激光衍射法细圆柱体直径测量系统
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应用激光衍射法测量纺织品细丝直径1. 引言1.1 激光衍射法的基本原理激光衍射法是一种利用激光光束经过细丝时发生衍射现象来测量细丝直径的方法。
其基本原理是将激光光束照射到纺织品细丝上,细丝会散射出具有特定频率和方向的光线。
这些衍射光线经过适当的光学系统,形成明暗交替的衍射斑图。
通过测量这些衍射斑的特性,如斑点之间的距离和角度,可以计算出细丝的直径。
激光衍射法利用了激光光束的高强度和单色性,使其在经过细丝后产生清晰的衍射斑图,从而能够准确测量细丝直径。
与传统的光学显微镜方法相比,激光衍射法具有更高的测量精度和测量范围,能够适用于不同类型和直径范围的纺织品细丝。
激光衍射法通过利用激光的特性和衍射现象,实现了对纺织品细丝直径的精确测量,为纺织品生产和质量控制提供了重要的技术支持。
1.2 纺织品细丝直径的重要性纺织品细丝直径是纺织品品质的重要指标之一。
纺织品细丝直径的大小直接影响着纺织品的质地、手感、透气性和耐磨性等性能。
纺织品细丝直径的精确测量对于调整纺纱工艺、改进纺织品产品质量具有重要意义。
纺织品细丝直径决定了纺织品的织物密度及表面光泽度。
纤维直径较细的纺织品更加柔软细腻,而直径较粗的纺织品则具有较强的耐磨性和结实度。
通过准确测量纤维直径,可以有针对性地调整纺纱工艺参数,生产出更符合市场需求的纺织品产品。
纺织品细丝直径对纺织品的透气性和吸湿性也有影响。
细丝直径较细的纺织品透气性好,吸湿快,适合夏季穿着;而较粗的纺织品则保暖效果更好,适合冬季穿着。
通过准确测量纤维直径,可以根据不同季节和用途要求生产出功能性更强的纺织品产品。
纺织品细丝直径的重要性不言而喻。
精确测量纤维直径将有助于提高纺织品的品质,满足消费者多样化的需求,推动纺织品行业的发展。
研究和应用激光衍射法测量纺织品细丝直径具有重要意义,值得进一步探索和推广。
2. 正文2.1 激光衍射法在纺织品细丝直径测量中的应用激光衍射法在纺织品细丝直径测量中的应用是一种非常有效的技术方法。
应用激光衍射法测量纺织品细丝直径激光衍射法是一种常用的测量纺织品细丝直径的方法。
它通过激光光束照射纺织品细丝表面,并测量衍射图案来获取细丝直径信息。
激光衍射法具有测量精度高、操作简便等优点,在纺织品生产和质量控制中得到广泛应用。
激光衍射法测量纺织品细丝直径的原理如下:当激光光束照射到细丝表面时,光线会受到细丝表面的边缘散射和衍射影响,形成衍射图案。
这个衍射图案可以通过相机或其他光学设备进行观测和记录。
根据衍射图案的特点,可以通过计算和分析来确定细丝的直径。
一般来说,细丝直径与衍射图案中的主分布峰位置有关。
如果细丝直径变大,峰位置会向外移动;如果细丝直径变小,峰位置会向内移动。
通过测量这个移动量,就可以求得细丝的直径。
1. 准备工作:首先需要准备一个激光器和一台相机(或其他光学设备)。
激光器用于产生激光光束,相机用于观测和记录衍射图案。
2. 设置测量装置:将激光器和相机固定在一个支架上,并调整好它们之间的位置和角度。
确保激光光束正常照射到细丝表面,并且相机可以清晰地观察到衍射图案。
3. 进行测量:将要测量的纺织品细丝放置在测量装置下方,确保细丝的表面平整、光滑。
打开激光器,使激光光束照射到细丝表面。
使用相机观测和记录衍射图案。
可以根据需要多次测量,以提高测量精度和可靠性。
4. 数据处理:将记录下来的衍射图案导入计算机软件进行分析。
根据主分布峰的位置,计算出细丝的直径。
一般来说,需要建立一个细丝直径和峰位置之间的关系模型,以便进行准确的计算。
可以使用线性回归或其他数学方法来建立这个模型。
5. 结果展示和分析:将计算得到的细丝直径结果进行展示和分析。
可以将结果以数值或图表的形式呈现,以便进一步的研究和讨论。
应用激光衍射法测量纺织品细丝直径
激光衍射方法是一种常用的非接触式测量纺织品细丝直径的方法。
相比传统的直径测
量方法,如显微镜测定法和拉力测定法,激光衍射法具有高精度、快速、不会对纤维产生
伤害等优点。
激光衍射法的基本原理是利用激光束的衍射现象,通过对衍射光的干涉图案进行分析,可以计算出纺织物细丝的直径大小。
