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压力传感器论文压电传感器论文一种用于压力传感器的温度控制系统设计摘要:针对SiC高温MEMS压力传感器易受温度影响,产生零点漂移、测量误差增大等问题,设计了一种温度控制系统,根据科恩-库恩公式建立了系统的数学模型,采用参数自整定PID控制算法,克服了纯PID 控制有较大超调量的缺点,实现了一个温度控制系统。
利用Matlab仿真软件的Similink模块建立系统的仿真模型,通过仿真和测试验证系统满足设计要求。
解决了大温度范围下压力传感器难以补偿的问题,使得压力传感器在高温环境下的应用得以实现,提高了压力传感器的稳定性。
关键词:MEMS; 压力传感器; 温度控制; 零点漂移Design of Temperature Control System for Pressure Sensors GUO Jiang(College of Information Engineering, Southwest University of Science and Technology, Mianyang 621010, China) Abstract: A temperature control system for the SiC MEMS pressure sensor is designed as the pressure sensor is susceptible to high temperature, and easy to result in zero drift, and measurement error increase. A mathematical model for the system is established according to Cohen-Coon formula. And finally a temperature control system is achieved with theparameter self-tuning PID control algorithm to overcome the shortcoming of a large overshoot adjustment of pure PID control. The Similink module simulation model was set up by the Matlab Simulation software system. The simulation and testing verifies that the system can meet the design demands. The pressure sensor is hard to be compensated within a large temperature range is solved, with which the application of the pressure sensor in high temperature environments is achieved and the stability of the pressure sensor is improved.Keywords: MEMS; pressure sensor; temperature control; zero drift0 引言在微电子器件领域,针对SiC器件的研究较多,已经取得了较大进展,而在MEMS领域针对SiC器件的研究仍有许多问题亟待解决。
压力传感器研究报告1. 引言在现代科技快速发展的时代，传感器技术的应用越来越广泛。
压力传感器作为一种重要的传感器类型，被广泛应用于各个领域，如工业自动化、医疗设备、汽车工业等。
