1 2
3
先考虑由基底g和膜层3
g
组成的单层膜系统。
由式(3-225)可得,此单层膜系统的反射系数:
r r23 r3g exp( j) 1 r23r3g exp( j)
由于是λ。/4膜系,所以:
r r23 r3g 1 r23r3g
1
再考虑由膜层2和反射系
2
数为 r 的等效膜层(3,g)
2
R1
nA nA
nI nI
式中
nI
nH2 nG
是镀第一层膜后的等效折射率。若在高折射率膜层上再镀一层
低折射率膜层,其反射率为
2
R2
nA nA
nII nII
式中
nII
nL2 nI
nL nH
2
nG
是镀双层膜后的等效折射率。依此类推,当膜层为偶数(2p)层 时, (HL)p膜系的等效折射率为
3
组成的“单层膜”系统。
g
这样,此“单层膜”系统的反射系数:
r r12 r 1 r12 r
最后得到双层膜系统的反射系数:
r r12 r23 r3g r12r23r3g 1 r12r23 r12r3g r23r3g
考虑到正入射的菲涅耳系数:
rij
ni ni
nj nj
令r=0,可得双层减反膜的材料折射率条件:
此时反射率最小,透过率最大:
Rm
r12 1
r23 r12r23
2
n22 n22
n1n3 n1n3
2
Rm
r12 1
r23 r12r23
2
n22 n22
n1n3 n1n3
2
当满足下面条件时,R=0,消反射: