浅析探针台维修和设备保养的重要性

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浅析探针台维修和设备保养的重要性
摘要:随着半导体芯片的性能不断的提高,对半导体设备的精度也要求越来越高,尤其是一些高端的半导体设备非常昂贵,从单纯的手动操作变成全自动,这
样对于维修人员来讲,没有相关的维修经验,在面对高度集成化,智能化的设备时,显得很被动,所以在维修保养过程中必须按照有关规定进行。

关键字:探针台;设备维修;设备保养;重要性
引言
在日新月异的半导体产业中,设备的更新很快,从原来的手动操作逐步改进到自
动操作,不仅提高了生产效率,而且还提高了生产质量。

高度集成化和智能化的
设备越来越得到大家的喜欢,这就需要我们定期的维修和保养,以延长使用的寿
命和提高使用率。

在设备发生故障时,一般有人为原因和自然原因。

人为因素包
括操作员的操作失误、安装错误或者其他人为原因。

自然原因包括设备使用过程
的磨损及偶发故障等。

一、探针台设备的常见故障
探针台的一般故障可以分为以下几类:人为故障和自然故障。

人为故障是指由于
操作不当、安装错误或操作人员意外破坏所造成的机器运行过程中的故障;自然
故障是设备在机器正常运行过程中遇到断电、过载、磨损、机械故障等许多不利
因素的影响。

尽管对设备采取了有效的维护、维修和定期检查措施,机器维修不
能保证设备长期正常运转,不会发生故障。

因此,为了提高设备的使用效率,必
须及时查明并排除故障。

这里以EG2001探针台的维修维护作以下讲解。

1.1设备按下启动按钮无法进入系统
这种故障主要有几种可能。

首先要检查主机和控制箱通信是否正常,可以用专业
仪器来检测。

其次是主机BIOS的设置是否正确,因为老式主板存在掉电后芯片参数不会保存很长时间。

再是电路方面的故障,检查启动按钮是否损坏,电源进线
保险是否烧断,5V电源是否正常等。

1.2探针台出现Z-SLIP故障
Z-SLIP故障是探针台常见的故障,很多维修人员对此很头疼,因为故障点很广泛,多处线路及机械故障都会导致Z-SLIP。

现在总结出现这种现象的原因。

1.Z轴的传
动皮带过紧或者过松,调节到合适的张力。

2.Z STEM的缸与缸套之间的摩擦太大,需要清洁润滑。

3.平面电机上的Z轴电机缺相,测量电机绕组即可判断,在20欧
姆左右,坏掉则需更换电机。

4.连接Z轴电机的P128排线故障,长期运动导致磨
损破皮,需更换。

1.3设备开机LOADER开关无法打开,开机抖动
LOADER端在开机时会自行启动,无需中央控制板的控制。

1.开关无法打开的原因一般是预对准轴或者机械手没有在初始位置,传感器没有感应到,手动调节即可。

2.开机抖动的故障可以从电源排查入手,先检查电源电压,然后用示波器测量波形,一般故障可以消除。

1.4探针台运动步进错误
在设备运动过程中平面电机在X,Y方向来回运动,长期的运动会导致一些精度上的故障。

此故障我们先排查X驱动板和Y驱动板是否正常,用替换法很容易排查。

再是检查平面电机的排线是否有磨损,必要时更换。

三是检查压缩空气是否
在标准范围之内。

最后检查平面电机底部的微孔有没有堵塞,撬起平面电机清洁。

二、探针台的故障检查方式
设备发生故障时,不要盲目的拆卸,先要清楚故障发生的现象,分析故障的原因。

首先,常规的方法检查电源电压,设备漏电或者短路等。

初步检查后,我们需要
进行更进一步的检查其他故障,并在出现上述情况后立即切断电源进行维修。

其次,遇到维修难度大的故障时,要仔细查看设备说明书或者图纸,系统地检查
各种设备操作系统数据。

对于没有相关数据库记录的设备,也可以对同一设备进
行比较。

对于一些难以检测的数据或长期检测的问题,可以采用替换相应原始数
据的方法。

三、探针台设备的保养措施
为了保证设备的使用寿命,对设备进行维护保养是必要的。

定期维护的必要性在
随附电气设备的说明书中予以强调。

在电气设备使用过程中应定期进行检查,通
过检查结果,如果需要对设备进行维修或维护,可以保证设备长期不出问题。


气设备的维护主要从以下几个方面着手:
第一,保证设备的日常维护,建立相应的PM网络系统,及时填写,避免忘记维护,要把维修工作与相关员工的利益联系起来,奖惩制度需规范,确保维修工作
的有效进行。

第二,建立设备点检系统,在设备检查过程中,一定要更加严格,定期组织相关
人员进行检查,并记录维修过程中的相关信息,包括设备的使用情况、维修时间、维修方法、维修次数等,以利于日后的维修工作。

第三,加强对相关人员的管理,包括操作人员、维护人员和维修人员。

相关操作
人员应充分了解正常操作过程,熟悉设备的性能和状况。

在维护和维修过程中,
必须根据公司和设备的情况定制相应的计划,确保工作有序进行。

第四,制定科学合理的维护措施,根据设备的不同情况制定相应的设备维护方法,保证设备有自己的维护方法。

虽然从表面上看,日常维护需要投入大量人力及资金,但是从设备的实际出发,
维护可以延长设备的使用时间,减少故障率,长远看是值得的。

再者,虽然在设
备的使用过程中必须不断地进行维护工作,但这项工作相对简单,使用的资金非
常少。

另外,随着设备使用时间的延长,设备的故障概率越来越高,维修过程的
费用也远远高于维护费用。

因此,设备维护对相关人员的工作是非常重要的。

四、结束语
大部分的电气故障是由于忽视了设备的日常维护和保养,使微小的缺陷发展成严
重的事故。

有些故障是由于电气维修人员在处理电气故障时操作方法不当,或因
判断和测量不当而扩大了事故的范围。

因此,为了保证设备能正常工作,减少因
电气维修而造成的停机时间,提高探针台的使用效率和生产效率,必须重视设备
的维修和保养。

参考文献:
[1]程昊,浅析电气设备维修和设备保养的重要性[J].中国科技博览.2012
[2]仇学仕,浅析电气设备维修与设备保养的重要性[J].中国经贸.2017。