日立S4800扫描电子显微镜

HITACHI H-7650 透射电镜操作规程编号: QW148 HITACHI S4800扫描电子显微镜操作规程样品准备及要求:1.含水样品测试前必须干燥，样品要尽量的小，多孔样品做之前一般要烘两到三天;2.粉末样品测试时尽量用最少量的样品，否则容易使电镜污染;3.严禁观察磁性样品;4.样品须处于样品台中央位置，样品表面平坦，样品厚度不可太大。

操作步骤:一、开机顺序1. 开墙上主机电源的开关，开启冷却循环水;2. 将仪器后面板处的主电源开关(Main Power) 打开，之后按下Reset键;3.启动Evac Power，等待TMP指示正常后顺序打开IP1、IP2 和IP3的电源开关:4.达到真空度要求后，开启操作台电源，PC机自动启动进入Windows操作系统，并自动运行S-4800操作程序，此时点击OK (没有密码)后自动进入S 4800操作软件。

二、样品安装1.在实验台上事先粘好样品，并用高度规检测其高度;2.装样品前确认工轴、WD,x,y以及Rotation是否复位(Z轴=8，WD=8，x=25，y=25，Rotation=0)，如未复位，将其复位;3.点击样品交换室的Air键，当听到笛的一声后轻轻的拉开样品交换室;4.将样品杆手柄处于Unlock位置，把样品机座装于样杆的香蕉头处并转动手柄到Lock位置;5.轻轻推住样品交换室，点击Evac键，抽好真空后点市Open键，样品交换室与样品室间的闸门自动打开;5. 轻轻的推动样品杆的手柄将样品送至于样品台上，旋转手柄至Unlock, 拉出样品杆，最后点击Close关闭阀门，安装样品结束。

三、图像观察1.加高压后即可进行调试观察;2.首先在TV1模式下找到所要观察的区域;3.在高倍下用coarse键粗聚焦，然后用fine键细调聚焦，直到图像清楚;4.放回到观察倍数，用ABC或手动调到适合的对比度:5. 在SLOW模式下观察调试后的图像，不合适重新执行步骤2，3，若合适即可拍照。

一、介绍Hitachi S-4800场发射扫描电镜采用了新型ExB式探测器和电子束减速功能,提高了图象质量(15 kV下分辨率1 nm)，尤其是将低加速电压下的图象质量提高到了新的水平(1 kV下1.4 nm)；新型的透镜系统，提高了高分辨模式、高速流模式、大工作距离模式、磁性样品模式等多种工作模式，使其能够精确和清楚地捕捉最短暂的瞬间。

二、操作说明1．开机（1）日常开机：打开Display的开关，PC自动开机进入用户界面并自动运行PC_SEM程序，以空口令登入。

（2）完全关闭电源后开机：接通配电盘电源→拔上MAIN Swith 开关→按一下Reset按钮，→将MAIN控制面板上EVAC POWER按至ON，SC EVAC指示灯处于常绿状态后，等半小时→按下Display开关至ON, PC 自动开机进入用户界面并自动运行PC_SEM程序，以空口令登入。

2．图像观察（1）装入样品制样→把样品托装入样品座，并用标尺确定高度、旋紧→按AIR按钮→将样品座插在样品交换杆上，并锁紧→将交换杆拉至尽头卡紧，关闭交换室→按下EVAC按钮→按下OPEN 按钮打开MV-1后，推进交换杆，旋转样品杆UNLOCK位置后拉出交换杆→按下CLOSE 按钮。

（2）图像观察及保存SC真空恢复正常后（显示为L E-3）→选择适当的加速电压（Vacc）→加高压→在低倍、TV模式下将图像调节清楚→聚焦、消象散→Slow3确认图像质量→点击Capture按钮拍照→点击右下方Save按钮→选择保存位置、使用者及样品信息，保存。

（3）结束观察点击OFF按钮关闭加速高压→将放大倍率还原设至×1.00K→按操作界面上home使样品台回到初始位置→依照装入样品的方式反序取出样品。

3．关机（1）日常关机退出PC_SEM程序→退出Windows XP系统→关闭DISPLAY（2）完全关机短时间关机：退出PC_SEM程序→退出Windows XP系统→关闭DISPLAY→关闭EVAC→等待约35分钟后Multi Indicator区域显示“POFF”→关闭MAIN SWITCH→关闭电源总开关。

