Tescan 扫描电镜操作规程

Tescan3型扫描电子显微镜操作规程1、开机：打开N2阀门（1）开启并确认稳压电流：220v。

（2）打开电镜主开关，由OFF位转向ON位，等待计算机完成启动。

（3）如果进行元素分析，则先打开QUANTAX程序，后打开VEGA程序，确认用户、语言、密码，等待软件进入系统。

（4）系统自动进行硬件、软件自检。

（5）单击VEGA中的[PUMP]，抽真空开始。

（6）待真空状态显示条由红变绿，真空度小于10^-5torr后，即真空达到要求，单击[HV]接通电镜高压，开始观察样品和照像。

2、更换样品（1）单击[HV]，切断高压。

（2）手动调节样品台，使其回到初始位置。

（3）单击窗口中的[泄真空]，样品室放空，调节合适的N2流量进入，不能使N2流量太大，通常控制出口压力表在0.1刻度左右。

（4）真空指示红条消失后，样品室恢复为大气压，打开样品室门，更换样品。

（5）待更换好样品后，轻按样品室舱门，点击[Pump]抽真空，真空指示进度条变绿，真空度小于10^-5torr后，方可点击[HV]开启高压。

（6）确认BSE探头已摇出。

3、样品观察和物相、成分分析（1）根据样品特性，选择放大倍数、合适的电镜参数，如BI（束流）、工作距离WD和高压HV，确认高压值和发射电流，若无电流或高压，做adjustment》auto gun heating（30kv （75±5）μA； 20kv (100±5) μA ），进行观察。

（2）按照操作界面上软件的各种功能菜单，进行调节、使图像清晰度至最佳。

（3）根据放大倍数，选择合适的扫描速度采集图像并存储。

（4）如果对样品进行成分分析，应该将WD调至15mm左右，手动调节样品台高度，直至清晰为止（空载时，物镜极靴与样品台的安全高度为3mm；当BSE探头摇进时，安全高度为8mm）。

（5）在扫描窗口中，双击选择所要测量的小区域，调整BI，检测计数率。

（6）能谱分析时，要根据样品性质，选择合适的电镜加速电压，设置采谱时间，EDS的时间常数，调整束流使能谱计数率CPS为适当值（一般，总数率=采样时间*计数率，总数率的值大于25万）。

