微型、薄型动态压力传感器

德国FESTO压力传感器SPAN-B-B11R型技术参数及应用德国FESTO压力传感器SPAN-B-B11R型技术参数及应用德国FESTO压力传感器SPAN-B-B11R型是超紧凑且经济实惠的压力传感器 SPAN 具有惊人的灵活性。

得益于可切换的电气输出以及用于压力测量范围和气动连接的众多选件，它可用于各种应用。

压力传感器是传感器中一种，但是我们很少听说这种压力传感器，它通常被用于交通运输应用中，这类传感器为用户提供二进制信号，通过信号显示是否检测到物体。

电感式传感器也称为接近开关或位置变送器。

结构和工作原理由三个功能单元组成：一个振荡器、一个评估单元、一个输出阶。

作为振荡器的组成部分，线圈的作用是通过振荡电路产生一个交变磁场，此磁场从电感式传感器的有源面生成通过监测气动、轻载液压、制动压力、机油压力、传动装置、以及卡车/拖车的气闸等关键系统的压力、液力、流量及液位来维持重载设备的性能。

压力传感器是一种具有外壳、金属压力接口以及高电平信号输出的压力测量装置。

许多传感器配有圆形金属或塑料外壳，外观呈筒状，在这个过程中要充分地利用多源数据进行合理支配与使用，而信息融合的最终目标则是基于各传感器获得的分离观测信息，通过对信息多级别、多方面组合导出更多有用信息。

这不仅是利用了多个传感器相互协同操作的优势，而且也综合处理了其它信息源的数据来提高整个传感器系统的智能化。

压力传感器是使用最为广泛的一种传感器。

发现系统阻塞等问题，从而即时找到解决方案。

压力传感器一直在发展，重载压力传感器为了能够用于更加复杂的控制系统，设计工程师必需提高传感器精度同时需要降低成本便于实际应用等要求用于监控压缩空气和无腐蚀性气体用于监控网络、监控调节器、检查密封性、探测对象相对测量方法基于压阻式测量元件串行通信通过 IO-Link 1.1 集成结构紧凑 30x30 mm高对比度显示屏，带有蓝色背光技术参数：过载压力 1.5 MPa 15 bar 217.5 psi工作介质压缩空气惰性气体介质温度0 °C ... 50 °C环境温度0 °C ... 50 °C精度(± % FS) 1.5 %FS重复精度± %FS 表示0.3 %FS温度系数(± %FS/K) 0.1 %FS/K开关输出 PNP/NPN，可切换开关元件功能常闭或常开触点，可切换输出电流 80 mA工作电压范围DC10.8 V ... 30 V反极性保护适用于所有电气连接连接类型插头。

SC0073 微型动态脉搏微压传感器
动态微压传感器是一种高性能、低成本的压电式小型压力传感器，产品采用压电薄膜作为换能材料，动态压力信号通过薄膜变成电荷量，在经传感器内部放大电路转换成电压输出。

该传感器具有灵敏度高，抗过载及冲击波能力强，抗干扰性好、操作简便、体积小、重量轻、成本低等特点，广泛应用于医疗、工业控制、交通、安全防卫等领域。

●典型应用：
▪脉搏计数探测
▪按键键盘，触摸键盘
▪振动、冲击、碰撞报警
▪振动加速度测量
▪管道压力波动
▪其它机电转换、动态力检测等
●动态微压传感器主要性能指标：
压力范围：≤1Kpa
灵敏度：≥0.2mv/pa
非线性度：≤1% F.S
频率响应：1~1000HZ
标准工作电压：3V (DC)
扩充工作电压： 1.5~6V (DC)
标准负载电阻：10K
扩充电阻：5K~20K
外形尺寸：SC0073-A F12.7 X 7.6
SC0073-B F6.1 X 3.1
重量：＜1.5g
●产品价格：
SC0073-A 50元/只
SC0073-B 60元/只
说明：1、上述电路输出有一直流迭加，如不需要，可用隔直电容去除；
2、勿用尖锐物品触压传感器敏感面。

参考电路说明：不相同之处，敬请谅解。

FLexiForce薄膜传感器Flexiforce sensorFlexiforce超薄型力量感测片具有如纸般薄的厚度，柔软的卷曲性以及耐用性，可适用与各种不同的安装环境。

标准型 A201感测片物理特性：厚度0.008’’(0.208mm)长度 2—8’’(51－－-203mm)宽度0.55’’(14mm)感测范围0.357’’,直径（9.53 mm）接头 3 pin male square pin特性表：线性误差 <+/-5%重复性 <+/-2.5% of full scale (80%力量加载)磁滞性 <4.5% of full scale (80%力量加载)漂移 <5% log time (90% 固定力量加载)反应时间 <5% msec工作温度15°F—140°F(-9°C—60°C)力量量测范围 0－－-1 ibs (4.4N)0－－-25 ibs(110N)0－－-100 ibs(440N)温度灵敏度0.2%/°F(0.36%/°C)公司简介麦思科技有限公司成立于2001年，公司创立宗旨是为用户提供最新的测量技术与全方位的压力分布感测技术服务。

随着科技发展及应用技术的日新月异，为因应客户对测量技术的需求与日俱增，以期能为不同的用户提供更完备的测量解决方案。

我们乐于接受不同的挑战，协助客户解决问题是我们努力的方向，我们以客户满意的评价为荣，也因客户的支持与肯定，麦思科技得以不断的茁壮成长。

公司主营代理美国T ekscan公司压力分布测量全系产品，为美国Tekscan中国区的一级代理商。

创立于1987的美国T ekscan公司已经成为世界高解析薄膜接触压力测量系统供应商的领导者。

我们的产品已应用于各种产业，从工业到医学T ekscan的高解析度薄膜压力感测技术无处不在，包括汽车、人体工学、封装、半导体以及更多的应用。

微型光机械（MOM）压力传感器人类的大脑通过其神经元活动来协调我们的感知、想法和行动。

神经科学家正努力通过采用能够在行为期间以单神经元和单峰分辨率分离、识别和操纵神经元的方法来理解大脑的功能。

神经探针不仅在细胞外记录、脑机接口（BMI）和深部脑刺激（DBS）方面取得了成功，而且在脑电图、神经元功能恢复和脑部疾病研究等一些新的应用中也成绩斐然。

理想情况下，神经探针阵列应具有良好的生物相容性、具有高信噪比的高密度电极、通过柔性电缆实现的互连功能、高度集成的电子架构，以及集成型微执行器，从而驱动电极柄实现神经元运动跟踪。

为了能够在大脑的多个区域内大规模记录单个神经元，神经探针需要高密度、大数量的电极。

遗憾的是，最新的高密度CMOS神经探针有一个很大的“柄”，它是探针的一部分，会植入到大脑区域。

这个“柄”部分需要做到尽可能薄，以避免干扰或损害正常的大脑功能，眼下，它们还达不到神经科学家希望的那么小。

另外，目前的电子设计架构也不是最佳。

探针设计由大量小型有源电极组成，用于放大和缓冲神经信号。

CMOS像素放大器（PA）位于电极下方极小的空间内，由于空间不足，信号处理被迫在探针的底座完成。

想象一下这种非理想信号路由中的噪声问题，理想情况下希望信号处理紧挨着PA进行。

微型光机械（MOM）压力传感器我们从压力传感器设计开始。

MEMS压力传感器有电容式和压电式，它们体积小，性能相当好。

再就是光纤传感器，它们具有超敏感性和低噪声特性，但在集成度较低的设计架构中使用最佳。

现在，我们将上述两种传感器特性合并为一个集成传感器，即微型光机械（MOM）压力传感器。

与压电和电容传感器设计相比，这种器件可带来更高的灵敏度和更好的噪声特性，但封装尺寸却相同。

MOM器件采用马赫-曾德耳干涉仪（MZI）系统或环形谐振器进行演示（图1）。

MEMS压力传感器名词解释：MEMS：Micro-Electro Mechanical System，微型电子机械系统或微机电系统，是利用半导体集成电路加工和超精密机械加工等多种技术，并应用现代信息技术制作而成的微型器件或系统。