在测量过程中,将纺织品细丝放置在激光束中心,激
光束通过光阑限制其大小,使其成为一个圆形的光斑,然后让激光束通过纺织品细丝,当
激光束与纺织品细丝相遇时,会产生衍射现象,衍射光会在示波器上形成一幅干涉图案。
根据衍射光干涉图案的形状和大小,可以计算出纺织品细丝的直径大小。
激光衍射法的优点是测量过程中不会对纤维产生损伤,能够测量微小的纤细丝,精度高,速度快。
对于纤细丝直径的测量在纺织品生产的各个环节中都具有重要的应用价值。
例如,在精纺过程中需要控制纤维的直径大小,以保证纱线的强度和质量;在纺织面料制
造过程中,需要测量细丝的直径大小,以便控制面料的质量;在纤维科学研究中,需要对
纤维的直径大小进行分析和比较,以探究纤维的物理化学性质。
因此,激光衍射法是一种非常重要的测量手段。
随着激光技术的不断发展,激光衍射
法将会越来越被广泛应用在纺织、化学等领域。
激光测径仪两种测量原理介绍你是不是已经被市场上琳琅满目的测量设备弄晕了?选择越多,反而不知道应该如何选择。
现在市场上所有的测量设备都是由两种测量原理衍生出来的。
了解清楚这两种测量原理,选择合适的测量原理,结合测量参数,我们就能选择到适合自己的产品。
一种是“激光扫描直径测量系统”,一种是“基于衍射分析原理的测量系统”。
- 01 -激光扫描直径测量系统它的基本原理是:激光束投射到旋转的八面镜上,再经f(θ)镜头后成为线性扫描光束。
在光束后端放置了一个光电探测器(接收光原件),当激光束扫描被测物时,接收光原件会输出一个与工件直径相对应的光电信号,经系统处理信号可获得被测物直径。
用激光束穿过整个测量区域的时间计算产品直径,测量速率取决于扫描转镜的旋转速度。
- 02 -基于衍射分析原理的测量方法她通过非接触的测量方式对电缆进行两轴或三轴方向上的脉冲激光照射(仪器内没有光学透镜等部件),在0.2微秒的时间内图像传感器上即可得到电缆的影像。
由于电缆可视为光线通道上的一个障碍物,因此,在其边缘会产生衍射效应。
在测量头内部配备了功能强大的信号处理器,通过衍射波纹的信息精确计算出被测物直径。
- 03 -这两种方法有什么主要区别?激光扫描法内部含机械部件此原理器件内部含有机械部件,要得到高精度和速度,内部电机需长时间高速运转。
此外,要保证测量的高精度以及可靠性,激光扫描法必须满足以下三点基本要求:(1)激光束应垂直照射被测物体表面(2)光束必须对物体表面做匀速直线扫描运动(3)扫描时间必须测的很准确近些年,随着此技术的不断成熟,此测量原理的精度和稳定性亦在不断提升当中。
激光衍射法内部无任何机械部件基于衍射原理的方法是完全数字化的,不需要移动部件也不需要透镜。
因此,衍射分析技术的采用,以及在测量头内取消了光学透镜及旋转部件的设计,确保了电缆在所有的生产线速度下能够具有高度精确的单一测量值。
即使电缆在剧烈抖动的情况下,也能够精确测量其外径值。
应用激光衍射法测量纺织品细丝直径近年来,随着纺织品行业的快速发展,对纺织品细丝直径的要求也越来越高。
传统的测量方法存在着测量精度低、工作效率低等问题,而激光衍射法则成为了一种新的测量手段。
激光衍射法通过测量纺织品细丝直径,可以达到高精度、高效率的测试效果,因此受到了广泛的关注和应用。
我们来了解一下激光衍射法是什么?激光衍射法是一种利用激光的衍射现象来测量物体尺寸的方法。
通过控制激光照射到被测物体上,当激光穿过不同直径的细丝时,会产生一定的衍射现象。
通过测量这种衍射现象的参数,可以得到被测物体的直径尺寸。
在纺织品行业中,细丝的直径是一个十分重要的参数,直接关系到纺织品的质量与性能。
而传统的测量方法比如显微镜观测法、卡尺测量法存在着不够精确、测量速度慢等问题,无法满足现代纺织品行业对细丝直径测量的需求。
而激光衍射法则可以有效地解决这些问题,具有高精度、高效率、非接触测量等优势,被广泛应用于纺织品细丝直径的测量中。
那么,激光衍射法是如何在纺织品细丝直径测量中应用的呢?激光衍射法需要一套完整的测量系统,主要包括激光发射器、衍射元件、光电检测器等组成。
在测量时,激光发射器将激光照射到被测物体上,被测物体会产生一定的衍射现象。
衍射元件将这种衍射现象转化成光强信号,光电检测器将光强信号转化成电信号,并传输给数据采集系统进行处理。
经过处理后,我们就可以得到被测物体的直径尺寸。
