下载文档原格式
底片干膜工艺技术资料一、底片干膜工艺概述底片干膜工艺是一种常用于光刻技术中的工艺方法。
在硅片制造过程中，光刻技术用于制造集成电路中的微细图案。
底片干膜工艺是光刻技术的一个重要环节，其主要作用是在硅片表面形成一层薄膜，用于保护或增强光刻图案。
二、底片干膜工艺流程底片干膜工艺流程包括以下几个步骤：1. 底片准备在进行底片干膜工艺之前，需要先准备好底片。
底片是一种透明平板，通常由玻璃或石英制成。
底片表面应保持干净无尘，以免影响后续的工艺步骤。
2. 底片清洁底片在使用前需要进行清洁处理，以去除底片表面的杂质和污染物。
清洁方法可以采用化学溶液浸泡或超声波清洗。
3. 干膜涂覆底片清洁完毕后，需要进行干膜涂覆的过程。
干膜是指一种特殊的聚合物材料，可以在底片表面形成一层均匀的薄膜。
干膜涂覆可以采用旋涂法或喷涂法，在涂布的过程中需要控制好涂布速度和涂布厚度，以保证干膜的质量。
4. 烘烤干膜涂覆完成后，需要进行烘烤处理。
烘烤的目的是将干膜固化，并使其与底片表面紧密结合。
烘烤的温度和时间根据具体的干膜材料而定，需要严格控制参数，以确保烘烤效果良好。
5. 剥膜经过烘烤后，干膜与底片表面形成了牢固的结合。
为了制作光刻图案，需要将部分干膜剥离，留下所需的图案。
剥膜的方法可以采用化学溶解或机械剥离，需要根据具体情况选择合适的方法。
6. 检验剥膜完成后，需要对底片进行检验，确保干膜工艺的质量符合要求。
检验的内容可以包括干膜的厚度、表面光洁度等指标。
三、底片干膜工艺的应用底片干膜工艺广泛应用于集成电路的制造过程中。
其主要作用有：1. 保护硅片表面底片干膜可以形成一层保护膜，用于保护硅片表面不被污染或损坏。
在后续的工艺步骤中，底片上的干膜可以起到保护的作用，确保光刻图案的准确传递。
2. 增强光刻图案对比度在光刻过程中，底片上的干膜可以增强光刻图案的对比度，使其更容易识别和处理。
干膜的颜色和透明度可以根据需求来选择，以提高图案的可见度。
干膜光成像工艺规范目录1．目的---------------------------------------------------------------------------------42．范围---------------------------------------------------------------------------------43．定义---------------------------------------------------------------------------------44．操作方法-------------------------------------------------------------------------4-5 5．磨板-------------------------------------------------------------------------------6-9 6．贴膜------------------------------------------------------------------------------9-11 7．曝光-----------------------------------------------------------------------------11-13 8．显影-----------------------------------------------------------------------------13-17 9．检查-----------------------------------------------------------------------------17-1810.故障与排除---------------------------------------------------------------------18-19注意：以下所有数据建议参考，与你公司如有相同实属巧合。
