氦质谱检漏仪应用

氦质谱仪背压检漏方法概述及解释说明1. 引言1.1 概述氦质谱仪背压检漏方法是一种常用的无损检测方法，用于检测工业设备及管道系统中可能存在的泄露点。

该方法通过利用氦气的特殊物理性质和气体流动原理，实现对泄漏点进行准确、快速的定位和评估。

背压检漏方法具有非侵入性、高灵敏度和自动化程度高等优势，在工业领域得到了广泛应用。

1.2 文章结构本文将围绕氦质谱仪背压检漏方法展开详细论述，文章结构包括引言、背压检漏方法的原理、背压检漏方法的步骤与实施、背压检漏结果分析与评估以及结论与展望等部分。

首先介绍了本文的概述和目的，然后详细解释了背压检漏方法相关的原理，并探讨其在不同领域中的应用优势。

接下来，阐述了使用该方法进行检测时所需进行的准备工作和步骤，并提供了数据分析与处理方法。

最后，对测试结果进行评估和解读，并分析存在的误差，并提出改进措施。

文章最后总结了本次研究的主要成果，并提出了未来进一步研究的方向。

1.3 目的本文旨在全面概述氦质谱仪背压检漏方法，介绍其原理、优势和应用领域，详细阐述该方法的步骤与实施过程，并提供相关数据分析与处理方法。

同时，通过对实验结果的评估与解读，发现存在的误差并提出改进措施。

通过对氦质谱仪背压检漏方法进行深入研究和分析，期望为工程技术领域中泄漏点检测及预防提供参考和指导，并为后续研究提供基础依据。

2. 背压检漏方法的原理:2.1 氦质谱仪背压检漏原理:氦质谱仪背压检漏是一种常用的方法，该方法基于气体分子的运动特性和质谱检测技术，通过检测目标物体表面的潜在泄漏点来实现泄漏检测。

其原理可以简要概括为以下几个步骤。

首先，将高纯度的氦气作为探测介质注入已密封的被测试系统或设备内部。

由于氦气分子具有很小的尺寸和较高的扩散性能，在目标物体出现泄露时，氦气会从泄漏点逸出到周围环境中。

接下来，使用一个质谱仪进行监测和分析。

质谱仪内部设置了一个称为“零背景样品”的容器，其中充满了监测过程中未受外部干扰影响而得到平衡状态的环境空气样品。

氦检的应用范围氦质谱检漏仪发展于20世纪40年代，历经半个多世纪的应用和发展，取得了辉煌的成果，从航空航天、军事工业、科学工程、核工业到轻工、医疗、仪器仪表、汽车、制冷，可以说是无处不在。

真空检漏就其发展来说有两个方面，即一方面是检漏仪器本身，另一方面是检漏工艺技术的发展。

我国的检漏仪器制造开始于60年代初期，当时的中科院科仪厂等十几家单位走仿制的道路，有单聚焦和双聚集，普通型和超高灵敏度型等各式检漏仪，60至70年代是我国仪器发展的鼎盛时期，真空检漏科技人员队伍不断扩大，在应用实践中发展和完善各种检漏仪器设备和检漏工艺及技术，极大地推动了我国检漏事业的发展。

1 目前检漏的发展方向（1）仪器小型化国内工业水平的不断进步及基础元器件质量和加工水平的提高，为仪器的小型化创造了条件。

（2）仪器的自动化和智能化在90年代仪器自动化设计的基础上，开发具有自主知识产权的智能化、高质量的仪器、软件是中文的，技术条件是规范的，仪器自动化系统较为完善的检漏仪器。

（3）仪器高性能和多用途高性能主要体现为仪器的高灵敏度、可靠性、重复性和较快的响应时间和清除时间，教宽的漏率范围和显示以及结构的模块设计。

2 现阶段检漏仪的主要产品（1） ZQJ230D型检漏仪230D检漏仪的真空泵以抽速150L/s的分子泵替代扩散泵，不需要液氮和冷却水，方便实用，可以达到快速启动，从通电、机械泵工作到进入检漏状态一般为7~8min，减少了污染和氦本底。