Tescan型扫描电子显微镜操作规程Tescan型扫描电子显微镜是一种高分辨率显微镜，可以将样品的表面形貌及结构进行精细的观察和分析。

本文将介绍Tescan型扫描电子显微镜的操作规程，以帮助使用者更加有效地使用该设备。

一、准备工作1.1 确定目的：在使用Tescan型扫描电子显微镜前，首先需要确定使用该设备的目的。

用户应该了解所需观察的样品类型、结构形态和分析的问题等。

1.2 样品制备：选择适当的样品并进行制备。

样品制备可以使用化学刻蚀、机制切割、离子束切割等方法。

1.3 清洁操作区域：在使用Tescan型扫描电子显微镜前，应该确保周围环境干净整洁，无杂质和灰尘等影响观察效果的物质。

1.4 开机前的准备：检查仪器的接线和电源，并确保仪器与电源相连接。

在开机前应该预热电子枪，并确保其正常工作。

二、扫描电子显微镜的操作步骤2.1 软件的启动与设置操作员需先启动Tescan型扫描电子显微镜的控制软件，通过用户界面进行图像显示、设备操作及数据采集等操作。

使用者可根据需要进行各项设置，如图像分辨率、曝光时间和扫描范围等。

2.2 样品放置将准备好的样品放置到样品台上，并调整样品的位置，以便获取所需的区域图像。

2.3 调整电子枪在设备正常工作前，调整好电子枪的参数，首先进行缺陷修复，然后将加速电子管的电压调整至合适的值。

常规加速电子压力通常在20~30kV之间。

2.4 断定缩放倍数在将电子枪的电压和电流调整好后，操作员需要指定所需的缩放倍数。

缩放倍数越高，分辨率越高，对样品的影响也越小。

2.5 图像采集操作员通过扫描压电晶体，可以获取样品的表面结构和拓扑形状等信息，并进行图像采集。

在图像采集前，需要设置图像的扫描速度、曝光时间和扫描范围等参数。

2.6 图像处理与分析图像处理和分析是Tescan型扫描电子显微镜的重要功能之一，可以对采集到的图像进行各种图像处理和数据分析，以获得更多的信息。

操作员可以通过各种图像处理工具对所获取的数据进行处理和分析，如细节增强、对比度调整、线性增强和颜色增益等等。

1. S—4300F型扫描电子显微镜操作规程：①将制备好的样品固定在样品架上，将样品台每个手柄调节至标准位置，打开AIR待预抽室放大气后装上样品。

推紧预抽室门按下EV AC键抽真空，待SEC、high灯亮后打开手动阀MV1推入样品后关闭MV1；②换样时，将所有旋钮调节至标准位置，打开手动阀MV1取出样品，关闭MV1重复第一步；③打开主机面板上display power 开关，接通操作系统开关，按照计算机提示进入WINDOWS操作界面；④点击桌面上的PC—SEM文件夹，进入扫描电镜操作平台；⑤打开LOCK开关，拨向AOUT OPEN方向，点击SEM操作界面上的vacc打开高压对话框。

将电流设置在10uA的位置上，电压可根据样品自由调节，调节范围1kv~20kv，点击ON，打开高压系统；⑥调节样品位置，选择所需结构。

利用桌面上AUTO按钮调节图像的对比度和亮度，调节扫描速度，得到一幅满意的图像。

打开光路调节键，利用Beam、Aperture、StigX、StigY、STIGMATOR/ALIGNMENT相互配合调节光路系统；⑦选择选区扫描速度，调节高倍像中的像散，最终得到一幅高清晰图像，⑧存图像数据：点击Speed 3，点击M键，关闭Image窗口选择Yes，确定存储路径点击Save完成图像的抓取；2.注意事项：①换样品时样品杆只能在X方向上平行滑动，不得随意倾斜、旋转等；②样品预抽室放大气前必须关闭高压系统；③样品台锁定系统打开后，样品台只允许X、Y向的移动，不得做其他运动；③每次更换样品前后必须观察P1、P2、P3三级离子泵的真空情况，其中P1、P2不得小于3*10/-7，P3不得小于7*10/-7，如低于上述标准不得加高压；④如使用数码打印机打印图像，必须使SEM操作平台提前检索到打印机；⑤磁性材料的测试必须提前和管理人员联系，弱磁性材料必须经管理人员认可后方可上机实验，强词性材料不得上机测试，否则将停止其上机资格；⑥粉末样品测试前必须确定其粘结的牢固程度，禁止悬浮颗粒进入显微镜；。