在实际的纺织品细丝直径测量中,激光衍射法具有以下优势。
高精度。
激光衍射法可以实现微米级别的测量精度,远高于传统的测量方法。
高效率。
激光衍射法无需人工接触被测物体,可以实现自动化测量,提高了测量效率。
非接触测量。
激光衍射法不需要与被测物体直接接触,减少了对被测物体的影响,保证了测量结果的准确性。
除了上述优势外,激光衍射法还可以实现对多个细丝直径的同时测量,大大提高了工作效率。
激光衍射法还可以实现对不同形状的细丝直径进行测量,具有一定的通用性。
应用激光衍射法测量纺织品细丝直径
激光衍射法是一种常用于测量纺织品细丝直径的非接触式测量方法。
它利用激光光束通过纺织品细丝产生的衍射现象,结合适当的数学模型,可以准确地计算出细丝的直径。
在激光衍射法测量纺织品细丝直径时,首先需要准备一台激光仪器。
这台仪器通常由激光光源、光电探测器、计算机等组成。
激光光源会发出一束单色激光光束,经过透镜后形成平行光束照射到样品上。
当激光光束通过纺织品细丝时,会产生衍射现象,衍射光会被光电探测器接收到。
通过测量衍射光的强度分布,就可以计算出细丝的直径。
具体测量时,可以选择两种方式进行激光衍射法测量纺织品细丝直径,分别是垂直衍射法和平行衍射法。
垂直衍射法是将激光光源正对纺织品细丝,由光电探测器接收衍射光。
这时,细丝直径与衍射光的分布图案有直接的关系。
通过分析衍射光的强度分布,可以计算出纺织品细丝的直径。
由于纺织品细丝与光轴垂直,所以在计算时需要考虑细丝的俯视角等因素,以减小误差。
无论是垂直衍射法还是平行衍射法,都需要进行一定的数据处理和计算才能得到准确的纺织品细丝直径。
常用的处理方法包括傅里叶变换、图像处理等。
在实际测量中还需要考虑一些影响因素,如光源的波长、细丝的折射率等。
应用激光衍射法测量纺织品细丝直径激光衍射法是一种应用广泛的快速、精准的测量方法,它利用激光光源对待测物体进行照射,通过测量衍射光的形态和位置来推断待测物体的性质。
在纺织品工业中,细丝的直径是一个十分重要的参数,它直接影响织物的质量和性能。
利用激光衍射法测量纺织品细丝直径已成为一个热门的研究领域。
本文将介绍激光衍射法在测量纺织品细丝直径方面的应用,并探讨其优势和局限性。
激光衍射法利用激光光源对待测物体进行照射,使得物体表面产生衍射现象。
当激光光源照射到细丝表面时,会产生衍射光,衍射光的形态和位置与细丝直径密切相关。
通过测量衍射光的形态和位置,可以推断出细丝的直径大小。
激光衍射法测量细丝直径的原理比较简单,但需要精密的光学仪器和数据处理系统来实现精准的测量。
1. 非接触性测量:激光衍射法测量细丝直径是一种非接触性测量方法,不会对待测物体造成损伤,适用于对纺织品细丝进行精密测量。
2. 高精度:激光衍射法测量细丝直径具有高精度和高分辨率,可以实现对细丝直径的精确测量,适用于对纺织品细丝直径进行精密控制和质量检测。
3. 快速性:激光衍射法测量细丝直径的测量速度快,可以实现对大量细丝的快速测量和数据处理。
5. 适用性广泛:激光衍射法测量细丝直径适用于不同材质和直径范围的纺织品细丝,具有较强的通用性和适用性。
1. 环境要求高:激光衍射法测量细丝直径对测量环境要求较高,需要在相对稳定的环境条件下进行测量,避免外界光源和震动对测量结果的影响。
2. 光学系统复杂:激光衍射法测量细丝直径需要精密的光学系统和精密的数据处理系统,设备和技术要求较高。
激光衍射法是一种快速、精准、非接触性的测量方法,适用于纺织品细丝直径的测量。
它具有高精度、快速性、自动化和适用性广泛的优势,但对测量环境和设备要求较高,测量精度要求高。
在今后的纺织品工业中,激光衍射法将会得到更广泛的应用,为纺织品细丝直径的精密测量提供更多选择和可能。
衍射法测量细丝直径实验报告
实验目的:学习使用衍射法测量细丝直径。
实验器材:激光、透镜、细丝、刻度尺、旋转台、屏幕,直尺。
实验过程:
1.将激光束垂直入射到透镜上,利用透镜成像原理,可以在屏幕上得到明亮而清晰的光斑。
2.将细丝放置于激光束与透镜之间,并将细丝与激光束垂直,调整细丝的位置,使其在光斑中心。
3.旋转台旋转细丝,使光斑在屏幕上呈现出一系列明暗环形,称为菲涅尔衍射图案。
4.用直尺测量屏幕上菲涅尔衍射图案中一组明暗环的直径d。
5.根据直径d和激光波长λ之间的关系,求得细丝直径。
实验结果:利用衍射法测量,可得细丝直径d=0.05mm。
实验结论:衍射法能够较为准确地测量细丝的直径,并且该方法便于使用,实验过程简单。
基于CCD衍射法测量细丝直径作者:王皓樊明贞来源:《科学导报·学术》2019年第32期摘要:激光干涉计量技术可以直接测量细丝直径,方便快捷,而且相当精准,在工业生产领域应用非常广泛。
本系统使用He-Ne激光器产生的激光束,垂直照射待测细丝,发生衍射现象,进而发生衍射条纹。
然后使用线阵CCD将衍射条纹转换成电信号,经A/D转换将数据送入计算机将衍射条纹的光强分布进一步进行了分析,最终达到实验目的,再根据有关衍射公式算出细丝直径。
本文主要介绍光路设计、信号处理及软件设计。
关键词:线阵CCD直径测量;衍射法;细丝直径1.前言在工业生产和科学实验中,经常碰到尺寸较小的细丝直径的测量问题。
细丝直径测量的方法有许多,传统测量方法通常有两种:一种是细丝称重法,即称出一定长度的细丝的重量后,把细丝看成为均匀细长的圆柱体,然后根据材料的密度计算出细丝的直径;另一种方法是用游标卡尺或螺旋测微器手工测量。
以上两种方法浪费较多的人力物力,而且测量的不一定准确,更无法满足现代工业制造技术对零部件的高精度,准确性的要求。
近年来,伴随着光学技术的进步与电子技术的迅速发展,在生产生活等领域中广泛使用着大量光电器件。
其中,CCD由于具有光电转换的能力,并且使用方便快捷,而且相当精准等优点,被较多的使用在非接触式直径测量领域。
相比接触式的直径测量方式,非接触直径测量具有测试速度快,精度高,对环境要求低等特点,因此在生产生活中被广泛使用。
通过对线阵CCD特性及工作原理的分析,本文对基于线阵CCD的非接触直径测量系统进行了研究,并结合本课题的特点(测量细丝直径),设计了一种基于线阵CCD非接触直径测量系统。
D衍射法测量原理与装置2.1 测量原理2.2 测量装置在以上测量原理的基础上,依照测量原理设计测量装置,进而实验测算。
本设计使用Arduino为控制中心元件,传感器为线性CCD-TSL1401CL模块,线性CCD-TSL1401CL会根据接收屏上得到同样的明暗相间的条纹而输出不同频率的方波;进而将此方波输入至Arduino,通过方波数据即可得出暗纹间距S,然后根据其他几个必要的参数根据测量原理公式,最终得到直径d。
第37卷,增刊红外与激光工程2008年4月V ol.37SupplementInfrared and Laser EngineeringApr.2008收稿日期:2008-04-23作者简介:崔建文(6),男,河南潢川人,博士,主要从事光电测量技术研究。
j @激光衍射法细圆柱体直径测量系统崔建文1,高振国1,张晗2(1.哈尔滨工程大学自动化学院,黑龙江哈尔滨150001;2.哈尔滨医科大学口腔医学院,黑龙江哈尔滨150001)摘要:为了提高激光衍射法细圆柱体直径测量精度,根据光波的矢量特性建立了矢量测量模型,提出了一种衍射花样处理方法,并研制了相应的测量系统。
采用面阵CCD 接收衍射花样,并使用二维零相位滤波器、最小二乘法等方法对其进行处理。
运用该装置测量细圆柱体直径时,克服了传统方法测量细圆柱体直径时的原理误差,提高了测量精度。
细圆柱体直径测量实验结果表明,基于改进模型的光学衍射法的相对测量误差在0.5%以下,优于目前1%的水平。
关键词:激光衍射;细圆柱体直径;矢量模型;测量系统中图分类号:O436.1文献标识码:A文章编号:1007-2276(2008)增(几何量)-0063-04System of thin cylinder diameter measur ment by laser diffractionCUI Jian-wen 1,Gao Zhen-guo 1,Zhang Han 2(1.Col lege ofAutomation,Harbin Engi neeingr Uni versicy,Harbin 150001,China;2.Col lege of Stomat ology,Harbin Medical Universicy,Harbin 150001,China)Abstr act:To im prove measurement accuracy of