前级机械泵兼做预抽泵，使结构紧凑，漏率直读和发光带显示，醒目直观，分子泵的抽速设全速和半速两档，适用于高灵敏度和大抽速的工业应用检大漏和对被抽件快速抽气的需求。

230D型检漏仪采用逆扩散原理设计结构。

这种技术利用分子泵对不同分子量的气体有着不同的压缩比的特点，氦气经反向扩散进入分子泵到达质谱室，被电离、偏转到接收器，接受检测，利用这种技术可以使质谱室保持较高的真空度，非常适合普通工业的应用。

氦质谱检漏仪使用说明一、检漏仪及其真空系统的组成VARIAN959-50检漏仪检漏漏率范围从1X10-3（毫升/秒）到2X10-10（毫升/秒）（相当于30年漏1毫升），它主要由质谱管、高真空泵、热偶规管、一系列按钮控制的阀、测试接口、真空和漏率指示，以及电路板等部分组成，其真空系统结构为（分子泵型），如图1：图1 检漏仪真空系统结构图（分子泵型）检漏仪开启后，V1、V2、V6阀打开，测试口与质谱管保持真空连接。

如果按下“VENT”键，放气阀V3打开，V1关闭，测试口处于大气状态，同时V2打开，使分子泵、质谱管和机械泵连通。

分子泵运行时，质谱管真空度要达到2X10-4TORR以上，才能给离子源灯丝加热。

二、检漏仪工作原理图2 检漏仪工作原理图如果被检系统有微小漏孔，在小孔周围喷氦气时，总有部分氦原子会通过漏孔进入检漏仪接口，通过其真空系统扩散到质谱管。

质谱管是检漏仪核心组成部分，参见上图2，在电场和磁场作用下，灯丝发射电子使气体电离，电离后带正电的离子通过聚焦和孔集中后，进入分析磁场（磁场强度为2340高斯），由于受洛仑磁力作用，离子会发生偏转，其它外界条件相同的情况下，偏转半径由带电粒子电量与质量之比即荷质比决定，荷质比小的离子偏转半径小，荷质比大的粒子偏转半径大，只有氦离子才能通过抑制小孔到达收集极，信号经放大后，检漏仪报警。

三、控制和指示器功能说明：序号控制、指示器功能四、开机操作步骤（对分子泵检漏仪）1) 将待检设备和检漏仪接口接好确保不漏；2) 开前级机械泵电源；3) 打开右边小门，合上主电源开关，所有指示灯暂亮起，等到“TRURBO READY”指示灯亮；4) “HIVACK OK”指示灯亮后，将“FIL”开关打到ON，灯丝指示灯亮，必要时多次重复这一步骤直到灯丝指示稳定；5) 按下START键；6) 当测试口压力降到绿色指示段（100 millitorr）时，TEST指示灯亮，三分钟后，如果测试口真空度降到绿色指示段，HOLO指示灯亮，压力降到100milltor以下后，HOLO指示灯灭，（如果真空度达不到要求，HOLD指示将在三分钟内发亮）；7) 检漏仪会自动上一步，直到测试口压力降到100毫以下；8) 被检系统喷氧检漏；五、关机步骤1) 按下VENT键；2) 关掉检漏仪主电源；3) 关机械泵主电源；以上操作使分子泵隔离大气，质谱管保持真空状态六、检漏仪调零和校准在检漏之前，检漏议质谱应调到对氦反应灵敏，这需要用到标准漏孔。

