管式反应器放大注意事项21页PPT
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磷扩散扩散的目的:形成PN结PN结的制造:制造一个PN结并不是把两块不同类型(p型和n型)的半导体接触在一起就能形成的。
必须使一块完整的半导体晶体的一部分是P型区域,另一部分是N型区域。
也就是在晶体内部实现P型和N型半导体的接触。
扩散装置示意图:扩散炉总体结构:控制部分、推舟净化部分、电阻加热炉部分、气源部分。
影响扩散的因素:管内气体中杂质源的浓度扩散温度扩散时间太阳电池磷扩散方法“1.三氯氧磷(POCl3)液态源扩散2.喷涂磷酸水溶液后链式扩散3.丝网印刷磷浆料后链式扩散本公司目前采用的是第一种方法。
POCl3简介:POCl3是目前磷扩散用得较多的一种杂质源无色透明液体,具有刺激性气味。
如果纯度不高则呈红黄色。
比重为1.67,熔点2℃,沸点107℃,在潮湿空气中发烟。
POCl3很容易发生水解,POCl3极易挥发。
POCl3磷扩散原理:由上面反应式可以看出,POCl3热分解时,如果没有外来的氧(O2)参与其分解是不充分的,生成的PCl5是不易分解的,并且对硅有腐蚀作用,破坏硅片的表面状态。
但在有外来O2存在的情况下,PCl5会进一步分解成P2O5并放出氯气(Cl2)其反应式如下: ↑+−−−−→−+2522510Cl O 2P 2O过量5O 4PCl 生成的P 2O 5又进一步与硅作用,生成SiO 2和磷原子,由此可见,在磷扩散时,为了促使POCl 3充分的分解和避免PCl 5对硅片表面的腐蚀作用,必须在通氮气的同时通入一定流量的氧气 。
在有氧气的存在时,POCl 3热分解的反应式为: ↑+→+252236Cl O 2P O POClPOCl 3分解产生的P 2O 5淀积在硅片表面,P 2O 5与硅反应生成SiO 2和磷原子,并在硅片表面形成一层磷-硅玻璃,然后磷原子再向硅中进行扩散 。
POCl 3磷扩散原理:POCl 3液态源扩散方法具有生产效率较高,得到PN 结均匀、平整和扩散层表面良好等优点,这对于制作具有大面积结的太阳电池是非常重要的。