水溶性干膜显影工艺及常见问题的处理方法水溶性干膜的显影液为l一2％的无水碳酸钠溶液，液温30—40℃。
显影的速度在范围内随温度增高而加快，不同的干膜显影温度略有差别，需根据实际情况调整，温度过高会使膜缺乏韧性变脆。
显影机理是感光膜中未曝光部分的活性基团与稀碱溶液反应生成可溶性物质而溶解下来，显影时活性基团羧基一COOH与无水碳酸钠溶液中的Na+作用，生成亲水性集团一COONa。
从而把未曝光的部分溶解下来，而曝光部分的干膜不被溶胀。
显影操作一般在显影机中进行，控制好显影液的温度，传送速度，喷淋压力等显影参数，能够得到好的显影效果。
正确的显影时间通过显出点(没有曝光的干膜从印制板上被溶解掉之点)来确定，显出点必须保持在显影段总长度的一个恒定百分比上。
如果显出点离显影段出口太近，未聚合的抗蚀膜得不到充分的清洁显影，抗蚀剂的残余可能留在板面上。
如果显出点离显影段的入口太近，已聚合的于膜由于与显影液过长时间的接触，可能被浸蚀而变得发毛，失去光泽。
通常显出点控制在显影段总长度的40％一60％之内。
其显影点的计算方法较为简单，使用一至几块长的板材，其长度大于等于显影段的长度，贴完膜后不曝光直接显影，当板子的最前端走到显影出口时关闭显影药水的喷淋。
根据板子显影的情况可得知显影点在显影段中的位置。
从而根据显示情况调整显影速度达到最佳的显影状态。
显影机在使用时由于溶液不断地喷淋搅动，会出现大量泡沫，因此必须加入适量的消泡剂。
如正丁醇、印制板专用消泡剂AF一3等。
消泡剂起始的加入量为0.1％左右，随着显影液溶进干膜，泡沫又会增加，可继续分次补加。
部份显影机有自动添加消泡剂的装置。
显影后要确保板面上无余胶，以保证基体金属与电镀金属之间有良好的结合力。
在显影的过程中碳酸钠不断需要补充，在某些他天气较寒冷地区在冬天显影时其补充碳酸钠的药桶要有加热装置，以防止显影段由于补充药液导致温度下降造成显影不良。
显影后板面是否有余胶，肉眼很难看出，可用1％甲基紫酒精水溶液或l一2％的硫化钠或硫化钾溶液检查，染十甲基紫颜色和浸入硫化物后没有颜色改变说明有余胶。
〖双击自动滚屏〗光化学、干膜、曝光及显影制程1、Absorption 吸收，吸入指被吸收物会进入主体的内部，是一种化学式的吸入动作。
如光化反应中的光能吸收，或板材与绿漆对溶剂的吸入等。
另有一近似词 Adsorption 则是指吸附而言，只附着在主体的表面，是一种物理式的亲和吸附。
2、Actinic Light(or Intensity，or Radiation) 有效光指用以完成光化反应各种光线中，其最有效波长范围的光而言。
例如在360～420 nm 波长范围的光，对偶氮棕片、一般黑白底片及重铬酸盐感光膜等，其等反应均最快最彻底且功效最大，谓之有效光。
3、Acutance 解像锐利度是指各种由感光方式所得到的图像，其线条边缘的锐利情形 (Sh arpness)，此与解像度 Resolution 不同。
后者是指在一定宽度距离中，可以清楚的显像(Develope)解出多少组“线对”而言(L ine Pair，系指一条线路及一个空间的组合)，一般俗称只说解出机条“线”而已。
4、Adhesion Promotor 附着力促进剂多指干膜中所添加的某些化学品，能促使其与铜面产生“化学键”，而促进其与底材间之附着力者皆谓之。
5、Binder 粘结剂各种积层板中的接着树脂部份，或干膜之阻剂中，所添加用以“成形”而不致太“散”的接着及形成剂类。