本报告将对压力传感器进行全面、详细、完整的研究与探讨。
2. 压力传感器原理及分类2.1 压力传感器原理压力传感器是通过将压力信号转化为电信号来实现测量的一种传感器。
其工作原理基于压阻、电容、电势差或热敏等不同的物理效应。
2.2 压力传感器分类根据不同的测量原理和应用场景，压力传感器可以被分为以下几类：1.压阻式传感器–电阻式–导线式–薄膜式2.电容式传感器3.热敏式传感器4.振动式传感器3. 压力传感器的应用领域压力传感器的广泛应用使其在各个领域都发挥了重要作用。
以下是一些常见的应用领域：3.1 工业自动化•工业过程监控•液位测量•气体流量测量3.2 汽车工业•发动机控制系统•车辆稳定性控制系统•车辆能源管理系统3.3 医疗设备•血压测量•呼吸机•输液控制4. 压力传感器的性能参数4.1 精确度精确度是评估压力传感器性能的重要指标，表示传感器输出值与真实值之间的偏差程度。
4.2 响应时间响应时间是指压力传感器从受到压力变化到输出结果稳定的时间。
4.3 工作温度范围工作温度范围是指压力传感器可以正常工作的温度范围。
超出该范围可能导致传感器输出不准确甚至损坏。
4.4 防护等级防护等级用于评估压力传感器的防护能力，包括防尘、防水等级。
5. 压力传感器的市场格局当前，世界上主要的压力传感器制造商主要集中在美国、德国、日本等发达国家。
6. 压力传感器的发展趋势随着科技的不断进步和社会的需求不断增加，压力传感器也在不断发展。
以下是压力传感器的一些发展趋势：6.1 运用新材料与新技术•采用新型材料，提高传感器的可靠性和精确度。
•运用纳米技术、微机电系统（MEMS）等新技术，实现更小型化、更高精度的压力传感器。
6.2 可穿戴设备中的应用随着可穿戴设备的兴起，压力传感器作为其中的一个重要组成部分，将在医疗、运动监测等领域发挥关键作用。
压力传感器论文班级：电子092姓名：李志华学号：2009131018指导教师：齐怀琴--------------------------可以编辑的精品文档，你值得拥有，下载后想怎么改就怎么改---------------------------摘要随着计算机技术的不断发展，信息处理技术也在不断发展完善。
但作为提供信息的传感器，它的发展相对于计算机的信息处理功能来说就落后了。
这使得自动检测技术受到影响，而检测技术是人类认识世界和改造科技不可少的重要手段压电式压力传感器原理基于压电效应。
压电效应是某些电介质在沿一定方向上受到外力的作用而变形时，其内部会产生极化现象，同时在它的两个相对表面上出现正负相反的电荷。
当外力去掉后，它又会恢复到不带电的状态，这种现象称为正压电效应。
当作用力的方向改变时，电荷的极性也随之改变。
相反，当在电介质的极化方向上施加电场，这些电介质也会发生变形，电场去掉后，电介质的变形随之消失，这种现象称为逆压电效应。
压电式压力传感器的种类和型号繁多，按弹性敏感元件和受力机构的形式可分为膜片式和活塞式两类。
膜片式主要由本体、膜片和压电元件组成。
压电元件支撑于本体上，由膜片将被测压力传递给压电元件，再由压电元件输出与被测压力成一定关系的电信号。
这种传感器的特点是体积小、动态特性好、耐高温等。
现代测量技术对传感器的性能出越来越高的要求。
关键字：零点漂移，灵敏度温漂，压力传感器--------------------------可以编辑的精品文档，你值得拥有，下载后想怎么改就怎么改---------------------------引言：传感器技术在当代科技领域中占有十分重要的地位，是21世纪人们在高新技术发展方面争夺的一个制高点，在国外各发达国家都将传感器技术视为现代高新技术发展的关键。
从20世纪80年代起，日本就将传感器技术列为优先发展的高打捞技术之首，美国等西方国家也将传感器的基本知识列为国家科技和国防技术发展的重点内容。