半导体集成电路：一种通过一定工艺把一个电路中所需的晶体管、二极管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起，制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上，然后封装在一个管壳内，具备所需电路功能的微型电子器件或部件。

晶圆：硅半导体集成电路或 MEMS 器件和芯片制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。

单晶硅：硅的一种形态，具有完整的点阵结构且晶体内原子都是呈周期性规则排列的硅晶体，是 MEMS 的主要材料。

多晶硅：硅的一种形态，晶体内各局部区域里原子呈周期性排列，但不同局部区域之间的原子排列无序，在MEMS 中多用于结构层和电极导电层。

二氧化硅：硅的一种氧化物，一般指通过热氧化和沉积等方法制作而成的薄膜材料，在MEMS 中多用于绝缘层、掩膜和牺牲层。

惠斯顿电桥：由四个电阻组成的电桥电路，是一种可利用电阻变化来测量外部物理量变化的电路器件设计。

压电效应：某些电介质受到外部机械力作用而变形时，电介质材料内部产生极化并产生正负相反的电荷的现象。

EDA：Electronic Design Automation，电子设计自动化，指以计算机为工作平台，融合应用电子技术、计算机技术、信息处理及智能化技术，完成电子产品的自动设计。

封装：集成电路和 MEMS 的安装、固定、密封工艺过程，具有实现集成电路、MEMS 管脚与外部电路的连接，并防止外界杂质腐蚀电路的作用。

PCB：Printed Circuit Board，印制电路板，是组装电子产品各电子元器件用的基板，是在通用基材上按预定设计形成点间连接及印制元件的印制板。

温漂：温度漂移，指环境温度变化造成半导体集成电路、MEMS 等器件性能参数变化，导致器件参数不稳定甚至无法工作的现象。

微压力传感器原理及应用微压力传感器（Micro Pressure Sensor）是一种能够测量微小压力变化的传感器。

它通过测量压力对传感器的弹性材料产生的变形，将压力转化为电信号输出，用于监测和测量各种应用场景中的微小压力变化。

微压力传感器的工作原理主要包括弹性材料变形原理、电阻变化原理和电桥原理。

首先，微压力传感器使用了一种具有较高弹性的材料，例如硅胶或金属弹簧。

当受到微压力作用时，这种材料会发生弹性变形，如压缩或伸展。

通过测量弹性材料的变形量，就可以间接测量压力的大小。

其次，微压力传感器还采用了电阻变化原理。

在传感器的弹性材料上涂覆了一层导电薄膜，当受到压力后，弹性材料的变形会导致导电薄膜的长度和面积发生变化，从而改变了电阻值。

通过测量电阻的变化，可以得到压力的信息。

最后，微压力传感器还可以利用电桥原理来实现。

通过将传感器的弹性材料作为电桥电路的一部分，使得压力的作用会改变电桥的平衡状态，从而引起电桥输出电压的变化。

通过检测电桥输出电压的变化，可以得到与压力变化相关的电信号。

微压力传感器广泛应用于医疗、汽车、电子设备、工业等领域。

以下是一些典型的应用场景：1.医疗健康领域：微压力传感器可以用于各种医疗设备中，如呼吸机、血压计、体重秤等。

通过测量微小压力变化，可以监测患者的生命体征，提供准确的医学数据。

2.汽车领域：微压力传感器可以用于汽车发动机的排放控制系统、制动系统和轮胎气压监测等。

通过监测发动机内部压力和轮胎气压的变化，可以实时调整汽车系统的运行状态，提高汽车的性能和安全性。

3.电子设备领域：微压力传感器可以用于智能手机、平板电脑等电子设备中，用于实现触摸屏的压力感应。

通过识别用户的不同触摸力度，可以实现更精准的交互操作。

4.工业领域：微压力传感器可以用于工业流程控制、压力传递和泄漏检测等。

例如，在石油化工过程中，可以利用微压力传感器实时监测管道内部的压力变化，避免泄漏事故的发生。

总之，微压力传感器通过测量微小压力变化，可以实时监测和测量各种应用场景中的压力情况，并将其转化为电信号输出，为各行各业提供准确的数据支持。

压力传感器最常见的应用和原理分析
 压力传感器是最为常用的一种传感器，被广泛应用于各种工业自控环境，涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业.下面就简单介绍一些常用压力传感器的应用。