6、Blur Edge(Circle)模糊边带，模糊边圈多层板各内层孔环与孔位之间在做对准度检查时，可利用 X光透视法为之。
由于X光之光源与其机组均非平行光之结构，故所得圆垫(Pad)之放大影像，其边缘之解像并不明锐清晰，称为 Bl ur Edge。
7、Break Point 出像点，显像点指制程中已有干膜贴附的“在制板”，于自动输送线显像室上下喷液中进行显像时，到达其完成冲刷而显现出清楚图形的“旅程点”，谓之“Break Point”。
所经历过的冲刷路程，以占显像室长度的 50~75% 之间为宜，如此可使剩下旅途中的清水冲洗，更能加强清除残膜的效果。
干膜生产工艺干膜生产工艺是一种在电子工业中广泛应用的技术，用于制作薄膜电路板和其他电子产品。
下面是一个关于干膜生产工艺的700字的介绍。
干膜生产工艺是一种先进的制造技术，它可以用于制作高品质的电路板。
干膜是一种特殊的光敏胶片，它可以与印刷电路板表面紧密结合，在光的作用下形成图形。
与传统的湿膜工艺相比，干膜工艺具有更高的精度和稳定性。
干膜生产工艺的主要步骤包括准备基板、涂敷干膜、曝光、显影、蚀刻和清洗。
首先，需要准备好需要制作电路的基板。
基板的材料可以是FR4、铜或其他导电材料。
然后，在基板表面涂敷一层干膜。
干膜有多种类型，可以根据需要选择不同的干膜来实现不同的功能。
涂敷干膜后，需要将其暴露在紫外光下，以形成所需的电路图案。
曝光的过程中，光线会通过掩膜上的图案，然后照射到干膜上。
只有暴露在光下的部分会发生化学反应，形成稳定的图案结构。
完成曝光后，接下来是显影的步骤。
显影是指将不需要的部分从干膜上去除的过程。
显影液会分解暴露在光下的部分干膜，使其变得可溶于溶剂。
而未暴露在光下的部分干膜则保持不变。
通过显影，可以形成所需的电路图案。
在显影完成后，接下来是蚀刻的步骤。
蚀刻是指将基板表面的铜或其他导电材料去除，从而形成所需的电路图案。
蚀刻液会溶解掉没有被干膜保护的铜层，使电路图案明确可见。
最后一步是清洗。
清洗的目的是去除干膜残留物和其他杂质，以保证电路板的质量和可靠性。
清洗过程通常使用酒精或其他溶剂进行。
干膜生产工艺具有许多优点。
首先，它可以实现高精度的电路图案，使电路板具有更好的性能和可靠性。
其次，与传统的湿膜工艺相比，干膜工艺更加环保，能够节约更多的水资源和能源。
此外，干膜工艺操作简单，工艺周期短，能够大大提高生产效率。
总之，干膜生产工艺是一种先进的制造技术，适用于电子行业中的薄膜电路板制造。
它具有高精度、稳定性和环保等优点，能够提高电路板的性能和可靠性，同时还能提高生产效率。
随着电子行业的快速发展，干膜生产工艺将继续在电子制造领域发挥重要作用。
干膜介绍及干膜工艺详解干膜是一种常用的覆盖材料，用于保护电子元件表面免受污染、腐蚀和机械损伤。
它由聚酰胺树脂制成，具有优异的耐温性、耐化学性和机械强度。
干膜广泛应用于电子工业、半导体制造业、汽车制造业等领域。
本文将详细介绍干膜的工艺及应用。
干膜工艺主要分为涂布、曝光、显影和固化四个步骤。
首先，将干膜涂布在待保护的基板表面，然后通过热压或UV曝光使干膜与基板紧密结合。
曝光是将覆盖了光掩膜的基板和干膜放置在紫外线曝光机中，通过控制曝光时间和光强来实现显影效果。
显影是将经过曝光的基板和干膜放入化学液中，使未曝光部分的干膜溶解，从而揭露出基板的表面。
最后，通过热固化或UV固化使干膜与基板牢固结合，形成保护层。
干膜具有许多优越的特性。
首先，干膜具有出色的耐化学性，能够抵抗酸、碱和溶剂的侵蚀，保护电子元件不受腐蚀。
其次，干膜具有良好的耐温性，能够在高温环境下保持稳定性，适用于高温焊接和其他高温工艺。
此外，干膜具有优秀的机械强度，能够抵御机械冲击和摩擦，确保元件表面的完整性。
最重要的是，干膜具有良好的电绝缘性能，能够有效隔离电子元件，保证电路的正常运行。
