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深水泵的工作原理深水泵是一种用于处理深水井水的工程设备，主要用于提升地下水或泥浆。
其工作原理是利用电动机或柴油机驱动叶轮进行旋转，产生负压，使地下水或泥浆被吸入，然后通过管道输送到地面或水面。
深水泵通常由泵体、电动机（或柴油机）、叶轮、导流器、水管和控制系统等部件组成。
深水泵的工作原理可以分为吸水和排水两个阶段。
首先是吸水阶段，当电动机（或柴油机）启动时，叶轮开始旋转，产生负压，使地下水或泥浆通过吸入口被吸入泵体中。
同时，导流器的作用是引导吸入的水流进入叶轮，确保叶轮能够有效地吸收水流，并将其输送出泵体。
在这个过程中，控制系统会监控泵的运行状态，并对电动机进行调节，以确保泵体能够稳定地吸入水流。
接着是排水阶段，当地下水或泥浆被吸入泵体后，由于叶轮的旋转作用，水流被压缩并产生压力，然后通过水管被输送到地面或水面。
在这一阶段，控制系统会对电动机进行调节，以确保水流能够顺利地被排出。
此外，深水泵的泵体和水管会对水流进行密封和保护，以防止泵体内的水流外泄或漏失。
深水泵的工作原理是基于流体力学和机械原理的。
通过叶轮的旋转，产生的离心力和压力能够将地下水或泥浆快速地输送到地面或水面。
同时，控制系统能够监控泵的运行状态，对电动机进行调节，保证泵体的稳定工作。
此外，深水泵还具有自动保护和故障诊断功能，当泵体出现异常情况时，能够及时停止工作，以保证设备和人员的安全。
总之，深水泵是一种用于处理深水井水的工程设备，其工作原理是利用电动机或柴油机驱动叶轮进行旋转，产生负压，使地下水或泥浆被吸入，然后通过管道输送到地面或水面。
其工作原理基于流体力学和机械原理，通过叶轮的旋转来产生离心力和压力，将水流快速地输送出来。
此外，深水泵还具有自动保护和故障诊断功能，确保设备和人员的安全。
自来水气动增压泵工作原理
自来水气动增压泵主要由压缩空气供应系统和增压泵本体组成。
压缩空气供应系统通过管道将压缩空气输送至增压泵本体。
当压缩空气进入增压泵本体后，首先进入驱动腔。
驱动腔内含有压缩空气马达，其工作原理是通过气压的作用使得柱塞产生上下运动。
驱动腔的作用是产生往复运动来驱动泵体工作。
当柱塞被驱动向上运动时，吸入水通过入口进入吸入腔。
当柱塞运动到顶部位置时，吸入腔被封闭，形成真空，使得吸入口处的水被抽入腔内。
随着柱塞进一步向上运动，吸入腔进一步封闭并形成压力，将吸入的水推向排出腔。
柱塞继续向上运动，排出腔也被封闭，形成高压。
此时，柱塞开始向下运动，排出腔被打开。
由于压力差，腔内的水被迫推向出口，形成输出流。
随着柱塞继续向下运动，吸入腔也被打开，水通过入口重新进入吸入腔，以便下一次的工作循环。
通过连续的往复运动，泵体能够将进入的低压水通过增压转换为高压输出流，实现自来水气动增压的目的。
fb离心泵需用泵来供水先等。
在电力部门，核电站需要核主泵、二级泵、三级泵、热电厂需要大量的锅炉给水泵、冷凝水泵、循环水泵和灰渣泵等。
在国防建设中，飞机襟翼、尾舵和起落架的调节、军舰和坦克炮塔的转动◆一用一备，运行可靠专有技术体现内置自动换向运行装置的独特构思，当一台发生故障，另一台自动投入运行，保证供水不中断◆成熟可靠的核心部件和优化设计, 节能效果好内置自动换向装置精心设计制作，强化其组装质量和形位公差控制、实现其灵活、密封、可靠、耐用度高；波纹管机械密封和强制环流冷却循环系统比一般离心泵的普通机封寿命长2倍以上；机泵同轴震动小；对流道结构作了优化设计，保证高效运行。