一、氦质谱检漏仪作业指导书
1.氦质谱检漏仪的结构
氦质谱检漏仪由电源、控制器、探测器、探测器控制器、气体控制器、计算机、显示器等
组成。

2.氦质谱检漏仪的安装
（1）安装氦质谱检漏仪前，应检查检漏仪的各部件是否完整，并确保安装环境温度、湿度、电源电压等符合要求。

（2）安装时，应把检漏仪放置在平整、无振动的地面上，保证检漏仪的稳定性。

（3）安装完成后，应检查检漏仪的各部件是否连接正确，气体流量是否正常，电源电压
是否稳定，探测器的工作状态是否正常。

3.氦质谱检漏仪的操作
（1）操作前，应检查检漏仪的各部件是否连接正确，气体流量是否正常，电源电压是否
稳定，探测器的工作状态是否正常。

（2）将检漏仪连接到计算机，打开软件，设置检漏参数，设置检漏模式，设置检漏时间，设置检漏结果的显示方式等。

（3）启动检漏仪，检漏过程中应定期检查检漏仪的工作状态，并及时调整检漏参数。

（4）检漏完成后，应对检漏结果进行分析，如果出现异常，应及时修改检漏参数，重新
检漏。

4.氦质谱检漏仪的维护
（1）定期检查检漏仪的各部件，确保检漏仪的正常工作。

（2）定期清洁检漏仪，防止检漏仪的结构受潮、受污染。

（3）定期更换检漏仪的耗材，如滤芯、探测器等，确保检漏仪的正确性。

二、结论
氦质谱检漏仪是一种用于检测气体泄漏量的仪器，其安装、操作和维护都需要严格按照操作规程进行，以确保检漏仪的正确性和可靠性。

氦质谱检漏仪使用方法
一、氦质谱检漏仪的简析：
1、为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。

氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散。

2、另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。

将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。

二、氦质谱检漏仪的使用方法：
1、氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。

2、是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。

由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。

3、质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场。

4、由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。

喷氦法、吸氦法是在电阻炉检漏中常用的两种方法。

总结：氦质谱检漏仪的简析及使用方法，看完本文您就应该有了基本的认识和了解相信大家都明白了吧！总的来说，希望对大家有所帮助。

《装备维修技术》2021年第17期氦气检漏技术及其在核电管道工程中的应用伍 奇（中国核工业二三建设有限公司， 北京 顺义 101300）摘 要：由于核电工程的设备、工艺相对复杂，并且对放射性物质释放控制具有较高的标准要求，因此在核电管道工程中必须要采用适当的方法进行检测。

当下氦气检漏技术得到广泛运用，该技术能够准确分析核电管道工程中的缺陷，对整个管道系统的严密性展开检测，以确保能够更加安全的运行。

该技术无论在灵敏度还是安全性等方面，都具有较为明显的优势，相比其他检测方法更适用于核电管道工程。

本文会对氦气检漏技术及其在核电管道工程中的应用进行分析，以此来推动我国核电工程发展，并为相关工作人员提供参考建议。

关键词：氦气检漏技术；核电；管道工程引言：核电工程在发展过程中如果出现泄漏问题，就会引发放射性物质释放，而该问题造成的后果极为严重，不仅仅是设备的损坏，还包括环境污染、经济损失等，同时影响核电工程的运行安全，所以需要利用有效的方法，进行核电管道维护工作。

目前在核电管道工程中使用最多的技术为氦气检漏技术，该技术能够发现微小的泄漏问题，因此与其他检测技术相比定位更加准确。

同时氦气检漏技术安全可靠，无毒、无破坏性，非常适用于核电管道工程，对于核电工程发展可以起到关键性作用。

1 氦气检漏技术应用优势准确来说氦气其实是一种稀有气体，不过可以应用在检漏测试工作中，作为新型的检测技术，氦气检漏具有性能稳定、灵敏度高等诸多的优势。

尤其是氦气检漏仪器，在检测过程中可以最大程度保证数据的准确性，所以目前此类氦气检漏仪器使用更多，以此来判断核电管道工程是否合格。

同时在应用过程中可以自动回收工作，氦气循环使用效率甚至达到95%，所以并不会消耗较多的成本，也能避免浪费过多害其资源。

一般来说在核电工程中，必须把放射性物质进行密封，如果在没有经过衰变、稳定出现泄露问题，将会造成严重的环境污染，所以往往需要对核电管道工程进行严格检查，而氦气检漏技术就成为关键因素，及时发现管道系统中的缺陷，为核电工程运行提供安全保障。

氦质谱检漏仪介绍氦质谱检漏仪是一种常用于检测物体或容器中微小气体泄漏的仪器。

它利用氦气敏感探测器对氦气的敏感性，通过抽取被检测物体周围的空气，将其与氦气混合，然后通过质谱分析仪检测出氦气的存在与否，从而判断是否存在泄漏情况。

下面将对氦质谱检漏仪的结构、原理、应用以及发展进行详细介绍。

氦质谱检漏仪通常由以下几个主要部分组成：真空泵、氦气瓶、混合器、抽取枪、氦质谱分析仪等。

其中真空泵用于产生真空环境，氦气瓶提供检漏所需的氦气，混合器用于将抽取到的环境气体与氦气按一定比例混合，抽取枪用于采集环境气体，氦质谱分析仪则用于检测氦气的存在与否。