压力传感器的原理及应用论文摘要本论文主要介绍了压力传感器的原理、种类和主要应用。
首先，我们将介绍压力传感器的工作原理，包括压力对传感器的影响以及常见的压力传感器技术。
接下来，我们将讨论压力传感器的主要应用领域，包括工业自动化、医疗设备、汽车工业和航空航天等。
最后，我们将总结压力传感器技术的发展趋势和未来的研究方向。
引言压力传感器是一种用于测量和监测压力变化的装置。
它们在现代工业和科学领域中有着广泛的应用，从汽车工业到航空航天，从医疗设备到环境监测等。
本论文旨在介绍压力传感器的原理和应用，以便读者对该领域有更深入的了解。
压力传感器的工作原理压力传感器是利用一系列物理或机械效应来测量压力的设备。
以下是一些常见的压力传感器原理：1.电阻式压力传感器：电阻式压力传感器利用压力对电阻值的影响来测量压力。
当压力施加在敏感元件上时，电阻值会发生变化，通过测量电阻值的变化，可以确定压力的大小。
2.压力传感器基于微机电系统（MEMS）的原理：这种压力传感器使用微小的机械结构和敏感元件来测量压力变化。
当压力施加在微机械结构上时，结构的变形将导致电信号的变化，通过测量电信号的变化，可以确定压力的大小。
3.压电式压力传感器：压电式压力传感器利用压电效应来测量压力变化。
当压力施加在压电元件上时，它们会产生电荷积累，通过测量电荷的变化，可以确定压力的大小。
压力传感器的种类根据测量范围和应用需求的不同，压力传感器可以分为多个种类。
以下是几种常见的压力传感器类型：1.绝对压力传感器：绝对压力传感器可以测量相对于真空的绝对压力。
它们通常用于气象监测和高空应用等。
2.相对压力传感器：相对压力传感器可以测量相对于环境压力的相对压力。
它们通常用于工业自动化、流体控制和汽车工业等。
3.差动压力传感器：差动压力传感器可以测量两个压力之间的差异。
它们通常用于流体流量测量和液位测量等。
4.密封式压力传感器：密封式压力传感器具有高防尘和防水性能，适用于恶劣环境下的应用。
《基于PDMS复合介电层的电容式柔性压力传感器研究》篇一一、引言随着科技的进步和物联网的快速发展，柔性电子设备在众多领域中得到了广泛的应用。
其中，柔性压力传感器作为关键元件之一，在人机交互、健康监测、智能机器人等领域具有重要应用价值。
电容式柔性压力传感器以其高灵敏度、快速响应、耐久性好等优点受到了广泛关注。
本研究着重探讨了基于PDMS（聚二甲基硅氧烷）复合介电层的电容式柔性压力传感器，旨在提高传感器的性能和稳定性。
二、文献综述近年来，柔性压力传感器在材料选择、结构设计等方面取得了显著进展。
PDMS作为一种常见的柔性材料，具有优异的绝缘性能、良好的柔韧性和化学稳定性，在电容式柔性压力传感器中得到了广泛应用。
然而，单纯的PDMS材料难以满足高性能压力传感器的要求。
因此，研究者在介电层材料的选择上做了很多尝试，如复合导电颗粒、采用新型聚合物等，以期提高传感器的灵敏度和稳定性。
三、基于PDMS复合介电层的电容式柔性压力传感器设计本研究所设计的电容式柔性压力传感器以PDMS为基底，通过与其他材料复合形成介电层。
具体设计如下：1. 材料选择：选用具有高介电常数的材料与PDMS进行复合，以提高介电层的介电性能。
2. 结构设计：采用多层结构设计，以提高传感器的灵敏度和稳定性。
同时，优化电极和介电层的厚度及分布，以减小传感器对外界环境的敏感性。
3. 制备工艺：采用先进的纳米技术、涂覆技术等制备工艺，确保传感器具有良好的柔韧性和可靠性。
四、实验方法与结果分析1. 实验方法：（1）制备PDMS复合介电层：将选定的材料与PDMS进行混合、搅拌、涂覆等工艺，制备出具有特定厚度的介电层。
（2）制备电极：在介电层上制备导电电极，如银纳米线电极等。
（3）组装传感器：将电极和介电层进行组装，形成完整的电容式柔性压力传感器。