 一个工业自动化系统通常分为三个部分：检测、控制、执行。

工业设备作为自动化系统的控制对象，必须能与其它两个部分相兼容，提供压力传感器接口，使之成为一个完整的有机整体。

无论是单机自动化或还是大型自动化装置，对于控制对象都应该保护，使之用途发挥到最大。

 压力传感器在水处理行业的应用
 我国的环保水处理行业，近些年得到快速的发展，并且未来前景广阔。

Endevco 产品选择指南绝压测量用压阻式动态压力传感器产品8515C 压力传感器、片状、表面安装8530B 压力传感器、微型、10-32螺纹安装8530BM37 压力传感器、微型、10-32螺纹安装8530C 压力传感器、微型、10-32螺纹安装8540 压力传感器、微型、10-32螺纹安装汽车碰撞试验产品7231C ATD 标准、无阻尼、电缆可选7264 重量轻、无阻尼、高灵敏度7264D 碰撞试验标准、无阻尼、满足SAE J211/J2570 标准要求7264G 高共振频率、无阻尼、满足SAE J211/J2570标 准要求7264G 结构特别牢固、有阻尼、满足SAE J211/J2570 标准要求7268C 三轴向、无阻尼、宽频响7286/7287 重量轻、造价低、无阻尼、电缆可选7302BM4 旋转角加速度传感器、无阻尼电子产品133 3通道、PE/Isotron 放大器、100kHz 带宽136 3通道、直流放大器、自动归零、并联校准433 3通道、PE/Isotron 信号适调插件、带智能芯片G&P Technology冠标科技有限公司 EndevcoTel: 86 755 83595650 Fax: 86 755 83185950436 3通道、直流放大器、自动增益、自动归零、OASIS插件482 8通道、适合i-TEDS[IEPE P1451.4]的Isotron放大器、模态试验、OASIS插件2680MX 单通道、PE放大器、有偏压/无偏压输出、可选2极滤波器2685MX 单通道、Isotron放大器、双增益输出、可选2极滤波器2771C 超低噪声、单通道、PE远距离电荷转换器、增益分 0.1，1.0和10三档2775B 单通道、PE/Isotron放大器、AC/DC/Servo输出、浮地2777A 单通道、PE远距离电荷转换器2793 16通道、Isotron放大器、增益分1或 10两档4416B 单通道、Isotron放大器、电池供电、造价低4430A 高性能PE信号适调仪、低噪声4830A 加速度传感器模拟器、试验系统整体化、单端和差动信号6634C 单通道、多种输入、试车台放大器极端温度产品2248M1 +482℃、重量轻、法兰盘固定安装、抗辐射2271A 工作温度范围：-269℃~+260℃、侧边接线、与地绝缘2271AM20 工作温度范围：-269℃~+260℃、顶端接线、与地绝缘2276 +482℃、抗辐射、外壳接地、侧边接线6233C +482℃、平衡差动输出、三孔安装、10pC/g6237M70 +650℃、同轴输出、与地绝缘、10-32螺纹连接8540 +260℃、微型压力传感器、10-32螺纹安装表压和差压产品8507C 压力传感器、微型、嵌入式安装8510B 压力传感器、微型、10-32螺纹安装8510C 压力传感器、微型、10-32螺纹安装8511A 压力传感器、3/8-24 UNF-2A螺纹安装燃气涡轮机测试产品522M17 高温压电式动态压力传感器522M25A 高温压电式动态压力传感器6222S 平衡差动输出、三孔安装6233C +482℃、平衡差动输出、三孔安装6237M70 +650℃、同轴输出、与地绝缘、10-32螺纹连接6917 +260℃、高温编织辫式电缆高g值冲击产品71M 表面安装、无阻尼、质量轻72 小阻尼、结构牢固、ESD防静电保护73/73FC 三轴向、无阻尼、安装方法可选2225 