TESCAN-VEGA3-操作规程TESCAN-VEGA3是一款高精度的扫描电子显微镜，广泛应用于材料科学、生命科学和纳米科学领域。

本文将介绍TESCAN-VEGA3的操作规程，以便用户正确、高效地使用该仪器。

1. 准备工作在操作TESCAN-VEGA3之前，首先确保仪器连接稳定，电源正常，并保持周围环境干净整洁。

操作人员应佩戴手套和实验服，以防止样品污染。

2. 打开仪器打开TESCAN-VEGA3之前，操作人员应先确保样品已安全放置在样品台上。

然后按照仪器上的指示，打开仪器电源，并等待系统初始化完成。

3. 调整参数在开始扫描之前，需要根据样品类型和需要观察的细节，对扫描参数进行调整。

TESCAN-VEGA3提供了丰富的参数调整选项，用户可以根据具体需求进行设置。

常用的参数包括电子束能量、放大倍数、扫描速度和探针电流等。

4. 放置样品根据实验需求，将样品小心地放置在样品台上，并调整样品位置，确保待观察区域位于扫描范围内。

在放置样品时，需注意避免样品与扫描器相互碰撞，以防损坏设备。

5. 开始扫描调整完参数并放好样品后，即可开始扫描操作。

在TESCAN-VEGA3的界面上，选择合适的扫描模式，并点击开始扫描按钮。

仪器会自动对样品进行扫描，并根据设定的参数生成相应的图像。

6. 图像观察和分析扫描完成后，可以观察和分析生成的图像。

TESCAN-VEGA3提供了多种图像处理和分析工具，用户可以利用这些工具对图像进行增强、测量和分析。

例如，可以调整亮度、对比度和色彩平衡，或者绘制线条、圆形和矩形以测量长度、面积和形状。

7. 保存和导出数据在观察和分析完图像后，可以选择将数据保存和导出。

TESCAN-VEGA3支持多种数据格式，如图片格式（如JPEG、PNG）和矢量图形格式（如SVG、PDF）。

用户可以根据需要选择合适的数据格式，并选择保存位置。

8. 关闭仪器使用完TESCAN-VEGA3后，应及时关闭仪器。

台式扫描电镜操作规程引言：台式扫描电镜(SEM)是一种常用的显微镜仪器，广泛应用于材料科学、生物科学、纳米科学等领域。

为了确保SEM的正常运行和保证操作人员的安全，制定一套操作规程是非常必要的。

本文将详细介绍SEM的操作规程，包括准备工作、开机和关机操作、常规操作和安全注意事项等内容。

一、准备工作：1.操作人员需穿戴好个人防护装备，包括实验室服、手套、护目镜等。

2.检查SEM设备是否处于正常工作状态，包括电源、冷阱和真空恢复系统等。

3.准备好所需的样本，确保样本符合SEM的要求。

同时，确保样本干燥、清洁，尽量避免灰尘和污物。

二、开机操作：1.打开SEM控制软件，并登录系统。

2.打开SEM设备的电源，确保系统电源稳定。

3.打开真空恢复系统开关，等待真空稳定。

4.打开冷阱开关，确保冷阱工作正常。

5.进行电子束的对准操作，确保电子束的准直性。

三、常规操作：1.在样品台上固定好样本，并通过样品台调节电子束焦点和位置。

2.设置所需的加速电压、探针电流、显微放大倍数等参数。

3.检查SEM图像，并进行必要的图像调整和优化。

4.对样本进行显微观察，记录所需的显微图像。

5.在操作过程中，若需要更换样品或对设备进行其他操作，应先将电子束关闭，避免辐射伤害。

四、关机操作：1.保存操作数据，并关闭SEM控制软件。

2.将电子束调节至合适位置，并关闭加速电压。

3.关闭冷阱和真空恢复系统，并等待真空泄压完成。

4.关闭SEM设备的电源，并断开电源线。

五、安全注意事项：1.操作人员需严格遵守实验室安全规程，确保自身安全。

2.在操作过程中，注意保持SEM设备的稳定和平衡，避免碰撞或摔落。

3.使用SEM时，应注意防止静电产生和电磁干扰，以避免对设备造成损坏。

4.操作结束后，应集中处理样品残留物，并清理工作区域。

5.定期对SEM设备进行维护和保养，确保其正常运行并延长使用寿命。

6.严禁未经授权人员操作SEM设备，以免造成不必要的损坏和安全事故。

扫描电子显微镜操作规程
JSM-6610LV型扫描电子显微镜操作规程
1 样品镀膜
1.1 关闭充气阀门，打开镀膜机开关。

1.2 当真空度达到2×10-1mbar时，调节等离子电流至10mA （最大不超过20mA），根据样品情况，设置镀膜时间，镀膜时间一般不超过120m。

1.3 镀膜完成后，关闭镀膜机开关，打开充气阀门，取出样品，盖好上盖。

2 上机
2.1 打开稳压电源。

2.2 开启扫描电镜总电源，待泵运行稳定后，依次打开扫描电镜、能谱仪的主控计算机。

2.3 打开分析软件操作界面，点击“VENT”对样品室进行释压，同时检查“STAGE”状态，设定Z值为30mm。

待完全释压后，轻轻打开样品室门取出样品座，将样品固定在样品座上，然后将样品座放回样品室，关闭样品室门，点击“EVAC”开始对样品室抽真空。

2.4 当样品室真空度达到要求后，即可打开灯丝开始样品分析。

2.5 找到被测样品，调整好工作距离，设置合适的物镜光阑尺寸、束斑尺寸及加速电压。

分析样品前，检查灯丝相状态，如果灯丝相不饱和，要进行电子枪对中（电镜合轴）、聚焦、消像散等步骤，将电镜调至最佳观察状态。

2.6在“SCAN1”模式下进行对中、聚焦、消像散，在“SCAN2”模式下进行样品观察，选择具有代表性的视域，调整亮度、明暗度等至图像最清晰为止，在“SCAN4”模式下扫描拍照，并将所拍照保存至指定文件夹中。

摄取的照片用一次性光盘刻录拷贝，主控计算机严禁插入其他移动存储设备。

3 关机
关闭灯丝，退出分析软件操作界面，然后依次关闭主控计算机、
扫描电镜总电源、稳压电源。

4 及时填写仪器运行记录。

S扫描电镜操作步骤集团标准化工作小组 [Q8QX9QT-X8QQB8Q8-NQ8QJ8-M8QMN]扫描电镜S-4800操作规程一、日常开机打开Display开关，电脑自动开机进入s-4800用户界面，PC_SEM程序自运行，点击确认进入软件界面。

二、装样品1.将样品台装在样品座上，根据标尺调整高度及确认样品位置后旋紧。

2.按下AIR键，当AIR灯变绿时拉开样品交换室，水平向前推出交换杆，把样品座插在交换杆上，逆时针旋转交换杆（即按照杆上的标示转至LOCK）锁定样品座后，将交换杆水平向后拉回原处。

