C(x, t) C 0erfc(
X 2 Dt
)
在实际应用中常将上式简化:
C(x, t)/C0 erfc(
1
X 2 Dt
)
C1( x , t ) X erfc [ ] Dt K Dt C0
Xt
1
2
就是说,当扩散物质的浓度一定时,扩散深度与扩散时 间的平方根成正比。 例题 1 :把硼添加到硅片中的方法是:在 1100 0 C 下当 B2O3 分压达到某一定值后,其在硅片表面的溶解度达到饱和状态, 相应浓度为 CS=3×1026 原子 / 厘米 3 。保持 B2O3 分压恒定,就 能保持CS恒定,则B2O3向硅一个方向扩散,从而把硼添加到 硅片中。若已知在11000C时硼的扩散系数D=4×10-17m2/s,扩 散时间是6min。求硼浓度随距离的变化曲线。
AJX AJX dX c ( A dX ) t c A(J X JX dX) ( A dX ) t
c JX dX JX dX t
JX c ( JX dX ) JX dX X t
JX c X t
将JX=﹣Ddc/dx代入, 得:
dc 0 dx
dc 0 dt
Fick第一定律的推导: 假设扩散物质 M 在Ⅰ区的浓度为 C1, 在Ⅱ区的浓度为C0,且C1>C0,则在浓度 梯度的推动下 M 沿 X 方向进行扩散。假 设在 dt 时间内,通过截面积为 ds 的薄 层的M物质的量为dG,则:
dc dG Ddsdt dx dG dc D dsdt dx
∵P2>P1(玻璃两侧的压力) ∴S2>S1 (气体在玻璃中的溶解量)
dc JX D dx
积分: