半导体制造专业英语术语
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A
1st level packaging 第一级圭寸装
2nd level packaging 第二级圭寸装
aberration 象差/色差
absorption 吸收
acceleration column 力口速管
acceptor 受主 Accumulate v.积聚，堆积 acid 酸 acoustic
streaming 声学流 active region 有源区 activate 激活 activated
dopant 激活杂质 active component 有源器件 adsorption 吸附
aerosol 悬浮颗粒
air ionizer 空气电离化器 alignment mark 对准标记 alignment
对准 alloy 合金
alternate adj.交替的，轮流的，预备的 v 交替，轮 流，改变
aluminum 乍吕 aluminum subtractive process 铝刻蚀工艺
ambient 环境 ammonia(NH3) 氨气 ammonium
fluoride(NH4F) 氟化氨 ammonium hydroxide(NH4OH) 氢氧化氨 amorphous 非晶的，无定型
analog 模拟信号 angstrom 埃 anion 阴离子 anisotropic etch
profile 各向异性刻蚀剖面 anneal 退火 antimony(sb) 锑
antirelective coating(ARC) 抗反射涂层 APCVD 常压化学气向淀积 application specific IC(ASIC) 专用集成电路
aqueous solution 水溶液 area array 面阵歹 U
argon (Ar) n.［化］氩
arsenic(As)砷 arsine(AsH3) 砷化氢，砷烷 ashing 灰化，去胶
aspect ratio 深宽比，高宽比 aspect ratio dependent
etching(ARDE) 与刻蚀相关的
深宽比
asphyxiant 窒息齐 ij assay number 检定数 atmospheric adj.
大气的 atmospheric pressure 大气压 atmospheric pressure
CVD(APCVD) 常压化学气向淀
积
atomic force microscopy(AFM) 原子力显微镜 atomic number 原子序数
attempt n.努力，尝试，企图 vt・ 尝试，企图 auger electron
spectroscopy(AES) 俄歇电子能谱仪 autodoping 自掺杂
automatic defect classification(ADC) 缺陷自动分类 B
back-end of line(BEOL) (生产线)后端工序
backgrind 减薄 球栅阵列
舞厅式布局，超净间的布局 圆桶型反应室 阻挡层金属
势垒电压 backing film 背膜
baffle vt・ 困惑，阻碍，为难（挡片）
baffle assembly n.
集合，装配，集会，集结，汇 编 （挡片块）
ball grid
array(BGA) ballroom layout barrel reactor barrier metal 丨
barrier voltage base基极，基区 batch 批 bay and chase
layout 生产区和技术夹层区 beam blow-up 离子束膨胀
beam current 束流 beam deceleration 束流减速
beam energy 离子束能量
beol (生产线)后端工序
best focus 最佳聚焦
BGA 球栅阵列
Biasing 电压拉偏
BICMOS 双极 CMOS
bincode number 分类代码号
bin map 分类图 bipolar junction transistor(BJT) 双极晶体管
bipolar technology 双极技术(工艺) bird ' s beak effect鸟嘴效应 blanket deposition 均厚淀积
blower增压泵 boat 舟
BOE 氧化层刻蚀缓冲剂 Bon voyage ［法 ］再见，一路
顺风［平安］
bonding pads 压点 bonding wire 焊线，引线 boron(B) 硼
boron trichloride(BCL3) 三氯化硼 boron trifluoride (B F3) 三氟化硼
borophosphosilicate glass(BPSG)硼磷硅玻璃 borosilicate
glass(BSG) 硼硅玻璃 bottom antireflective coating(BARC) 下减反射涂层
boule单晶锭
bracket n.墙上凸出的托架，括弧，支架 v.括在 一起
breakthrough step 突破步骤，起始的干法刻蚀步骤
brightfield detection 亮场检查 brush scrubbing 涮洗 bubbler 带鼓泡槽
buffered oxide etch(BOE) 氧化层腐蚀缓冲液
bulk chemical distribution 批量化学材料配送
bulk gases 大批气体
bulkhead equipment layout 穿壁式设备布局
bumped chip 凸点式芯片
buried layer 埋层 burn-box 燃烧室(或盒) burn-in 老化 C CA 化学放大(胶) cantilever n. 建］悬臂 cantilever paddle 悬臂桨 cap oxide 掩蔽氧化层
capacitance 电容 capacitance-voltage test(C-Vtest) 电容-电压测试
capacitive coupled plasma 电容偶合等离子体
capacitor 电容器
carbon tetrafluoride(CF4) 四氟化碳 caro ' s acid3 号液
carrier 载流子 carrier-depletion region 载流子耗尽层 carrier
gas 携带气体
cassette (承)片架 cation 阳离子 caustic 腐蚀性的
cavitation 超声波能
CD 关键尺寸
CD- SEM 线宽扫描电镜
Celsius adj.摄氏的 center of focus(COF) 焦点 焦平面 center
slow 中心慢速
central processing unit(CPU) 中央处理器
ceramic substrate 陶瓷圭寸装
CERDIP 陶瓷双列直插封装
Channel 沟道 channel length 沟道长度 channeling 沟道效应
charge carrier 载流子 chase技术夹层 chelating agent 螯合齐 ij
chemical amplification(CA) 化学放大胶
chemical etch mechanism 化学刻蚀机理 chemical
mechanical planarization(CMP) 化学机械平 坦化 chemical
solution 化学溶液 chemical vapor deposition(CVD) 化学气相淀积
chip 芯片
chip on board(COB)板上芯片 chip scale package(CSP)芯片尺寸圭寸装 circuit geometries 电路几何尺寸
class number 净化级另卩
cleanroom 净化间 cleanroom protocol 净化间操作规程
Clearfield mask 亮场掩膜板
Cluster tool 多腔集成设备 CMOS 互补金属氧化物半导体 CMP 化学机械平坦化
Coater/developer track 涂胶 /显影轨道
Cobalt silicide 钻硅化合物
coefficient n. ［数 ］系数
Coefficient of thermal expansion（CTE） 热涨系数
Coherence probe microscope 相干探测显微镜 Coherent light
相干光 coil v. 盘绕，卷 Cold wall 冷壁 Collector 集电极 Collimated light 平行光
Collimated sputtering 准直溅射
Compensate v.偿还，补偿，付报酬 Compound
semiconductor 化合物半导体 Concentration 浓度
Condensation 浓缩 Conductor 导体 constantly adv・ 不变地，经常地，坚持不懈地 Confocal microscope 共聚焦显微镜
Conformal step coverage 共型台阶覆盖 Contact 接触（孔）
Contact alignment 接触式对准（光刻） Contact angle meter 接触角度仪 Contamination 沾污、污染
conti boat 连柱舟 conticaster ［冶］连铸机
Continuous spray develop 连续喷雾显影 Contour maps 包络图、等位图、等值图 Contrast 对比度、反差 contribution n.捐献，贡献，投稿 Conventional-line photoresist 常规 I 线光刻胶 Cook' s theory库克理论 Copper CVD 铜 CVD Copper
interconnect 铜互连 Cost of ownership(COO) 业主总成本
Covalent bond 共价键 Critical dimension 关键尺寸
Cryogenic aerosol cleaning 冷凝浮质清洗
Cryogenic pump(cryopump) 冷凝泵 Crystal 晶体
Crystal activation 晶体激活 Crystal defect 晶体缺陷 Crystal
growth 晶体生长
Crystal lattice 晶格 Crystal orientation 晶向