（4）性能测试：对制备的传感器进行灵敏度、响应速度、稳定性等性能测试。
2. 结果分析：（1）灵敏度分析：通过对比不同材料的复合介电层和不同结构的传感器，发现采用高介电常数材料的复合介电层能有效提高传感器的灵敏度。
传感器技术文献综述学校邕江大学专业09信息学号40号姓名赵丽霞一、摘要传感器技术是综合多种学科的复合型技术，是一门正在蓬勃发展的现代化传感器技术。
本文通过将所看的传感器相关文献总分为传感器、智能传感器以及无线传感器网络三个类别，对每一类别进行综述，分析每类别传感器研究中所存在的不足，探讨了相应的解决方案。
二、关键词：传感器三、引言传感器技术是一门正在蓬勃发展的现代化传感器技术，是涉及微机械与微电子技术、计算机技术、信号处理技术、电路与系统、传感技术、神经网络技术以及模糊控制理论等多种学科的综合性技术，而该技术也广泛应用到了军事、太空探索、智能家居、农业、医疗等领域。
在伴随着“信息时代”的到来，作为获取信息的重要手段——传感器技术得到飞速发展，其应用领域越来越广，人们对其要求越要越高，需求也越来越迫切。
但传感器技术的广泛应用以及飞速发展并不代表着该技术已经成熟，相反在很多方面它还只是一项新兴的技术，依然存在很多的问题等待我们去解决。
如何能够让我们的传感器装置很快的适应周围的环境，迅速准确的处理传输客户所需求的信号，并可以根据客户的要求作出相应的反应以及如何可以尽量的延长传感器装置的生存时间等等。
这些问题都是我们在研究传感器技术的过程中所应该解决的问题。
四、传感器传感器是一种物理装置，能够探测、感受外界的信号、物理条件（如光、热、温度、湿度等）或化学组成，并将探知到的信息传递给其他装置。
该装置相当我们的人类的眼睛、鼻子、舌头、耳朵以及皮肤等一些感知器官。
这样，精确快速地感受外界的信号就是迅速正确作出反应实施行动的前提条件。
现在的物理传感器、生物传感器都是力图解决感知、精确以及快速这三个难题。
例如气体流量监测就有很多种的感知方法，但每种方法都存在着精确以及反应速率方面的问题，所以还需要不断的改进。
然而，有很多的问题大自然已经很好的为我们解决了，我们应该取其精华。
因此，我认为仿生传感器一定会解决很多传感器方面的问题。
压力传感器文献综述摘要：传感器技术是综合多种学科的复合型技术，是一门正在蓬勃发展的现代化传感器技术。
本文通过部分文献资料对压力传感器的发展过程、研究现状和发展趋势做一简要介绍。
关键词：压力；传感器；1 压力传感器的发展历程现代压力传感器以半导体传感器的发明为标志,而半导体传感器的发展可以分为四个阶段(1) 发明阶段(1945 - 1960 年) :这个阶段主要是以1947 年双极性晶体管的发明为标志。
此后,半导体材料的这一特性得到较广泛应用。
史密斯与1945 发现了硅与锗的压阻效应,即当有外力作用于半导体材料时,其电阻将明显发生变化。
依据此原理制成的压力传感器是把应变电阻片粘在金属薄膜上,即将力信号转化为电信号进行测量。
此阶段最小尺寸大约为1cm。
(2) 技术发展阶段(1960 - 1970 年) :随着硅扩散技术的发展,技术人员在硅的(001) 或(110) 晶面选择合适的晶向直接把应变电阻扩散在晶面上,然后在背面加工成凹形,形成较薄的硅弹性膜片,称为硅杯。
这种形式的硅杯传感器具有体积小、重量轻、灵敏度高、稳定性好、成本低、便于集成化的优点,实现了金属- 硅共晶体,为商业化发展提供了可能。
(3) 商业化集成加工阶段(1970 - 1980 年) :在硅杯扩散理论的基础上应用了硅的各向异性的腐蚀技术,扩散硅传感器其加工工艺以硅的各项异性腐蚀技术为主,发展成为可以自动控制硅膜厚度的硅各向异性加工技术,主要有V 形槽法、浓硼自动中止法、阳极氧化法自动中止法和微机控制自动中止法。
