(1)连通；进风罩(2)周围通过排风管(103)与空调机组(1)连通。3.根据权利要求2所述的无尘室的施工方法，其特征在于：所述进风罩(2)为自上而下孔径渐扩的通道，且进风罩(2)下开口至上开口的高度：密封空间的高度＝1:6.2～8.4，进风罩(2)下开口的孔径:密封空间的宽度＝1:1.4～2.7，所述密封空间的顶部设置有至少八个出风口，且上述至少八个出风口围绕进风罩(2)周向等间距分布，每个出风口均通过排风管(103)与空调机组(1)连通。4.根据权利要求3所述的无尘室的施工方法，其特征在于：所述进风罩(2)的上开口设置有密封板(201)，上述密封板(201)上设置有至少四组进风口(202)，每组进风口(202)包括以密封板中心点为圆心周向等间距分布的若干个进风口(202)，上述至少四组进风口(202)以同心圆形式排布，且越靠近密封板中心点相邻两组进风口(202)围成圆周之间的距离值越小，每个进风口(202)均通过进风管(102)与空调机组(1)连通，且进风管(102)上设

无尘车间设计方案的节能设计

节能是我国可持续发展战略中的重要能源政策。但是，长期以来，无尘车间设计中针对的主要矛盾是微粒，而节能问题一直未引起高度重视。

随着我国GMP达标药厂的洁净室建设规模迅速发展与扩大，从药厂洁净室设计上采取有力措施来降低能耗，节约能源，已到了刻不容缓的地步，而从建筑布局、工艺条件上采用先进的节能技术和措施，可有效地降低能耗和药品生产成本。

1设计合适的车间型式

现代药厂洁净厂房以建造单层大框架正方形大面积厂房最佳。其显著优点是外墙面积最小、能耗低，可节约建筑、冷热负荷的投资和设备运转费用。另外，可控制和减少窗墙比，加强门窗构造的气密性。此外，在有高温差的洁净室设置隔热层，围护结构采用隔热性能和气密性好的材料及构造，建筑外墙内侧采用保温或夹芯保温复合墙板；在湿度控制房间设置有良好防潮性能的密封室：这些措施均能达到节能的目的。

2减少洁净空间体积

洁净空间的减少，意味着风量比、换气次数、送风动力消耗都随之降低。洁净室每平方米耗能是普通空调办公楼的10~30倍。若减少洁净体积30％，可节能25％。又由于1万级洁净区电耗是10万级的2.5倍，因此，企业应按不同的空气洁净度等级要求分别集中布置，尽最大努力减少洁净室特别是高级别洁净室的面积，同时，应使洁净度要求高的洁净室尽量*近空调机房，以减少管线长度，降低能量损耗。

减少洁净空间体积的实用技术之一是建立洁净隧道或隧道式洁净室，其可以满足生产对高洁净度环境和节能的双重要求，使洁净工艺区空间缩小到最低限度，风量大大减少。另外，还可采用洁净隧道层流罩装置，以抵抗洁净度低的操作区对洁净度高的工艺区可能存在的干扰与污染。在同样的总风量下，可以扩大罩前洁净截面积5~6倍。同时，还可通过洁净小室、洁净工作台、自净器、微环境等形式，如带层流装置的称量工作台以及带层流装置的灌封机等，实行局部气流保护，以维持该区域的高洁净级别要求，且减少洁净空间体积。

无尘车间设计方案

随着全球经济一体化的进程，我国的企业不仅同国内的企业展开激烈的竞争，而已还要跟国外企业展开更为广阔更为激烈的竞争，所以我们现在的企业不得不进行转型、升级、创新，因为只有这样我们才能生存。而在这种商业环境下，无尘车间将被我们越来越重视，因为无尘车间不仅能保证工作人员身体健康，而且对产品的质量、精度、成品率、稳定性等都有显著作用。