干膜广泛应用于各种电子元件的保护和焊接过程中。
在印制电路板（PCB）制造过程中，干膜可以作为覆盖材料，保护线路图案在酸碱腐蚀、高温焊接和表面处理中不受损坏。
在集成电路制造中，干膜可用作衬底保护层，保护器件免受机械和化学损伤。
此外，干膜还可以用于电子元件的封装和封装，提高元件的可靠性和稳定性。
总之，干膜作为一种常用的保护材料，具有优越的性能和广泛的应用领域。
通过涂布、曝光、显影和固化等工艺步骤，可以将干膜均匀附着在基板表面，形成坚固耐用的保护层。
干膜能够有效保护电子元件免受污染、腐蚀和机械损伤，提高元件的可靠性和稳定性。
在电子工业、半导体制造业和汽车制造业等领域发挥着重要作用。
干膜作为一种常用的保护材料，具有许多优越的特性，因此在各个领域得到广泛应用。
下面将进一步介绍干膜的应用以及其在电子工业、半导体制造业和汽车制造业中的具体应用。
干膜光成像工艺规范目录1．目的---------------------------------------------------------------------------------42．范围---------------------------------------------------------------------------------43．定义---------------------------------------------------------------------------------44．操作方法-------------------------------------------------------------------------4-5 5．磨板-------------------------------------------------------------------------------6-9 6．贴膜------------------------------------------------------------------------------9-11 7．曝光-----------------------------------------------------------------------------11-13 8．显影-----------------------------------------------------------------------------13-17 9．检查-----------------------------------------------------------------------------17-1810.故障与排除---------------------------------------------------------------------18-19注意：以下所有数据建议参考，与你公司如有相同实属巧合。
1.目的：本文旨在建立干膜光成像工艺之操作规范及工艺控制要求、设备之日常维护方法和要求。
2.范围: 适用于线路板光成像工艺过程之干膜、曝光、显影工序。
3.定义：光成像——指将底片的线路图像移到覆铜板上，形成一种抗蚀或抗电镀的掩膜图像。
4.操作方法4.1安全。
4.1.1化学溶液加入槽中时，应戴橡胶手套，必要时戴上安全眼镜，眼睛和皮肤避免与其接触，如果化学溶液溅到皮肤上，需立即用自来水进行冲洗, 并报告领班。
4.1.2溅到地上的化学药品须立即擦净。
4.1.3操作时不要观看紫外光源。
4.1.5酒精、丙酮等易燃品使用完后应盖好盖子。
4.2主要设备4.3主要物品4.4制程能力4.5工艺流程图4.5.1双面板制作过程4.5.2内层板制作过程：内层底片铆合4.6 工艺环境及要求4.6.1 生产前对所有设备和周围环境进行约30分钟的擦拭或吸尘等清洁工作，所有工作区域都必须保持干净整洁。
