工业机器人种类介绍
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工业机器人的类型
工业机器人是工业自动化的重要组成部分,其种类繁多。
根据其结构和应用领域,可以将其分为以下几类:
1. 增量式机器人:由一系列连续的关节构成,可以执行复杂的任务。
2. 直线式机器人:由一系列线性构件组成,可以在直线轨迹上执行任务。
3. SCARA机器人:具有水平关节和垂直关节的机器人,适用于装配和搬运。
4. Delta机器人:采用三个或更多的运动臂,适用于高速和高精度的操作。
5. 滑动式机器人:由一个或多个滑动臂组成,适用于重载和高负荷的任务。
6. 并联式机器人:由多个运动臂组成,可以同时完成多项任务。
7. 协作式机器人:具有感知和交互能力,可以与人类共同工作。
以上是工业机器人的一些常见类型,随着科技的不断进步,未来还会有更多种类的工业机器人出现。
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工业机器人的类别一、搬运类机器人搬运类机器人是工业机器人中最常见的一类。
它们主要用于在工业生产线上搬运、装配、堆垛等任务。
这类机器人通常具有高度灵活性和精确性,能够根据预设的程序自动完成各种搬运动作。
搬运类机器人不仅可以提高生产效率,还可以降低生产过程中的人力成本和人为错误。
二、焊接类机器人焊接类机器人是工业机器人中应用最广泛的一类。
它们主要用于进行焊接操作,能够完成各种焊接任务,如点焊、弧焊、激光焊等。
焊接类机器人具有高度的精准度和稳定性,能够在高温环境下完成焊接工作,且能够适应不同材料的焊接需求。
这类机器人的应用可以提高焊接质量和效率,减少人工焊接过程中的风险和劳动强度。
三、喷涂类机器人喷涂类机器人主要用于进行各种表面涂装工作,如汽车喷漆、家具喷涂等。
这类机器人具有高度的精准度和均匀性,能够根据预设的程序自动完成喷涂动作,同时还能够根据不同的工作需求进行喷涂模式和喷涂角度的调整。
喷涂类机器人的应用可以提高喷涂质量和效率,减少涂装过程中的浪费和环境污染。
四、装配类机器人装配类机器人主要用于完成各种零部件的装配工作,如汽车零部件的装配、电子产品的组装等。
这类机器人具有高度的灵活性和精确度,能够根据预设的程序自动完成各种装配动作,同时还能够根据不同的装配需求进行动态调整和优化。
装配类机器人的应用可以提高装配质量和效率,减少人工装配过程中的错误和疲劳。
五、检测类机器人检测类机器人主要用于进行产品质量的检测和测试工作,如外观检测、尺寸测量、缺陷检测等。
这类机器人具有高度的精确度和稳定性,能够根据预设的程序自动完成各种检测动作,同时还能够根据不同的检测要求进行参数的调整和优化。
检测类机器人的应用可以提高产品质量和检测效率,减少人工检测过程中的主观误判和漏检。
六、包装类机器人包装类机器人主要用于产品的包装和封装工作,如食品包装、药品包装等。
这类机器人具有高度的灵活性和效率,能够根据预设的程序自动完成各种包装动作,同时还能够根据不同的包装要求进行包装方式和包装材料的调整。
工业机器人分类及用途
工业机器人根据其功能和应用领域,可以分为以下几类:
1. 装配机器人:这类机器人的主要用途是在工业生产线上进行产品的装配工作,如汽车的组装、电子产品的装配等。
2. 搬运机器人:这类机器人的主要用途是在仓库、工厂等场所进行物品的搬运和运输工作,如货物的搬运、原材料的运输等。
3. 焊接机器人:这类机器人的主要用途是在工业生产中进行焊接工作,如汽车的焊接、钢铁结构的焊接等。
4. 喷涂机器人:这类机器人的主要用途是在工业生产中进行喷涂工作,如汽车的喷涂、家用电器的喷涂等。
5. 装卸机器人:这类机器人的主要用途是在港口、车站等场所进行货物的装卸工作。
6. 探测机器人:这类机器人的主要用途是在危险或者艰苦的环境中进行探测工作,如矿井的探测、海底的探测等。
7. 医疗机器人:这类机器人的主要用途是在医疗领域进行各种操作,如手术机器人、康复机器人等。
8. 服务机器人:这类机器人的主要用途是在服务领域进行各种操作,如餐饮机器人、导游机器人等。
以上各类工业机器人在提高生产效率、降低生产成本、保障生产安全等方面都发挥着重要的作用。
自学工业机器人知识点总结一、应用领域1. 制造业:工业机器人在制造业中有着广泛的应用。
在汽车制造、电子产品制造、航空航天制造等行业中,工业机器人被用于各种装配、焊接、喷涂、搬运等工作。
2. 医疗行业:工业机器人还被用于医疗行业中,如手术机器人可以进行微创手术,精确操作。
3. 农业:在农业领域中,工业机器人可以应用于农田灌溉、播种、收割等作业。
4. 建筑业:工业机器人在建筑行业中也有应用,如大型机器人臂可以用于建筑物的施工。
5. 其他行业:此外,工业机器人还有应用于食品加工、包装行业等领域。
二、工业机器人的分类1. 按工作方式划分:- 固定式工业机器人- 移动式工业机器人- 可变式工业机器人2. 按结构划分:- 关节式工业机器人- 直线式工业机器人- 并联式工业机器人- 混合式工业机器人3. 按动力来源划分:- 电动工业机器人- 液压式工业机器人- 气动工业机器人4. 按使用环境划分:- 有害环境中使用的工业机器人- 超洁净环境中使用的工业机器人- 无人操作环境中使用的工业机器人三、工业机器人的主要构成部分1. 机械结构机械结构是工业机器人的主体部分,包括基座、关节、执行器、末端执行器等,用于支撑和实现机器人的运动。
2. 控制系统控制系统是工业机器人的大脑,包括控制器、传感器、编码器等,用于控制机器人的运动和动作。
3. 电气系统电气系统包括电动机、传动装置、电缆等,用于提供机器人的动力和能量。
4. 软件系统软件系统包括机器人的编程软件、仿真软件等,用于实现机器人的编程和仿真。
四、工业机器人的工作原理工业机器人的工作原理可以概括为接收控制指令、进行动作执行、实现精确位置控制和多轴协同运动,具体包括以下几个方面:1. 传感器采集环境信息工业机器人通过传感器采集环境信息,如视觉传感器、力传感器等,用于感知周围环境和工作对象的位置、形状、力度等信息。
2. 控制系统实现动作规划控制系统根据采集到的环境信息和控制指令,对机器人的动作进行规划,包括路径规划、速度控制、动作协调等。
机器人种类及介绍按照用途主要可以分为:工业机器人、农业机器人、家用机器人、医用机器人、服务型机器人、空间机器人、水下机器人、军用机器人、排险救灾机器人、教育教学机器人、娱乐机器人等按照功能可以分为:操作机器人,移动机器人,信息机器人,人机机器人按照装置可以分为:电力驱动机器人,液压机器人,气动机器人按照受控方式可以分为:点位控制型机器人,连续控制型机器人主要介绍以下五种机器人:1.工业机器人这里指的工业机器人,特指工业机械手臂,其他类型的工业机器人日后再讨论。
我国工业机器人这几年发展很快,随着人口红利的逐渐下降,企业用工成本不断上涨,工业机器人正逐步走进公众的视野。
将工业机械手臂安装在工厂生产线,可提高产品的质量与产量,而且对保障人身安全,改善劳动环境,减轻劳动强度,提高劳动生产率,节约原材料消耗以及降低生产成本,有着十分重要的意义。
随着近几年一直严峻的招工难问题,以及工厂老板一直头痛的劳资纠纷,安装工业机器人无疑是一个很好的解决方法。