扫描电镜S-4800操作规程一、日常开机打开Display开关，电脑自动开机进入s-4800用户界面，PC_SEM程序自运行，点击确认进入软件界面。

二、装样品1.将样品台装在样品座上，根据标尺调整高度及确认样品位置后旋紧。

2.按下AIR键，当AIR灯变绿时拉开样品交换室，水平向前推出交换杆，把样品座插在交换杆上，逆时针旋转交换杆（即按照杆上的标示转至LOCK）锁定样品座后，将交换杆水平向后拉回原处。

3.关闭交换室，按下EV AC键，当EV AC绿灯亮时，按OPEN键至绿灯亮样品室阀门自动打开。

4.水平插入交换杆，直至样品座被卡紧为止，顺时针旋转交换杆（即按照杆上的标示转至UNLOCK）后水平向后拉回原处，点CLOSE键至绿灯亮样品室阀门自动关闭。

三、图像观察1.加高压点击屏幕左上方的高压控制窗口，弹出HV Control对话窗。

选择合适的观察电压和电流，点击ON，弹出提示样品高度的对话框，点击确定出现HV ON 提示条，待图像出现后，关闭HV Control对话窗。

2.在低倍、TV模式下，找到所要观察的样品，点击H/L按钮切换到高倍模式，通过调节样品位置，找到所要观察的视场。

3.聚焦、消像散选好视场后，放大到合适的倍数聚焦消像散。

先调节聚焦粗调和细调旋钮，使图像达到最佳状态，若图像有拉长现象，则需进行消像散。

调节STIGMATOR/ALIGNMENT X使图像在水平方向的拉长消失，再调节STIGMATOR/ALIGNMENT Y使图像在垂直方向的拉长消失。

4.图像采集及保存用A.B.C.键或BRIGHTNISS/CONTRAST旋钮自动或手动调节图像的对比度和亮度，扫描速度变为慢扫，点击抓拍按钮进行采集。

采集后暂时存放在窗口下侧，选中要保存的图像，点击Save，弹出Image Save对话框，输入文件名，选好存储位置保存即可。

5.对中调整改变加速电压和电流时，或图像在高倍聚焦发生漂移时，需要进行对中调整，方法如下：(1)选取样品上一个具有明显特征的位置放在视场中心。

S-4800日立扫描电子显微镜（SEM）简易操作指南一、开机前准备1.1制备样品（带口罩与手套进行）SEM样品制备相对简单，原则上只要能放入样品室的样品，都可进行观察。

但需注意以下事项：a)样品在物理上和化学上必须要保持稳定，在真空中和电子束轰击下不挥发或变形，没有腐蚀性和放射性。

（通常是干燥固体。

）b)由于光源是电子，样品必须导电，非导电样品可喷镀金膜。

金膜在一定程度上会影响样品原有形貌。

（若样品本身导电，衬底不导电，如蓝宝石上的ZnO，只需用导电胶把样品表面连到样品台。

）c)由于物镜有强磁性，带有磁性的样品制样必须非常小心，防止在强磁场中样品被吸入物镜或分散在样品室中。

通常磁性样品必须退磁，且工作距离（WD）须大于8mm。

具体操作过程：(1) 按待测样品数量选择样品台，（支持直径d=5mm,15mm,1 inch,2 inch等规格，若要观测截面可选择带角度的样品台）。

(2) 剪一小段导电胶，粘到样品台上。

若样品为粉末，则把粉末撒到导电胶上，用吸耳球或高压氮气吹扫掉导电胶上未粘紧的粉末；若是块状样品，则把样品牢牢粘到导电胶上，用手轻轻推，样品不会左右晃动。

（为观测时方便定位，将样品排列成行（或列），并在行下方（或列左侧）标上数字编号。

）(3) 样品粘贴完成后，用吸耳球或高压氮气吹扫掉样品台上的粉末、灰尘、水珠、唾沫等（会影响照片质量，甚至使真空度下降而无法加高压，推荐认真执行。

）1.2查看真空度打开前面板盖，点击MODE按钮直至IP1指示灯闪，在登记表记下MULT INDICATOR数码显示管的读数，同理读取IP2，IP3并记录。

确认IP1<2E-7，IP2<2E-6，IP3<5E-5。

（通常情况都是IP1显示0E-8，IP2显示0E-8，IP3显示0E-8或aE-7,1<a<9。

）如图1所示：图1 按MODE读取IP1-IP3二、开机操作2.1开机a)开启冷却循环水电源，循环水温度显示应在15-20℃，水位应浸没金属线圈。

S4800扫描电镜简介S4800扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种常用的电子显微镜，用于观察材料的形貌和表面特征。