配用Y2系列电机，效率提高2-4%、F级绝缘、电机耐热145℃以上,特殊结构的叶轮，优化的水力模型使液体流动更加顺畅，采用树脂砂造型铸件，铸件内部过流部件其表面粒度均匀、平滑光洁，水力损失小，保证其最佳性能。
◆简化系统环节，提高可靠性出水管道连接、阀类、附件、配件等对于采用备用泵设计而言，数量减少，系统环节简化，可靠性提高，维护简便。
Y2电机超载能力强、即使在145℃仍可在额定功率下可靠运行。
◆降低机组噪声，有利于环保双联泵将原单体水泵配套电机的功率数一分为二，降低了起动电流和起动噪声,降低单电机的功率数也就降低电机的噪音分贝，从而有效的降低了水泵机组的噪声。
◆降低安装费用50%，简化安装工序泵体的安装与输水管路的连接仅需一套管、阀、附件、泵基座，极大地简化了安装，与普通管道泵相比，既节省安装费用又缩短了工期，使投资大幅度减少◆节省机组占地面积双联泵的独特设计思想，大大节省泵房和管路的占地面积50%以上，由于减少基建投资、节省占地面积、便于系统整体管理。
◆运行费用，降低50% ～70% 用水呈高峰、低估连续或阶梯形变化的应用工况（如供暖和冷却系统），在用水低谷时，双联泵为单泵运行模式，在用水高峰时，双联泵可双泵运行，从而实现了工作的高效节能。
1.上海阳光泵业制造有限公司上海阳光泵业是集设计/生产/销售泵、给水设备及泵用控制设备于一体的大型综合性泵业集团，是中国泵行业的龙头企业。
总资产达38亿元，在上海、浙江、河北、辽宁、安徽等省市拥有7家企业，5个工业园区，占地面积67万平方米，建筑面积35万平方米。
上海阳光获得了“上海市质量金奖”、“上海市科技百强企业”、“上海市名牌产品”、“中国质量信用AAA级”、“全国合同信用等级AAA级”、“质量、信誉、服务三优企业”、“中国最具竞争力的商品商标”、“五星级服务认证”等荣誉，连续多年入选全国机械500强。
高端人才和高素质的员工队伍是阳光发展的动力。
集团现有员工4500余人，其中工程技术人员500多名，主要由国内知名水泵专家教授、博士硕士、中高级工程师、高级工艺师组成，形成了具有创新思维的梯队型人才结构。
科技创新，是阳光基业长青的生命之源。
集团是上海市高新技术企业、上海市知识产权示范企业和上海市专利示范企业。
上海市级的“企业技术中心”，每年以销售总额的5%，用于技术创新和新产品研发。
2.河北紫东泵业有限公司河北紫东泵业有限公司是一家专业生产渣浆泵、砂砾泵及大型挖泥泵及配件的厂家。
紫东泵业当前拥有独立的车间厂房及现代化生产设备。
并且专门致力于出口品质产品的生产及专业工程技术方案的提供。
经过多年生产经验及技术力量的积累，企业生产流程严格执行国家ISO 标准并配有严格的质检团队。
产品注重细节品质，严格遵守国际市场高标准。
3.青岛晨远泵业有限公司青岛晨远泵业有限公司是一家集生产、研发、销售为一体的民营企业，座落于美丽富饶的青岛胶州湾畔，这里交通便利，有环胶州湾高速公路、济青高速公路、同三高速公路、胶济铁路、胶黄铁路四通八达。
公司专业生产QJ100、QJ125、QJ150、QJ175、QJ200型水冷电机石墨套轴承深井泵，主营各类品牌水泵、风机、空压机、电线电缆、管件建材，有着良好口碑4.青岛润泽通科技有限公司青岛润泽通科技有限公司成立于2017年，是集科研、设计、制造和经营为一体的高新技术企业，主要从事火电、钢铁，冶金，水泥、化工等企业的烟气在线检测系统及备品备件、水处理在线监测系统及备品备件、大气监测系统及备品备件、实验室仪器仪表的制造和销售。
深水泵原理深水泵是一种用于从深水井中抽取水的设备，它的原理和结构在水泵领域中具有特殊的地位。
深水泵的工作原理是利用电动机带动叶轮旋转，通过离心力将水吸入并向上输送，从而实现将深井中的水抽取出来的功能。