由于可以在多个表面同时进行腐蚀,数千个硅压力膜可以同时生产,实现了集成化的工厂加工模式,成本进一步降低。
(4) 微机械加工阶段(1980 年- 今) :上世纪末出现的纳米技术,使得微机械加工工艺成为可能。
通过微机械加工工艺可以由计算机控制加工出结构型的压力传感器,其线度可以控制在微米级范围内。
利用这一技术可以加工、蚀刻微米级的沟、条、膜,使得压力传感器进入了微米阶段。
MEMS压力传感器综述
一．引言
压力传感器是一种常用的检测装置，可以测量多种形式的压力，如气压、液压和热压等，从而方便地进行检测和控制。
由于压力传感器具有快速、精确和稳定的性能，因此被广泛应用于工业、医疗、能源、交通等领域。
随着微机械电子技术的发展和成熟，MEMS压力传感器（Micro
Electro Mechanical Systems）已经成为当今世界上最新的技术，它具有
机械与电子结合、体积小、重量轻、耐热性高等优点，可以将物理变化的
信号转换为电子信号，从而实现远程测量和控制。
本文将综述MEMS压力
传感器的工作原理，类型以及应用，为工程师在选择压力传感器提供一定
参考。
二．MEMS压力传感器的工作原理
MEMS压力传感器是基于MEMS技术（Micro Electro Mechanical Systems）的一种传感器，它是一种将物理变化转换为电子信号的装置，
其内部有一个小尺寸的机械结构，这个结构是由薄膜、微型机械组件和电
子元件组成的。
当外界力作用于MEMS压力传感器时，机械结构上的膜片
会发生相应形变，该形变信号被电子元件转换为可用的电子信号，从而实
现远程检测和控制。
MEMS压力传感器可以实现高灵敏性，可以快速反应
压力变化，在具有防震和防抖动的环境中可以给出准确和稳定的信号输出，工作电压也较低，可以使用多种参数输出。
传感器技术文献综述1. 介绍传感器是一种能够将物理量转换为电信号的器件。
它是现代科技中不可或缺的一部分，广泛应用于各种领域，包括环境监测、医学、交通等。
本文将对传感器技术的发展历史、分类和应用领域作一综述。
2. 发展历史20世纪初，发明了第一个传感器——灵敏度振动计。
然而，真正引起人们关注的是20世纪60年代，当时出现了麦克风、光学传感器等新型传感器。
这些传感器体积小、灵敏度高，可以用于多种场合。
后来，微机电系统（MEMS）的发明为传感器技术的发展提供了新的机遇。
由于MEMS的出现，传感器变得越来越小，成本也越来越低，同时灵敏度也大大提高。
3. 分类传感器根据测量的物理量不同可以分为以下几类：3.1 温度传感器温度传感器是测量温度的设备。
目前主要有两种温度传感器：接触式和非接触式。
前者需要接触被测物体表面，通过测量接触表面的温度来计算物体整体温度。
后者则不需要接触，通过辐射、红外等方式来测量，广泛应用于炉温监测、生产自动化等领域。
3.2 湿度传感器湿度传感器是测量空气中相对湿度的设备。
传感器测量和输出空气中水分含量的比例。
广泛应用于气象、农业、制造和航空等众多领域。
3.3 光学传感器光学传感器是通过测量物体对光的反应来测量距离、形状、颜色等物理量的设备。
在汽车、机器人、工业自动化、航空等领域有广泛应用。
3.4 加速度传感器加速度传感器是测量物体加速度的设备。
当受到加速度时，传感器会输出与加速度大小成正比的电信号。
广泛应用于测量设备运动状态和振动等领域。
3.5 压力传感器压力传感器是测量物体压力的设备。
它通过压敏材料、电容和电阻的变化来测量压力。
广泛应用于汽车制造、制药业、医疗、空气压缩机、工业自动化控制等领域。
3.6 运动传感器运动传感器是测量物体运动状态的设备。
传感器可用于测量物体的加速度、角速度和地磁场。
广泛应用于移动设备、健身设备以及运动医疗等领域。
4. 应用领域传感器技术的应用范围非常广泛，涉及环境监测、农业、医疗、制造业、车载电子、智能家居等多个领域。
压力传感器文献综述