相比传统光学显微镜，扫描电镜具有更高的分辨率和放大倍数，能够在纳米级别观察样品表面。

S4800扫描电镜是日本公司HITACHI生产的一款高性能扫描电镜，具有出色的图像质量和操作简便性。

技术特点1.高分辨率：S4800扫描电镜配备了专业的电子光学系统，能够实现超高分辨率的样品观察。

其分辨率可达到1纳米，使得使用者能够更加清晰地观察样品的微观细节。

2.宽范围放大倍数：S4800扫描电镜具有大范围的放大倍数，可根据需要进行调整。

通常情况下，它能够提供从几十倍到几十万倍的放大倍数，满足不同应用场景的需求。

3.快速成像：S4800扫描电镜采用了先进的图像采集技术，能够快速获取高质量的图像。

其高速扫描和快速成像功能使得样品的观察过程更加高效和便捷。

4.强大的样品适应性：S4800扫描电镜可以适应多种不同类型的样品。

无论是固态材料、有机材料还是生物样品，都能够通过调整样品表面处理和操作参数，获得清晰而详细的图像。

5.前沿功能：S4800扫描电镜具备多种前沿功能，如悬臂梁技术（Cantilever technology）、能谱分析（Energy Dispersive X-ray Spectroscopy，EDS）等。

这些功能可以提供更多的信息，丰富样品表征的内容。

应用领域S4800扫描电镜广泛应用于各个领域，包括但不限于以下几个方面：1.材料科学领域：S4800扫描电镜可以用于材料的表面形貌观察、颗粒分析和晶体结构分析等方面。

它能够帮助科学家们深入了解材料的微观特性，为材料研发和性能改进提供有效的依据。

2.生命科学领域：S4800扫描电镜在生命科学研究中有着广泛的应用。

它可以用于细胞形态学观察、细胞器的结构研究以及生物材料的表面特性分析等方面。

通过扫描电镜的观察，科学家们可以更好地了解生物体的微观结构，推动生命科学的发展。

日立扫描电子显微镜（SEM）维护手册S-48001、每一个月检查冷却循环水，及时记录水面是否下降并补充。

换水以及清洗过滤网（频率：1年1次以上）2、空气压缩机的维护（频率：半个月一次，1个月1次以上）压缩机内部排水3、机械泵、干泵的维护（频率：半年1次以上（机械泵），1年1次（油泵））机械泵：半年1次以上，当油雾收集器附着油液或有油烟时立即更换。

当油的颜色变为茶色时或换油过了6个月时：停机→交换油→开机油泵：1年1次，委托服务人员维护保养。

4、烘烤与机械对中（频率：1年1次以上）烘烤1.关闭电脑，前面板Display，和循环水。

2.拧开X轴向的两个小螺丝，取下最上端的电磁罩3.松开电子枪的螺纹盖，取下电子枪套入左侧两个圆环处。

注意手不要碰到电子枪内壳4.松开Y轴向两个螺丝，注意用手掩护防止螺丝往里掉。

取下镜筒罩。

5.拿烘烤装置围在镜筒上，并用专用帽子盖上，拧紧螺丝。

6.把两根内加热线插入电子枪桶的两个X轴向的小凸起上，并整理好内外电线，使其不接触到加热部位，防止烧坏，并引到右侧后台的接线盖处。

7.松开右侧后台的接线盖，分别插入内外线插槽，用螺丝拧紧接线盖。

8.设置前面板，通常烘烤必须保证冷却6 Hour,加热时间可变，常用8小时,且外烘烤先启动，两个小时后内烘烤才启动。

故可设Mode/Bake 闪动时按下select 0u 8( =out 8hour) In 6。

此时转到后面板调整开关为Bake 开，Display 关，其他勿动。

再回到前面板按下start。

若无意外，烘烤设置成功，倒计时几秒后即开始。

判断烘烤是否成功开始标志：a)按下start 后无报警现象b)烘烤镜筒部位发热c)IP1-3真空度下降，由E-7到E-6简单版烘烤流程拆下最上端电磁罩→拆下电子枪→取下镜筒罩→装上Outer加热器→装上Inner导线→把两队导线连接到后面板→放置高温牌提醒→前面板定时→开后面板总开关→开始烘机械对中1. 软件设置1KV，flash 记下电流值2. 电子束光阑由1逆时针调到0，物镜可动光阑由3调到03. 软件菜单栏setup/column 下聚光镜cond len1、cond len2前面的勾去掉。