首先，深水泵的结构包括电动机、泵体、叶轮、机械密封和轴承等部件。
电动机是深水泵的动力来源，通过电动机的驱动，叶轮在高速旋转的同时产生离心力，使得水被吸入泵体内部。
泵体是深水泵的主体部分，其内部安装有叶轮和叶片，通过泵体将水吸入并压缩后向上输送。
叶轮是深水泵的关键部件，其设计和制造直接影响泵的性能和效率。
机械密封和轴承则起到密封和支撑作用，保证泵的正常运转。
其次，深水泵的工作原理是基于离心力的。
当电动机启动后，叶轮开始高速旋转，产生强大的离心力。
水在叶轮的作用下被吸入泵体内部，并随着叶轮的旋转被压缩。
随着叶轮的高速旋转，水被迫向上输送，最终通过出水口排出。
这种离心力的作用使得深水泵能够将地下深层的水抽取到地表，满足人们对水资源的需求。
另外，深水泵的工作原理还与泵的设计和选型有关。
不同类型的深水泵在工作原理上可能会有所不同，但总体来说都是基于离心力的。
在选型时需要根据井深、水质、水量和扬程等因素进行合理选择，以确保泵的正常运行和高效抽水。
总的来说，深水泵是一种利用离心力将深井中的水抽取到地表的设备，其工作原理是基于电动机带动叶轮旋转产生的离心力。
通过合理的设计和选型，深水泵能够高效、稳定地完成水的抽取任务，为人们的生活和生产提供了便利。
深水泵的原理和结构对于水泵领域的发展具有重要的意义，也为人们解决了深井水资源的利用问题。
企业通过ISO 9001质量管理体系认证分子泵全系列 使用说明书¾分子泵安全使用说明在安装与使用分子泵前，泵的安装与操作人员都应仔细阅读本使用说明书，并按照说明书中规定的条款安装与操作，以免造成人员伤害与设备损坏。
¾安全警示说明危险：表示为了防止危及人身安全，需要引起高度注意且必须遵守的事项；警告：表示为了防止损伤或损坏泵，需要引起中度注意且必须遵守的事项；小心：表示为了使泵的使用效果最佳，需要引起轻度注意且需要遵守的事项。
¾保修说明凡购买我公司生产的分子泵，从发货之日起，用户凭保修单可保修一年。
凡属下列情况之一的，不予保修：1)用户未经授权对产品私自拆卸；2)用户保管或使用不当（如撞击、强放射性环境、强磁场环境等）；3)属于用户其他原因造成的损坏。
¾免责声明当用户严格遵照本说明书中的规定安装和使用时，KYKY分子泵是安全、方便和有效的。
泵的操作人员必须仔细阅读并严格遵守本说明书中的条款。
由于用户没有仔细阅读说明书、或未按照使用说明书的要求操作而造成的任何伤害和损失，KYKY将不负担任何责任。
本说明书仅作为信息使用，如遇改版，恕不另行通知。
如本说明书与实际产品有所出入，本公司拥有最终解释权。
由本说明书引起、产生和包含的知识产权均属KYKY所有。
1概述1.1 分类与特点本说明书所列分子泵，按口径不同，从100mm到400mm（对应抽速从110l/s到3500l/s）共5个系列，12种泵。
分子泵一般有两种结构形式，一种是由动静叶列组成的涡轮分子泵，一种是由涡轮级加牵引级构成的复合型分子泵。
复合型分子泵的特点是使得分子泵高压强区的抽速有所提高，另一特点是使得出口耐压得到提高，因此可以适当减小前级泵的规格，可使用户节省投资。
根据分子泵轴承润滑方式不同，分子泵有油润滑、脂润滑两种。
一般情况下，油润滑分子泵需竖直安装（F-100/110可以水平安装），脂润滑分子泵可以任意角度安装。
中国十大加压泵是哪十个？1.上海阳光泵业制造有限公司上海阳光泵业制造有限公司是国内在水泵大型生产基地上是集科研、设计、制造、销售、服务于一体的生产水泵产品的高新技术企业，位于闻名全国的上海市。
