PARTICAL测试操作指南
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PQA Monitor组工作手册Particle 测试操作指南
MS Wang 09/01/2004
PQA Monitor/PQA /MPIE/DGN2
一、工作概述
尘粒度是无尘室重要因素之一。
我们现在采用DAILY 的方式监控C/R的空气环境质量,
并及时反馈给相关部门,作为改善和提高C/R环境的原始依据.因此,对我们来讲PARTICLE 虽小,意义却相当重要!
二、测试仪器设备及使用方法
1.仪器设备名称：Particle Counter 2400/2408
2.仪器设备配件：Particle counter 机身、探头、三角架、配套三角电源线、15米220V电源线
3. 仪器设备操作步骤：
(1)检查探头与三角架、气管与Sample Inlet Sensor (Particle 入口)是否连接紧密。
(2)将三角电源线一头接于机身，另一头接上220V电源。
(3)打开Counter开关至“I”状态(关闭时为“O”状态)。
(4)在Display/program面板，按键移至Date/time处，确认当前日期是否正确。
否则按Program、更改日期，最后按Enter确认。
(5)移动键至Period/Hold处，查看当前测试时间是否为1分钟。
否则按
Program、更改，应设为：00,01,00 状态，最后按Enter确认。
(6)在Printer面板，按Enable键，灯亮为可打印状态。
(7)在Modes面板，按Mode键选择Manual状态。
按Count Mode 选择Cumulative状态。
(8)按Run进行测试，此时Counting灯亮。
若中断/停止测试按Stop键，Counting灯灭。
否则，Counter会按Period/Hold设置的时间来确定何时停止测试。
(9)重复步骤8进行下一个循环的测试。
4. 仪器设备各功能键解析：
(1) Count：灯亮时，按Program可设置报警SPEC。
当测试值超过此SPEC时，Counter
左上角Limit灯会闪烁报警。
(2) Location:灯亮时，显示屏呈现：000状态。
操作者可按Program键输入数据表示该
测试位置，此数据会同测试数据一同打印出，便于保存DATA。
(3) Cycle:设置自动循环测试次数，此功能与Modes面板中Automatic功能键同时使用
生效。
(4) Date/time：当前时间设置。
(5) Period/Hold:测试时间限制。
一般设为1分钟。
(6) Manual:手动测试。
即每测完一次就自动停止，需操作者发出指令再次测试。
(7) Automatic:自动循环测试。
测试次数以Cycles中设置的数据为准。
(8) Concern:集中模式。
按Cycles中设置的次数进行自动循环测试。
每隔一秒钟更新一
次Data 集中存为Stored Data，可通过Printer面板中Print stored data功能打印出。
( 9) Beep:当测试数据达到Count limit 时，自动发出蜂鸣声，直到测试被停止或中断。
(10) Cumulative:累积测试。
灯亮时，则显示超过已设置尺寸的Particle总数。
若设置
有多种尺寸类型，则每种类型都会计算。
(如类型0.3 / 0.5 / 1.0 / 5.0 ……)
(11) Differential: 灯亮时，显示不同两个尺寸之间的Particle总数。
(12) Sensor: 灯亮时，表示内部激光二极管元件受损或Sensor (传感器) 受污染。
(13) Airflow:灯亮时，表示通过传感器的空气流量过高或过低。
(14) Run：开始测试。
(15) Stop:中断、停止测试。
(16) Paper Feed:按此键退出残余纸张。
放入新纸卷再按此键，打印机会自动引出纸
卷，便于下次打印。
5. 仪器设备使用注意事项：
(1) 此Counter的安全操作环境：
温度要求：12 ~ 29°C 湿度要求：0 ~ 85%
(2) 此Counter不适用于在下列环境测试：
含氢、氧等毒性物质的环境，可能会有爆炸的危险。
没有用降压设备减压过的高压气体，所有Counter只适用于在大气环境下使用。
不可在含水气的环境下操作，Counter会误认水气为Particle 计数，传感器也会
因此而受到损坏。
(3)转移测试点时注意保护探头和三角支架，防止从高处跌落。
(4)仪器出工场时要用无尘尼龙手套包好探头。
(5)每班测试前用棉签沾HI-50清洁探头吸入口。
三、P article 测试操作程序
1.无尘台测试
2.环境点测试
根据LAYOUT 找准测试点，按照常规方法测试。
四、无尘台HEPA FILTER检漏程序(摘自DEI-474)
1.将PARTICLE机电源打开，将显示数值设定为0.3um，并将alarm功能打开。
2.将PARTICLE机集气口举起至离FILTER表面1英寸左右，沿FILTER表面依次来回
移动，并确保FILTER表面全部被检测到。
3.有 0.3um的PARTICLE被检到时alarm会鸣响，应在此反复测试。
若在一处alarm 持
续鸣响，则可判断FILTER泄漏。
五、DATA处理
1.无尘台测试原始数据要分别详细纪录左右工作台面上10CM，灯管下20CM的数据，
并且要分别纪录0.3um,0.5um的数据。
原始数据必须真实有效。
2.输入电脑时要按照统一的格式。
3.数据输入电脑时，异常情况要正确标识。
4.DAILY数据输入电脑的时间不得超过3天。