氦质谱检漏仪的工作原理基于质谱分析原理。

质谱分析是一种利用粒子的质量和电荷特性进行分析的方法。

在氦质谱检漏仪中，当空气中存在氦气时，抽取到的气体与氦气混合，形成气体的混合物。

然后，混合气体通过抽取枪注入氦质谱分析仪中。

在氦质谱分析仪中，首先将混合气体进行加热，使其分子激发产生离子。

随后，这些离子会经过一系列的分离、加速和扩散过程，最终进入质谱仪器。

在质谱仪器中，离子根据其质量-电荷比进行分离，并通过相应的检测器进行检测。

如果氦气存在泄漏，会在质谱谱图上显示出特定的峰值信号，以证明泄漏现象的发生。

氦质谱检漏仪具有广泛的应用领域。

首先，在工业生产中，氦质谱检漏仪可用于检测各种设备和容器中的气体泄漏情况，如石化、化工、制药等行业。

其次，在航空航天领域，氦质谱检漏仪可用于飞机、航天器和卫星等设备的泄漏检测，以保证其安全性和可靠性。

此外，在科学研究领域，氦质谱检漏仪也可用于实验室中的气体泄漏检测。

随着科学技术的发展，氦质谱检漏仪也在不断改进和发展。

现代氦质谱检漏仪结构更加紧凑，体积更小，使用更方便。

同时，新型的氦气敏感探测器被开发出来，使得氦质谱检漏仪的灵敏度和可靠性得到提高。

此外，一些高级氦质谱检漏仪还配备了数据记录和分析系统，以提供更精确和可视化的泄漏检测结果。

总之，氦质谱检漏仪是一种用于检测物体或容器中微小气体泄漏的仪器。

氦质谱检漏仪的使用是怎样的呢
氦质谱检漏仪是一种专业用于检测真空系统漏气的仪器。

它使用氦气作为测试
气体，利用氦气极小的分子大小和无色无味的特性，在真空系统中通过泄漏孔进入真空室进行检测。

通过对泄漏氦气进行检测，可以确定系统中的漏率并定位漏点。

氦质谱检漏仪广泛应用于各种机械、电子、航空航天等各个领域，因其检测精
度高、可靠性强而备受青睐。

在此介绍氦质谱检漏仪的使用方法及注意事项。

1. 准备工作
在使用氦质谱检漏仪进行检测之前，需要做好各种准备工作：
•确定检测目标
•安装适当的接口及氦气瓶
•检查真空系统密封性
2. 检测前操作
使用氦质谱检漏仪进行检测前，需要进行一些操作：
•安装检测器
•启动氦气供应
•实施排气处理
•进行预漏测试
3. 进行检测
进行氦质谱检漏仪检测的步骤如下：
1.将氦气从氦气瓶中引入到真空系统中。