目前,国内也有不少生产企业开始安装工业机器人来逐步代替人工操作,如富士康,美的集团等,在不久的将来,当我们进入工厂一线生产车间时,将会看到一排整齐的机械手臂在进行复杂的生产工作,生产车间只有少部分的工作人员在值班,一切的高强度工作都交给机器人!2.娱乐机器人故名思议,就是用机器人作为娱乐用途。
机器人的形态也多种多样,有人形机器人、仿生机器人(仿动物),还有各种各样可爱卡通造型的机器人。
让机器人达到娱乐效果,吸引观众眼球,外形设计是非常重要的,设计一款外形可爱/酷炫的机器人,能留住90%观众的眼球!当然,机器人的功能也必须足够满足观众的要求,从功能上来区分,娱乐机器人可以归类为:舞蹈机器人、迎宾机器人、运动机器人等。
让我们设想一下,在一个娱乐公园里,当我们走进大门,会有一个美女外形的机器人向你靠近,并为游客介绍公园的特色项目,机器人还能够与游客互动回答问题。
然后经过舞台,我们会看到机器人在舞台上跳舞,这是真真正正的机械舞!看完舞蹈表演,在公园里,我们还会看到各种各样的机器人互动区域,有机器恐龙、机器蛇、还有机器人与孩子们打球!游客们可以近距离接触高科技的机器人,并拍照留念。
机器人的种类和功能机器人的种类和功能随着科技飞速发展,机器人已经不再是科幻小说里的高科技,而成为了我们日常生活中越来越普遍的存在。
机器人的种类也越来越多样化,不同种类的机器人各具特色,发挥着不同的功能。
下面我们就来一一介绍。
一、工业机器人工业机器人是目前最常见的机器人类型之一。
它们主要被用于生产线上的工作,负责完成一些较为单一的重复性任务,例如焊接、涂装、装配和包装等。
与人工相比,工业机器人具有更高的效率和精度,而且能够在危险或高温的环境中工作,从而大大提高了生产效率。
二、服务机器人服务机器人主要被用于餐厅、酒店、医院、机场等场所,它们可以完成一些简单的服务工作,例如提供向导服务、接待客人、送餐等。
服务机器人使用语音、图像和传感器等技术与人进行交互,从而模拟出一种人际互动的感觉。
三、家庭机器人家庭机器人主要是针对生活中的家庭需求而设计的,它们可以帮助我们完成一些家务工作,例如打扫卫生、洗衣服、做饭等。
另外,家庭机器人也可以陪伴家庭成员进行交流,从而增加家庭成员的互动和娱乐。
四、教育机器人教育机器人主要是为教育领域而设计的,它们可以帮助学生更好地理解和掌握知识。
例如,一些机器人可以用类似于游戏的方式教授编程、数学和语言等知识,另外一些机器人可以协助老师进行教学管理和评估。
五、医疗机器人医疗机器人主要被用于医疗保健领域,可以协助医生完成一些医疗工作,例如手术、检查、治疗等。
而且,医疗机器人还可以监测病人的生命体征,从而提高医疗的准确度和效率。
六、军事机器人军事机器人主要被用于军事领域,可以在军事行动中发挥重要的作用,例如侦察、扫雷、炮兵支援等。
由于军事机器人可以快速反应和处理信息,因此在高危和非常规作战场合下具备极强的作战能力。
以上就是几种典型的机器人类型,它们各具特色,发挥着不同的功能。
而且,随着科技不断发展和进步,机器人的种类和功能还将不断增加和多样化,为人类的生产和生活带来更多的便利和效益。
工业机器人分类有哪些所谓,工业机器人是面向工业领域的多关节机械手或多自由度的机器装置,它能自动执行工作,是靠自身动力和控制能力来实现各种功能的一种机器。
它可以接受人类指挥,也可以按照预先编排的程序运行,现代的工业机器人还可以根据人工智能技术制定的原则纲领行动。
工业机器人由主体、驱动系统和控制系统三个基本部分组成。
主体即机座和执行机构,包括臂部、腕部和手部,有的机器人还有行走机构。
大多数工业机器人有3~6个运动自由度,其中腕部通常有1~3个运动自由度;驱动系统包括动力装置和传动机构,用以使执行机构产生相应的动作;控制系统是按照输入的程序对驱动系统和执行机构发出指令信号,并进行控制。
