扫描电子显微镜操作规程

JSM-6610LV型扫描电子显微镜操作规程

1 样品镀膜

1.1 关闭充气阀门，打开镀膜机开关。

1.2 当真空度达到2×10-1mbar时，调节等离子电流至10mA（最大不超过20mA），根据样品情况，设置镀膜时间，镀膜时间一般不超过120m。

1.3 镀膜完成后，关闭镀膜机开关，打开充气阀门，取出样品，盖好上盖。

2 上机

2.1 打开稳压电源。

2.2 开启扫描电镜总电源，待泵运行稳定后，依次打开扫描电镜、能谱仪的主控计算机。

2.3 打开分析软件操作界面，点击“VENT”对样品室进行释压，同时检查“STAGE”状态，设定Z值为30mm。待完全释压后，轻轻打开样品室门取出样品座，将样品固定在样品座上，然后将样品座放回样品室，关闭样品室门，点击“EVAC”开始对样品室抽真空。

2.4 当样品室真空度达到要求后，即可打开灯丝开始样品分析。

2.5 找到被测样品，调整好工作距离，设置合适的物镜光阑尺寸、束斑尺寸及加速电压。分析样品前，检查灯丝相状态，如果灯丝相不饱和，要进行电子枪对中（电镜合轴）、聚焦、消像散等步骤，将电镜调至最佳观察状态。

2.6在“SCAN1”模式下进行对中、聚焦、消像散，在“SCAN2”模式下进行样品观察，选择具有代表性的视域，调整亮度、明暗度等至图像最清晰为止，在“SCAN4”模式下扫描拍照，并将所拍照保存至指定文件夹中。摄取的照片用一次性光盘刻录拷贝，主控计算机严禁插入其他移动存储设备。

3 关机

关闭灯丝，退出分析软件操作界面，然后依次关闭主控计算机、扫描电镜总电源、稳压电源。

4 及时填写仪器运行记录。