在几十年的实践运营中,已形成了先进整套的生产、经营管理体系,培养了一批高素质,高水平，经验丰富的专业工程技术人员。
一直致力于高质量水泵的技术研发、专业生产和订制安装。
机组涵盖了适用一般用户和特殊用户使用的多种类型，包括螺杆泵、离心泵、多级泵、排污泵、离心泵等类型。
2. 赛高：SEKO品牌是一家全球闻名的加药泵和系统制造企业，已有40多年历史。
从卫生和表面清洁系统设计到人类消费、冷却塔、泳池和各类工业流程所需的水处理，SEKO专注于电磁和电机驱动加药泵、测量和分析仪表的专业设计与制造，可根据任何需求量身定制解决方案3. 凯士比：成立于1871年，水泵和工业阀门相关系统制造商，提供工业、楼宇、水和污水、矿业、能源领域全套的自动化及驱动解决方案，并提供水泵阀门的安装调试、保养维护等服务。
4. 重庆霞诺发电机制造有限公司重庆霞诺发电机制造有限公司经过几年的发展，已由单一生产发电机组（及配套设备）的公司发展成为了一家集燃气机组（及配套产品）生产、泵阀生产、变压器生产的一综合性公司。
公司位于重庆市梁平工业园A区，公司技术力量雄厚、工艺先进、设备齐全、质量控制严格，产品性能达到国内外先进水平，公司主要分为：1、燃气分公司：生产和销售燃气发电机组及燃气管路设备；2、泵阀分公司：生产和销售各种阀门和水泵；3、电器分公司:生产和销售各种变压器。
公司主要生产的燃气发电机组有：瓦斯发电机组、沼气发电机组、天然气发电机组、生物质气发电机组、焦化气体机组、煤气发电机组组、页岩气发电机组等。
公司生产的燃气设备主要有：脱硫器（塔）、气水分离器、细水雾系统（模块）、除尘器、过滤器、止回阀、阻火器、全自动水封、自动阻爆装置、自动抑爆装置、减（增）压稳压系统、冷却塔、湿式放散阀、干式放散阀、脱雾装置、紧急切断电磁阀、减压稳压阀等。
增压泵的功能及介绍“负压泵”、“正压泵”主要是从功能和主要用途来人为区分的。
“负压泵”主要用在对真空(负压)有要求的场合，比如：抽气、气体分析、气体循环、气体采样、真空吸附、间接吸水等;而“正压泵”主要用于需要泵作为动力，进行气体转移、对密闭容器增压、充气打气、间接压水等，两者常用于医疗、科研、环保、仪器、控制等等方面。
“负压泵”的排气端也是有正压的，只不过是微正压，比“正压泵”的输出压力小得多，比如微型真空泵VM、VAA、PC等系列就是“负压泵”、“吸气泵”，而它们的排气端压力往往只有几个千帕(KPa);“正压泵”的抽气端也是有微负压的，才能完成抽气的作用。
气体增压泵系列为二级增压泵，可以将极低压力的气体增至很高的压力，驱动气压≤7bar，气体输入口的压力范围为0.5—10bar，最大可增至90Mpa。
该系列泵的换向方式与N系列完全相同，整台泵全部采用铝合金及不锈钢制造。
在泵的气驱部分该系列需用润滑型气体，以便让密封和其他内部零件得到润滑，该系列泵的驱动活塞直径为160mm.气体增压泵系列为单级增压泵，为达到所需压力气体输入口输入气压需要一定程度的预压，预增压力因达到气体增压泵图片的最大压力不同而不同。
最大可增压至80Mpa。
气体增压泵H系列采用单气控非平衡气体分配阀来实现泵的往复运动，全部采用铝合金及不锈钢制造。
全部密封均为进口优质产品，最大设计驱动气压均为10bar，为了保证泵的寿命建议驱动气压<8bar。
该系列泵的驱动活塞直径为160mm，为单作用泵，所有单作用泵均带有排气冷却。
气体增压泵N系列为二级增压泵，可以将极低压力的气体增至很高的压力，驱动气压≤7bar，气体输入口的压力范围为0.5—10bar，最大可增至90Mpa。
该系列泵的换向方式与B系列完全相同，与B型相比流量大一倍。
一、ISW变频全自动管道增压泵功能特点：1、性能范围广。