工业机器人按臂部的运动形式分为四种:1.直角坐标型的臂部可沿三个直角坐标移动;2.圆柱坐标型的臂部可作升降、回转和伸缩动作;3.球坐标型的臂部能回转、俯仰和伸缩;4.关节型的臂部有多个转动关节。
多轴机器人又称单轴机械手,工业机械臂,电缸等,是以XYZ直角坐标系统为基本数学模型,以伺服电机、步进电机为驱动的单轴机械臂为基本工作单元,以滚珠丝杆、同步皮带、齿轮齿条为常用的传动方式所架构起来的机器人系统,可以完成在XYZ三维坐标系中任意一点的到达和遵循可控的运动轨迹。
多轴机器人采用运动控制系统实现对其的驱动及编程控制,直线、曲线等运动轨迹的生成为多点插补方式,操作及编程方式为引导示教编程方式或坐标定位方式。
串联机器人其串联式结构是一个开放的运动链,其所有运动杆并没有形成一个封闭的结构链。
串联机器人的工作空间大,运动分析比较容易可以避免驱动轴之间的耦合效应。
但其机构各轴必须要独立控制,并且需要搭配编码器和传感器来提高机构运动时的精准度。
自由度并联机构种类较多,形式较复杂,一般有以下形式:1.平面3自由度并联机构,如3-RRR机构,它们具有2个移动和一个转动;2.球面3自由度并联机构,如3-UPS-1-S球面机构,该类机构的运动学正反解都很简单,是一种应用很广泛的3维移动空间机构;3.空间3自由度并联机构,如Delta并联机器人,这类机构属于欠秩机构,在工作空间内不同的点其运动形式不同是其最显著的特点。
1.1工业机器人的分类工业机器人对现在新兴产业的发展和传统产业的转型都起着至关重要的作用。
现在越来越广泛的应用于各行各业,随着工业机器人市场的火爆,其种类也是花样百岀。
关于工业机器人的分类,国际上并没有制左统一的标准,有的按负载重量分,有的按控制方式分,有的按结构分,有的按应用领域分,按机器人的发展等级可大致分为以下几种,见表1°1.1.1根据机械结构(坐标形式)分类工业机器人按其几何结构形式来分,可归为两大类:串联机器人与并联机器人。
串联机器人是开式运动链,它是由一系列连杆通过转动关节或移动关节串联而成。
关节由驱动器驱动,关节的相对运动导致连杆的运动,使手爪到达一定的位姿。
如图1・1所示。
图1・1 KUKA六轴关节机器人并联机器人可以沱义为动平台和立平台通过至少两个独立的运动链相连接,机构具有两个或两个以上自由度,且以并联方式驱动的一种闭环机器人,如图1・2所示。
图1・2 IRB 360 FlexPicker并联机器人1.1.1.1串联机器人串联机骼人的机构运动特征是用其坐标特性来描述的。
按基本动作机构,工业机器人通常可分为柱坐标机器人、球坐标机器人、笛卡尔坐标机器人和多关节型机器人。
1.柱坐标机器人当水平臂或杆架安装在一垂直柱上,而该柱又安装在一个旋转基座上,这种结构可称为柱坐标机器人,如图1・3所示。
柱坐标机器人具有一个回转和两个平移自由度,其动作空间呈圆柱体。
其运动特点如下:•手臂可伸缩(沿r方向)•滑动架(或托板)可沿柱上下移动(z轴方向)•水平臂和滑动架组合件可作为基座上的一个整体而旋转(绕z轴)一般旋转不允许超过360°,因为有液压、电气或气动联接机构或连线造成的这种约束。
根据机械上的要求,其手臂伸出长度有一最小值和最大值,所以机器人总的体积或其工作包络范围呈圆柱体。
2.球坐标机器人球坐标机器人的空间位這分别由旋转、摆动和平移3个自由度确定。
由于机械和驱动连线的限制,机器人的工作包络范围是球体的一部分,如图1斗所示。
工业机器人应用与维护技术工业机器人是现代工业生产中不可或缺的一种设备,它们能够完成一些重复性高的工作,如搬运,焊接,油漆等。