高g值冲击、工业标准、压电式加速度传感器、可测 20,000g冲击2225M5A 甚高g值冲击、工业标准、压电式加速度传感器、可测100,000g冲击2255B 集成电路式冲击加速度传感器、0.1mV/g、内装30kHz 低通滤波器、可测50,000g冲击7255A 集成电路式冲击加速度传感器、内装10kHz机械低通滤波器、0.1mV/g7270A 高共振频率、无阻尼、冲击标准7270AM4 高共振频率、无阻尼、螺柱安装7270AM6 结构牢固、机械滤波器、螺柱安装7274 三轴向、无阻尼、高共振频率高g值冲击产品5220B结构牢固、隔离的法拉第屏蔽、100mV/g轻型产品22 超微型、0.14克23 超微型、三轴向、重量轻、与地绝缘25A 世界上最小的集成电路式压电加速度传感器、粘贴安装、5mV/g、与地绝缘25B 世界上最小的集成电路式压电加速度传感器、粘贴安装、5mV/g、电缆可拆27A11/A12 世界上最小的带智能芯片的压电加速度传感器、气密封、10mV/g和100mV/g两种灵敏度供选择27AM1 重量轻的微型集成电路式压电加速度传感器35A 微型三轴向集成电路式压电加速度传感器、5mV/g、粘贴安装65 微型集成电路式压电加速度传感器、三轴向、10mV/g和 100mV/g两种灵敏度供选择65HT 微型高温集成电路式压电加速度传感器、10mV/g2222C 工业标准、粘贴安装2250A 微型、重量轻（0.4克）、10mV/g、粘贴安装2250AM1 微型、重量轻（0.4克）、10mV/g、粘贴安装、焊针连接7250A 电缆可360°指向、重量轻、飞行试验、通用型7253C 薄型三轴向集成电路式压电加速度传感器、 10mV/g 、螺钉或粘贴安装7269 三轴向、微型、重量轻、零频响、过行程限止器8507C 微型压力传感器、量程：1～15psig8515C 微型片状压力传感器、量程：15和50psi40366 微型变电容加速度传感器、气密封、表面安装、量程：±2g、带10g过行程限止器低频低振级加速度传感器86 超低频、高灵敏度、集成电路式压电加速度传感器、 10V/g87 超高灵敏度、高分辨率、1 V/g或10 V/g752A13 高灵敏度、低噪声、带智能芯片、1 V/g2262A 零频响、有阻尼、气密封、底座为六角形、两种量程：1000g和2000g7265A-HS 零频响、机械行程限止器、有阻尼、两种灵敏度：5mV/g和25mV/g7290A 零频响、小加速度和倾角测量、高灵敏度7290D 高精确度、零频响应、带智能芯片、工作温度高7290E 宽频带、零频响应、数字补偿7703A +288℃、信号回路与外壳绝缘、100pC/g、10-32螺纹侧边接线多用途加速度传感器65 微型、集成电路式压电加速度传感器、三轴向、两种灵敏度：10mV/g和100mV/g256 低造价、模态试验、灵敏度：10mV/g、气密封、集成电路式压电加速度传感器256HX 低造价、螺柱安装、外壳绝缘、灵敏度：10mV/g、集成电路式压电加速度传感器2220E 工业标准、螺钉安装、电缆可在360°内选向、灵敏度：3pC/g2221F 工业标准、螺钉安装、电缆可在360°内选向、灵敏度：10pC/g2222C 工业标准、粘贴安装2222D 工业标准、粘贴安装2224C 顶端引线、通用型2225 高g值冲击、工业标准2226C +177℃、重量轻、顶端引线、粘贴安装2228C +177℃、三轴向、与地绝缘2255B 集成电路式冲击加速度传感器、灵敏度：0.1mV/g、内装30kHz低通滤波器2258A 三轴向、灵敏度：10mV/g、气密封、与地绝缘7251A 宽频带、中心通孔螺钉安装、薄型、与地绝缘7255A 集成电路式冲击压电加速度传感器、内装10kHz机械低通滤波器、灵敏度：0.1mV/g 医学/表面安装技术12M1B 微型压电加速度传感器、灵敏度：1.9pC/g40366 