摘要：传感器技术是综合多种学科的复合型技术，是一门正在蓬勃发展的现代化传感器技术。
本文通过部分文献资料对压力传感器的发展过程、研究现状和发展趋势做一简要介绍。
关键词：压力；传感器；
1 压力传感器的发展历程
现代压力传感器以半导体传感器的发明为标志,而半导体传感器的发展可以分为四个阶段(1) 发明阶段(1945 - 1960 年) :这个阶段主要是以1947 年双极性晶体管的发明为标志。
此后,半导体材料的这一特性得到较广泛应用。
史密斯与1945 发现了硅与锗的压阻效应,即当有外力作用于半导体材料时,其电阻将明显发生变化。
依据此原理制成的压力传感器是把应变电阻片粘在金属薄膜上,即将力信号转化为电信号进行测量。
此阶段最小尺寸大约为1cm。
(2) 技术发展阶段(1960 - 1970 年) :随着硅扩散技术的发展,技术人员在硅的(001) 或(110) 晶面选择合适的晶向直接把应变电阻扩散在晶面上,然后在背面加工成凹形,形成较薄的硅弹性膜片,称为硅杯。
这种形式的硅杯传感器具有体积小、重量轻、灵敏度高、稳定性好、成本低、便于集成化的优点,实现了金属- 硅共晶体,为商业化发展提供了可能。
(3) 商业化集成加工阶段(1970 - 1980 年) :在硅杯扩散理论的基础上应用了硅的各向异性的腐蚀技术,扩散硅传感器其加工工艺以硅的各项异性腐蚀技术为主,发展成为可以自动控制硅膜厚度的硅各向异性加工技术,主要有V 形槽法、浓硼自动中止法、阳极氧化法自动中止法和微机控制自动中止法。
由于可以在多个表面同时进行腐蚀,数千个硅压力膜可以同时生产,实现了集成化的工厂加工模式,成本进一步降低。
(4) 微机械加工阶段(1980 年- 今) :上世纪末出现的纳米技术,使得微机械加工工艺成为可能。
通过微机械加工工艺可以由计算机控制加工出结构型的压力传感器,其线度可以控制在微米级范围内。
利用这一技术可以加工、蚀刻微米级的沟、条、膜,使得压力传感器进入了微米阶段。
2 压力传感器国内外研究现状
传感器是新技术革命和信息社会的重要技术基础，是现代科技的开路先锋。
美、日、英、法、德和独联体等国都把传感器技术列为国家重点开发关键技术之一。
美国长期安全和经济繁荣至关重要的22项技术中就有６项与传感器信息处理技术直接相关。
关于保护美国武器系统质量优势至关重要的关键技术，其中８项为无源传感器。
正是由于世界各国普遍重视和投入开发，传感器发展十分迅速。
目前，我国传感器行业规模较小，应用范围较窄。
为此，我们亟须转变观念，将传感器的研发由单一型传感器的研发，转化为高度集成的新型传感器研发。
新型传感器的开发和应用已成为现代系统的核心和关键，它将成为21世纪信息产业新的经济增长点。
改革开放30年来，我国传感器技术及其产业取得了长足进步，主要表现在：建立了传感技术国家重点实验室、微米/纳米国家重点实验室、国家传感技术工程中心等研究开发基地；MEMS、MOEMS等研究项目列入了国家高新技术发展重点；在“九五”国家重科技攻关项目中，传感器技术研究取得了51个品种86个规格新产品的成绩，初步建立了敏感元件与传感器产业；2007年传感器业总产量达到20.93亿只，品种规格已有近6000种，并已在国民经济各部门和国防建设中得到一定的应用。
压力传感器的发展动向主要有以下几个方向：
2.1光纤压力传感器
这是一类研究成果较多的传感器,但投入实际领域的并不是太多。
光纤传感器基本原理是将光源发出的光经光纤送入调制区,在调制区内,外界被测参数与进入调制区的光相互作用,使光的强度、频率、相位、偏振等发生变化成为被调制的信号光,再经光纤送入光探测器、
解调器而获得被测物理量。
这种敏感元件已被应用与临床医学,用来测医学的压力、流速、pH值等。
可预见这种压力传感器在显微外科方面一定会有良好的发展前景。