随着工业机器人技术的不断发展,如何保养和维护工业机器人成为了现代工业生产的重要课题。
一、工业机器人的种类工业机器人按照应用可以分为焊接,搬运,加工等几个类型。
按照结构可以分为SCARA机器人,平面机器人,轨迹机器人等几种类型。
SCARA机器人适合精度要求较高,工作范围相同的应用,拥有较好的精度和速度。
平面机器人适合工作范围相对较小的应用,拥有较高的载荷能力。
轨迹机器人适合工作范围较大的应用,拥有较大的载荷能力和较快的运行速度。
二、工业机器人的应用工业机器人在现代工业生产中的应用越来越广泛,可以应用于汽车制造,机械制造,电子制造等众多领域。
工业机器人的应用相较于传统制造方式可以降低人工成本,提高生产自动化程度,减少安全事故。
三、工业机器人的保养和维护保养和维护是保证工业机器人长期正常运转的重要手段。
工业机器人日常保养主要分为机器人本体保养和机械手保养两个环节。
1、机器人本体保养机器人本体保养主要包括电器元件保养,制动器检查,驱动装置保养等几个环节。
(1)电器元件保养电器元件保养包括电源,控制器,板卡等电器元件的检查及保养。
这些元件在长期工作过程中易受到环境温度,湿气,灰尘等因素的影响,需要保持干燥和清洁。
(2)制动器检查机器人安全性能中的制动器是保证机器人技术安全的关键点。
制动器应检查密封性能,刹车力度。
刹车力度不足可能会影响机器人运行的平稳性。
(3)驱动装置保养机器人驱动装置的保养主要是指电机,减速机等设备。
机器人在长期运行过程中可能会出现设备故障,需要进行日常检查和保养。
2、机械手保养机械手保养是机器人使用中的一个关键点,一些机械手的部件随着时间的积累会出现损坏,影响机器人的正常运行。
机械手保养主要包括以下几个方面。
(1)润滑机械手的各个关键部位需要润滑保护,可以使用润滑油进行润滑目的。
机器人的种类和功能
一、机器人的种类:
1、工业机器人:工业机器人是利用机器人技术完成指定任务的机械
装置,它可以完成旋转、位移、夹紧、搬运、切割等复杂的机械操作。
它
们在各种工业生产环境中大量使用,从而提高工作效率,降低成本,有效
地提高了工厂的生产能力。
2、多臂机器人:多臂机器人是一种可以在任务空间中完成复杂机械
任务的机器人,它可以同时控制多个机械臂,以完成搬运、夹紧、做线路、加工和焊接等庞杂的任务。
这种机器人可以在精确的时间和空间中完成任务,并且在有限的空间内比人类更加精确、可靠和稳定。
3、服务机器人:服务机器人是一种可以在人类活动环境中被指令进
行任务的机器人,它既可以做管理型任务,如客流管理、检查和质量控制,也可以做生产型任务,如搬运物品、分拣和包装,还可以做支持型任务,
如快速、查找和运输。
4、家用机器人:家用机器人是一种可以在家庭环境中提供援助和服
务的机器人,它可以用于清理家居、搅拌食物、与家庭成员交谈等家务活动,从而极大地简化了家庭管理的日常工作。
二、机器人的功能:
1、安防:机器人可以检测任何可能对人类或环境造成危害的物质,
并予以防护。
机器人的种类和功能现代科技的高速发展,给人类带来了一种独特而神奇的存在:机器人。
机器人不仅在工业生产中发挥着重要的作用,而且在日常生活中也扮演着越来越重要的角色。
本文将探讨机器人的种类和功能,并介绍它们对人类社会的影响。
一、工业机器人工业机器人是应用广泛且效率高的机器人类型之一。
它们通常用于生产线上的自动化工作,帮助人们完成重复性、繁琐的任务。
工业机器人减少了人工操作和劳动力成本,提高了生产效率。
它们能够精确地操作和加工材料,如焊接、装配、喷涂和包装等。
此外,工业机器人还能在危险环境中代替人类执行任务,提高工作的安全性。
二、服务机器人服务机器人是为人类生活提供各种服务的智能机器人。
它们的功能范围广泛,包括清洁打扫、家居助理、病人护理、导览、娱乐等等。
服务机器人可以通过语音识别、视觉感知和人机交互等技术,与人类进行有效的沟通和互动。
例如,一些清洁机器人可以自动清洁地板和地毯,减轻人们的家务负担;智能导览机器人可以为游客提供准确的导航和信息,改善旅行体验。
三、医疗机器人医疗机器人是在医疗领域中使用的机器人。
它们能够进行手术、诊断、康复和辅助治疗等任务。
比如,手术机器人可以通过精确的操作和显微镜视觉系统,帮助医生进行手术,减少手术中的风险和创伤。
此外,某些机器人还配备了心率监测和药物分发等功能,可以为病人提供更好的护理。
医疗机器人的出现不仅提高了手术精度,还缩短了康复时间,为病人的健康带来了福音。
四、教育机器人教育机器人是一个新兴的领域,它们被设计出来帮助教育过程更加有趣和有效。
教育机器人可以与学生互动和交流,提供个性化的学习体验。
它们可以教授各种学科的知识,包括数学、语言、科学等等。
通过与机器人的互动,学生们可以通过实践和反馈获得更好的学习效果。
此外,教育机器人还可以帮助特殊需求的学生,如自闭症患者或言语障碍者,提供个性化的支持和辅助。
五、军事机器人军事机器人是在军事领域中应用的机器人。
它们具有许多重要的功能,如侦查、反恐、运输、拆除炸弹等。
工业机器人种类介绍
关键词:机器人,种类介绍移动机器人
(AGV)
移动机器人(AGV)是工业机器人的一种类型,它由计算机控制,具有移动、自动导航、多传感器控制、网络交互等功能,它可广泛应用于机械、电子、纺织、卷烟、医疗、食品、造纸等行业的柔性搬运、传输等功能,也用于自动化立体仓库、柔性加工系统、柔性装配系统(以AGV作为活动装配平台);同时可在车站、机场、邮局的物品分捡中作为运输工具。
国际物流技术发展的新趋势之一,而移动机器人是其中的核心技术和设备,是用现代物流技术配合、支撑、改造、提升传统生产线,实现点对点自动存取的高架箱储、作业和搬运相结合,实现精细化、柔性化、信息化,缩短物流流程,降低物料损耗,减少占地面积,降低建设投资等的高新技术和装备。
点焊机器人
焊接机器人具有性能稳定、工作空间大、运动速度快和负荷能力强等
焊接机器人
特点,焊接质量明显优于人工焊接,大大提高了点焊作业的生产率。
点焊机器人主要用于汽车整车的焊接工作,生产过程由各大汽车主机厂负责完成。
国际工业机器人企业凭借与各大汽车企业的长期合作关系,向各大型汽车生产企业提供各类点焊机器人单元产品并以焊接机器人与整车生产线配套形式进入中国,在该领域占据市场主导地位。
随着汽车工业的发展,焊接生产线要求焊钳一体化,重量越来越大,165公斤点焊机器人是当前汽车焊接中最常用的一种机器人。
2008年9月,机器人研究所研制完成国内首台165公斤级点焊机器人,并成功应用于奇瑞汽车焊接车间。
2009年9月,经过优化和性能提升的第二台机器人完成并顺利通过验收,该机器人整体技术指标已经达到国外同类机器人水平。
弧焊机器人
弧焊机器人主要应用于各类汽车零部件的焊接生产。
在该领域,国际大
弧焊机器人
型工业机器人生产企业主要以向成套装备供应商提供单元产品为主。
关键技术包括:
(1)弧焊机器人系统优化集成技术:弧焊机器人采用交流伺服驱动技术以及高精度、高刚性的RV减速机和谐波减速器,具有良好的低速稳定性和高速动态响应,并可实现免维护功能。
(2)协调控制技术:控制多机器人及变位机协调运动,既能保持焊枪和工件的相对姿态以满足焊接工艺的要求,又能避免焊枪和工件的碰撞。