微型变电容加速度传感器、气密封、表面安装、量程：±2g、带10g过行程限止器传声器2510 振动补偿、可高温下工作、量程：100～ >180dB SPL8507C 微型、嵌入式安装8510B 微型、10-32螺纹安装EM40AD 1/2英寸预极化电容传声器、压力场测量EM40AE 1/2英寸预极化电容传声器、自由场测量EM40AM 1/2英寸宽频带电容传声器、自由场测量EM40AO 1/2英寸宽频带电容传声器、压力场测量EM40AQ 1/2英寸预极化电容传声器、随机入射场测量EM40BD 1/4英寸预极化电容传声器、压力场测量EM40BE 1/4英寸预极化电容传声器、自由场测量EM40DD 1/8英寸预极化电容传声器、压力场测量EM40PH 低造价、通用型EM40PL 低造价、通用型EM40PS 片状、表面传声器EM40AD 传声器和EM26CA前置放大器套组、带智能芯片EM40AE 传声器和EM26CA前置放大器套组、带智能芯片EM40AO 传声器和EM26CA前置放大器套组、带智能芯片EM40AQ 传声器和EM26CA前置放大器套组、带智能芯片EM40BD 传声器和EM26CB前置放大器套组、带智能芯片EM46BE EM40BE传声器和EM26CB前置放大器套组、带智能芯片核辐射条件下使用的产品2248M1 +482℃、重量轻、整体螺钉、可在核辐射条件下工作2273AM1 可在核辐射条件下工作、与地绝缘、侧边引线、压电加速度传感器2273AM20 可在核辐射条件下工作、与地绝缘、顶端引线、压电加速度传感器2276 +482℃、可在核辐射条件下工作、外壳接地、侧边引线2771C 超低噪声在线电荷转换器3075M6 硬电缆、+482℃、气密封7703A +288℃、信号回路与外壳绝缘、100pC/g、10-32侧边引线7704A +288℃、信号回路与外壳绝缘、100pC/g、10-32顶端引线运动试验产品7290A 零频响应、66 mV/g、低振级加速度、外场试验7290D 高精确度、零频响应、带智能芯片、可高温下工作7290E 宽频带、零频响应、数字补偿航天、航空产品2221F +260℃、10pC/g、中心通孔安装、压电加速度传感器2510 100～>180dB声压级、振动补偿、可高温下工作2510M4A 用于嵌入式膜片的专用安装夹具、可高温下工作7250A 飞行试验、重量轻（1.8克）、10mV/g、气密封7250AM1 重量轻（1.8克）、10mV/g、气密封、焊针连接7290A 零频响应、1V/g、低振级加速度、外场试验7290D 高精确度、零频响应、带智能芯片、可高温下工作7290E 宽频带、零频响应、数字补偿、可高温下工作8507C 压力传感器（传声器）、微型、-97dB灵敏度、嵌入式安装8510B 压力传感器（传声器）、微型、-92dB灵敏度、10-32 螺纹安装专业产品2270 背靠背压电校准用加速度传感器2273AM1 +399℃、可在核辐射条件下工作、与地绝缘、侧边引线2273AM20 +399℃、可在核辐射条件下工作、与地绝缘、顶端引线2276 +482℃、可在核辐射条件下工作、外壳接地、侧边引线2680MX 单通道、压电放大器、有偏压/无偏压输出、可选2 极滤波器2685MX 单通道、集成电路式压电放大器、双增益输出、可选2极滤波器6237M70 +650℃、同轴电缆输出、与地绝缘、10-32螺纹固定7240C 高频压电加速度传感器（20kHz）7259B 高频集成电路式压电加速度传感器（30kHz）、重量轻（4.6克）、10mV/g D60H 压电振动台D60L 压电振动台D125L 压电振动台F3/Z602WA 电磁振动台系统F4/F7 电磁/压电双振动台系统F4/Z820WA 电磁振动台系统F5B/Z11 电磁振动台系统F7 压电振动台F7-1 压电振动台F10/Z820WA 电磁振动台系统。