无尘车间作为一个“受控环境”，具有不同于其他建筑工程的特点，尽管任何建筑工程都包括设计、竣工验收、日常维护等环节，但是无尘车间还需要通过调试、检测和综合评价予以确认，绝不可草率行事，匆匆投入运营。

无尘车间设计方案注意事项：

1. 无尘车间设计内容有合理布置工艺流程和建筑平面；

2. 选择满足无尘车间特点的建筑构造和材料；

3. 无尘车间设计应依据当时当地的能源供应背景，选定可靠和经济的冷、热源；

4. 划分和布置空调净化和排风系统；

5. 选择合理的空气净化通风设备； 无论是新建还是重新改造的无尘车间，都一定依照国家相关标准、规范进行。

无尘车间设计时应考虑的五个特性： （1）耐久性：

无尘车间要有符合环境、无尘车间内部的清洗溶液及振动、设备、空气过滤系统的耐久材料。而耐久性，同时也依赖无尘车间等级来建造。半导体倾向选择铝，基于它的耐久性，然而，它不是便宜的物质。

（2）清洗：

在制药和生物工学工业，无尘车间的墙壁需要有容易被清洗和擦拭，直到防止滤过性病毒或细菌的污染之特性。在市场，清洗真正地是一个最重要的企业。

（3）适应性：

一些厂商认为适应性可节省一笔金钱，而适应性意指系统可任意移动或改变而不会招致极大的损失。拥有者和设计者的能力为改变的关键，所以他们从不将最初的设计定型。

（4）维护性：

对无尘车间而言，较严格要求的部分为地板、天花板，以及墙壁的部分。至于维修的问题，对材料的选择是否容易清洁性及维修性都应有其优先级。在应用力面、天花板、地板及墙壁三者之中最重要的为天花板，其包含HEPA及ULPA等滤网，其可过滤掉房间的微粒子，且其常会因各个不同的需要，便其分开来，供应各个不同区域的小房间，曾有人说：若建造之预算因某种原因被限制，除了少数的小钱外，其天花板将趋于更贵的地步，其实天花板是一个颇复杂的系统其必须严格地过滤粒子，故其设计必须精确。

无尘车间设计方案（集成电路）-喜格

集成电路无尘车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室，SICOLAB该无尘车间对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室，集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。

根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合高效送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。

第一种形式在小规模低等级要求的洁净室车间设计中被广泛应用，对于大面积高等级的洁净车间则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。

第二种形式的设计可以满足集成电路制造无尘车间大面积高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。

第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求，因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为最主要的净化设计方案。

FFU循环系统的特点是：整个洁净室由静压层、工艺层、工艺辅助层和回风通道组成，由FFU提供循环空气的动力，将新风、循环风混合后通过超高效过滤器送入工艺层和工艺辅助层，静压层相对于工艺层为负压。此外，还有生产辅助区为集成电路制造厂务设备区域，包括电力供应、气体和化学品供应、超纯水供应等。

集成电路制造对无尘车间环境的控制有较为严格的要求。不同的工艺制程对洁净度的要求也各不相同，例如光刻要求在1级的微环境下，而化学机械研磨则只要求1000级的环境即可。

另外，集成电路制造洁净厂房对噪声、微振、照度等都有相关的规定和要求，尤其是振动的控制，在洁净室的建筑结构设计上就要有所要求。

SICOLAB霍总监说，好的洁净车间设计不仅能节省能源、降低运行成本、降低人力投入，而且可以给生产提供安全可靠的保证。在3种洁净系统中，FFU循环系统运行成本最低，洁净度安全性最高，因此集成电路洁净厂房多采用FFU循环系统。而洁净度要求越高，温湿度控制精度越高则洁净室投资和运行成本越高，因此在大环境洁净度或温湿度要求相对较低的情况下，将一些关键的工艺设备布置在较高洁净度或温湿度控制区域内是集成电路制造洁净厂房的设计趋势。