同时,在加工与健康保健方面,光纤传感器也在快速发展。
2.2新型接触式电容压力传感器
与其他类型压敏器件相比,接触式电容压力传感器(TMCPS)有着明显的优点,例如较好的线性,高灵敏度和大过载保护能力等。
为了达到更好的性能,设计了一种新型的接触式电容压力传感器(DTMCPS),这种新型的结构是在传统的TMCPS的底部电极上刻蚀了一个浅槽。
与现有的接触式电容压力传感器相比,这种结构可以实现更好的线性和更大的线性范围。
为了进一步提高接触式电容压力传感器的性能, 吕浩杰等人设计了一种高性能双凹槽结构的接触式电容压力传感器,并对该传感器在高温环境中的总体性能进行了分析。
推导了热传导和热弹性理论,并对影响传感器热分析的各个因素与温度的依赖关系进行了描述;在整个分析过程中,使用ANSYS软件并结合有限元方法对全尺寸传感器的热效应进行模拟。
2.3耐高温压力传感器
主要是以新型半导体材料(SiC) 为膜片的压阻式力传感器为代表。
Ziermann , Rene 和V on Berg , Jochen 等人首先于1997 年报导了使用单晶n 型β2SiC 材料制成的压力传感器,这种压力传感器工作温度可达573K,耐辐射。
Rober. S. Okojie报导了一种运行试验达500 ℃的α(6H) SiC 压力传感器. 实验结果表明,在输入电压为5V ,被测压力为6. 9MPa 的条件下,23500 ℃时的满量程输出为44. 66～20. 03mV ,满量程线度为20. 17 % ,迟滞为0. 17 %。
在500 ℃条件下运行10h ,性能基本不变,在100 ℃和500 ℃两点的应变温度系数( TCGF) , 分别为20. 19 %/ ℃和- 0. 11 %/ ℃。
这种传感器的主要优点是PN 结泄漏电流很小,没有热匹配问题以及升温不产生塑性变型,可以批量加工。
2. 4 硅微机械加工传感器
在微机械加工技术逐渐完善的今天,硅微机械传感器在汽车工业中的应用越来越多。
而随着微机械传感器的体积越来越小,线度可以达到1～2mm ,可以放置在人体的重要器官中进行数据的采集。
此外，由于传统的流体传感器由于存在着灵敏度低、体积大、成本高等缺点,而且微流体与宏观流体流动特性不同,所以其在微流体的流体特性测量中存在很大的局限性.随着MEMS技术的发展,硅微机械流体传感器的出现克服了传统流体传感器的缺点.硅微机械流体传感器已成为MEMS的研究热点之一.
3 压力传感器的发展趋势
当今世界各国压力传感器的研究领域十分广泛，几乎渗透到了各个行业，归纳起来主要有以下几个趋势：小型化：小型化会带来很多好处，重量轻、体积小、分辨率高，便于安装在很小的地方；对周围器件影响小，也利于微型仪器、仪表的配套使用。
集成化：压力传感器已经越来越多的与其它测量用传感器集成以形成测量和控制系统，集成系统在过程控制和工厂自动化中可以提高操作速度和效率。
智能化：由于集成化的出现，在集成电路中可添加一些微处理器，使得传感器具有自动补偿、通讯、自诊断、逻辑判断等功能。
系统化：单一化产品在市场上没有大的竞争力。
市场风云突变，一旦失去市场，发展则停滞不前，经济效益差，资金浪费大，产品成本高。
标准化：传感器的设计与制造已经形成了一定的行业标准。
如IEC、ISO国际标准，美国的ANSIC、ANSC、MIL-T和ASTME标准，日本JIS标准，法国DIN标准。
4 结束语
压力传感器技术已经发展到比较高的水平,并且更新换代的速度很快。
随着我们对压力传感器材料、工艺等研究的不断深入，随着微电子技术和计算机技术的不断发展，相信压力传感器在精确度、智能化等各个方面都将得到进一步的完善和提高，压力传感器在生物医学、微型机械等领域也必将有着更为广泛的应用前景。
参考文献
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