可根据客户实际情况选择各种最佳性能匹配的各种立式或卧式水泵作为增压泵，当设备功率≤2.2KW时，可采取220V/380V两种模式供电，使其既能满足民用也可满足一般工农业生产需求。
新一代分子增压泵—深冷水气泵组合抽气机組(1)最近，我们采用4台抽速1,000L/s的分子增压泵+1台0.4m2 深冷水汽泵组成高真空抽气机組，成功取代了为1600 1900大型蒸发镀膜设备配套的2台K-800扩散泵和1台ZJ-1200罗茨泵抽气机組，取得了下列优异成果：■抽气能耗：2.5 度/炉，比原设备节省80%，年节电30~40万度/台，相当于每台设备减排CO2200~300吨/年。
■镀膜周期（粗抽时间相同）：12分钟，与原设备相同。
■真空质量：明显优于原设备。
■镀膜产品质量：优于原设备产品的质量，消除了膜层色泽泛黄现象。
■设备费用：比双扩散泵机组节省5 万元；比单扩散泵机组增加13万元，6个月节省的电费可收回增加的设备费。
本项技术原则上还可以用于其它大型高真空设备，2台K-800扩散泵的抽速总和已超过目前最大的KT-1000油扩散泵。
因此，本项成果已表明：大型扩散泵+罗茨泵机组退出历史舞台的日子已经不远了。
一、大型蒸发镀膜目前存在的问题1．油蒸汽污染大型蒸发镀膜设备容积大，气体负载重，目前普遍采用大型扩散泵、罗茨泵和滑阀泵机组抽气，存在油蒸汽污染严重，膜层结合力差，表面色泽泛黄，镀膜产品质量低等缺点。
油蒸汽污染的来源：■蒸发镀膜低真空采用滑阀泵，或旋片泵抽气，这二种泵的本底油蒸汽压为10-1Pa。
■中真空区段通常采用罗茨泵抽气。
罗茨泵的最大压缩比不超过50，而且与气体种类几乎无关，因此，该泵只能将滑阀泵的油蒸汽污染降低1 个数量级。
加上该泵采用有油轴承，轴承与镀膜室之间存在直通通道，因此，本身也是一个污染源，本底油蒸汽压为10-2~10-3Pa量级，其污染不能忽略。
■以油蒸汽为工作质的扩散泵是污染的主要源头。
扩散泵高阀处存在大量液态泵油，镀膜室抽气口常见的褐色、粘稠状物质就是明证。
扩散泵的油蒸汽本底在10-4~10-6Pa，该油蒸汽压看起来很低，但造成的污染很难清除，加上分子量大，对镀膜产生的不利影响以一抵十，是真空镀膜的头号大敌。
镀膜设备使用一段时间后，抽气时间变长也是油蒸汽污染的直接结果。
2．能耗高大型蒸发镀膜设备的抽气能耗很高。
1600 1900 大型蒸发镀膜设备常用的配置主要有如下两种：单扩散泵机组和双扩散泵机组。
两种设备的具体配置、标称抽气能耗和实际抽气能耗如表1所示。
表1 1600 1900蒸发镀膜设备的真空泵配置、标称抽气能耗和实际抽气能耗单扩散泵机组和双扩散泵机组的实际抽气能耗分别为35kW 和52kW，年耗电28万度和40万度/台。
3．活性气体分压强高除了油蒸汽之外，活性气体是影响镀膜质量的最重要的因数。
蒸发镀膜设备频繁暴露大气，镀膜室会吸附大量可凝性气体（H2O 为主）。
实测结果表明，蒸发镀膜的精抽本底中，H2O占总气体总量的80~90%。
因此，蒸发镀膜设备的升级换代，需要应对上述三大难题。
近年来，部分蒸发镀膜设备开始采用深冷水汽泵（-120℃）与扩散泵一起工作（例如珠三角地区比较流行的双扩散泵机组），抽气时间明显缩短，油蒸汽污染也有所降低（未能消除），但能耗和费用却进一步增加，因此，未能在大范围内推广应用。
二、升级换代的新路分子增压泵+深冷水汽泵最近，深圳大学的原创性科技成果分子增压泵实现了产业化，该泵的结构和性能分别如图1、2所示，具有结构简单，转子全部由平圆盘构成，兼有中、高真空泵双重性能，而且能耗低，抽速1,000L/s的MB200D分子增压泵能耗0.25kW，仅为同抽速罗茨泵的15%，扩散泵的20%，分子泵的60%，还能获得十分清洁的中、高真空。
此外，该泵转子全部由平圆盘构成，消除了分子泵易发生打片损坏的一大缺陷。
图1 MB200D分子增压泵的平圆盘转近年来，深冷水汽泵（POLYCOLD，-120℃）开始获得推广应用，该泵能耗低、无油蒸汽污染、对水蒸汽的抽速高达20,000~200,000L/s。
目前，我国已有多家厂商生产深冷水气泵(阱)，部分产品质量已接近进口水平，售价不到进口产品的50%。
我们采用的是上海協元低温真空设备有限公司生产的制冷面积为0.4M2的深冷水气泵，深冷温度低于－130℃。
上述二种新型的抽气装备，为攻克大型蒸发镀膜设备的三大难题提供了新的路子：1．油蒸汽的对策■中、高真空采用能获得清洁中、高真空的分子增压泵+深冷水气泵，取代扩散泵和罗茨泵。
■粗真空采用独特抽气工艺，粗抽压强从几Pa 提高到几十Pa，将油蒸汽污染降至可检测值之下。
2．高能耗的对策■采用低能耗的分子增压泵和深冷水汽泵，取代高能耗扩散泵和罗茨泵，节省精抽能耗80%以上。
■粗抽压强从几Pa 提高到50~100Pa，粗抽泵（滑阀泵，或旋片泵）运行时间降至3~4分钟，节省粗抽能耗70%。
3．活性可凝性气体的对策采用深冷水气泵作辅助抽气，对水蒸汽的抽速可提高至40,000L/s 以上。
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最近，我們采用4臺抽速1,000L/s的分子增壓泵+1臺0.4m2 深冷水汽泵組成高真空抽氣機組，成功取代瞭為1600 1900大型蒸發鍍膜設備配套的2臺K-800擴散泵和1臺ZJ-1200羅茨泵抽氣機組，取得瞭下列優異成果：■抽氣能耗：2.5 度/爐，比原設備節省80%，年節電30~40萬度/臺，相當於每臺設備減排CO2200~300噸/年。
■鍍膜周期（粗抽時間相同）：12分鐘，與原設備相同。
■真空質量：明顯優於原設備。
■鍍膜產品質量：優於原設備產品的質量，消除瞭膜層色澤泛黃現象。
■設備費用：比雙擴散泵機組節省5 萬元；比單擴散泵機組增加13萬元，6個月節省的電費可收回增加的設備費。
本項技術原則上還可以用於其它大型高真空設備，2臺K-800擴散泵的抽速總和已超過目前最大的KT-1000油擴散泵。
因此，本項成果已表明：大型擴散泵+羅茨泵機組退出歷史舞臺的日子已經不遠瞭。
一、大型蒸發鍍膜目前存在的問題1．油蒸汽污染大型蒸發鍍膜設備容積大，氣體負載重，目前普遍采用大型擴散泵、羅茨泵和滑閥泵機組抽氣，存在油蒸汽污染嚴重，膜層結合力差，表面色澤泛黃，鍍膜產品質量低等缺點。
油蒸汽污染的來源：■蒸發鍍膜低真空采用滑閥泵，或旋片泵抽氣，這二種泵的本底油蒸汽壓為10-1Pa。
■中真空區段通常采用羅茨泵抽氣。
羅茨泵的最大壓縮比不超過50，而且與氣體種類幾乎無關，因此，該泵隻能將滑閥泵的油蒸汽污染降低1 個數量級。
加上該泵采用有油軸承，軸承與鍍膜室之間存在直通通道，因此，本身也是一個污染源，本底油蒸汽壓為10-2~10-3Pa量級，其污染不能忽略。
■以油蒸汽為工作質的擴散泵是污染的主要源頭。
擴散泵高閥處存在大量液態泵油，鍍膜室抽氣口常見的褐色、粘稠狀物質就是明證。
擴散泵的油蒸汽本底在10-4~10-6Pa，該油蒸汽壓看起來很低，但造成的污染很難清除，加上分子量大，對鍍膜產生的不利影響以一抵十，是真空鍍膜的頭號大敵。
鍍膜設備使用一段時間後，抽氣時間變長也是油蒸汽污染的直接結果。
2．能耗高大型蒸發鍍膜設備的抽氣能耗很高。
1600 1900 大型蒸發鍍膜設備常用的配置主要有如下兩種：單擴散泵機組和雙擴散泵機組。
兩種設備的具體配置、標稱抽氣能耗和實際抽氣能耗如表1所示。
表1 1600 1900蒸發鍍膜設備的真空泵配置、標稱抽氣能耗和實際抽氣能耗單擴散泵機組和雙擴散泵機組的實際抽氣能耗分別為35kW 和52kW，年耗電28萬度和40萬度/臺。
3．活性氣體分壓強高除瞭油蒸汽之外，活性氣體是影響鍍膜質量的最重要的因數。
蒸發鍍膜設備頻繁暴露大氣，鍍膜室會吸附大量可凝性氣體（H2O 為主）。
實測結果表明，蒸發鍍膜的精抽本底中，H2O占總氣體總量的80~90%。
因此，蒸發鍍膜設備的升級換代，需要應對上述三大難題。
近年來，部分蒸發鍍膜設備開始采用深冷水汽泵（-120℃）與擴散泵一起工作（例如珠三角地區比較流行的雙擴散泵機組），抽氣時間明顯縮短，油蒸汽污染也有所降低（未能消除），但能耗和費用卻進一步增加，因此，未能在大范圍內推廣應用。
二、升級換代的新路分子增壓泵+深冷水汽泵最近，深圳大學的原創性科技成果分子增壓泵實現瞭產業化，該泵的結構和性能分別如圖1、2所示，具有結構簡單，轉子全部由平圓盤構成，兼有中、高真空泵雙重性能，而且能耗低，抽速1,000L/s的MB200D分子增壓泵能耗0.25kW，僅為同抽速羅茨泵的15%，擴散泵的20%，分子泵的60%，還能獲得十分清潔的中、高真空。
此外，該泵轉子全部由平圓盤構成，消除瞭分子泵易發生打片損壞的一大缺陷。
圖1 MB200D分子增壓泵的平圓盤轉近年來，深冷水汽泵（POLYCOLD，-120℃）開始獲得推廣應用，該泵能耗低、無油蒸汽污染、對水蒸汽的抽速高達20,000~200,000L/s。
目前，我國已有多傢廠商生產深冷水氣泵(阱)，部分產品質量已接近進口水平，售價不到進口產品的50%。
我們采用的是上海協元低溫真空設備有限公司生產的制冷面積為0.4M2的深冷水氣泵，深冷溫度低於－130℃。
上述二種新型的抽氣裝備，為攻克大型蒸發鍍膜設備的三大難題提供瞭新的路子：1．油蒸汽的對策■中、高真空采用能獲得清潔中、高真空的分子增壓泵+深冷水氣泵，取代擴散泵和羅茨泵。
■粗真空采用獨特抽氣工藝，粗抽壓強從幾Pa 提高到幾十Pa，將油蒸汽污染降至可檢測值之下。
2．高能耗的對策■采用低能耗的分子增壓泵和深冷水汽泵，取代高能耗擴散泵和羅茨泵，節省精抽能耗80%以上。
■粗抽壓強從幾Pa 提高到50~100Pa，粗抽泵（滑閥泵，或旋片泵）運行時間降至3~4分鐘，節省粗抽能耗70%。
3．活性可凝性氣體的對策采用深冷水氣泵作輔助抽氣，對水蒸汽的抽速可提高至40,000L/s 以上。
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最近，我们采用4台抽速1,000L/s的分子增压泵+1台0.4m2 深冷水汽泵组成高真空抽气机組，成功取代了为1600 1900大型蒸发镀膜设备配套的2台K-800扩散泵和1台ZJ-1200罗茨泵抽气机組，取得了下列优异成果：■抽气能耗：2.5 度/炉，比原设备节省80%，年节电30~40万度/台，相当于每台设备减排CO2200~300吨/年。
■镀膜周期（粗抽时间相同）：12分钟，与原设备相同。
■真空质量：明显优于原设备。
■镀膜产品质量：优于原设备产品的质量，消除了膜层色泽泛黄现象。
■设备费用：比双扩散泵机组节省5 万元；比单扩散泵机组增加13万元，6个月节省的电费可收回增加的设备费。
本项技术原则上还可以用于其它大型高真空设备，2台K-800扩散泵的抽速总和已超过目前最大的KT-1000油扩散泵。
因此，本项成果已表明：大型扩散泵+罗茨泵机组退出历史舞台的日子已经不远了。