4.6.2 贴膜、曝光间属四级空调区，环境要求：温度21±2℃，湿度55+8-5%，该区照明灯为安全黄光灯，室内不得漏白光。
4.6.3 进入贴膜、曝光间必须穿防静电服（防尘服），并经风淋门风淋10秒以上，风淋时应将两侧门关紧，将风淋嘴对准防静电服全身风淋。
4.6.4 防静电服的着装方法：先戴帽，将头发置于帽内，再穿衣、以裤束紧上衣，以袜束紧裤脚，防静电服只能在指定范围内穿着，并要保持整洁。
4.6.5 风淋门不允许开着或半掩着，不允许两道门同时是开启状态，否则有过量的灰尘和污物进入，不许将有灰尘的物品（如纸箱）带入工作区域内。
风淋门前面的过道每天必须进行清洁。
4.6.6 除了对位、曝光人员不戴手套取放板子外，工序的其它工位（磨板、贴膜、显影、检板）取放、接收板子的人员一律要戴洁净干燥的白细纱手套取放板子，磨板接板贴膜放板人员戴指套操作。
并要做到轻拿轻放，手指不得触及线路图形，板角不得碰伤其它板的铜面或干膜线路。
5. 磨板5.1目的：保证贴膜前的板面干燥清洁无氧化、胶渍等污物。
5.1.1 物料：硫酸（工业）、尼龙磨刷（第1对为320目，第2对为500目）。
5.1.2 工具：吸管、胶手套、无毛白纱手套。
5.2工序流程：5.3 工艺条件5.4操作方法5.4.1开机：依次打开下列开关。
5.4.2配制药水5.4.2.1先放掉旧药水、清洗缸内残渣。
5.4.2.2加入100升自来水，用虹吸管吸取2升硫酸，缓缓加入水中。
5.4.2.3开机循环3-5min即可投入使用，一般要求每班要换一次药水。
5.4.3关机：依开机的相反顺序进行。
5.5检测判断方法5.5.1一般通过磨痕试验和水膜破裂试验来检测磨板效果，要求磨出来的板干燥洁净，无污迹、氧化点。
5.5.2磨痕试验：取一块未经钻孔或已钻孔但未作图形的且与生产板同厚度的覆铜板作试板。
5.5.2.1打开输送→放板入上（下）刷位置→关闭输送→调动磨刷进给压力到设定值→打开上（下）刷喷啉并磨板8-10秒→关闭磨刷→打开输送→取出试板。
5.5.2.2将板子传送出来，检查上（下）刷的磨痕是否均匀，宽度在10-15mm之间，过窄则顺时针方向旋转调压手柄调大进给压力，过宽则逆时针方向旋转调压手柄减少进给压力，直到磨痕宽度在要求范围内，同时查相应的电表头指示值是否正确，并要求工作员工在试板上作记录（时间、板子厚度、磨刷压力，磨痕宽度）。
5.5.3水膜破裂试验将刚磨出来的板，浸入干净的水中，然后取出竖直放置，若水膜能保持15秒以上，说明此板合格，否则重新调试直到符合要求为止。
5.6安全生产5.6.1当调整好磨板各参数后，先做磨痕试验和水膜破裂试验，然后试刷3-5块板，检查整个磨板系统是否正常，磨出来的板是否干燥洁净，有无污渍、水迹、氧化点，合格后方可批量生产。
5.6.2接板员工将检查合格的板先插架放置3-6min，再叠板放置（0.6mm以下的薄板可直接叠板放置），为了防止板子放置时间太长、板面氧化导致贴膜不牢，原则上要求现磨现贴，但积板数量不许超过100块且存板时间不可超过一小时。
否则需重新磨板。
5.6.3为了防止磨刷不均匀磨损成腰鼓形，批量磨板时，放板要左右均匀放置，通常每个月用80目砂纸将磨刷整平一次。
5.6.4磨刷使用寿命每道磨刷通过板子的长度累积达4万至5万米，要求更换该道磨刷，并作相关的运行记录。
5.6.5吸水辊应以清水充分润湿，不许让吸水辊干燥工作，一般要求2个月换一次吸水辊。
5.7注意事项：5.7.1取硫酸时，需戴手套，用吸管吸取，以免发生意外。
5.7.2为防止磨板时叠板，放板时要求板与板的间距约10mm。
5.8维护与保养5.8.1日保养5.8.2周保养，除日保养以外，每周周末进行一次大保养。
5.8.3月保养：除日保养、周保养以外，由维修负责人负责安排人员每月月底进行一次大保养。
a．将各输送轮、压轮、吸水辊、过滤网、风刀、喷管、喷咀，拆出进行全面保养，整机大清洁，同时保养课安排人员对机器作全面检修，并作维护记录。
b．清洗方法：3%-5%的NaOH溶液浸泡约30的H2SO4洗20-30分钟→清水冲洗干净（除风刀和钢制压辊外）。
c．风刀和钢制压辊，先用吸尘器吸风刀口内的灰尘杂物，再用清水冲洗干净。
d．各喷咀保持畅通，有堵塞现象的用牙签穿透，以确保喷出的水呈扇形，且与磨刷轴向平行，同时磨刷处之喷淋必须均匀喷在磨刷上。
e．保养完毕、安装后要先试运转，试磨一块废板，合格后方可生产。
6.贴膜6.1目的：通过热压方式将干膜抗蚀剂贴附在清洁的铜面上。
6.2工具：介膜刀片、刮胶擦、框架。
6.2.1物料：干膜、无毛白纱手套、指套、压辘。
6.3流程：6.4工艺条件：6.4.1压辘（上/下）温度：100-120℃，最佳范围：110±5℃6.4.2气压：40-55psi一般金板：45-50psi，喷锡板：40-50psi6.4.3速度：1.0-1.5m/min，最佳1.1-1.3m/min。
一般大压辘机2.0-2.7格，最佳2.5格，小压辘机4.5-6格，最佳5格，用秒表测出一块已知长度的板经过压辘所需的时间再用已知长度（m）与所需时间（min）的比值即为速度。
6.4.4贴膜出板表面温度：40-65℃，最佳50±5℃（一般用接触式电子测温仪轻轻接触板面即可测得）6.5操作规程6.5.1开机：依次打开下列开关6.5.2打开机后先预热15min左右。
6.5.3戴指套对板面进行检查，必须保证压膜前的板面干燥清洁无氧化、无污渍、磨痕均匀。
6.5.4待机器进入正常待压干膜状态，将板子平放在上、下两压辘的输送口间，后试压膜一块。
6.5.5检查试压膜的板，若板面无气泡、无起皱、无干膜碎、无流胶、颜色均匀，且单边露铜不大于3-5mm，则可批量生产。
6.5.6贴膜合格的板不允许平叠，要求先插架冷却之后，再竖直叠板放置于专用架子上，静置15min后再转下工序。
6.5.7关机：依开机的相反顺序进行。
6.5.8换干膜：6.5.8.1根据所要生产的板来选择对应尺寸的干膜，一般生产板的大小和干膜大小基本一致或略小于板宽4-6mm最佳，但单边露铜不能超过5mm。
6.5.8.2关掉转动开关，去掉剩的旧干膜（不允许超过三英尺即91.5cm）。
6.5.8.3用刮胶擦或酒精擦洗压辘上的干膜碎等杂物。
6.5.8.4装上新干膜，将上、下两卷干膜对齐调试合格后方可生产。
6.5.8.5换干膜后的左视图如下：1，4表示上、下压辘2，5表示干膜3，6表示保护膜6.6安全、注意事项：6.6.1为了防止贴膜起皱、起泡，要求气压保持充足，不低于40psi，上、下压辘轴向平行、贴紧无空隙，均速运转。
6.6.2为了防止板边干膜碎介膜不净，引起开短路，通常要求磨板前的板子均须磨斜边。
6.6.3不允许用刀片、指甲或硬的工具清理压辘，以防划伤、损坏压辘，通常压辘无划痕、凹坑则不需要换。
贴膜人员要注意手或衣袖不要距压辘太近，以防卷入。
6.6.4控制好压辘的温度、气压、速度，随时观察是否在控制范围之内，若有异常现象，按急停开关，及时向领班或课长汇报。
6.6.5贴膜放板时，要求板与板之间距离保持5±2mm，防止板子重叠损坏压辘，距离过大则浪费干膜，造成不必要的损失。
6.6.6介膜时不允许刀片伤及板面，如聚酯膜被拉起或破裂，并经常检查压辘是否清洁。
6.6.7贴膜后合格的板最好在48小时之内完成曝光。
6.6.8为了追溯品质问题，每次将干膜拆箱后要求将商标贴在干膜卷桶内。
6.7维护与保养6.7.1日保养6.7.2每班一次由当班领班负责用测温仪检测压辘实际温度，若有异常及时通知保养课人员及时校正或修理。