2.在检测器控制面板上设置好检测参数，如检测压力、场强、灵敏度等。

3.开始检测，并对检测结果进行分析定位漏点。

4. 注意事项
在使用氦质谱检漏仪进行检测时，需要注意以下事项：
1.氦气具有燃爆性，检测过程中禁止吸烟、使用明火等行为。

2.氦气具有极小的分子大小，在真空系统中容易扩散，因此检测时需要
尽可能避免漏气。

3.在检测前需仔细检查检测设备和真空系统密封性，以免测结果不准确
或漏点不能定位。

4.在检测过程中需要根据实际情况进行调整，调整参数，增强检测灵敏
度，以更好地检测漏点。

以上是氦质谱检漏仪使用方法及注意事项，正确使用氦质谱检漏仪可以确保系统的安全性，保障产品质量。

氦质谱检漏仪原理及使用方法及相关介绍精编版一、氦质谱检漏仪的原理1.首先，将待检测的物体使用泵抽真空，将环境中的空气抽去，使之达到一个低压下。

2.然后，将氦气注入被检测物体的周围环境中，此时被检测物体内部存在可能的泄漏点。

3.接下来，利用泵将周围的氦气抽入质谱仪进行分析。

在质谱仪中，氦气会分子破裂形成氦原子以及其他质子和电子组成的离子。

4.最后，利用质谱仪的探测器检测这些离子，并根据离子的种类和数量来确定氦气泄漏的位置和程度。

二、氦质谱检漏仪的使用方法使用氦质谱检漏仪来检测气体泄漏需要以下步骤。

1.连接仪器：首先，将氦质谱检漏仪的各个部分按照说明书连接好，确保仪器正常工作。

2.准备工作：确保被检测物体周围环境处于一定的真空状态，注入氦气之前，将其它气体从被检测物体周围排除出去。

3.注入氦气：将氦气注入被检测物体周围环境中，确保氦气在泄漏点出漏时能进入到被检测物体内部。

4.开始检测：通过操作仪器，将泵启动，将周围环境中的氦气抽入质谱仪中进行分析。

5.分析结果：根据质谱仪输出的数据和显示的曲线，来确定氦气泄漏的位置和程度。

6.维护和记录：检测完成后，对仪器进行维护和清洁，同时将检测过程和结果进行记录。

三、氦质谱检漏仪的应用1.工业领域：氦质谱检漏仪可以用于汽车、空调、制冷设备、容器、管道等工业设备的泄漏检测。

它可以检测到微小的泄漏，避免了潜在的安全隐患。

2.实验室应用：氦质谱检漏仪可以用于实验室的真空系统、气体贮存、气体分析等设备的泄漏检测。

它可以保证实验室设备和实验工作的准确性和安全性。

3.能源设备：氦质谱检漏仪可用于能源设备的泄漏检测，如太阳能光伏系统、风力发电机、核电站等。

它可以提高设备的使用寿命和能源利用效率。

综上所述，氦质谱检漏仪是一种非常有效的气体泄漏检测仪器，具有高灵敏度和准确性。

它的工作原理简单明了，使用方法也相对简单。

在工业和实验室中的广泛应用，保证了设备的安全和工作的正常进行。

氦质谱检漏仪说明书
氦质谱检漏仪是一种用于检测气体泄漏的仪器，常用于工业生产中的排气管道、气密系统、发动机、航空航天等领域。

使用氦质谱检漏仪需要注意以下事项：
1. 确保氦气源充足并连接到仪器上。

2. 预热仪器至工作温度，一般为25℃-35℃之间。

3. 将检漏仪连接至被检测泄漏物的管路或设备。

4. 打开仪器的氦气流控开关，使氦气流经被检测泄漏物的管路或设备。

5. 打开检测仪器的高压控制开关，使电离针产生电离氦原子。

6. 从氦气源中选择一个适合被检测设备的质量标准。

7. 根据设备的检测需求，选择不同的泄漏检测程序和扫描速度。

8. 正常情况下，泄漏位置将在仪器上以响声、指示灯或数字显示的形式出现。

9. 检测完毕后，将仪器清洁干净并储存至干燥处。

10. 注意安全，避免氦气泄漏对人体造成危害。

以上是氦质谱检漏仪的基本操作使用说明，使用时务必遵守安全操作规程，以确保操作人员的安全和设备效果。

氦质谱检漏仪基本原理简介氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。

是真空检漏技术中灵敏度最高，用得最普遍的检漏仪器。

氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。

单级磁偏转型仪器灵敏度为lO-9～10-12Pam3／s，广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。

双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较，本底噪声显著减小．其灵敏度可达10-14～10-15Pam3／s，适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。

逆流氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位，因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点．适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏，其灵敏度可达10-12Pam3／s。

(1)工作原理与结构氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。

①单级磁偏转型氦质谱检漏仪现以HZJ—l型仪器为例．介绍单级磁偏转型氦质谱检漏仪。

在质谱室内有：由灯丝、离化室、离子加速极组成离子源；由外加均匀磁场、挡板及出口缝隙组成分析器；由抑制栅、收集极及高阻组成收集器；第一级放大静电计管和冷阴极电离规。

在离化室N内，气体电离成正离子，在电场作用下离子聚焦成束。

并在加速电压作用下以一定的速度经过加速极S1的缝隙进入分析器。

在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子将按圆形轨迹运动，其偏转半径可计算。

可见，当B和U为定值时，不同质荷比me-1的离子束的偏转半径R不同。

仪器的B和R是固定的，调节加速电压U使氦离子束恰好通过出口缝隙S2，到达收集器D，形成离子流并由放大器放大。

使其由输出表和音响指示反映出来；而不同于氦质荷比的离子束[(me-1)1(me-1)3]因其偏转半径与仪器的R值不同无法通过出口缝隙S2，所以被分离出来。

(me-1)2=4，即He+的质荷比，除He+之外，C卅很少，可忽略。

②双级串联磁偏转型氦质谱检漏仪由于两次分析，减少了非氦离子到达收集器的机率。

氦质谱检漏技术在蒸发器制造与停堆期间的应用摘要：针对蒸发器制造与运行过程中的泄露问题，应用氦质谱检漏技术发现泄露点，为蒸发器返修/检修提供依据，保证蒸发器的顺利制造、安全经济运行，从而取得良好的经济效益。

关键词：蒸发器；氦质谱检漏；泄露1 前言蒸发器是核电厂运行中较为重要的一项设备，它在高压和带放射性条件下工作，主要功能是作为热交换设备将一回路冷却剂中的热量传给二回路的给水，使其产生饱和蒸汽供给二回路动力装置。

放射性污染二回路系统一般通过两种途径：一是高压冷却剂经管子-管板间隙向二次侧泄露；二是传热管发生破裂。

为保证蒸发器在核电厂中安全有效的运行，有必要在蒸发器制造及运行过程中对其进行泄露检验。

氦质谱检漏技术是目前国内外公认的安全可靠的检漏方法。

2 氦质谱检漏技术在蒸发器在役期及停堆期的应用[3]2.1 检验范围蒸发器制造过程中的传热管采用超声波检测、涡流检测进行质量控制，因此氦质谱检漏的主要控制点为管子-管板焊缝。

2.2 人员资格进行泄漏试验的人员都应该按照haf602核安全法规《民用核安全设备无损检验人员资格管理规定》进行培训、考核并取得相应的资格证书[1]。

2.3 在役期检验用仪器及设备（1）氦质谱检漏仪（2）专用检漏罩专用检漏罩用波纹管与仪器相连接，管路应尽可能短，除非经特殊设计的较长管路能缩短相应净化时间，但最长不应大于4570mm[2]。

专用检漏罩用于对管孔一次侧焊缝进行检漏，可为单孔或多孔检漏罩。

（3）标准漏孔标准漏孔一年进行一次检定，保证标准漏孔在检定合格日期内使用[2]。

（4）示踪气体采用氦-氮混合气体作为示踪气体，氦气纯度不小于99.99%，氮气纯度不小于99.99%。

（5）压力表、温度计、秒表、真空泵2.3.1 检测条件准备（1）对蒸发器二次侧整体进行密封；（2）试验部件在检测时不允许进行通风处理或试验场所不得因为通风而使所要求的灵敏度降低[2]。

2.3.2 检验流程（1）检测系统安装（2）充气对蒸发器二次侧冲入氦气和氮气混合气体，并保证二次侧绝对压力及氦气浓度满足要求。

氦质谱检漏仪氦质谱检漏仪是一种高灵敏度的真空检漏仪器。

它利用氦原子的高能级和低分子量等特点，在真空环境中检测微小气体泄漏。

本文将介绍氦质谱检漏仪的工作原理、优缺点及常见应用领域。

工作原理氦质谱检漏仪的基本组成部分包括真空系统、氦质谱分析仪、真空泵以及紫外灯等。

检测时，将氦气注入被检测物体或系统中，通过真空泵将环境气体抽出，产生真空环境，并在系统中形成一定压力差。

若系统发生泄漏，则氦气会从泄漏口进入真空压强下的氦质谱仪，引起质谱峰的变化。

因为氦气原子是一种极小的气体分子，其分子尺寸极小，不易被阻挡，且在百万分之几的大气压下就可以被检测，非常适用于微漏检测。

氦质谱检漏仪的工作原理类似于质谱仪，利用电离原理将氦气分离出来，并通过检测其质子数来判断氦气在不同的电场下形成的质谱峰。

一般来说，氦质谱分析仪可以分为四个部分：离子源、质量分析器、检测器和信号处理器。

离子源主要用于将氦气电离，形成离子束；质量分析器则用于对质子数进行分析和筛选；检测器则用于检测质谱峰的信号，并将信号传输给信号处理器进行其他处理。

优缺点作为一种高灵敏度的检测仪器，氦质谱检漏仪具有很多优点。

其中最为突出的就是其高灵敏度。

氦气本身具有极小的分子尺寸和分子量，能够通过被检测物体的微小孔隙和裂缝进行检测，避免了漏检的情况。

同时，氦质谱检漏仪也具有非常快的检测速度，可以在数分钟内检测出无法被其他检测仪器检测出来的极小泄漏。

不过，氦质谱检漏仪也存在一些缺点。

首先，操作过程比较复杂，需要一定的专业知识和技能。

其次，氦气本身是一种昂贵的气体，使用成本较高。

此外，由于氦质谱检漏仪的检测灵敏度很高，所检测到的气体未必都属于实际泄漏物体，还有一部分可能是系统内气体残留或者室内空气的微量背景气体，需要加以区分。

应用领域氦质谱检漏仪的应用领域非常广泛。

它可以用于各种机械设备和器具、实验室设备以及化工厂、制药厂等行业中对空气渗入的检测。

主要应用领域包括：1.制造业和工业生产，如汽车、飞机、半导体、航天、军工、电器、医疗设备等领域。

氦质谱检测技术在汽轮机真空系统检漏中的应用汽轮机真空系统主要涉及低压缸、排汽装置、空冷岛、抽空气、疏水、低压旁路以及连接管道等范围，是一个庞大而又比较复杂的系统。

汽轮机正常运行时，这些设备和管道都处于真空状态。

一旦真空系统有泄漏，泄漏的空气量大于抽汽器的抽出量，凝汽器真空状态将会受到影响，造成汽轮机低压缸排汽压力升高。

低压缸蒸汽焓降减少，在同样蒸汽流量下汽轮机作功减少、热耗增加，机组煤耗升高。

以300MW机组为例，背压每增加1 KPa，影响机组热耗大约为55.87 kJ/kwh 标准煤耗增加2.15g/kwh；同时低压缸排汽压力升高造成蒸汽湿度增加和低压缸温度上升。

因此，汽轮机运行真空低不仅对机组经济性有较大影响，对汽轮机的安全运行也是一种威胁。

对于一个庞大的真空系统要检测出分散很广的漏点是比较困难的。

目前，电厂一般采用停机后真空系统灌水找漏的方法，检查1次需要3～4 d，且因灌水位置限制，凝结器喉部以上可能漏入空气的部位无法检查。

氦质谱检漏技术是一种应用于国内外的真空容器检漏先进技术。

氦气是一种无毒、无味、对大气无污染、性质稳定的惰性气体。

在特定温度下，氦分子比除氢外的任何其它气体都具有更高的粒子速度，因此，氦比大多数其它探索气体都能更快地穿过漏孔。

利用氦气作为汽轮机真空系统检漏示踪气体，用喷射器逐一对真空系统设备每个部位释放氦气，如果该部位存在漏点，氦气将被吸入，最终从抽汽器排出，通过氦气检测仪在抽汽器出口检测示踪气体，从而可判断真空系统的泄漏点位置和泄漏空气量相对大小。

该技术主要特点是：氦气对系统设备无腐蚀、不溶解于水和蒸汽、对大气无污染、仪器接收灵敏度高、漏点判断准确，对真空系统细小的漏点也能检测到，可不停机检测，且容易掌握，成本费用低。

近几年已在电力生产中推广应用。

汽轮机真空系统严密性的检测范围在机组运行中检查真空系统严密性的仪器是氦气检漏仪。

该仪器可以检测真空系统中焊缝、管接头、法兰和阀门接合处及轴封等的泄漏。