3.关闭交换室，按下EVAC键，当EVAC绿灯亮时，按OPEN键至绿灯亮样品室阀门自动打开。

4.水平插入交换杆，直至样品座被卡紧为止，顺时针旋转交换杆（即按照杆上的标示转至UNLOCK）后水平向后拉回原处，点CLOSE键至绿灯亮样品室阀门自动关闭。

三、图像观察1.加高压点击屏幕左上方的高压控制窗口，弹出HV Control对话窗。

选择合适的观察电压和电流，点击ON，弹出提示样品高度的对话框，点击确定出现HV ON提示条，待图像出现后，关闭HV Control对话窗。

2.在低倍、TV模式下，找到所要观察的样品，点击H/L按钮切换到高倍模式，通过调节样品位置，找到所要观察的视场。

3.聚焦、消像散选好视场后，放大到合适的倍数聚焦消像散。

先调节聚焦粗调和细调旋钮，使图像达到最佳状态，若图像有拉长现象，则需进行消像散。

调节STIGMATOR/ALIGNMENT X使图像在水平方向的拉长消失，再调节STIGMATOR/ALIGNMENT Y使图像在垂直方向的拉长消失。

4.图像采集及保存用键或BRIGHTNISS/CONTRAST旋钮自动或手动调节图像的对比度和亮度，扫描速度变为慢扫，点击抓拍按钮进行采集。

采集后暂时存放在窗口下侧，选中要保存的图像，点击Save，弹出Image Save对话框，输入文件名，选好存储位置保存即可。

电子显微镜标准操作规程1．目的建立电子显微镜标准操作规程，为了使操作者操作电子显微镜更规范、更精确。

2．范围适用于电子显微镜标准操作规程。

3．职责操作者。

4．规程4.1 将制备好的样品固定在样品架上，将样品台每个手柄调节至标准位置，打开AIR待预抽室放大气后装上样品。

推紧，预抽室门按下EVAC键抽真空，待SEC、high灯亮后打开手动阀MV1后关闭MV1。

4.2 核样时，将所有旋钮调节至标准位置，打开手动阀MV1，取出样品，关闭MV1重复第一步。

4.3 打开主机面板上display power开关，接通操作系统开关，按照计算工机提示进入windows操作界面。

4.4 点击桌面上的PC—SEM文件，进入扫描电镜操作平台。

4.5 打开Lock开关，拨向Aout open方向，点击SEN操作界面上的Vacc 打开高压对话框。

将电流在10uA的位置上，电压可根据样品自由调节。

4.6 有图像数据点击speed3，点击M键，关闭Image窗口选择yes，确定存储路径，点击save完成图像的抓取。

4.7 注意事项4.7.1 核样品时样品只能在X方向上平行滑动，不能旋转等。

4.7.2 粉末样品测试前必须确定其粘结的牢固程度，禁止悬浮颗粒进入显微镜。

剩余包装材料处理程序、目的：建立剩余包装材料处理程序，使剩余包装材料的处理正确、规范，防止错药、混药事故发生。

二、适用范围：适用于剩余包装材料的处理。

三、责任者：工艺员包装班班长、仓库保管员、QA质监员，生产部质检员。

四、程序：1 每批产品包装完成后，对未用完的包装材料进行清理，将已盖批号或有效期和未盖批号、有效期的包装材料分别存放，分别处理。

2 对已盖批号、有效期的包装材料的处理：对标签、说明书、合格证及大、中、小盒一律销毁，并做好销毁记录，负责销毁人及监督销毁人员均要签字；销毁记录见《包装材料销毁记录》（编码：RD0104500）（附件1）；3 对于未加盖批号有效期的包装材料的处理：3.1 对未加盖批号但有质量问题的包装材料在质量监督员监督下销毁。

扫描电镜操作规程一、开机（电源开关和准备开关均为打开状态）1、开水(系统不报警方可)；2、开总电源；3、电气柜后面开关打开，将自动/手动（AUTO/MAN）开关拔到自动（AUTO）的位置，此时电炉进行加热；4、抽真空30分钟后，断开准备开关；5、开系统软件；6。