thin cylinder ′s diameter by laser diffraction,an vector model was established,a novel processing metod of diffraction pattern was presented and the measurement system was designed at the same time.Theoretical error of customary measurement is eliminated so that the measurement accuracy is improved when the diameter is measured with this measurement system.Experimental results show that the relative measurement error is less than 0.5%,which is better than the present level of 1%.Key wor ds:Laser diffraction;Diameter of thin cylinder;V ector model;Measurem ent system0引言圆柱体直径检测是长度测量中的一个重要研究方向,在测量技术中占有极其重要的地位,且已达到了较高的测量精度。
但对于微小直径的圆柱体,在测量中尚存在以下两个问题:(1)高精度的测量方法要求的工作条件苛刻,测量效率低,测量成本高,只适合实验室中标定使用,不能广泛应用;(2)工业生产中应用传统的接触测量,由于接触力的作用,测量精度较低,而其无法实现动态测量,测量效率低;应用普通的光学测量,测量时间长,而且无法实现在线测量,越来越难满足使用要求。
而微小直径的圆柱体在航空、航天及民用领域却又必不可少,因此对细圆柱体直径高效而精密的测量有重要的理论意义和应用价值[1-6]。
1激光衍射测量原理及矢量测量模型激光衍射测量是建立在夫琅和费衍射效应上的一种检测方法。
细圆柱体直径测量装置示意图如图1197-Email:c wben 64红外与激光工程:高精度几何量光电测量与校准技术第37卷所示,f是物镜焦距。
半导体激光器的出射光束经过图1细圆柱体直径测量原理Fig.1Setup for thin cylinder measurement空间滤波器,准直透镜(Lens1)和偏振片后垂直照射到x oy 面上的待测细圆柱体,衍射光场由位于物镜(Lens2)焦平面上的面阵CCD 接收,CCD 接收的衍射信号送入计算机处理。
激光束通过空间滤波器和准直透镜变为单色平面波,经细圆柱体衍射后,接收屏上的光强分布为:2P O (sin /)I I B B =(1)式中:B=(πDsin θ)/λ,D 是圆柱体直径,θ是衍射角,λ是LD 的出射波长。
这是一组明暗相间的条纹场,当B=n π时,得到暗条纹分布。
根据暗纹分布即可得到细圆柱体直径测量的传统模型sin D n θλ=(2)式中:n 是暗条纹的级次。
公式(2)所示的传统的衍射模型充分考虑了光源的波动特性,但是由于它是在夫琅和费近似条件下,根据标量场单缝衍射推导的近似公式,忽略电磁波的矢量性,它无法区分电场和磁场矢量,也无法考虑二者的方向因此用于测量时,测量值总是与真值有较大出入。
实测结果表明,使用传统衍射模型测量细圆柱体直径时测量值总是大于真值,且随衍射角的增加测量误差增大[7-9]。
如图2所示。
图2模型原理误差Fig.2Theoretical error of model以半无限大金属屏的矢量衍射场和基于电磁场的巴俾涅原理为理论基础,充分考虑入射光束的偏振特性情况下建立的细圆柱体直径矢量测量模型[10],包括E 偏振下的衍射模型公式(3)和H 偏振下的衍射模型公式(4):e tan 1,2,3,d n n θλ==±±±"(3)htan 1,2,3,πd n n λθλ==±±±"(4)根据激衍射原理及细圆柱体直径测量的实际需要研制了相应的测量系统,如图3所示(该系统兼具测量狭峰宽度和微球直径的功能)。
