半导体制造专业英语术语
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半导体术语表 第1页共68页
A
1st level packagi ng 第一级圭寸装
2nd level packagi ng 第二级封装
aberrati on 象差/色差
absorpti on 吸收
accelerati on colum n 力口速管
acceptor 受主
Accumulate v.积聚，堆积 acid 酸
acoustic streami ng 声学流
active region 有源区 activate 激活 activated dopa nt 激活杂质
active comp onent 有源器件
adsorpti on 吸附 aerosol 悬浮颗粒 air ioni zer 空气电离化器
alig nment mark 对准标记 alig nment 对准 alloy 合金 alternate
adj.交替的，轮流的，预备的 v.交替，轮 流，改变
alumi num 铝
alum inum subtractive process 铝刻蚀工艺 ambie nt 环境
ammo nia(NH3) 氨气
amm on ium fluoride(NH4F) 氟化氨 amm on ium
hydroxide(NH4OH) 氢氧化氨 半导体术语表 第2页共68页
amorphous 非晶的，无定型
an alog 模拟信号
angstrom 埃 anion 阴离子 an isotropic etch profile 各向异性刻蚀剖面
ann eal 退火 an tim ony(sb) 锑
an tirelective coat in g(ARC) 抗反射涂层
APCVD 常压化学气向淀积
applicatio n specific IC(ASIC) 专用集成电路
aqueous soluti on 水溶液 area array 面阵歹 U
argon (Ar) n.［化］氩
arse ni c(As) 砷
arsin e(AsH3) 砷化氢，砷烷
ashi ng 灰化，去胶
aspect ratio 深宽比，高宽比
aspect ratio depe ndent etchi ng(ARDE) 与刻蚀相关的
深宽比
asphyxia nt 窒息剂
assay n umber 检定数
atmospheric adj. 大气的 atmospheric pressure 大气压
atmospheric pressure CVD(APCVD) 常压化学气向淀 半导体术语表 第3页共68页
积
atomic force microscopy(AFM) 原子力显微镜 atomic n umber
原子序数
attempt n.努力，尝试，企图 vt.尝试，企图 auger electro n
spectroscopy(AES) 俄歇电子能谱仪
autodop ing 自掺杂
automatic defect classificatio n(ADC) 缺陷自动分类
B
back-e nd of li ne(BEOL) (生产线)后端工序
backgri nd 减薄
backi ng film 背膜
baffle vt. 困惑，阻碍，为难（挡片）
baffle assembly n. 集合，装配，集会，集结，汇 编 （挡片块）
ball grid array(BGA) 球栅阵列
ballroom layout
barrel reactor 舞厅式布局，超净间的布局
圆桶型反应室
barrier metal 阻挡层金属
barrier voltage 势垒电压
base 基极，基区
batch 批 半导体术语表 第4页共68页
bay and chase layout 生产区和技术夹层区
beam blow-up 离子束膨胀
beam curre nt 束流
beam decelerati on 束流减速
beam energy 离子束能量
beol （生产线）后端工序
best focus 最佳聚焦
BGA 球栅阵列
Biasi ng 电压拉偏
BICMOS 双极 CMOS
bin code n umber 分类代码号
bin map 分类图 bipolar jun ction tran sistor(BJT) 双极晶体管
bipolar tech no logy 双极技术(工艺)
bird ' s beak effect 鸟嘴效应 bla nket deposition 均厚淀积
blower增压泵 boat 舟
BOE 氧化层刻蚀缓冲剂 Bon voyage ［法］再见，一路
顺风［平安］
bonding pads 压点
bonding wire 焊线，引线 boron (B) 硼
boro n trichloride(BCL3) 三氯化硼
boro n trifluoride(BF3) 三氟化硼 半导体术语表 第5页共68页
borophosphosilicate glass(BPSG) 硼磷硅玻璃
borosilicate glass(BSG) 硼硅玻璃
bottom an tireflective coati ng(BARC) 下减反射涂层
boule 单晶锭
bracket n.墙上凸出的托架，括弧，支架 v.括在 一起 半导体术语表 第6页共68页
突破步骤，起始的干法刻蚀步骤
亮场检查
涮洗
buffered oxide etch(BOE) bulk
chemical distributi on bulk
gases 大批气体 bulkhead
equipme nt layout bumped
chip 凸点式芯片
buried layer 埋层 burn-box 燃烧室(或盒) bur n-i n 老化
CA 化学放大(胶)
can tilever n.［建］悬臂
can tilever paddle 悬臂桨
cap oxide 掩蔽氧化层
capacita nce 电容
capacita nce-voltage test(C-Vtest) 电容-电压测试
capacitive coupled plasma 电容偶合等离子体
capacitor 电容器
carbon tetrafluoride(CF4) 四氟化碳 breakthrough step
brightfield detection
brush scrubb ing
bubbler 带鼓泡槽
氧化层腐蚀缓冲液 批量化学材料配送
穿壁式设备布局 半导体术语表 第7页共68页
caro ' s acid 3 号液
carrier 载流子 carrier-depleti on region 载流子耗尽层
carrier gas 携带气体
cassette (承)片架 cati on 阳离子
caustic 腐蚀性的
cavitation 超声波能
CD 关键尺寸
CD-SEM 线宽扫描电镜
Celsius adj.摄氏的 center of focus(COF) 焦点 焦平面
cen ter slow 中心慢速
central process ing uni t(CPU) 中央处理器
ceramic substrate 陶瓷圭寸装
CERDIP 陶瓷双列直插封装
Cha nnel 沟道
cha nn el le ngth 沟道长度
cha nn eli ng 沟道效应
charge carrier 载流子
chase技术夹层
chelati ng agent 螯合齐 ij
chemical amplificatio n(CA) 化学放大胶 chemical etch mecha 半导体术语表 第8页共68页
nism 化学刻蚀机理
chemical mecha ni cal pla narizati on (CMP) 化学机械平
坦化
chemical soluti on 化学溶液
chemical vapor depositio n(CVD) 化学气相淀积
chip 芯片
chip on board(COB) 板上芯片
chip scale package(CSP) 芯片尺寸圭寸装
circuit geometries 电路几何尺寸
class number 净化级别
clea nroom 净化间
clea nroom protocol 净化间操作规程
Clearfield mask 亮场掩膜板
Cluster tool 多腔集成设备
CMOS 互补金属氧化物半导体
CMP 化学机械平坦化
Coater/developer track 涂胶 /显影轨道
Cobalt silicide 钻硅化合物
coefficie nt n.［数］系数
Coefficie nt of thermal expa nsio n（CTE） 热涨系数 半导体术语表 第9页共68页
Cohere nce probe microscope 相干探测显微镜
Cohere nt light 相干光 coil v. 盘绕，卷
Cold wall 冷壁
Collector 集电极
Collimated light 平行光
Collimated sputteri ng 准直溅射
Compensate v.偿还，补偿，付报酬
Compo und semic on ductor 化合物半导体
Con ce ntrati on 浓度
Conden sation 浓缩
Con ductor 导体
constantly adv.不变地，经常地，坚持不懈地
Co nfocal microscope 共聚焦显微镜
Con formal step coverage 共型台阶覆盖
Con tact 接触（孔）
Con tact alig nment 接触式对准（光刻）
Con tact an gle meter 接触角度仪
Con tam in ati on 沾污、污染
conti boat 连柱舟
