蚀刻水洗作业规范(002)
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槽式湿法刻蚀清洗设备安全操作及保养规程1. 引言槽式湿法刻蚀清洗设备被广泛应用于半导体制造和微电子技术领域,用于清洗和刻蚀微细加工的工件表面。
为了保证清洗设备的安全运行和延长设备的使用寿命,本文将介绍槽式湿法刻蚀清洗设备的安全操作和保养规程。
2. 安全操作规程2.1 设备布置与操作环境1.将清洗设备放置在平稳的地面上,并保证设备四周的通风良好。
2.设备周围应设立明显的警示标识,以提醒操作人员注意安全。
3.操作区域应保持整洁,并定期清理设备表面和周围的废料,避免积聚导致安全隐患。
4.操作设备的环境应保持干燥,避免水或其他液体进入设备内部。
2.2 操作流程和注意事项1.在操作设备之前,必须先穿戴个人防护装备,包括防护眼镜、手套和口罩等。
2.在操作设备之前,需要进行设备的预热和检查,确保设备运行正常。
3.操作人员应按照设备的操作手册和操作流程进行操作,切勿随意更改设备参数。
4.操作人员在操作过程中应保持警觉,及时发现异常情况,并及时报告和处理。
5.在设备运行期间,切勿将手指或其他物体伸入设备内部,以免造成人身伤害。
6.在设备运行期间,切勿随意拆卸设备的保护罩或其他部件,以免影响设备的正常运行。
7.定期对设备进行维护保养,包括清洁设备内部杂质、更换滤网等。
3. 设备保养规程3.1 设备清洁与维护1.每次使用设备后,应及时清理设备内部的杂质,并使用干燥的布擦拭设备表面。
2.设备每日使用结束后,应对设备进行彻底的清洁,确保设备内部和外部的清洁度。
3.定期更换设备的滤网和过滤器,避免杂质积聚导致设备故障。
4.定期检查设备的电源线、连接线等,确保电气设备的安全性能。
5.随时检查设备的密封性能,及时更换损坏的密封件,避免液体泄漏。
3.2 定期保养与维修1.按照设备的保养手册要求,定期进行设备的保养与维修工作。
2.定期检查设备的运行状态和参数,及时调整和修复异常情况。
3.定期更换设备的耗材和易损件,确保设备的正常运行和安全。
蚀刻工序作业指导书1.0 目的建立详细的作业规范,籍以稳定品质,提升生产效率,并作为设备保养、员工操作的依据,此文件同时也是本岗位新员工培訓之教材。
2.0 适用范围本作业规范适用于本公司蚀刻(含去膜、退锡)工序。
3.0 职责电镀班具体负责落实本指导书的实施及蚀刻设备的维护与保养。
4.0 作业内容4.1 作业流程4.1.1 内层(负片)蚀刻作业流程烤板→检查→蚀刻→氨水洗→压力水洗→水洗→退膜→清洗→烘干→蚀检→转黑化工序4.1.2 镀锡板蚀刻作业流程退膜→检查→蚀刻→氨水洗→压力水洗→水洗→强风吹干→自检→退锡→烘干→蚀检→转下工序4.1.3 镀金板蚀刻作业流程退膜→检查→蚀刻→氨水洗→压力水洗→水洗→强风吹干→自检→酸洗→清洗烘干→蚀检→转下工序4.1.3 若外层线路使用负片菲林,其蚀刻流程同4.1.1。
4.2 蚀刻工序设备及物料清单蚀刻机、褪膜机、褪锡机、排骨架、猪笼架、放板台、去膜槽、水洗台、软毛刷、蚀刻子液、褪铅锡药水、褪膜篮、NaOH、氨水、柠檬酸、胶盆。
4.3 基本流程说明4.3.1 退膜:通过强碱溶解表面油墨/干膜使之退去,露出所需之铜。
4.3.2 蚀刻:在碱性强氧化剂的条件下,将线路板上之多余铜面除去。
4.3.3 退锡:去除蚀刻后图形上的抗蚀锡层。
4.3.4 酸洗:清洗金面轻微氧化,防止氧化加深。
4.4 工艺参数及操作条件4.5 工艺维护4.5.1 退膜槽配槽4.5.1.1 打开槽底排水开关和水泵,把废液抽至污水处理站,抽完后关闭水泵。
4.5.1.2 戴上长袖耐酸碱橡胶手套及防护面具,关闭排水开关,注满清水;4.5.1.3 开启电源与泵浦,对整个槽体全面喷洒5min,然后关闭电源与泵浦;4.5.1.4 打开盖板,用清洗工具彻底清洗槽内壁;4.5.1.5 打开槽底排水开关,把废液排出,并用高压水枪冲洗干净;4.5.1.6 将槽内注入3/5槽体积的清水;4.5.1.7 另用一小槽注满水,加入9kg NaOH,搅拌至完全溶解4.5.1.8 将泵浦电源打开,让水流动起來,再緩緩将NaOH溶液倒入槽内;4.5.1.9 添加完成后,循环20min,使药水达到完全搅拌均勻;4.5.1.10 通知化验人取样化验,各项管控点都在要求范围之内后方可进行生产。