图3细圆柱体直径测量系统Fig.3Systerm of thin cylinder diameter measurement2衍射花样的处理图4是应用图3所示的测量系统获取的细圆柱体实测衍射花样。
为了克服附加相位和细圆柱体位置倾斜对衍射花样造成的影响,需要对获取的衍射花样进行处理。
图4细圆柱体衍射花样Fig.4Diffraction pattern of thin cylinder零相位滤波是解决附加相位的一种有效方法,根据衍射花样的特殊性,选取二维高斯滤波器对其进行滤波处理:222()221(,)2πx y g x y eσσ+=(5)是其傅里叶变换式:增刊崔建文等:激光衍射法细圆柱体直径测量系统65()()()2222(,),exp i2πd d exp[2π]G u v g x y ux v y x y u v σ=+=+∫∫(6)由于公式(1)的傅里叶变换函数依然是高斯函数,公式(2)高斯函数是偶函数,公式(3)高斯函数是实数。
则其傅里叶变换函数的虚部是零,因此高斯滤波器在其原理上就是零相位滤波器。
对滤波后的衍射花样,提取有效衍射信息,然后使用最小二乘法拟合,对拟合后的曲线判断衍射光强的极小值点。
拟合算法如公式(7)所示,求解式(7)得到lR ∈K X min =KA X b (7)式中:k lR ×∈A ,k R ∈b 。
由于k >l ,因此方程组有唯一解:()=1T T GX A A A b(8)实测的衍射光强分布如图5所示,图中虚线是由图4提取的有效衍射信息,实线是经过滤波和拟合后的光强分布曲线,“+”是检测到的光强极小值分布点。
图5细圆柱体衍射光强分布Fig.5Light distribution of diffraction根据检测的光强极小值分布点位置,即可计算得到细圆柱体衍射信息的特征值,将衍射信息的特征值带入前面的测量模型及可求出被测细圆柱体直径。
3细圆柱体直径测量实验运用图3所示的测量系统测量3种不同直径的细圆柱体,每个直径的细圆柱体测15次,3个细圆柱体是SZ115、SZ248和YP295,标定值分别为115.2、248.5和295.7m 。
当光源是E 偏振时使用E偏振模型进行计算,当光源是H 偏振方向时使用H偏振模型计算,实验结果如表1所示。
从表1中可以看出:(1)衍射法的测量值总是大于细圆柱直径的标称值;(2)使用矢量测量模型的相对测量误差小于0.5%。
表1使用矢量模型的细圆柱体直径测量结果Tab.1Mea sur ement r esults of thin cylinderdiameter with vector model (m)SZ115SZ248YP295Epolarized Hpolarized E polarized Hpolarized E polarized Hpolarized 1115.5115.6248.5248.7295.8296.32115.4115.5248.8248.9295.9296.33115.3115.4248.5248.7296.0296.44115.3115.5248.6248.7295.9296.25115.4115.6249.0249.0296.0296.46115.3115.4249.0249.1295.8296.27115.4115.5248.8248.9295.9296.38115.3115.4249.0249.1295.9296.39115.5115.7248.7248.9296.2296.510115.4115.6248.8248.9296.0296.411115.5115.6248.6248.8295.9296.312115.4115.5249.3249.2296.0296.413115.4115.6249.1249.1296.2296.614115.5115.7248.6248.8295.8296.215115.5115.7248.7248.9296.2296.5Mean value 115.41115.55248.80248.91295.97296.35Relati veerror0.18%0.30%0.12%0.16%0.09%0.22%理论上,根据光学衍射的特点测量直径越小的工件,其衍射特征尺寸越大,测量结果的精度越高,但是工件越小,衍射条纹越宽,能量越分散,导致在后续衍射花样处理,衍射特征尺寸获取上有较大误差,测量结果的相对误差并不是越小。