、打开主机前面面板上的电气柜开关（CONSOLE POWER），抽真空10分钟。

二、准备观测图像1、打开V1阀，此时镜筒真空已准备好，用左手延径水平方向拉开V1阀，阀杆下面的弹片将V1阀固定在打开位置；2、加高压（30KV）导电性不好的产品（20-25KV），加高压时最好按着每步的速度逐步增加，如果长按按钮，高压会连续快速增加，不容易控制到要求的数值；3、调节对比度和亮度：①调节对比度，使图像上出现一些噪声为最佳，一般情况下在60左右；②调节图像亮度，使屏幕显示的灰度合适，一般情况下，相应的数字参数值为0-20左右；4、加灯丝：顺时针慢慢旋转灯丝加热旋钮，直至发射束流饱和，灯丝加热旋钮指示正常在6-7之间，调节偏压束流为100uA左右；5、机械对中：每次换灯丝后需旋转镜筒头上的三个螺钉，使图像显示到最清楚的点；6、物镜光阑对中（合轴）：①选区，并挑选图像上的一个特征点；②选择放大倍数1000-2000范围；③反复调节粗调，使图像聚焦至不聚焦往反进行，观察图像的移动；④调节物镜光阑的两个螺钮，使图像不发生位移或图像移动最小为止；7、像散消除：选择“选区”位置，从放大倍数1000倍开始消像散，增加到欲观察的放大倍数下再次消像散直至图像没有拉长现象；8、拍照、保存。

三、系统停机1、关闭加热灯丝：逆时针旋转灯丝加热旋钮到底，旋钮标记指示在“ON”的位置，束流显示的束流为0UA；2、将对比度降至最低，使其数字参数值为0，关闭高压，使其数字参数值为0；3、关闭V1阀：用左手将V1阀阀杆下面的弹片沿上按在阀杆上，用手掌径向水平推V1阀，当V1阀完全推到底后，再用力推一下V1阀的阀杆，确保V1阀完全关闭；4、关闭主机面板上的电气柜开关，打开准备开关，将主机后的开关自动/手动(AUTO)/(MAN)打到手动(MAN)的位置，冷却电炉30分钟。

图4.1图5.1图5.2图5.3图5.5图5.6图5.8作业说明5.2开机准备：⑥建议用VEGA3独有的大视野模式寻找样品，点击图5中的Mode或者Info Panel中选择WIDEFIELD就可以转化到大视野模式图9，或者在Mode中选择Continual Wide Field，缩小至低倍直接转化为大视野模式。

图5.95.3测试调节：①样品台升降：在低倍下找到样品并选择感兴趣的区域放大至1kX左右，聚焦清楚，如果工作距离WD&Z比较大时可以在WD&Z的选项中输入目标的工作距离（如图8中蓝框所示），样品台上升过程中实时观察Chamber View中样品台的位置，如有危险马上点击Stop，停止样品台上升。

5.3测试调节：②调节放大倍数：继续放大感兴趣的区域，在图9中点击MAG，然后拨动轨迹球进行放大缩小倍数（向左缩小，向右放大），或者在图5.10红框中双箭头调节放大缩小。

图5.105.3测试调节：③电子束强度选择：点击图9中的BeamIntensity，在Pad中输入目标的数值（0~20），数值越小，电子束强度越小，数值越大，电子束强度越大。

低倍下选择较大的BI值，高倍下选择较小的BI值。

作业说明5.3测试调节：④聚焦:在图9中点击WD,然后拨动轨迹球进行聚焦至样品最清楚为止。

如果在聚焦过程中样品有移动，需要做电子束对中；如果在聚焦过程中样品有拉伸，需要做消像散。

5.3测试调节：⑤电子束对中：点击图9中的Manual Column Centering，图形左右晃动就调节X方向，上下晃动就调节Y方向。

可以先按住F11，滑动轨迹球直至图像在左右没有晃动，只有上下晃动，然后按住F12，滑动轨迹球至上下方向也没有晃动，直至图像在中心放大缩小，没有XY方向的移动。

5.3测试调节：⑥消像散：点击图5中的STG(或者点击右侧Info Panel中的Stigmator)激活消像散功能；消像散过程：先调节WD至图像没有变形，然后分别调节X和Y方向的像散，可以先按住F11，滑动轨迹球直至图像到最清楚的位置，然后按住F12，滑动轨迹球至图像最清楚的位置，接着再聚焦直至图像清楚，消像散需要与聚焦交替进行；作业说明5.3测试调节：⑦亮度/对比度调节：拍照前需要进行亮度调节，可以点击Auto软件自动调节亮度/对比度；也可以点击Brightness/Contrast手动调节亮度/对比度，滑动轨迹球左右移动调节图像对比度（向左对比度减小，向右对比度增大），滑动轨迹球上下移动调节图像亮度（向上亮度增大，向下亮度减小）；5.3测试调节：⑧扫描速度选择：点击图5中选择拍摄图像的扫描速度，或者滑动鼠标中键改变扫描速度。