蚀刻工艺流程及操作要求下载温馨提示:该文档是我店铺精心编制而成,希望大家下载以后,能够帮助大家解决实际的问题。
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首先,要确保蚀刻机台处于正常工作状态,检查电源、气源是否畅通,以及蚀刻液是否充足。
蚀刻机设备安全操作规程1. 前言蚀刻机是一种用于制作电子器件的重要设备。
由于其工作原理和使用场景的多样化,蚀刻机在使用过程中存在一定的安全风险。
因此,为了确保操作人员的身体安全和机器设备的稳定运行,本规程将介绍蚀刻机设备的安全操作规程。
2. 环境要求蚀刻机通常需要在特定的环境下使用,因此,在使用蚀刻机前,请确保以下环境达到要求:•使用房间保持干燥:尽量减少水汽、潮湿等因素的干扰。
•使用房间通风:防止有害物质的积累。
•安装环境整洁:避免杂物阻碍机器正常运行。
3. 操作注意事项在使用蚀刻机时,请注意以下事项:3.1 设备检查在使用蚀刻机之前,请检查设备是否符合要求:•装置稳定:设备安装位置稳定,不会晃动。
•电源是否正常:注意电线的连接是否正确,并确保电线是否在室内电线管内。
3.2 使用材料蚀刻机使用的材料应该符合以下标准:•电路板尺寸:应与所选蚀刻机匹配,防止松动或卡住。
•电路板厚度:应与所选刀具尺寸匹配,防止太薄导致破损,或太厚导致钝化。
3.3 操作技巧在使用蚀刻机时,请采用以下技巧:•压力平衡:在钳夹处应用均匀的压力,保证所使用的材料紧固。
•稳准不晃:在移动蚀刻机过程中,注意保持机器的平衡和稳定。
•遵循使用期限:注意刀具使用期限,使用过期刀具可能会导致逆转或损坏,需要及时更换。
•切勿过度运转:在蚀刻机的使用过程中,注意不要过度运转,这样会导致设备的损坏和晃动。
3.4 安全防护在使用蚀刻机时,请注意以下安全防护:•佩戴个人防护装备:戴上眼镜、口罩、手套等防护装备,以保护自己。
•操作前准备:操作人员应仔细阅读用户手册,并确认无误后再进行操作。
•保持沉着冷静:在操作过程中,保持冷静,不要过度紧张。
3.5 维护保养为了保证设备的稳定运行,请注意以下维护保养项:•清洁设备:在操作完毕后,请清洁设备并妥善存放。
•定期检查:定期检查设备的运行状态和维修情况,并及时维修或更换配件。
4. 总结蚀刻机是一种用于制作电子器件的重要设备,为了保证操作人员和设备的安全,需要遵循一定的操作规程。
蚀刻安全注意事项
1. 提前评估材料的安全性:在进行蚀刻之前,需要对蚀刻材料进行评估,确保其不会产生有毒气体或有害物质。
2. 使用适当的个人防护装备:在进行蚀刻操作时,应佩戴适当的个人防护装备,如防护手套、防护眼镜和口罩,以防止腐蚀剂溅到皮肤、眼睛或呼吸道。
3. 在通风良好的环境中进行蚀刻:蚀刻过程中产生的腐蚀剂蒸气有可能对人体健康造成危害,因此应在通风良好的环境中进行蚀刻操作,或者在操作区域设置合适的排气设备。
4. 尽量避免直接接触腐蚀剂:在操作过程中,尽量避免直接接触腐蚀剂。
如果不慎溅到皮肤上,应立即使用大量清水冲洗,并及时就医。
5. 正确处理蚀刻废液:蚀刻废液是有害废物,应当按照法律法规的要求进行正确的处理和处置,以保护环境。
6. 严格控制蚀刻时间和温度:蚀刻过久或温度过高可能导致不良的蚀刻效果,甚至材料损坏,因此应严格控制蚀刻时间和温度。
7. 小心操作:在进行蚀刻操作时要小心谨慎,避免因操作不当引起事故或材料破坏。
8. 定期检查腐蚀设备和器材:定期检查腐蚀设备和器材的工作状态,及时修理或更换损坏的部件,以确保蚀刻操作的安全性。
9. 储存和使用蚀刻剂时要密封保存:蚀刻剂是有毒化学品,应储存在防火防爆的容器中,放置在儿童无法接触的地方。
10. 接受专业培训:如果没有足够的蚀刻操作经验,应接受专业培训,了解蚀刻的原理、操作规程和安全注意事项,以保证操作的安全性。
Q/YS.816环保银蚀刻液
Q/YS.816环保银蚀刻液可用于银镍合金、银铜合金以及纯银的砂面处理,处理后板面有均匀而平整的砂面。
本剂对油墨没有影响,可用于花纹蚀刻处理。
使用方法:
1、原液使用,不须加水,操作温度可以是25℃-60℃,温度越高,速度越快。
2、将银板浸泡在银砂面剂中。
搅拌药水,使药水与银充分均匀反应;或者也可以用摇床,使药水来回动运,使银板砂面速度加快。
但不能超声波,以免破坏(感光)油墨。
3、浸泡时间为1-2分钟,随后水洗,烘干。
注意事项:
1、有腐蚀性,不与皮肤接触。
2、要用塑料容器盛装,不能用金属器皿盛装。
刻蚀机操作规程范文一、安全操作规程1.操作人员必须穿戴好劳动防护用品,包括防护眼镜、防护手套和防护服等。
2.操作人员应熟悉刻蚀机的操作原理和技术要求,严禁未经培训人员擅自操作。
3.在开始操作刻蚀机之前,应仔细检查设备的电气系统和液压系统是否正常,如有异常应及时上报维修人员。
4.刻蚀机操作时严禁穿戴松散衣物,以免被卷入机器内部。
5.在操作刻蚀机过程中,不得拆卸设备的任何部件或对设备进行未经授权的维修。
6.刻蚀机进行停机维修和保养时应切断电源,并在相关操作位置设置明显的停工标识。
7.当设备出现异常情况或故障时,操作人员应首先切断电源,并及时上报维修人员。
二、操作规范1.操作人员必须事先了解要加工的工件的尺寸、形状、要求等相关信息。
2.设置加工参数前,应先按照工件要求选择合适的加工刀具和工艺。
3.对于磨损或损坏的刀具,应及时更换,以确保加工质量。
4.在操作前需要仔细清洁工作台面和夹具,以确保工件固定稳定。
5.在操作过程中,应严格按照加工程序和工序要求操作,并注意仪器仪表的正常显示。
6.加工过程中要注重观察工件和加工刀具的状态,发现异常应及时进行调整或更换。
7.切勿离开工作岗位,操作人员应随时注意设备的运行状态,以及周围的安全情况。
8.不得在设备运行过程中对工件进行干扰或触碰,防止发生意外伤害。
三、维护保养规程1.刻蚀机在每日操作之前和操作之后应进行必要的清洁工作,包括清理切割区域和液压系统。
2.定期检查和更换液压系统中的液压油,并保持油温在规定的范围内。
3.对设备的电气系统进行定期检查,确保电缆和线路的连接牢固可靠。
4.定期检查设备的刀具固定装置,确保刀具的固定性和稳定性。
5.对设备的重要零部件进行定期润滑和保养,延长设备的使用寿命。
6.定期进行设备的维修保养,以确保设备的正常运行和性能稳定。
四、应急处理规程1.发生设备故障或异常情况时,操作人员应立即停止操作,并切断电源。
2.在紧急情况下,若需进行切割、解救等处理,应采取安全、快速、有效的措施。
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蚀刻工序作业指导书
1.0 目的
建立详细的作业规范,籍以稳定品质,提升生产效率,并作为设备保养、员工操作的依据,此文件同时也是本岗位新员工培訓之教材。
2.0 适用范围
本作业规范适用于本公司蚀刻(含去膜、退锡)工序。
3.0 职责
电镀班具体负责落实本指导书的实施及蚀刻设备的维护与保养。
4.0 作业内容
4.1 作业流程
4.1.1 内层(负片)蚀刻作业流程
烤板→检查→蚀刻→氨水洗→压力水洗→水洗→退膜→清洗→烘干→蚀检→转
黑化工序
4.1.2 镀锡板蚀刻作业流程
退膜→检查→蚀刻→氨水洗→压力水洗→水洗→强风吹干→自检→退锡→烘干
→蚀检→转下工序
4.1.3 镀金板蚀刻作业流程
退膜→检查→蚀刻→氨水洗→压力水洗→水洗→强风吹干→自检→酸洗→清洗
烘干→蚀检→转下工序
4.1.3 若外层线路使用负片菲林,其蚀刻流程同4.1.1。
4.2 蚀刻工序设备及物料清单
蚀刻机、褪膜机、褪锡机、排骨架、猪笼架、放板台、去膜槽、水洗台、软毛刷、
蚀刻子液、褪铅锡药水、褪膜篮、NaOH 、氨水、柠檬酸、胶盆。