(3)精确焊缝轨迹跟踪技术:结合激光传感器和视觉传感器离线工作方式的优点,采用激光传感器实现焊接过程中的焊缝跟踪,提升焊接机器人对复杂工件进行焊接的柔性和适应性,结合视觉传感器离线观察获得焊缝跟踪的残余偏差,基于偏差统计获得补偿数据并进行机器人运动轨迹的修正,在各种工况下都能获得最佳的焊接质量。
激光加工机器人
激光加工机器人是将机器人技术应用于激光加工中,通过高精度工业机器人实现更
激光加工机器人
加柔性的激光加工作业。
本系统通过示教盒进行在线操作,也可通过离线方式进行编程。
该系统通过对加工工件的自动检测,产生加工件的模型,继而生成加工曲线,也可以利用CAD数据直接加工。
可用于工件的激光表面处理、打孔、焊接和模具修复等。
关键技术包括:
(1)激光加工机器人结构优化设计技术:采用大范围框架式本体结构,在增大作业范围的同时,保证机器人精度;
(2)机器人系统的误差补偿技术:针对一体化加工机器人工作空间大,精度高等要求,并结合其结构特点,采取非模型方法与基于模型方法相结合的混合机器人补偿方法,完成了几何参数误差和非几何参数误差的补偿。
(3)高精度机器人检测技术:将三坐标测量技术和机器人技术相结合,实现了机器人高精度在线测量。
(4)激光加工机器人专用语言实现技术:根据激光加工及机器人作业特点,完成激光加工机器人专用语言。
(5)网络通讯和离线编程技术:具有串口、CAN等网络通讯功能,实现对机器人生产线的监控和管理;并实现上位机对机器人的离线编程控制。
真空机器人
真空机器人是一种在真空环境下工作的机器人,主要应用于半导体工业中,实现晶圆真空机器人
在真空腔室内的传输。
真空机械手难进口、受限制、用量大、通用性强,其成为制约了半导体装备整机的研发进度和整机产品竞争力的关键部件。
而且国外对中国买家严加审查,归属于禁运产品目录,真空机械手已成为严重制约我国半导体设备整机装备制造的“卡脖子”问题。
直驱型真空机器人技术属于原始创新技术。
关键技术包括:
(1)真空机器人新构型设计技术:通过结构分析和优化设计,避开国际专利,设计新构型满足真空机器人对刚度和伸缩比的要求;
(2)大间隙真空直驱电机技术:涉及大间隙真空直接驱动电机和高洁净直驱电机开展电机理论分析、结构设计、制作工艺、电机材料表面处理、低速大转矩控制、小型多轴驱动器等方面。
(3)真空环境下的多轴精密轴系的设计。
采用轴在轴中的设计方法,减小轴之间的不同心以及惯量不对称的问题。
(4)动态轨迹修正技术:通过传感器信息和机器人运动信息的融合,检测出晶圆与手指之间基准位置之间的偏移,通过动态修正运动轨迹,保证机器人准确地将晶圆从真空腔室中的一个工位传送到另一个工位。
(5)符合SEMI标准的真空机器人语言:根据真空机器人搬运要求、机器人作业特点及SEMI标准,完成真空机器人专用语言。
(6)可靠性系统工程技术:在IC制造中,设备故障会带来巨大的损失。
根据半导体设备对MCBF的高要求,对各个部件的可靠性进行测试、评价和控制,提高机械手各个部件的可靠性,从而保证机械手满足IC制造的高要求。
洁净机器人
洁净机器人是一种在洁净环境中使用的工业机器人。
随着生产技术水平
洁净机器人
不断提高,其对生产环境的要求也日益苛刻,很多现代工业产品生产都要求在洁净环境进行,洁净机器人是洁净环境下生产需要的关键设备。
关键技术包括:
(1)洁净润滑技术:通过采用负压抑尘结构和非挥发性润滑脂,实现对环境无颗粒污染,满足洁净要求。
(2)高速平稳控制技术:通过轨迹优化和提高关节伺服性能,实现洁净搬运的平稳性。
(3)控制器的小型化技术:根据洁净室建造和运营成本高,通过控制器小型化技术减小洁净机器人的占用空间。
(4)晶圆检测技术:通过光学传感器,能够通过机器人的扫描,获得卡匣中晶圆有无缺片、倾斜等信息。